EP1380357A1 - Method and device for cleaning parts - Google Patents

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EP1380357A1
EP1380357A1 EP03014815A EP03014815A EP1380357A1 EP 1380357 A1 EP1380357 A1 EP 1380357A1 EP 03014815 A EP03014815 A EP 03014815A EP 03014815 A EP03014815 A EP 03014815A EP 1380357 A1 EP1380357 A1 EP 1380357A1
Authority
EP
European Patent Office
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basin
parts
cleaning
liquid
opening
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP03014815A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Alfred Kriebitz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dolinschek GmbH
Original Assignee
Dolinschek GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dolinschek GmbH filed Critical Dolinschek GmbH
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Publication of EP1380357A1 publication Critical patent/EP1380357A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto 
    • B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
    • B08B9/027—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto 
    • B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
    • B08B9/027—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
    • B08B9/032—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing
    • B08B9/0321—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing using pressurised, pulsating or purging fluid

Definitions

  • the invention relates to an apparatus and a method for Cleaning parts.
  • a device and a method for cleaning vacuum systems Such Vacuum systems come from various companies Vacuum processes are used in the manufacture of semiconductors. Such vacuum processes include CVD (chemical Vapor phase deposition) or plasma processes.
  • the parts of the Vacuum systems that are to be cleaned Pipelines consisting of pipes, elbows, seals and Fittings (e.g. valves) and parts of the vacuum pumps - (e.g. Turbo-molecular pump).
  • the parts and pipes used in these vacuum processes are all made of stainless steel. A very high requirement the purity of the parts that are between a vacuum chamber and the vacuum pump, and the cleanliness of the parts of the Vacuum pump provided.
  • these parts must be largely free of Solid particles, otherwise the vacuum pump will be damaged could be. On the other hand, the parts must also be dry, otherwise the required vacuum is not available or only with a very high one Time would be producible.
  • the parts of the vacuum systems are contaminated during operation.
  • the impurities mostly consist of substances that come from the gas phase have deposited and now the inner as a solid Surfaces of the vacuum lines and the surfaces of the Cover the vacuum pump. This contamination of the vacuum system can go so far that the lines are blocked or the Vacuum pump is so contaminated that it no longer delivers can.
  • the invention is based on the object a way to show parts, especially of Vacuum equipment to clean so that environmental pollution is as low as possible.
  • Another object of the invention is it, the parts with as little manual work as possible to clean.
  • the invention proposes in its most general Embodiment a device for cleaning the parts has a basin into which the parts to be cleaned are introduced become.
  • the pool has an opening through which to cleaning parts are brought into the pool and one Lid to seal the opening so that the basin can be completely filled with liquid.
  • the basin has at least one inlet opening through which liquid can be directed into the basin, and at least one Drainage opening in the lower area of the pelvis, over the Liquid can be led out of the basin.
  • the device has a pump for conveying Liquid, a first line, the at least one Connects the discharge opening with the suction end of the pump and a second line which is the pressure side end of the pump connects to the at least one supply opening.
  • the arrangement of the pump and the line is therefore selected such that Liquid during the operation of the device in a circle can be pumped.
  • the at least one discharge opening and the at least one supply opening are so on the pool attached that they face each other Areas of the pelvis.
  • An advantage of the device according to the invention is that Basin can be completely filled with liquid, and so can cover all parts to be cleaned. As a result of opposite arrangement of supply and discharge can the liquid through the entire pool past everyone pour cleaning parts. This makes it possible Completely contaminate even the interior of parts to replace or dissolve and also to dissipate.
  • the drain opening in the lower area of the pelvis has the advantage of being detached Solids that are heavier than the liquid to the bottom can sink and so during the operation of the device are continuously promoted from the pool. When draining the liquid at the end of a cleaning process can also all liquid together with lighter ones Solids are left out of the pool.
  • the basin has a elongated expansion and the at least one supply opening is located on a short side wall of the pelvis. That I a drainage opening in the lower area of the pool in one areas located opposite the supply opening, forms an im during operation of the device essential horizontal flow. Pipes to be cleaned or Hoses are advantageously arranged in the pool that this is essentially parallel to the long side of the pelvis lie and so of the cross flow of the cleaning liquid can be flowed through.
  • the device has one Drying gas inlet opening and a moist gas outlet opening, the opposite areas of the pelvis are attached and a blower, either for blowing in Drying gases or for extracting the wet gas.
  • drying gas inlet opening and The moist gas outlet opening is arranged opposite one another in this way are that during the drying process a gas flow from one Can train end of pool to others. It is advantageous if the flow direction of the gas during the Drying parallel to the direction of flow of the liquid while cleaning.
  • cleaning or drying Pipelines have the advantage that the pipes can also be dried inside. Even otherwise they can only very difficult to dry corrugated hoses, often in Vacuum systems are used, dried.
  • a heater for heating the drying gas, is provided.
  • At least one Ultrasonic oscillator provided that acoustically to the Outside wall (side wall or floor) of the pool is coupled. It You can also use multiple oscillators to do this to ultrasound the entire inside of the pool, or in order to optimize with the help of different frequencies To achieve cleaning results.
  • the use of Ultrasound brings the added benefit of being particles easier to detach from the surfaces of the parts to be cleaned, and be absorbed by the flowing liquid.
  • internals can be provided in the basin, which to cleaning parts during the cleaning process in one certain position.
  • cleaning pipes it makes sense to choose the arrangement of the internals so that the pipes held by the internals parallel to Flow direction of the liquid are kept.
  • the internals are arranged so that the pipes essentially horizontal with a slight downward slope in Towards the drain.
  • a rinsing step follows the cleaning step. This serves to displace the cleaning solution, which allows residue-free drying.
  • the method may also include a drying step in which drying air is passed through the pool. This has the advantage that the parts to be cleaned can be taken dry from the cleaning device immediately after cleaning and can thus be used again directly.
  • the procedure can take place while there is fluid in the pelvis the space above the liquid with negative pressure be charged. This can ensure that possibly harmful vapors uncontrolled from the pool could escape.
  • the method can also at least temporarily during the Apply ultrasonic cleaning step to the parts. This improves the cleaning effect.
  • liquid can flow through them inside. This will e.g. achieved by opening the pipes in the is essentially directed towards the liquid inlet opening.
  • the device according to the invention comprises a basin 1 with oblique Floor, with a sump 2, ultrasonic vibrating plates 3, one Media inlet 4, a media outlet 5 and a cover 6.
  • Das Basin is made of metal, advantageously stainless steel is chosen.
  • the ultrasonic oscillating plates 3 are on one longer side wall of the pool 2 attached. But it can also both longer side walls with ultrasonic vibrating plates be provided.
  • the sump 2 is used to collect detached Solids, which in turn are discharged via the media outlet 5 become.
  • the lid 6 closes the basin 1 open at the top, which forms a closed chamber.
  • the arrangement of media inlet 4 and media outlet 5 in opposite areas of the pool 1 flows Medium essentially horizontal from the inlet to the outlet.
  • the Bottom of the pool 1 falls slightly towards the swamp 2, which means the essentially horizontal flow direction in the lower area of the pelvis runs obliquely downwards.
  • Be in the swamp 2 Detached solids that are insoluble in the cleaning solution collected and discharged as sludge via the media outlet 5.
  • the internals 7, 71, 72 serve to hold those to be cleaned Parts.
  • the catch 71 which is formed on the element 7 or is welded, the cross strut 72 is attached. On this Cross strut can then be cleaned elongated parts P1 - here Pipes - to be placed.
  • Fig. 3 shows a section III - III (Fig. 1) of the basin 1 with a suspension device 74 for corrugated hoses P3 and the Wet air outlet 8b.
  • the moist air outlet 8b is simultaneous Vent.
  • the suspension device 74 has Recesses can be hooked into the corrugated hoses P3.
  • the vertical hanging of the corrugated hoses has the advantage that cleaning fluid from top to bottom through the Hoses flow, and detached contaminants down be carried out. In addition, liquid can easily soak up run down, which reduces the drying effort.
  • container 9 is e.g. Rinsing liquid (e.g. deionized water) and in the container 10 a cleaning solution (e.g. aqueous, basic solution containing various surfactants and ammonia).
  • a cleaning solution e.g. aqueous, basic solution containing various surfactants and ammonia.
  • the Filling takes place via the filter 12 and can optionally be carried out directly or take place via the heat exchanger 40.
  • the pelvis is vented via the vent 8b (FIG. 3), the escaping air via the exhaust air damper 31 of the exhaust air (Exhaust) is fed.
  • the circulation operation takes place, whereby the Liquid is supplied through the media outlet of the pump 11 and either directly or via the heat exchanger 40 in the Basin is headed. During the circulation operation ultrasound is applied to the pelvis.
  • the cleaning liquid is drained, these are either returned to the container 10 can, or is discarded via the drain 41. After that there is a rinsing step similar to the cleaning step Flushing liquid from the basin 9.
  • an acidic one can also be found in basin 9 Cleaning solution and in the basin 10 a basic Cleaning solution are presented. Dosing the Rinsing liquid (e.g. deionized water) can then be used directly via the feed line 22. For economic It makes sense if only the Rinse liquid is deionized water and for pre-rinsing normal domestic water is used.
  • the Rinsing liquid e.g. deionized water
  • drying air inlet 8a Fig. 2
  • Moist air outlet 8b Fig. 3

Abstract

A part cleaning unit comprises a tank (1) with a closable opening (6) for adding parts (P1,P2), which is then completely filled with cleaning fluid. Fluid inlet (4) and outlet (5) are at opposite ends of the tank and the fluid is circulated by means of a pump. An Independent claim is also included for a process using the above unit.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Reinigen von Teilen. Insbesondere betrifft es eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Reinigen von Vakuum-Anlagen. Solche Vakuum-Anlagen kommen unter anderem bei diversen Vakuumprozessen in der Herstellung von Halbleitern zum Einsatz. Derartige Vakuumprozesse umfassen CVD (Chemische Dampfphasenabscheidung) oder Plasma-Prozesse. Die Teile der Vakuum-Anlagen, die gereinigt werden sollen, sind Rohrleitungen, bestehend aus Rohren, Krümmern, Dichtungen und Armaturen (z.B. Ventile) und Teilen der Vakuumpumpen -(z.B. Turbo-Molekular-Pumpe).The invention relates to an apparatus and a method for Cleaning parts. In particular, it relates to a device and a method for cleaning vacuum systems. Such Vacuum systems come from various companies Vacuum processes are used in the manufacture of semiconductors. Such vacuum processes include CVD (chemical Vapor phase deposition) or plasma processes. The parts of the Vacuum systems that are to be cleaned Pipelines consisting of pipes, elbows, seals and Fittings (e.g. valves) and parts of the vacuum pumps - (e.g. Turbo-molecular pump).

Die bei diesen Vakuumprozessen eingesetzten Teilen und Rohre sind durchwegs aus Edelstahl. Eine sehr hohe Anforderung wird an die Reinheit der Teile, die sich zwischen einer Vakuumkammer und der Vakuumpumpe befinden, und an die Reinheit der Teile der Vakuumpumpe selbst gestellt.The parts and pipes used in these vacuum processes are all made of stainless steel. A very high requirement the purity of the parts that are between a vacuum chamber and the vacuum pump, and the cleanliness of the parts of the Vacuum pump provided.

Diese Teile müssen einerseits weitestgehend frei von Feststoffteilchen sein, da ansonsten die Vakuumpumpe beschädigt werden könnte. Andererseits müssen die Teile auch trocken sein, da sonst das erforderliche Vakuum nicht oder nur mit sehr hohem Zeitaufwand herstellbar wäre.On the one hand, these parts must be largely free of Solid particles, otherwise the vacuum pump will be damaged could be. On the other hand, the parts must also be dry, otherwise the required vacuum is not available or only with a very high one Time would be producible.

Die Teile der Vakuum-Anlagen, insbesondere die Rohrleitungen, werden während des Betriebes verunreinigt. Die Verunreinigungen bestehen meist aus Substanzen die sich aus der Gasphase abgeschieden haben und nun als Feststoff die inneren Oberflächen der Vakuum-Leitungen und die Oberflächen der Vakuumpumpe bedecken. Diese Verunreinigung der Vakuumanlage kann so weit gehen, dass die Leitungen verstopft sind, oder die Vakuumpumpe so verunreinigt ist, dass diese nicht mehr fördern kann. The parts of the vacuum systems, especially the pipelines, are contaminated during operation. The impurities mostly consist of substances that come from the gas phase have deposited and now the inner as a solid Surfaces of the vacuum lines and the surfaces of the Cover the vacuum pump. This contamination of the vacuum system can go so far that the lines are blocked or the Vacuum pump is so contaminated that it no longer delivers can.

Dem Problem der verunreinigten Vakuumanlagen wird auf unterschiedliche Weise begegnet. Die verunreinigten Teile werden durch neue Teile ersetzt. Dies bringt neben hohen Kosten der Neuteile auch ein erhebliches Entsorgungsproblem mit sich, da die in der Vakuumanlage abgeschiedenen Substanzen giftig, ätzend und auch lungengängig sein können.The problem of contaminated vacuum systems is addressed encountered different ways. The contaminated parts are replaced by new parts. In addition to high costs the new parts also have a significant disposal problem, since the substances separated in the vacuum system are toxic, can be caustic and also respirable.

Eine weitere bisherige Lösung ist, die Teile mit hohem Aufwand händisch zu spülen. Diese Verfahren sind sehr zeitaufwendig und für die durchführende Person gefährlich, da die verwendeten Spülmittel ätzend sind. Auch besteht die Gefahr des Einatmens der lungengängigen Substanzen. Außerdem fällt dabei eine hohe Menge an verschmutzter Reinigungslösung an, die speziell entsorgt werden muss. Ein weiteres Problem ist das anschließende Trocknen der Teile. Insbesondere sogenannte Wellschläuche lassen sich auf Grund der unzähligen Rillen nur sehr schwer trocknen. Zum Trocknen wurdendie Teile bisher in Öfen über längere Zeit erhitzt.Another previous solution is the parts with a lot of effort to rinse by hand. These procedures are very time consuming and dangerous for the person performing it, as the used ones Detergents are caustic. There is also a risk of inhalation of the respirable substances. In addition, a high falls Amount of dirty cleaning solution that is specific must be disposed of. Another problem is that then drying the parts. In particular so-called Corrugated hoses can only be due to the countless grooves very difficult to dry. The parts were previously dried in Ovens heated for a long time.

Die Verwendung von bekannten Teilereinigern wie z.B. Ultraschallbecken oder Geschirrspülmaschinen haben sich als nicht gut geeignet herausgestellt, da insbesondere die Innenbereiche der Teile (z.B. Innenflächen der Vakuumrohre) nur unzureichend gereinigt werden konnten.The use of known parts cleaners such as e.g. Ultrasonic basins or dishwashers have proven to be not well suited, because especially the Inner areas of the parts (e.g. inner surfaces of the vacuum tubes) only could not be cleaned sufficiently.

Dementsprechend liegt nun der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Möglichkeit aufzuzeigen, Teile, insbesondere von Vakuumanlagen, so zu reinigen, dass die Umweltbelastung möglichst gering ist. Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, die Teile mit möglichst geringem manuellen Arbeitsaufwand zu reinigen.Accordingly, the invention is based on the object a way to show parts, especially of Vacuum equipment to clean so that environmental pollution is as low as possible. Another object of the invention is it, the parts with as little manual work as possible to clean.

Danach schlägt die Erfindung in ihrer allgemeinsten Ausführungsform eine Vorrichtung zum Reinigen von Teilen die ein Becken besitzt, in das die zu reinigenden Teile eingebracht werden. Das Becken besitzt eine Öffnung über die die zu reinigenden Teile in das Becken eingebracht werden und einen Deckel zum dichten Verschließen der Öffnung, sodass das Becken vollständig mit Flüssigkeit befüllt werden kann. Das Becken besitzt mindestens eine Zuleitungsöffnung, über die Flüssigkeit in das Becken geleitet werden kann, und mindestens eine Ableitungsöffnung im unteren Bereich des Beckens, über die Flüssigkeit aus dem Becken geleitet werden kann. Weiters besitzt die Vorrichtung eine Pumpe zur Förderung von Flüssigkeit, eine erste Leitung, die die mindestens eine Ableitungsöffnung mit dem saugseitigen Ende der Pumpe verbindet und eine zweite Leitung, die das druckseitige Ende der Pumpe mit der mindestens einen Zuleitungsöffnung verbindet. Die Anordnung von Pumpe und Leitung ist somit so gewählt, dass Flüssigkeit während des Betriebes der Vorrichtung im Kreis gepumpt werden kann. Die mindestens eine Ableitungsöffnung und die mindestens eine Zuleitungsöffnung sind am Becken so angebracht, dass sie sich in jeweils gegenüberliegenden Bereichen des Beckens befinden.After that, the invention proposes in its most general Embodiment a device for cleaning the parts has a basin into which the parts to be cleaned are introduced become. The pool has an opening through which to cleaning parts are brought into the pool and one Lid to seal the opening so that the basin can be completely filled with liquid. The basin has at least one inlet opening through which liquid can be directed into the basin, and at least one Drainage opening in the lower area of the pelvis, over the Liquid can be led out of the basin. Furthermore, the device has a pump for conveying Liquid, a first line, the at least one Connects the discharge opening with the suction end of the pump and a second line which is the pressure side end of the pump connects to the at least one supply opening. The The arrangement of the pump and the line is therefore selected such that Liquid during the operation of the device in a circle can be pumped. The at least one discharge opening and the at least one supply opening are so on the pool attached that they face each other Areas of the pelvis.

Ein Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist es, dass das Becken vollständig mit Flüssigkeit gefüllt werden kann, und so alle zu reinigenden Teile bedecken kann. Infolge der gegenüberliegenden Anordnung von Zuleitung und Ableitung kann die Flüssigkeit durch das gesamte Becken vorbei an allen zu reinigenden Teilen strömen. Es ist dadurch möglich die Verunreinigungen auch von Innenbereichen von Teilen vollständig ab- bzw. aufzulösen und auch abzuführen. Die Ableitungsöffnung im unteren Bereich des Beckens hat den Vorteil, das abgelöste Feststoffe, die schwerer als die Flüssigkeit sind, zu Boden sinken können und so während des Betriebes der Vorrichtung kontinuierlich aus dem Becken gefördert werden. Bei Ablassen der Flüssigkeit am Ende eines Reinigungsvorganges kann auch die gesamte Flüssigkeit eventuell gemeinsam mit leichteren Feststoffen aus dem Becken gelassen werden.An advantage of the device according to the invention is that Basin can be completely filled with liquid, and so can cover all parts to be cleaned. As a result of opposite arrangement of supply and discharge can the liquid through the entire pool past everyone pour cleaning parts. This makes it possible Completely contaminate even the interior of parts to replace or dissolve and also to dissipate. The drain opening in the lower area of the pelvis has the advantage of being detached Solids that are heavier than the liquid to the bottom can sink and so during the operation of the device are continuously promoted from the pool. When draining the liquid at the end of a cleaning process can also all liquid together with lighter ones Solids are left out of the pool.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsform hat das Becken eine längliche Ausdehnung und die mindestens eine Zuleitungsöffnung befindet sich an einer kurzen Seitenwand des Beckens. Da sich eine Ableitungsöffnung im unteren Bereich des Beckens in einem der Zuleitungsöffnung gegenüberliegenden Bereiche befindet, bildet sich während des Betriebes der Vorrichtung eine im wesentlichen waagrechte Strömung aus. Zu reinigende Rohre oder Schläuche werden vorteilhafterweise so im Becken arrangiert, dass diese im wesentlichen parallel zur Längsseite des Beckens liegen und so von der Querströmung der Reinigungsflüssigkeit durchströmt werden können.In an advantageous embodiment, the basin has a elongated expansion and the at least one supply opening is located on a short side wall of the pelvis. That I a drainage opening in the lower area of the pool in one areas located opposite the supply opening, forms an im during operation of the device essential horizontal flow. Pipes to be cleaned or Hoses are advantageously arranged in the pool that this is essentially parallel to the long side of the pelvis lie and so of the cross flow of the cleaning liquid can be flowed through.

Bei einer Ausführungsform besitzt die Vorrichtung eine Trocknungsgaseinlassöffnung und einer Feuchtgasauslassöffnung, die in einander gegenüberliegenden Bereichen des Beckens angebracht sind und ein Gebläse, entweder zum Einblasen der Trockungsgase oder zum Absaugen des Feuchtgases. Hier ist es vorteilhaft, wenn Trocknungsgaseinlassöffnung und Feuchtgasauslassöffnung derart einander gegenüber angeordnet sind, dass sich während des Trocknens ein Gasstrom vom einen Ende des Beckens zu anderen ausbilden kann. Dabei ist es vorteilhaft, wenn die Strömungsrichtung des Gases während des Trocknens parallel zur Strömungsrichtung der Flüssigkeit während des Reinigens ist. Beim Reinigen bzw. Trocknen von Rohrleitungen ergibt sich dadurch der Vorteil, dass die Rohre auch innen getrocknet werden. Es können sogar die sonst nur sehr schwer zu trocknenden Wellschläuche, die häufig in Vakuumanlagen Verwendung finden, getrocknet werden. Vorteilhaft ist wenn eine Heizung, zum Erwärmen des Trocknungsgases, vorgesehen ist. In one embodiment, the device has one Drying gas inlet opening and a moist gas outlet opening, the opposite areas of the pelvis are attached and a blower, either for blowing in Drying gases or for extracting the wet gas. Here it is advantageous if drying gas inlet opening and The moist gas outlet opening is arranged opposite one another in this way are that during the drying process a gas flow from one Can train end of pool to others. It is advantageous if the flow direction of the gas during the Drying parallel to the direction of flow of the liquid while cleaning. When cleaning or drying Pipelines have the advantage that the pipes can also be dried inside. Even otherwise they can only very difficult to dry corrugated hoses, often in Vacuum systems are used, dried. Advantageous is when a heater, for heating the drying gas, is provided.

Bei einer weiteren Ausführungsform ist mindestens ein Ultraschalloszillator vorgesehen, der akustisch an die Außenwand (Seitenwand oder Boden) des Beckens gekoppelt ist. Es können auch mehrere Oszillatoren verwendet werden, um das gesamte Innere des Beckens mit Ultraschall zu beaufschlagen, oder um mit Hilfe von verschiedenen Frequenzen optimale Reinigungsergebnisse zu erzielen. Die Verwendung von Ultraschall bringt den zusätzlichen Vorteil, dass sich Partikel leichter von den Oberflächen der zu reinigenden Teile lösen, und durch die vorbeiströmende Flüssigkeit aufgenommen werden.In a further embodiment, at least one Ultrasonic oscillator provided that acoustically to the Outside wall (side wall or floor) of the pool is coupled. It You can also use multiple oscillators to do this to ultrasound the entire inside of the pool, or in order to optimize with the help of different frequencies To achieve cleaning results. The use of Ultrasound brings the added benefit of being particles easier to detach from the surfaces of the parts to be cleaned, and be absorbed by the flowing liquid.

Weiters können im Becken Einbauten vorgesehen sein, die die zu reinigenden Teile während des Reinigungsvorganges in einer bestimmten Lage halten können. Bei der Reinigung von Rohren ist es dabei sinnvoll, die Anordnung der Einbauten so zu wählen, dass die von den Einbauten gehaltenen Rohre parallel zur Strömungsrichtung der Flüssigkeit gehalten werden. Vorteilhaft ist es, wenn die Einbauten so angeordnet sind, dass die Rohre im wesentlichen waagrecht mit leichter Abwärtsneigung in Richtung Abfluss gehalten werden.Furthermore, internals can be provided in the basin, which to cleaning parts during the cleaning process in one certain position. When cleaning pipes is it makes sense to choose the arrangement of the internals so that the pipes held by the internals parallel to Flow direction of the liquid are kept. Advantageous it is when the internals are arranged so that the pipes essentially horizontal with a slight downward slope in Towards the drain.

Das zugehörige Verfahren zum Reinigen von Teilen besteht aus den folgenden Schritten:

  • Einbringen der Teile in ein oben offenes Becken und dichtes Verschließen des Beckens mit einem Deckel
  • ein Vorspülschritt bestehend aus Fluten des Beckens mit Spülflüssigkeit, sodass die Teile vollständig bedeckt sind, Spülen der Teile, wobei die Spülflüssigkeit im Kreis gepumpt wird und in zumindest einem Teilbereich des Beckens die Strömung waagrecht verläuft und anschließendes Ablassen der Spülflüssigkeit
  • einem Reinigungsschritt bestehend aus Fluten des Beckens mit einer Reinigungsflüssigkeit, die von der Spülflüssigkeit verschieden ist, Reinigen der Teile, wobei die Reinigungsflüssigkeit im Kreis gepumpt wird und in zumindest einem Teilbereich des Beckens die Strömung im wesentlichen waagrecht verläuft und anschließendes Ablassen der Reinigungsflüssigkeit.
The associated procedure for cleaning parts consists of the following steps:
  • Place the parts in an open basin and close the basin tightly with a lid
  • a pre-rinsing step consisting of flooding the basin with rinsing liquid so that the parts are completely covered, rinsing the parts, the rinsing liquid being pumped in a circle and the flow running horizontally in at least a partial region of the basin, and then draining off the rinsing liquid
  • a cleaning step consisting of flooding the basin with a cleaning liquid that is different from the rinsing liquid, cleaning the parts, the cleaning liquid being pumped in a circle and in at least a partial area of the basin the flow being essentially horizontal and then draining off the cleaning liquid.

In einer Ausführungsform des Verfahren folgt nach dem Reinigungsschritt ein Spülschritt. Dies dient dem Verdrängen der Reinigungslösung, wodurch ein rückstandsfreies Trocknen erfolgen kann.
Das Verfahren kann auch einen Trocknungsschritt umfassen, bei dem Trocknungsluft durch das Becken geleitet wird. Dies hat den Vorteil, dass die zu reinigenden Teile unmittelbar nach der Reinigung trocken aus der Reinigungsvorrichtung genommen werden können und so wieder direkt ihrer Verwendung zugeführt werden können.In one embodiment of the method, a rinsing step follows the cleaning step. This serves to displace the cleaning solution, which allows residue-free drying.
The method may also include a drying step in which drying air is passed through the pool. This has the advantage that the parts to be cleaned can be taken dry from the cleaning device immediately after cleaning and can thus be used again directly.

Bei dem Verfahren kann, während sich Flüssigkeit im Becken befindet, der Raum oberhalb der Flüssigkeit mit Unterdruck beaufschlagt werden. Dadurch kann sichergestellt werden, dass eventuell schädliche Dämpfe unkontrolliert aus dem Becken entweichen könnten.The procedure can take place while there is fluid in the pelvis the space above the liquid with negative pressure be charged. This can ensure that possibly harmful vapors uncontrolled from the pool could escape.

Auch kann bei dem Verfahren zumindest zeitweise während des Reinigungsschrittes Ultraschall auf die Teile einwirken. Dies verbessert die Reinigungswirkung.The method can also at least temporarily during the Apply ultrasonic cleaning step to the parts. This improves the cleaning effect.

Bei einem Verfahren, bei dem zu reinigende längliche Teile gereinigt werden, können diese im wesentlichen waagrecht mit leichter Abwärtsneigung in Richtung Abfluss gehalten werden. Dadurch wird ermöglicht, dass Flüssigkeit leichter von den Teile abrinnt und zwar gezielt in Richtung des Abflusses.In a process in which elongated parts to be cleaned can be cleaned, they can be cleaned essentially horizontally slight downward slope towards the drain. This allows fluid to flow more easily from the Parts runs down and specifically in the direction of the drain.

Wenn die zu reinigenden Teile hohl sind (Rohre oder Schläuche), können diese innen gezielt von Flüssigkeit durchströmt werden. Dies wird z.B. dadurch erreicht, dass eine Öffnung der Rohre im wesentlichen auf die Flüssigkeitseinlassöffnung gerichtet ist. If the parts to be cleaned are hollow (pipes or hoses), liquid can flow through them inside. This will e.g. achieved by opening the pipes in the is essentially directed towards the liquid inlet opening.

Dies verbessert das Reinigungsergebnis innen verschmutzter Rohren sehr stark.This improves the cleaning result inside soiled Pipes very strong.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung der in den Zeichnungen gezeigten Ausführungsbeispiele der Erfindung.

  • Fig. 1 zeigt ein Beispiel für den Aufbau einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.
  • Fig. 2 zeigt einen Schnitt II - II (Fig. 1) des Beckens 1 mit der Rohraufnahme 7 und der Trocknungslufteinlass 8a.
  • Fig. 3 zeigt einen Schnitt III - III (Fig. 1) des Beckens 1.
  • Fig. 4 zeigt ein Fließschema einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
    • Further details, features and advantages of the invention result from the following description of the exemplary embodiments of the invention shown in the drawings.
  • 1 shows an example of the construction of a device according to the invention.
  • Fig. 2 shows a section II - II (Fig. 1) of the basin 1 with the pipe receptacle 7 and the drying air inlet 8a.
  • 3 shows a section III-III (FIG. 1) of the basin 1.
  • 4 shows a flow diagram of an embodiment of the device according to the invention.

    • Das in den Figuren 1, 2 gezeigte Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung umfasst ein Becken 1 mit schrägem Boden, mit einem Sumpf 2, Ultraschallschwingplatten 3, einem Medienzulauf 4, einem Medienablauf 5 und einem Deckel 6. Das Becken ist aus Metall, wobei vorteilhafterweise Edelstahl gewählt wird. Die Ultraschallschwingplatten 3 sind an einer längeren Seitenwand des Beckens 2 angebracht. Es können aber auch beide längeren Seitenwände mit Ultraschallschwingplatten versehen sein. Der Sumpf 2 dient dem Sammeln von abgelösten Feststoffen, die wiederum über den Medienablauf 5 ausgetragen werden. Der Deckel 6 verschließt das oben offene Becken 1, wodurch sich eine geschlossene Kammer ausbildet.The example shown in Figures 1, 2 The device according to the invention comprises a basin 1 with oblique Floor, with a sump 2, ultrasonic vibrating plates 3, one Media inlet 4, a media outlet 5 and a cover 6. Das Basin is made of metal, advantageously stainless steel is chosen. The ultrasonic oscillating plates 3 are on one longer side wall of the pool 2 attached. But it can also both longer side walls with ultrasonic vibrating plates be provided. The sump 2 is used to collect detached Solids, which in turn are discharged via the media outlet 5 become. The lid 6 closes the basin 1 open at the top, which forms a closed chamber.

    Durch die Anordnung von Medienzulauf 4 und Medienablauf 5 in einander gegenüber liegenden Bereichen des Beckens 1 fließt Medium im wesentlichen waagrecht vom Zulauf zum Ablauf. Der Boden des Beckens 1 fällt zum Sumpf 2 hin leicht ab, wodurch die im wesentlichen waagrechte Fließrichtung im unteren Bereich des Beckens schräg nach unten verläuft. Im Sumpf 2 werden abgelöste, jedoch in der Reinigungslösung unlösliche Feststoffe gesammelt und über den Medienablauf 5 als Schlamm ausgetragen. Die Einbauten 7, 71, 72 dienen dem Halten der zu reinigenden Teile. Auf der Raste 71, die auf dem Element 7 angeformt oder angeschweißt ist, wird die Querstrebe 72 angebracht. Auf dieser Querstrebe können dann zu reinigende längliche Teile P1 - hier Rohre - aufgelegt werden. Beim Beladen des Beckens 1 mit zu reinigenden Rohren P1 werden nach und nach die Querstreben 72 auf die Rasten 71 gelegt und darauf die Rohre P1. Die Rohre P1 liegen daher in der Richtung in der die Reinigungsflüssigkeit strömt, wodurch die Reinigungsflüssigkeit auch durch das Innere der Rohre fließt. Zusätzlich können Kleinteile P2 in einem zweiten Bereich des Beckens eingebracht werden. Zu diesem Zweck kann der Sumpf 2 von dem Raum in dem die zu reinigenden Teile eingebracht werden durch ein Gitter 73 getrennt werden.The arrangement of media inlet 4 and media outlet 5 in opposite areas of the pool 1 flows Medium essentially horizontal from the inlet to the outlet. The Bottom of the pool 1 falls slightly towards the swamp 2, which means the essentially horizontal flow direction in the lower area of the pelvis runs obliquely downwards. Be in the swamp 2 Detached solids that are insoluble in the cleaning solution collected and discharged as sludge via the media outlet 5. The internals 7, 71, 72 serve to hold those to be cleaned Parts. On the catch 71, which is formed on the element 7 or is welded, the cross strut 72 is attached. On this Cross strut can then be cleaned elongated parts P1 - here Pipes - to be placed. When loading the pool 1 with too cleaning tubes P1 gradually become the cross struts 72 placed on the catches 71 and then the pipes P1. The pipes P1 are therefore in the direction in which the cleaning liquid flows through which the cleaning liquid also flows through the interior the pipes are flowing. In addition, small parts can be P2 in one second area of the pelvis. To this end can the swamp 2 of the room in which the parts to be cleaned are introduced by a grid 73 are separated.

    Fig. 3 zeigt einen Schnitt III - III (Fig. 1) des Beckens 1 mit einer Einhängevorrichtung 74 für Wellschläuche P3 und der Feuchtluftauslass 8b. Der Feuchtluftauslass 8b ist gleichzeitig Entlüftungsöffnung. Die Einhängevorrichtung 74 besitzt Ausnehmungen in die Wellschläuche P3 eingehängt werden können. Das senkrechte Hängen der Wellschläuche bringt den Vorteil, dass Reinigungsflüssigkeit von oben nach unten durch die Schläuche strömt, und abgelöste Verunreinigungen nach unten ausgetragen werden. Außerdem kann Flüssigkeit so leicht nach unten abrinnen, was den Trocknungsaufwand verringert.Fig. 3 shows a section III - III (Fig. 1) of the basin 1 with a suspension device 74 for corrugated hoses P3 and the Wet air outlet 8b. The moist air outlet 8b is simultaneous Vent. The suspension device 74 has Recesses can be hooked into the corrugated hoses P3. The vertical hanging of the corrugated hoses has the advantage that cleaning fluid from top to bottom through the Hoses flow, and detached contaminants down be carried out. In addition, liquid can easily soak up run down, which reduces the drying effort.

    Anhand des Fließschemas aus Fig. 4 soll nun ein vorteilhaftes Reinigungsverfahren näher erläutert werden.Based on the flow diagram from FIG. 4, an advantageous one is now to be shown Cleaning procedures are explained in more detail.

    Zuerst wird das Becken 1 mit flüssigem, vorgeheiztem Medium aus dem Behälter 9 oder 10 über die Pumpe 11 befüllt, weshalb die Ventile 13 bzw. 14 entsprechend geöffnet werden. Im Behälter 9 befindet sich z.B. Spülflüssigkeit (z.B. entionisiertes Wasser) und im Behälter 10 eine Reinigungslösung (z.B. wässrige, basische Lösung, die diverse Tenside und Ammoniak enthält). Die Befüllung erfolgt über den Filter 12 und kann wahlweise direkt oder über den Wärmetauscher 40 erfolgen. Während der Befüllung wird das Becken über die Entlüftung 8b (Fig. 3) entlüftet, wobei die entweichende Luft über die Abluftklappe 31 der Abluft (Exhaust) zugeführt wird.First, the basin 1 with liquid, preheated medium the container 9 or 10 filled via the pump 11, which is why the Valves 13 and 14 are opened accordingly. In container 9 is e.g. Rinsing liquid (e.g. deionized water) and in the container 10 a cleaning solution (e.g. aqueous, basic solution containing various surfactants and ammonia). The Filling takes place via the filter 12 and can optionally be carried out directly or take place via the heat exchanger 40. During the filling the pelvis is vented via the vent 8b (FIG. 3), the escaping air via the exhaust air damper 31 of the exhaust air (Exhaust) is fed.

    Nach Befüllung erfolgt der Zirkulationsbetrieb, wobei die Flüssigkeit durch den Medienablauf der Pumpe 11 zugeführt wird und wahlweise direkt oder über den Wärmetauscher 40 in das Becken geleitet wird. Während des Zirkulationsbetriebes wird das Becken mit Ultraschall beaufschlagt.After filling, the circulation operation takes place, whereby the Liquid is supplied through the media outlet of the pump 11 and either directly or via the heat exchanger 40 in the Basin is headed. During the circulation operation ultrasound is applied to the pelvis.

    Nach einer vorbestimmten Reinigungsphase (im Zirkulationsbetrieb) wird die Reinigungsflüssigkeit abgelassen, wobei diese entweder in den Behälter 10 zurückgeführt werden kann, oder über den Abfluss (Drain) 41 verworfen wird. Danach erfolgt ein Spülschritt ähnlich dem Reinigungsschritt mit Spülflüssigkeit aus dem Becken 9.After a predetermined cleaning phase (in Circulation mode) the cleaning liquid is drained, these are either returned to the container 10 can, or is discarded via the drain 41. After that there is a rinsing step similar to the cleaning step Flushing liquid from the basin 9.

    Wahlweise kann aber auch im Becken 9 eine saure Reinigungslösung und im Becken 10 eine basische Reinigungslösung vorgelegt werden. Das Dosieren der Spülflüssigkeit (z.B. entionisiertes Wasser) kann dann direkt über die Zuleitung 22 erfolgen. Aus wirtschaftlichen Gesichtspunkten ist es sinnvoll, wenn lediglich die Nachspülflüssigkeit entionisiertes Wasser ist und zum Vorspülen normales Brauchwasser verwendet wird.Alternatively, an acidic one can also be found in basin 9 Cleaning solution and in the basin 10 a basic Cleaning solution are presented. Dosing the Rinsing liquid (e.g. deionized water) can then be used directly via the feed line 22. For economic It makes sense if only the Rinse liquid is deionized water and for pre-rinsing normal domestic water is used.

    Auf das Ablassen der Nachspülflüssigkeit folgend wird Trocknungsluft über das Gebläse 29 und den Lufterhitzer 30 durch den Trocknungslufteinlass 8a in das Becken geblasen. Die mit Feuchtigkeit angereicherte Luft wird über den Feuchtluftauslass 8b (Fig. 3) und Abluftklappe 31 der Abluft zugeführt. Dadurch dass Trocknungslufteinlass 8a (Fig. 2) und Feuchtluftauslass 8b (Fig. 3) im Becken einander gegenüber liegen, erfolgt auch beim Trocknen eine Strömung, die im wesentlichen waagrecht erfolgt, und somit wird Trocknungsluft auch durch die Rohre P1 geblasen. Im Bereich der senkrecht hängenden Wellschläuche P3 (Fig. 3) werden die Wellschläuche von außen erhitzt, wodurch die innen befindliche Feuchtluft durch Konvektion nach oben steigt und unten durch Trockenluft ersetzt wird. Auch hier erfolgt demnach eine Durchströmung der Teile.Following the draining of the rinse liquid Drying air via the blower 29 and the air heater 30 blown into the basin through the drying air inlet 8a. The air enriched with moisture is Wet air outlet 8b (Fig. 3) and exhaust air damper 31 of the exhaust air fed. The fact that drying air inlet 8a (Fig. 2) and Moist air outlet 8b (Fig. 3) in the pool opposite each other lie, there is also a flow during drying, which in the takes place essentially horizontally, and thus becomes drying air also blown through the pipes P1. In the area of the vertical hanging corrugated hoses P3 (Fig. 3) become the corrugated hoses heated from the outside, causing the moist air inside rising by convection and dry air below is replaced. Accordingly, there is also a flow through the Parts.

    Claims (17)

    Vorrichtung zum Reinigen von Teilen, bestehend 1.1 aus einem Becken (1), in das die zu reinigenden Teile eingebracht werden, mit einer Öffnung, über die die zu reinigenden Teile in das Becken eingebracht werden, und mit einem Deckel (6) für das Becken (1) zum dichten Verschließen der Öffnung, sodass das Becken(1) vollständig mit Flüssigkeit befüllt werden kann, wobei das Becken(1) mindestens eine Zuleitungsöffnung (4) besitzt, über die Flüssigkeit in das Becken (1) geleitet werden kann, und mindestens eine Ableitungsöffnung (5) im unteren Bereich des Beckens (1) besitzt, über die Flüssigkeit aus dem Becken geleitet werden kann 1.2 eine Pumpe (11) zur Förderung von Flüssigkeit, eine erste Leitung, die die mindestens eine Ableitungsöffnung (5) mit dem saugseitigen Ende der Pumpe verbindet und eine zweite Leitung, die das druckseitige Ende der Pumpe mit der mindestens einen Zuleitungsöffnung (4) verbindet 1.3 die mindestens eine Ableitungsöffnung (5) und die mindestens eine Zuleitungsöffnung (4) sind am Becken so angebracht, dass sie sich in jeweils gegenüberliegenden Bereichen des Beckens befinden. Device for cleaning parts, consisting of 1.1 from a basin (1) into which the parts to be cleaned are introduced, with an opening through which the parts to be cleaned are introduced into the basin, and with a lid (6) for the basin (1) for tightly closing the Opening so that the basin (1) can be completely filled with liquid, the basin (1) having at least one supply opening (4) through which liquid can be guided into the basin (1), and at least one discharge opening (5) in the has lower area of the basin (1), through which liquid can be led out of the basin 1.2 a pump (11) for conveying liquid, a first line which connects the at least one discharge opening (5) to the suction end of the pump and a second line which connects the pressure end of the pump to the at least one supply opening (4) 1.3 the at least one discharge opening (5) and the at least one supply opening (4) are attached to the basin in such a way that they are located in opposite areas of the basin. Vorrichtung nach Anspruch 1 wobei das Becken (1) eine längliche Ausdehnung hat und sich die mindestens eine Zuleitungsöffnung (4) an einer kurzen Seitenwand des Beckens befindet.Device according to claim 1, wherein the basin (1) is a has elongated extension and the at least one Supply opening (4) on a short side wall of the Beckens located. Vorrichtung nach Anspruch 1 mit einer Trocknungsgaseinlassöffnung (8a) und einer Feuchtgasauslassöffnung (8b), die in einander gegenüberliegenden Bereichen des Beckens (1) angebracht sind und ein Gebläse (29) entweder zum Einblasen der Trocknungsgases oder zum Absaugen des Feuchtgases. Device according to claim 1 with a Drying gas inlet opening (8a) and one Damp gas outlet opening (8b), which are in each other opposite areas of the basin (1) are attached and a blower (29) for either blowing the Drying gas or to extract the wet gas. Vorrichtung nach Anspruch 3 mit einer Heizung (30), zum Erwärmen des Trocknungsgases.Apparatus according to claim 3 with a heater (30) for Heating the drying gas. Vorrichtung nach Anspruch 1 mit mindestens einem Ultraschalloszillator (3), der akustisch an die Außenwand des Beckens gekoppelt sind.Apparatus according to claim 1 with at least one Ultrasonic oscillator (3) that acoustically on the outer wall of the pelvis are coupled. Vorrichtung nach Anspruch 1 wobei Einbauten (7, 71, 72, 73, 74) im Becken vorgesehen sind, die die zu reinigenden Teile während des Reinigungsvorganges in einer bestimmten Lage halten können.Device according to claim 1, wherein internals (7, 71, 72, 73, 74) are provided in the basin, which are the parts to be cleaned in a certain position during the cleaning process can hold. Vorrichtung nach Anspruch 1 bei der das Becken aus zumindest zwei Teilbereichen besteht, wobei der erste Teilbereich, in dem sich die Zuleitungsöffnung (4) befindet, weniger tief ist als der zweite Teilbereich, in dem sich die Ableitungsöffnung (5) befindet.Device according to claim 1, in which the basin consists of at least consists of two sections, the first section, in the supply opening (4) is less deep is the second sub-area in which the Discharge opening (5) is located. Vorrichtung nach Anspruch 6 bei dem Einbauten (7, 71, 72) zumindest in einem Teilbereich so angebracht sind, dass zu reinigende längliche Teile im wesentlichen waagrecht liegen.Apparatus according to claim 6 in the internals (7, 71, 72) are attached at least in a partial area in such a way that cleaning elongated parts are essentially horizontal. Vorrichtung nach Anspruch 1 mit einem Feststoffabscheider (12), der in der Leitung zwischen Ableitungsöffnung und Zuleitungsöffnung eingebracht ist.Apparatus according to claim 1 with a solids separator (12), which is in the line between the discharge opening and Supply opening is introduced. Vorrichtung nach Anspruch 1 mit einem Sumpf (2) im Bereich der Ableitungsöffnung.Device according to claim 1 with a sump (2) in the area the discharge opening. Verfahren zum Reinigen von Teilen bestehend aus den folgenden Schritten 11.1 Einbringen der Teile in einem oben offenen Becken und dichtes Verschließen des Beckens mit einem Deckel 11.2 ein Vorspülschritt bestehend aus Fluten des Beckens mit Spülflüssigkeit, sodass die Teile vollständig bedeckt sind, Spülen der Teile, wobei die Spülflüssigkeit im Kreis gepumpt wird und in zumindest einem Teilbereich des Beckens die Strömung im wesentlichen waagrecht verläuft und anschließendes Ablassen der Spülflüssigkeit 11.3 einem Reinigungsschritt bestehend aus Fluten des Beckens mit einer Reinigungsflüssigkeit, die von der Spülflüssigkeit verschieden ist, Reinigen der Teile, wobei die Reinigungsflüssigkeit im Kreis gepumpt wird und in zumindest einem Teilbereich des Beckens die Strömung im wesentlichen waagrecht verläuft und anschließendes Ablassen der Reinigungsflüssigkeit. Process for cleaning parts consisting of the following steps 11.1 Place the parts in an open basin and close the basin tightly with a lid 11.2 a pre-rinsing step consisting of flooding the basin with rinsing liquid so that the parts are completely covered, rinsing the parts, the rinsing liquid being pumped in a circle and in at least a partial area of the basin the flow being essentially horizontal and then draining off the rinsing liquid 11.3 a cleaning step consisting of flooding the basin with a cleaning liquid that is different from the rinsing liquid, cleaning the parts, the cleaning liquid being pumped in a circle and in at least a partial area of the basin the flow being essentially horizontal and then draining off the cleaning liquid. Verfahren zum Reinigen von Teilen nach Anspruch 11 wobei nach dem Reinigungsschritt ein Spülschritt folgt.A method of cleaning parts according to claim 11 wherein a rinsing step follows the cleaning step. Verfahren zum Reinigen von Teilen nach Anspruch 11 mit einem Trocknungsschritt, bei dem Trocknungsluft durch das Becken geleitet wird.A method of cleaning parts according to claim 11 a drying step in which drying air through the Pool is headed. Verfahren zum Reinigen von Teilen nach Anspruch 11 bei dem, während sich Flüssigkeit im Becken befindet, der Raum oberhalb der Flüssigkeit mit Unterdruck beaufschlagt wird.A method of cleaning parts according to claim 11 which, while there is liquid in the pool, the room vacuum is applied above the liquid. Verfahren zum Reinigen von Teilen nach Anspruch 11 wobei zumindest zeitweise während des Reinigungsschrittes Ultraschall auf die Teile einwirkt.A method of cleaning parts according to claim 11 wherein at least temporarily during the cleaning step Ultrasound acts on the parts. Verfahren zum Reinigen von Teilen nach Anspruch 11 bei dem zu reinigende längliche Teile im wesentlichen waagrecht mit leichter Abwärtsneigung in Richtung Abfluss gehalten werden.A method of cleaning parts according to claim 11 in which Elongated parts to be cleaned essentially horizontally slight downward slope towards the drain. Verfahren zum Reinigen von Teilen nach Anspruch 11 wobei die Teile hohl sind, und diese innen von Flüssigkeit durchströmt werden.A method of cleaning parts according to claim 11 wherein the parts are hollow, and these inside of liquid be flowed through.
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