EP1408234A1 - Kolbenmaschine zur Förderung von Gasen - Google Patents

Kolbenmaschine zur Förderung von Gasen Download PDF

Info

Publication number
EP1408234A1
EP1408234A1 EP03022427A EP03022427A EP1408234A1 EP 1408234 A1 EP1408234 A1 EP 1408234A1 EP 03022427 A EP03022427 A EP 03022427A EP 03022427 A EP03022427 A EP 03022427A EP 1408234 A1 EP1408234 A1 EP 1408234A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
piston
openings
piston machine
force
machine according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP03022427A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1408234B1 (de
EP1408234B2 (de
Inventor
Eckhard Bez
Thorsten Burggraf
Stefan Dr. Zabeschek
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=32010426&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=EP1408234(A1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Pfeiffer Vacuum GmbH filed Critical Pfeiffer Vacuum GmbH
Publication of EP1408234A1 publication Critical patent/EP1408234A1/de
Publication of EP1408234B1 publication Critical patent/EP1408234B1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1408234B2 publication Critical patent/EP1408234B2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B53/00Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F04B53/10Valves; Arrangement of valves
    • F04B53/12Valves; Arrangement of valves arranged in or on pistons
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • F04B39/0005Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00 adaptations of pistons
    • F04B39/0016Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00 adaptations of pistons with valve arranged in the piston
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B53/00Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F04B53/10Valves; Arrangement of valves
    • F04B53/12Valves; Arrangement of valves arranged in or on pistons
    • F04B53/123Flexible valves

Definitions

  • the invention relates to a piston machine for conveying gases according to the Preamble of the 1st patent claim.
  • Piston machines of the type presented here are used, among other things, in vacuum technology for the production of gases and for the production and maintenance of Pressure differences used as vacuum pumps.
  • US 5,921,755 is one described such pump.
  • the present invention relates to one or multi-stage construction methods.
  • the pistons perform an oscillating movement between their two reversal points. When a piston moves upwards it becomes Gas compressed and expelled. A negative pressure is created during the downward movement in the displacement. Gases can flow into the displacement through suitable valves.
  • the invention is based on the object of presenting a construction which additional unnecessary energy consumption and undesirable heating of the Pump components can be avoided. Special attention is paid to this control that in the area of the pump-active components (e.g. pistons and valves) none Dead spaces arise. These include gases during the pumping process thus significantly affect the pump properties.
  • the pump-active components e.g. pistons and valves
  • a cylindrical displacement 1 which is delimited by the piston cylinder wall 2
  • the piston 3 performs an oscillating movement, which causes the promotion of gas is effected.
  • the gas to be pumped passes through radial inlet openings 5 in the piston cylinder wall 2 in the area of the lower pressure point of the piston in the displacement 1 and is ejected via a valve 7 at the upper end of the displacement.
  • the movement of the piston is controlled by a connecting rod 8 and a piston rod 10 is connected to a drive device.
  • the axial limitation of the piston 3 is formed by the piston crown 12.
  • the piston crown is according to the invention at the same time designed as a valve. For this purpose, it is provided with openings 14. This Openings are covered by a membrane, which depending on the embodiment as a plastic membrane 16, interspersed with ferromagnetic particles, or as magnetic plastic membrane 18 can be formed.
  • the function of the valve includes a non-positive device, which is the membrane presses in the closed state to seal the openings 14.
  • the non-positive device is inserted into a groove 20 Magnet ring 21 or magnetic segments 22 together with the plastic membrane 16 formed.
  • the second case form a metal plate 24 and a magnetic one Plastic membrane 18 together the non-positive device.
  • the openings 14 are sealed by the membrane 16 or 18, so that that previously flowed into the displacement 1 through the inlet openings 5 Gas can be compressed and ejected via the valve 7.
  • the membrane 16 or 18 due to the pressure difference between the Vacuum in the displacement 1 and the pressure in the gear chamber 26 raised, and a Pressure equalization takes place.
  • the magnetic forces generated by the non-positive device ensure that the membrane adheres securely from a defined pressure difference and thus for gas-tight sealing of the holes.

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Kolbenmaschine zur Förderung von Gasen. Ein zylindrischer Hubraum (1) ist mit Einlassöffnungen (5) und einem Ausstoßventil (7) versehen. Die Gasförderung wird durch einen im Hubraum (1) oszillierenden Kolben (3) bewirkt. Der Kolbenboden (12) ist gleichzeitig als Ventil ausgebildet. Dazu ist er mit Öffnungen (14) und einer kraftschlüssigen Vorrichtung (16, 21) versehen. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Kolbenmaschine zur Förderung von Gasen nach dem Oberbegriff des 1. Patentsanspruches.
Kolbenmaschinen der hier vorgestellten Art werden unter anderem in der Vakuumtechnik zur Förderung von Gasen und zur Erzeugung und Aufrechterhaltung von Druckdifferenzen als Vakuumpumpen eingesetzt. In der US 5,921,755 ist eine solche Pumpe beschrieben. Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein- oder mehrstufige Bauweisen. Die Kolben führen eine oszillierende Bewegung zwischen ihre beiden Umkehrpunkten aus. Bei der Aufwärtsbewegung eines Kolbens wird das Gas verdichtet und ausgestoßen. Bei der Abwärtsbewegung entsteht ein Unterdruck im Hubraum. So können Gase über geeignete Ventile in den Hubraum einströmen.
Die zu leistende Arbeit bei der Abwärtsbewegung des Kolbens resultiert aus der Druckdifferenz zwischen dem Druck im Getrieberaum und dem Unterdruck im Hubraum sowie aus der Oberfläche des Kolbens und der Länge des Hubes. Durch diesen Effekt wird die Leistungsaufnahme des Pumpenantriebes erhöht und es kommt zur Temperaturerhöhung von Pumpenbauteilen, was sich störend auf einen reibungslosen und sicheren Betrieb auswirkt. Die Wärme abzuführen, ist mit zusätzlichem unerwünschten Aufwand verbunden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Konstruktion vorzustellen, durch welche zusätzlicher unnötiger Energieverbrauch und unerwünschte Erwärmung der Pumpenbauteile vermieden werden. Besondere Aufmerksamkeit ist darauf zu lenken, dass im Bereich der pumpaktiven Bauteile (z. B. Kolben und Ventile) keine Toträume entstehen. Diese schließen während des Pumpvorganges Gase ein und beeinträchtigen somit erheblich die Pumpeigenschaften.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des 1. Schutzanspruches gelöst. Die Ansprüche 2 bis 5 stellen weitere Ausgestaltungsformen der Erfindung dar.
Durch die erfindungsgemäße Anordnung wird die zu leistende Arbeit bei der Abwärtsbewegung des Kolbens reduziert. Dabei wird die Druckdifferenz zwischen dem Druck im Getrieberaum und dem Unterdruck im Hubraum durch das über den Kolbenboden in den Hubraum strömende Gas abgebaut. Dieser Effekt wird durch den Einbau eines Ventils in den Kolbenboden erreicht. Öffnungen im Kolbenboden stellen eine direkte Verbindung zwischen Getrieberaum und Hubraum her. Durch eine solche Konstruktion werden Toträume vermieden und somit ein effektives Pumpverhalten gewährleistet.
An Hand der Figuren 1 bis 4 soll die Erfindung näher erläutert werden. Es zeigen:
  • Fig. 1 Ansaugseite einer Kolbenpumpe mit der erfindungsgemäßen Anordnung,
  • Fig. 2 Schnitt entlang A - A' aus Fig. 1,
  • Fig. 2a Schnitt entlang A - A' aus Fig. 1 einer weiteren Ausführungsform,
  • Fig. 3 eine weitere Ausführungsform der Erfindung,
  • Fig. 4 Schnitt entlang B - B' aus Fig. 3.
  • In einem zylindrischen Hubraum 1, der durch die Kolbenzylinderwand 2 begrenzt ist, führt der Kolben 3 eine oszillierende Bewegung aus, wodurch die Förderung von Gas bewirkt wird. Das zu pumpende Gas tritt durch radiale Einlassöffnungen 5 in der Kolbenzylinderwand 2 im Bereich des unteren Druckpunktes des Kolbens in den Hubraum 1 ein und wird über ein Ventil 7 am oberen Ende des Hubraumes ausgestoßen. Die Bewegung des Kolbens wird über ein Pleuel 8 und eine Kolbenstange 10, die mit einer Antriebsvorrichtung verbunden ist, erzeugt. Die axiale Begrenzung des Kolbens 3 wird durch den Kolbenboden 12 gebildet. Der Kolbenboden ist erfindungsgemäß gleichzeitig als Ventil ausgebildet. Dazu ist er mit Öffnungen 14 versehen. Diese Öffnungen werden durch eine Membran abgedeckt, welche je nach Ausführungsform als Kunststoffmembran 16, durchsetzt mit ferromagnetischen Partikeln, oder als magnetische Kunststoffmembran 18 ausgebildet sein kann.
    Zur Funktion des Ventils gehört eine kraftschlüssige Vorrichtung, welche die Membran in geschlossenem Zustand zur Abdichtung der Öffnungen 14 auf diese drückt. Im ersten Fall wird die kraftschlüssige Vorrichtung durch einen in einer Nut 20 eingelassenen Magnetring 21 oder Magnetsegmente 22 zusammen mit der Kunststoff membran 16 gebildet. Im zweiten Fall bilden eine Metallplatte 24 und eine magnetische Kunststoffmembran 18 zusammen die kraftschlüssige Vorrichtung.
    Beim Aufwärtshub werden die Öffnungen 14 durch die Membran 16 bzw. 18 abgedichtet, so dass das vorher durch die Einlassöffnungen 5 in den Hubraum 1 eingeströmte Gas verdichtet und über das Ventil 7 ausgestoßen werden kann. Beim Abwärtshub wird die Membran 16 bzw. 18 auf Grund der Druckdifferenz zwischen dem Unterdruck im Hubraum 1 und dem Druck im Getrieberaum 26 angehoben, und ein Druckausgleich findet statt. Die durch die kraftschlüssige Vorrichtung erzeugten Magnetkräfte sorgen ab einer definierten Druckdifferenz für ein sicheres Haften der Membran und damit für ein gasdichtes Verschließen der Bohrungen.

    Claims (5)

    1. Kolbenmaschine zur Förderung von Gasen, bestehend im wesentlichen aus einem durch eine Kolbenzylinderwand (2) begrenzten Hubraum (1) mit Gaseinlassöffnungen (5) und einem Gasausstoßventil (7) sowie einem im Hubraum (1) oszillierenden Kolben (3) mit Kolbenboden (12), dadurch gekennzeichnet, dass der Kolbenboden (12) gleichzeitig als Ventil ausgebildet ist, welches aus Öffnungen (14) im Kolbenboden (12) und einer kraftschlüssigen Vorrichtung (16, 21) bzw. (18, 24) besteht, wobei die Öffnungen (14) in Abhängigkeit vom Gasstrom durch die kraftschlüssige Vorrichtung in einem offenen oder geschlossen Zustand gehalten werden.
    2. Kolbenmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die kraftschlüssige Vorrichtung aus einer magnetischen Anordnung (21) und aus einer mit ferromagnetischen Partikeln durchsetzten Kunststoffmembran (16) besteht.
    3. Kolbenmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die kraftschlüssige Vorrichtung aus einer Metallplatte (24) und aus einer magnetischen Kunststoffmembran (18) besteht.
    4. Kolbenmaschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die magnetische Anordnung aus einem in einer Nut (20) eingelassenen ringförmigen Dauermagneten (21) besteht.
    5. Kolbenmaschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die magnetische Anordnung aus in einer Nut (20) eingelassenen segmentförmigen Dauermagneten (22) besteht.
    EP03022427A 2002-10-10 2003-10-07 Vakuumpumpe Expired - Lifetime EP1408234B2 (de)

    Applications Claiming Priority (2)

    Application Number Priority Date Filing Date Title
    DE10247336A DE10247336A1 (de) 2002-10-10 2002-10-10 Kolbenmaschine zur Förderung von Gasen
    DE10247336 2002-10-10

    Publications (3)

    Publication Number Publication Date
    EP1408234A1 true EP1408234A1 (de) 2004-04-14
    EP1408234B1 EP1408234B1 (de) 2006-11-22
    EP1408234B2 EP1408234B2 (de) 2010-08-25

    Family

    ID=32010426

    Family Applications (1)

    Application Number Title Priority Date Filing Date
    EP03022427A Expired - Lifetime EP1408234B2 (de) 2002-10-10 2003-10-07 Vakuumpumpe

    Country Status (4)

    Country Link
    US (1) US7241120B2 (de)
    EP (1) EP1408234B2 (de)
    JP (1) JP4397664B2 (de)
    DE (2) DE10247336A1 (de)

    Cited By (1)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    CN104033378A (zh) * 2014-06-19 2014-09-10 皖西学院 磁铁式柱塞泵

    Families Citing this family (6)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    BRPI0702471B1 (pt) * 2007-07-04 2018-07-10 Whirlpool S.A. Pistão para compressor de refrigeração
    JP5458439B2 (ja) * 2010-03-24 2014-04-02 株式会社医器研 ロータリ式シリンダ装置
    DE102012217892A1 (de) * 2012-10-01 2014-05-15 Siemens Aktiengesellschaft Gusseisen mit Niob und Bauteil
    BR102014007259A2 (pt) * 2014-03-26 2015-12-08 Whirlpool Sa compressor alternativo provido de arranjo de válvulas de sucção
    CN104912773B (zh) * 2015-07-01 2017-10-24 浙江申元机电有限公司 一种空气压缩装置及空压机
    CN110425106B (zh) * 2019-08-16 2020-09-08 成都正升能源技术开发有限公司 一种直线压缩机用活塞组件

    Citations (3)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    US5921755A (en) * 1997-04-21 1999-07-13 Dry Vacuum Technologies, Inc. Dry vacuum pump
    US6120266A (en) * 1995-06-20 2000-09-19 Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap Piston mechanism with a flow passage through the piston
    US20020023449A1 (en) * 2000-01-12 2002-02-28 Park Kyeong Bae Valve fastening structure of reciprocating compressor

    Family Cites Families (14)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    US4176586A (en) * 1975-01-31 1979-12-04 Manfred Rudle Piston and cylinder device
    DE2946826C2 (de) * 1979-11-20 1984-01-19 Interflux AG, 8700 Küsnacht, Zürich Durchflußwächter für flüssige oder gasförmige Medien
    DE3146030A1 (de) * 1981-11-20 1983-05-26 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Ueberdruckventil fuer behaelter
    DE4203534C2 (de) * 1992-02-07 1998-02-12 Bruno Gruber Pumpe
    JP2515669B2 (ja) * 1992-06-12 1996-07-10 永島医科器械株式会社 真空ポンプ
    JPH06287445A (ja) * 1993-03-30 1994-10-11 Toda Kogyo Corp ポリアミド系プラスチック磁石用材料
    JP3378335B2 (ja) * 1994-01-28 2003-02-17 板倉 剛 エアー・ポンプの弁装置
    JP2533940Y2 (ja) * 1994-03-31 1997-04-30 株式会社セブンリバー 逆流防止装置
    JP2999945B2 (ja) * 1995-06-28 2000-01-17 東製株式会社 ドライ式ピストン型真空ポンプ
    US5775886A (en) * 1996-08-08 1998-07-07 Terwilliger; Gerald L. Gas compressor with reciprocating piston with valve sheath
    DE19634517A1 (de) 1996-08-27 1998-03-05 Leybold Vakuum Gmbh Kolbenvakuumpumpe mit Auslaßventil
    JP3057426B2 (ja) * 1997-02-05 2000-06-26 株式会社マグエックス 軟質磁性シート
    US6019080A (en) * 1998-04-27 2000-02-01 Lagrone; John T. Ported piston
    DE19917009A1 (de) 1999-04-15 2000-10-19 Leybold Vakuum Gmbh Kolbenvakuumpumpe mit Gaseinlass und Gasauslass

    Patent Citations (3)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    US6120266A (en) * 1995-06-20 2000-09-19 Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap Piston mechanism with a flow passage through the piston
    US5921755A (en) * 1997-04-21 1999-07-13 Dry Vacuum Technologies, Inc. Dry vacuum pump
    US20020023449A1 (en) * 2000-01-12 2002-02-28 Park Kyeong Bae Valve fastening structure of reciprocating compressor

    Cited By (2)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    CN104033378A (zh) * 2014-06-19 2014-09-10 皖西学院 磁铁式柱塞泵
    CN104033378B (zh) * 2014-06-19 2015-12-30 皖西学院 磁铁式柱塞泵

    Also Published As

    Publication number Publication date
    US20040071574A1 (en) 2004-04-15
    JP4397664B2 (ja) 2010-01-13
    JP2004132371A (ja) 2004-04-30
    DE10247336A1 (de) 2004-04-22
    EP1408234B1 (de) 2006-11-22
    EP1408234B2 (de) 2010-08-25
    DE50305737D1 (de) 2007-01-04
    US7241120B2 (en) 2007-07-10

    Similar Documents

    Publication Publication Date Title
    DE3112434A1 (de) Druckluftgetriebene doppelmembran-pumpe
    WO2013045598A2 (de) Verdrängerpumpe und betriebsverfahren derselben
    EP0725898A1 (de) Kolben für kolbenverdichter für gasförmige medien
    DE19706066A1 (de) Kompressor, insbesondere für die Drucklufterzeugung in Kraftfahrzeugen
    DE4321013C5 (de) Gasverdichter
    EP1408234B1 (de) Vakuumpumpe
    EP2681453A2 (de) Vorrichtung und verfahren zur definierten längsverschiebung einer in einer antriebswelle mitdrehenden verstellvorrichtung
    EP0061706A1 (de) Druckluftgetriebene Doppelmembranpumpe
    DE3150033A1 (de) Vakuumpumpe mit einem saugstutzen-ventil und betriebsverfahren dafuer
    DE10392934T5 (de) Membranpumpe
    EP1764504A1 (de) Elektromagnetisch betreibbare Dosierpumpe
    WO2006108767A1 (de) Kältemittelverdichter
    DE3631408A1 (de) Axialkolbenpumpe
    DE2317357B2 (de)
    DE102008014340B4 (de) Fassfolgepumpe
    EP1046816B1 (de) Pumpeneinlassventil
    EP1864021A1 (de) Kältemittelkompressor
    DE2424046A1 (de) Hochdruckwasserpumpe
    AT412809B (de) Hochdruckkompressor, insbesondere für die befüllung von kartuschen für pistolen und sportgewehre
    EP1375919B1 (de) Kompressor, insbesondere für ein Kraftfahrzeug-Luftfedersystem
    DE10212551B4 (de) Vorrichtung zum Fördern von Fluiden angetrieben durch eine Brennkraftmaschine mit einem freifliegenden Stufenkolben
    DE3150976A1 (de) Druckluftgetriebene doppelmembranpumpe
    DE4006156C2 (de) Kolbenverdichter, insbesondere für die Drucklufterzeugung in Kraftfahrzeugen
    EP1998045A1 (de) Verdrängermaschine mit Koaxialventilanordnung
    EP1416158B1 (de) Pumpe mit Filter

    Legal Events

    Date Code Title Description
    PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

    AK Designated contracting states

    Kind code of ref document: A1

    Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

    AX Request for extension of the european patent

    Extension state: AL LT LV MK

    17P Request for examination filed

    Effective date: 20040921

    AKX Designation fees paid

    Designated state(s): CH DE FR GB IT LI NL

    17Q First examination report despatched

    Effective date: 20050112

    GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

    Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

    RTI1 Title (correction)

    Free format text: VACUUM PUMP

    GRAS Grant fee paid

    Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

    GRAA (expected) grant

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

    AK Designated contracting states

    Kind code of ref document: B1

    Designated state(s): CH DE FR GB IT LI NL

    PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: NL

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

    Effective date: 20061122

    REG Reference to a national code

    Ref country code: GB

    Ref legal event code: FG4D

    Free format text: NOT ENGLISH

    REG Reference to a national code

    Ref country code: CH

    Ref legal event code: EP

    REF Corresponds to:

    Ref document number: 50305737

    Country of ref document: DE

    Date of ref document: 20070104

    Kind code of ref document: P

    GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

    Effective date: 20070205

    NLV1 Nl: lapsed or annulled due to failure to fulfill the requirements of art. 29p and 29m of the patents act
    ET Fr: translation filed
    PLBI Opposition filed

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009260

    26 Opposition filed

    Opponent name: OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH

    Effective date: 20070803

    PLAX Notice of opposition and request to file observation + time limit sent

    Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNOBS2

    PLAF Information modified related to communication of a notice of opposition and request to file observations + time limit

    Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSCOBS2

    PLBB Reply of patent proprietor to notice(s) of opposition received

    Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNOBS3

    REG Reference to a national code

    Ref country code: CH

    Ref legal event code: PL

    PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: CH

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20071031

    Ref country code: LI

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20071031

    PUAH Patent maintained in amended form

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009272

    STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

    Free format text: STATUS: PATENT MAINTAINED AS AMENDED

    27A Patent maintained in amended form

    Effective date: 20100825

    AK Designated contracting states

    Kind code of ref document: B2

    Designated state(s): CH DE FR GB IT LI NL

    PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: FR

    Payment date: 20110916

    Year of fee payment: 9

    REG Reference to a national code

    Ref country code: FR

    Ref legal event code: ST

    Effective date: 20130628

    PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: FR

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20121031

    PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: GB

    Payment date: 20140924

    Year of fee payment: 12

    PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: DE

    Payment date: 20141024

    Year of fee payment: 12

    PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: IT

    Payment date: 20141028

    Year of fee payment: 12

    REG Reference to a national code

    Ref country code: DE

    Ref legal event code: R119

    Ref document number: 50305737

    Country of ref document: DE

    GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

    Effective date: 20151007

    PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: GB

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20151007

    Ref country code: IT

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20151007

    Ref country code: DE

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20160503