EP1511941B1 - Kontraktionseinheit mit positionssensoreinrichtung - Google Patents

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EP1511941B1
EP1511941B1 EP03729995A EP03729995A EP1511941B1 EP 1511941 B1 EP1511941 B1 EP 1511941B1 EP 03729995 A EP03729995 A EP 03729995A EP 03729995 A EP03729995 A EP 03729995A EP 1511941 B1 EP1511941 B1 EP 1511941B1
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EP
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contraction
contraction unit
unit according
frequency
distance
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EP03729995A
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Thomas Reininger
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Festo SE and Co KG
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2869Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using electromagnetic radiation, e.g. radar or microwaves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/10Characterised by the construction of the motor unit the motor being of diaphragm type
    • F15B15/103Characterised by the construction of the motor unit the motor being of diaphragm type using inflatable bodies that contract when fluid pressure is applied, e.g. pneumatic artificial muscles or McKibben-type actuators

Definitions

  • the invention relates to a contraction unit with a extending between two spaced headers and undergoing a longitudinal contraction when subjected to internal pressure Contraction tube.
  • Such contraction units are for example from the Prospectus "Fluidic Muscle” issued by the applicant, EP 0161750 B1, DE 29906626 U, DE 29908008 U or DE 20112633 U known and are for a very precise positioning in a simple and low-wear construction and relatively low cost. This can be very high restoring forces be achieved.
  • actuators are used in principle any kind of position sensors or position sensors needed.
  • position sensors and sensor devices known based on a variety of measurement principles. These however, in contraction units are those mentioned above Type predominantly not or very poorly suited.
  • US 4 860 639 shows a contraction unit with a position sensor device according to the preamble of claim 1.
  • An object of the present invention is therefore to one suitable for such contraction units and at high precision simple and inexpensive to implement To provide position sensor device.
  • the advantages of the solution according to the invention are in particular in that such a microwave generator, the already very inexpensive in small construction commercially available is very easy on the inside of one of Attach head pieces or integrate in one of the head pieces leaves.
  • the compact unit of Contraction unit By the arrangement in the interior of the contraction unit without external measuring elements, the compact unit of Contraction unit not affected, and mechanical damage or disturbances of the position sensor device are largely excluded.
  • One of the principal advantages such contraction units, the complete seal and therefore the low consumption of working fluid, is not affected by the position sensor device. The measurement of the distance between the headers and so that the detected position can be detected extremely accurately.
  • the microwave generator is also advantageously as Microwave receiver designed so that the reflected Microwaves are detected with the same small-volume component can. This leads to the simplification of the electrical connections the position sensor device.
  • the evaluation device has Means for phase comparison of the emitted microwave signal and on the opposite metallic head piece reflected microwave signal and for phase difference determination as a measure of the distance.
  • the measuring accuracy is thereby in the range of half a wavelength.
  • the Evaluation device a frequency generator for variable Setting the microwave frequency, wherein a resonance detector is provided for detecting the resonant frequency.
  • the frequency generator expediently as a ramp generator formed, wherein upon detection of the resonant frequency through the resonance detector the then present frequency as Measure of the distance is held.
  • a frequency divider for the resonant frequency provided in the evaluation.
  • the contraction tube is expediently with electrical conductive particles or strand elements, such as wires, thus influencing the entire contraction unit the resonant frequency contributes and the entire contraction unit serves as a microwave waveguide.
  • the microwave generator as a microwave transmitting and receiving coupling probe educated.
  • the microwave generator as a cavity resonator with the opposite head piece formed the contraction unit towards open resonance space be. This leads to a good bundling of the emitted Microwaves.
  • the single figure shows a contraction unit or a contraction element in longitudinal section, wherein one of the Head pieces with a cavity as a position sensor device is provided.
  • the contraction element is in the single figure for simplicity only shown schematically. A more detailed one Representation can be found, for example, in the aforementioned DE 29906626 U.
  • a contraction tube 10 from a elastic rubber or plastic material is on both sides sealed by head pieces 11, 12 sealing.
  • the contraction tube 10 is usually one flexurally flexible strand structure, not shown for simplicity, in the present embodiment as metallic Strand structure may be formed around the contraction unit form as a microwave waveguide.
  • the wall may also contain other metallic conductive particles.
  • the connection of the contraction tube 10 with the two head pieces 11, 12 is such that with the strand structure provided contraction tube 10 in the It is capable of pulling forces on the respective head piece 11, 12 transfer.
  • the attachment for example, under a Clamping connection, as exemplified in the EP 0161750 B1 is described. Other types of fastening are also possible.
  • a fluid channel 14 In from the contraction tube 10 and the two headers 11, 12 limited interior 13 opens a fluid channel 14, the one of the head pieces 11 passes through and its outer end is provided with a connection device 15, via the one connected by a pressure source fluid line connected can be.
  • a connection device 15 via the one connected by a pressure source fluid line connected can be.
  • several fluid channels can be provided be.
  • Control valve arrangement is thus possible by the fluid channel 14 through a fluidic pressure medium in the Feeding interior 13 or remove it.
  • the figure shows the contraction tube 10 in the activated Condition, so in pressurized interior 13.
  • the contraction tube 10 is radially expanded and at the same time axially contracted so that the two Head pieces 11, 12 axially approximated and each other are drawn.
  • the contraction tube 10 takes a substantially hollow cylinder-like shape, and the two Head pieces 11, 12 move away from each other. In this way can be achieved by coordinated fluid loading of the interior 13 an axial lifting movement of the head pieces 11, 12 relative reach each other.
  • the two head pieces 11, 12 to each other is the one Head piece 11 on its side facing the interior with a microwave cavity resonator 16 provided.
  • This one can attached to the head piece 11 or be integrated in this.
  • the Cavity resonator 16 has one to the opposite Headpiece 12 towards open resonance chamber, by means of which microwaves emitted to the opposite head piece 12 out. There they are reflected and get back to Cavity resonator 16 back, with a not shown corresponding detection device is provided.
  • Such a cavity resonator for distance measurement is in DE 19807593 A1, so that a more detailed Presentation can be omitted.
  • the cavity resonator 16 is controlled by a ramp frequency generator 17 driven, whereby the transmission frequency specified becomes.
  • the reception branch of the cavity resonator 16 is with a resonance detector 18 connected, for example, from a two-stage differentiator and a comparator and constantly monitors whether the received signal is a Indicates resonance. The resonance manifests itself in a high Slope of the received signal.
  • the resonance is detected is the ramped frequency increase stopped and maintained. It is reduced by a frequency divider 20 and the Evaluation device 19 is transmitted and is a measure of the Distance between the two head pieces 11, 12 to each other.
  • the resonant frequency depends on the distance of the two Head pieces 11, 12 from each other and can still by the conductive Wall of the contraction tube 10 with influenced become.
  • For each state of the contraction element is a certain resonant frequency, so that only the Transmission frequency must be changed until resonance frequency and transmit frequency match.
  • the example formed as a detector diode receiving means of the cavity resonator 16 detects when the resonance frequency is reached a performance dip.
  • One of the respective resonance frequency to the distance converted Value can be displayed on a display 21 and / or otherwise evaluated.
  • the frequency generator 17, the resonance detector 18 and the Frequency divider 20 can of course also instead of separate units as components of the evaluation 19 be formed.
  • the specified Evaluation devices known from the prior art possible.
  • the head 11 on the head arranged microwave generator for example, as a coupling probe be formed, as described in the DB 19833220 A1 Distance measurement is described in detail.
  • the microwave signal is via such a coupling probe in the interior of the contraction element Fed 10, wherein in a first Step of the absolute distance between entry point on the left Head 11 and the right head 12 is measured, for example, by a transit time measurement of the frequency-modulated Transmission signal. Subsequently, a standing wave generated in the interior, whose displacement by the axial position change the two head pieces to each other. about a phase evaluation of the frequency similar to that of the previously described embodiment is reduced signal measured the changing distance between the headers.
  • DE 19833220 A1 discloses various evaluation methods described, which can be used alternatively.

Description

Die Erfindung betrifft eine Kontraktionseinheit mit einem sich zwischen zwei beabstandeten Kopfstücken erstreckenden und bei Innendruckbeaufschlagung eine Längskontraktion erfahrenden Kontraktionsschlauch.
Derartige Kontraktionseinheiten sind beispielsweise aus dem von der Anmelderin herausgegebenen Prospekt "Fluidic Muscle", der EP 0161750 B1, der DE 29906626 U, der DE 29908008 U oder der DE 20112633 U bekannt und sind für eine sehr präzise Positionierung bei einfachem und verschleißarmem Aufbau und relativ geringen Kosten geeignet. Dabei können sehr hohe Stellkräfte erzielt werden.
Für die exakte Positionierung werden prinzipiell bei Stellgliedern jeglicher Art Positionssensoren bzw. Lagesensoren benötigt. In Verbindung mit Stellzylindern ist eine Vielzahl derartiger Positionssensoren und Sensoreinrichtungen bekannt, die auf den unterschiedlichsten Messprinzipien beruhen. Diese sind jedoch bei Kontraktionseinheiten der vorstehend genannten Art überwiegend nicht oder sehr schlecht geeignet.
Die US 4 860 639 zeigt eine Kontraktionseinheit mit einer Positionssensoreinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht somit darin, eine für solche Kontraktionseinheiten gut geeignete und bei hoher Präzision einfach und kostengünstig zu realisierende Positionssensoreinrichtung zu schaffen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Kontraktionseinheit mit einer Positionssensoreinrichtung gelöst, die die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist.
Die Vorteile der erfindungsgemäßen Lösung bestehen insbesondere darin, dass sich ein derartiger Mikrowellengenerator, der bereits sehr kostengünstig in Kleinbauweise im Handel erhältlich ist, sehr einfach an der Innenseite eines der Kopfstücke befestigen oder in einem der Kopfstücke integrieren lässt. Durch die Anordnung im Innenraum der Kontraktionseinheit ohne äußere Messelemente wird die Kompakteinheit der Kontraktionseinheit nicht beeinträchtigt, und mechanische Beschädigungen oder Störungen der Positionssensoreinrichtung sind weitgehend ausgeschlossen. Einer der prinzipiellen Vorteile derartiger Kontraktionseinheiten, die vollständige Abdichtung und daher der geringe Verbrauch an Arbeitsfluid, wird durch die Positionssensoreinrichtung nicht beeinträchtigt. Die Messung des Abstands zwischen den Kopfstücken und damit die erfasste Position kann äußerst exakt erfasst werden.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Anspruch 1 angegebenen Kontraktionseinheit möglich.
Der Mikrowellengenerator ist in vorteilhafter Weise auch als Mikrowellenempfänger ausgebildet, damit die reflektierten Mikrowellen mit demselben kleinvolumigen Bauteil erfasst werden können. Dies führt zur Vereinfachung der elektrischen Anschlüsse der Positionssensoreinrichtung.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung besitzt die Auswerteeinrichtung Mittel zum Phasenvergleich des emittierten Mikrowellensignals und des am gegenüberliegenden metallischen Kopfstück reflektierten Mikrowellensignals sowie zur Phasendifferenzbestimmung als Maß für den Abstand. Die Messgenauigkeit liegt dadurch im Bereich einer halben Wellenlänge.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung besitzt die Auswerteeinrichtung einen Frequenzgenerator zur variablen Einstellung der Mikrowellenfrequenz, wobei ein Resonanzdetektor zur Erfassung der Resonanzfrequenz vorgesehen ist. Hierzu ist der Frequenzgenerator zweckmäßigerweise als Rampengenerator ausgebildet, wobei bei Erkennung der Resonanzfrequenz durch den Resonanzdetektor die dann vorliegende Frequenz als Maß für den Abstand festgehalten wird. Zur Vereinfachung der Auswertung ist ein Frequenzuntersetzer für die Resonanzfrequenz in der Auswerteeinrichtung vorgesehen.
Der Kontraktionsschlauch ist zweckmäßigerweise mit elektrisch leitfähigen Partikeln oder Strangelementen, wie Drähten, versehen, damit die gesamte Kontraktionseinheit zur Beeinflussung der Resonanzfrequenz beiträgt und die gesamte Kontraktionseinheit als Mikrowellen-Hohlleiter dient.
In einer zweckmäßigen Ausgestaltung ist der Mikrowellengenerator als Mikrowellen sendende und empfangende Koppelsonde ausgebildet. Alternativ hierzu kann der Mikrowellengenerator auch als Hohlraumresonator mit zum gegenüberliegenden Kopfstück der Kontraktionseinheit hin offenem Resonanzraum ausgebildet sein. Dies führt zu einer guten Bündelung der emittierten Mikrowellen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Die einzige Figur zeigt eine Kontraktionseinheit bzw. ein Kontraktionselement im Längsschnitt, wobei eines der Kopfstücke mit einem Hohlraumresonator als Positionssensoreinrichtung versehen ist.
Das Kontraktionselement ist in der einzigen Figur zur Vereinfachung lediglich schematisch dargestellt. Eine detailliertere Darstellung findet sich beispielsweise in der eingangs genannten DE 29906626 U. Ein Kontraktionsschlauch 10 aus einem elastischen Gummi- oder Kunststoffmaterial ist beidseitig durch Kopfstücke 11, 12 dichtend verschlossen. In der Wandung des Kontraktionsschlauchs 10 befindet sich üblicherweise eine zur Vereinfachung nicht dargestellte biegeflexible Strangstruktur, die in der vorliegenden Ausgestaltung als metallische Strangstruktur ausgebildet sein kann, um die Kontraktionseinheit als Mikrowellen-Hohlleiter auszubilden. Die Wandung kann auch sonstige metallisch leitfähige Partikel enthalten. Die Verbindung des Kontraktionsschlauchs 10 mit den beiden Kopfstücken 11, 12 erfolgt dergestalt, dass der mit der Strangstruktur versehene Kontraktionsschlauch 10 in der Lage ist, Zugkräfte auf das jeweilige Kopfstück 11, 12 zu übertragen. Die Befestigung kann beispielsweise im Rahmen einer Klemmverbindung erfolgen, wie sie exemplarisch in der EP 0161750 B1 beschrieben ist. Andere Befestigungsarten sind ebenfalls möglich.
In den vom Kontraktionsschlauch 10 und den beiden Kopfstücken 11, 12 begrenzten Innenraum 13 mündet ein Fluidkanal 14, der eines der Kopfstücke 11 durchsetzt und dessen äußeres Ende mit einer Anschlusseinrichtung 15 versehen ist, über die eine von einer Druckquelle kommende Fluidleitung angeschlossen werden kann. Prinzipiell können auch mehrere Fluidkanäle vorgesehen sein. In Verbindung mit einer nicht dargestellten Steuerventilanordnung besteht somit die Möglichkeit, durch den Fluidkanal 14 hindurch ein fluidisches Druckmedium in den Innenraum 13 einzuspeisen oder aus diesem abzuführen.
Die Figur zeigt den Kontraktionsschlauch 10 im aktivierten Zustand, also bei druckbeaufschlagtem Innenraum 13. In diesem Zustand ist der Kontraktionsschlauch 10 radial aufgeweitet und gleichzeitig axial kontrahiert, so dass die beiden Kopfstücke 11, 12 einander axial angenähert und zueinander gezogen sind. Im deaktivierten Zustand, also bei drucklosem Innenraum 13, nimmt der Kontraktionsschlauch 10 eine im Wesentlichen hohlzylinderähnliche Gestalt an, und die beiden Kopfstücke 11, 12 entfernen sich voneinander. Auf diese Weise lässt sich durch abgestimmte Fluidbeaufschlagung des Innenraums 13 eine axiale Hubbewegung der Kopfstücke 11, 12 relativ zueinander erreichen.
Als Positionssensoreinrichtung zur Erfassung der Relativposition der beiden Kopfstücke 11, 12 zueinander ist das eine Kopfstück 11 an seiner dem Innenraum zugewandten Seite mit einem Mikrowellen-Hohlraumresonator 16 versehen. Dieser kann am Kopfstück 11 befestigt oder in diesem integriert sein. Der Hohlraumresonator 16 besitzt einen zum gegenüberliegenden Kopfstück 12 hin offenen Resonanzraum, mittels dessen Mikrowellen zum gegenüberliegenden Kopfstück 12 hin emittiert werden. Dort werden sie reflektiert und gelangen wieder zum Hohlraumresonator 16 zurück, der mit einer nicht näher dargestellten entsprechenden Erfassungseinrichtung versehen ist. Ein derartiger Hohlraumresonator zur Abstandsmessung ist in der DE 19807593 A1 näher beschrieben, so dass auf eine detailliertere Darstellung verzichtet werden kann.
Der Hohlraumresonator 16 wird durch einen Rampen-Frequenzgenerator 17 angesteuert, wodurch die Sendefrequenz vorgegeben wird. Der Empfangszweig des Hohlraumresonators 16 ist mit einem Resonanzdetektor 18 verbunden, der beispielsweise aus einem zweistufigen Differenzierer und einem Komparator besteht und laufend überwacht, ob das empfangene Signal eine Resonanz anzeigt. Die Resonanz äußert sich in einer hohen Steilheit des Empfangssignals. Sobald von einer mit dem Rampen-Frequenzgenerator 17 und dem Resonanzdetektor 18 verbundenen Auswerteeinrichtung 19 die Resonanz erkannt wird, wird die rampenartige Frequenzerhöhung gestoppt und beibehalten. Sie wird über einen Frequenzteiler 20 verkleinert und der Auswerteeinrichtung 19 übermittelt und ist ein Maß für den Abstand der beiden Kopfstücke 11, 12 zueinander.
Die Resonanzfrequenz hängt von der Entfernung der beiden Kopfstücke 11, 12 zueinander ab und kann noch durch die leitfähige Wandung des Kontraktionsschlauchs 10 mit beeinflusst werden. Für jeden Zustand des Kontraktionselements liegt eine bestimmte Resonanzfrequenz vor, so dass jeweils lediglich die Sendefrequenz so lange verändert werden muss, bis Resonanzfrequenz und Sendefrequenz übereinstimmen. Die beispielsweise als Detektordiode ausgebildete Empfangseinrichtung des Hohlraumresonators 16 erkennt bei Erreichen der Resonanzfrequenz einen Leistungseinbruch.
Ein von der jeweiligen Resonanzfrequenz auf den Abstand umgerechneter Wert kann auf einem Display 21 angezeigt werden und/oder auf sonstige Weise ausgewertet werden.
Der Frequenzgenerator 17, der Resonanzdetektor 18 und der Frequenzteiler 20 können selbstverständlich auch anstelle als separate Einheiten als Bestandteile der Auswerteeinrichtung 19 ausgebildet sein. Im Übrigen sind auch andere, aus dem angegebenen Stand der Technik bekannte Auswerteeinrichtungen möglich.
Alternativ zum Hohlraumresonator 16 kann der am Kopfstück 11 angeordnete Mikrowellengenerator auch beispielsweise als Koppelsonde ausgebildet sein, wie sie in der DB 19833220 A1 zur Abstandsmessung näher beschrieben ist. Das Mikrowellensignal wird über eine solche Koppelsonde in den Innenraum des Kontraktionselements 10 eingespeist, wobei in einem ersten Schritt der absolute Abstand zwischen Einspeisepunkt am linken Kopfstück 11 und dem rechten Kopfstück 12 gemessen wird, beispielsweise durch eine Laufzeitmessung des frequenzmodulierten Sendesignals. Anschließend wird eine stehende Welle im Innenraum erzeugt, deren Verschiebung durch die axiale Lageveränderung der beiden Kopfstücke zueinander erfolgt. Über eine Phasenauswertung des in der Frequenz ähnlich wie bei der zuvor beschriebenen Ausführung herabgesetzten Signals wird der sich verändernde Abstand zwischen den Kopfstücken gemessen. In der DE 19833220 A1 sind verschiedene Auswerteverfahren beschrieben, die alternativ eingesetzt werden können.

Claims (9)

  1. Kontraktionseinheit mit einem sich zwischen zwei beabstandeten Kopfstücken (11, 12) erstreckenden und bei Innendruckbeaufschlagung eine Längskontraktion erfahrenden Kontraktionsschlauch (10) und mit einer Positionssensoreinrichtung zur Erfassung des Abstands zwischen den Kopfstücken (11, 12), dadurch gekennzeichnet, dass die Positionssensoreinrichtung einen an einem der Kopfstücke (11) angeordneten, Mikrowellen in den Innenraum (13) der Kontraktionseinheit emittierenden Mikrowellengenerator (16) aufweist, wobei eine Auswerteeinrichtung (17 - 21) zur Ermittlung des Abstands zwischen den Kopfstücken (11, 12) durch Laufzeitmessung, Phasenvergleich der emittierten und reflektierten Welle oder Resonanzfrequenzbestimmung vorgesehen ist.
  2. Kontraktionseinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Mikrowellengenerator (16) auch als Mikrowellenempfänger ausgebildet ist.
  3. Kontraktionseinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinrichtung (17 - 21) Mittel zum Phasenvergleich des emittierten Mikrowellensignals und des am gegenüberliegenden metallischen Kopfstück (12) reflektierten Mikrowellensignals sowie zur Phasendifferenzbestimmung als Maß für den Abstand aufweist.
  4. Kontraktionseinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinrichtung (17 - 21) mit einem Frequenzgenerator (17) zur variablen Einstellung der Mikrowellenfrequenz versehen ist und dass ein Resonanzdetektor (18) zur Erfassung der Resonanzfrequenz vorgesehen ist.
  5. Kontraktionseinheit nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Frequenzgenerator (17) als Rampengenerator ausgebildet ist und bei Erkennung der Resonanzfrequenz durch den Resonanzdetektor (18) die dann vorliegende Frequenz als Maß für den Abstand festgehalten wird.
  6. Kontraktionseinheit nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass ein Frequenzuntersetzer (20) zur Auswertung der Resonanzfrequenz in der Auswerteeinrichtung vorgesehen ist.
  7. Kontraktionseinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Kontraktionsschlauch (10) mit elektrisch leitfähigen Partikeln oder Strangelementen, wie Drähten, versehen ist.
  8. Kontraktionseinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Mikrowellengenerator als Mikrowellen sendende und empfangende Koppeldiode ausgebildet ist.
  9. Kontraktionseinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Mikrowellengenerator (16) als Hohlraumresonator mit zum gegenüberliegenden Kopfstück (12) hin offenem Resonanzraum ausgebildet ist.
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EP1511941A1 EP1511941A1 (de) 2005-03-09
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