EP1331064B1 - Verfahren zur Herstellung eines Schleifwerkzeuges mit galvanisch gebundenen Schleifkörpern - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Schleifwerkzeuges mit galvanisch gebundenen Schleifkörpern Download PDF

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EP1331064B1
EP1331064B1 EP02001777A EP02001777A EP1331064B1 EP 1331064 B1 EP1331064 B1 EP 1331064B1 EP 02001777 A EP02001777 A EP 02001777A EP 02001777 A EP02001777 A EP 02001777A EP 1331064 B1 EP1331064 B1 EP 1331064B1
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Dietmar Barden
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Wendt GmbH
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D7/00Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
    • B24D7/02Wheels in one piece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D18/00Manufacture of grinding tools or other grinding devices, e.g. wheels, not otherwise provided for
    • B24D18/0018Manufacture of grinding tools or other grinding devices, e.g. wheels, not otherwise provided for by electrolytic deposition
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D5/00Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor
    • B24D5/02Wheels in one piece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D2203/00Tool surfaces formed with a pattern

Definitions

  • the invention relates to a method for producing a grinding tool with galvanically bonded grinding bodies.
  • abrasive bodies such as CBN, diamond, sapphire or their substitutes in a so-called grain sump
  • the abrasive particles are deposited disorderly on the surface of the tool body and are then galvanically fixed.
  • the most homogeneous possible distribution and concentration of abrasive particles is aimed at by several work steps that improve the population density. It will be free-lying areas, z. B. specifically refilled by pipette, which is both time-consuming and costly.
  • the disadvantage here is that on the one hand a determination of the distribution and the concentration of the abrasive body is possible only with great manual use, and by clogging of chip spaces and occurring multiple coatings, which by height differences (double layering) adversely affect the carrying percentage, the dimensional accuracy and the roughness of the coating and so good and uniform abrasive coatings can hardly be achieved.
  • Abrasive coating areas with a reduced proportion of abrasive particles, which lead to increased roughness and increased wear behavior up to partial destruction of the abrasive body, are just as inevitable as abrasive coating areas with a greatly increased proportion of abrasive particles, which leads to thermal overloads and thus grinding burn due to the reduced chip space.
  • the grinding wheels comprise a cylindrical disk body of metallic properties at least on the outer periphery, where in a grinding zone the individual abrasive grains of the abrasive material with exposed tips are incorporated into a circumferentially applied metal cladding.
  • the abrasive grains form a regular circumferential pattern and the metal plating is practically free of foreign material between the punctiform depositing points of the individual abrasive grains.
  • the abrasive wheel may be provided with a grid that can be made by introducing depressions into the grinding zone. Alternatively, the grid may also be applied by a (electro) chemical plating process and removed after the mesh has been fitted with abrasive grains and a thin plating layer is applied.
  • the object of the invention is to avoid the aforementioned disadvantages and a method of the type mentioned specify, with a simple way a homogeneous distribution of the abrasive can be achieved safely.
  • At least the region of the layer which leaves the recesses free has a mesh or lattice structure or the like, so that a particularly uniform distribution and arrangement of the recesses, and thus also of the grinding bodies, can take place.
  • the structure of the layer may be formed according to the intended arrangement of the abrasive body.
  • the exposure may preferably take place by means of a grid pattern printed on a transparency film or developed on a film, which is brought as close as possible to the photoresist.
  • This method is particularly suitable for plane, non-curved surfaces, where the distance between the photoresist and the film is not essential to parallel beam UV sources.
  • the film or the film can also be arranged directly on the tool body, in particular glued.
  • an aqueous-alkaline solution in different concentrations such.
  • B. 1% or 10% sodium hydroxide solution can be used.
  • the area of the layer leaving the recesses free can be formed as a film with recesses or the like which penetrate completely through the film thickness, so that the film is provided in a roll wound up on a roll, in particular with separating layers, and then onto the tool main body can be applied.
  • the film may already adhere to the tool base body due to its consistency, but it may also have an additional adhesive layer or be attached to the tool base body with a separately applied adhesive.
  • This type of layer application is particularly suitable for radii profiles of more than 8 mm, cylinder profiles and plane surfaces such as any geometric segmentation and grinding wheels of large dimension.
  • the UV exposure can be matched to the respective curved surfaces by optical means, but it is also possible for the tool base body to be exposed to be moved past at least one stationary UV source or a UV source can be moved over the tool base body.
  • the adjoining abrasive grain if it has sufficient support forces of Aussparungswandung, attach in a specific position and orientation. Elongated, rice-grain-like abrasive particles will settle at sufficient support forces at a certain angle and thus preferably complete with the upper cutting edge with the "normal" grains. If the support forces of the recess wall are absent due to an unfavorable length / width ratio of the grain, this is displaced by a grain with a more favorable ratio. Thus, even an elongated diamond grain can co-operate in the later grinding process and increase the service life of the grinding tool.
  • diamond bodies or splinters settle in a so-called second position, they can easily and simply be removed by conventional cleaning measures, since they themselves have no galvanic contact with the tool body, after plating the grinding tool and optionally removing the layer.
  • the geometry, in particular the shape, the extent and / or the depth of the recesses can be matched to the grinding bodies to be mounted.
  • nickel, copper, silver, bronze or compounds of these metals can be used as a galvanic bonding material nickel, copper, silver, bronze or compounds of these metals.
  • the layer can be removed and the free areas can also be galvanized, in particular finished, so that by removing the layer between the abrasive bodies free areas are created which serve as chip space when the grinding tool is used.
  • the material properties of the grinding tool as well as by influencing the free chip space the grinding properties of the grinding tool can be tailored to the respective requirements.
  • the abrasive body distribution and concentration can be matched exactly to the intended use.
  • the abrasive bodies may preferably be arranged in a single-layer coating on the tool base body and the pattern of the abrasive bodies may have areas with one or more abrasive bodies and free areas without abrasive bodies, in particular in a regularly alternating shape.
  • the free areas may be at least partially designed as a mesh and / or grid structure and / or specifically as a chip space.
  • the grinding bodies can be arranged in a position defined with respect to their geometrical dimensions with respect to the tool body, wherein the entirety of the grinding bodies can be arranged such that they form a defined common envelope surface due to their adapted positioning.
  • a galvanic bonding material nickel, copper, silver, bronze or compounds of these metals.
  • FIGS. 1 to 9 show the different production phases of such a process.
  • Fig. 1 shows a detail of a tool base body 1, which has a to be fitted with grinding wheels 2 surface 3.
  • a layer of an acid and alkali-resistant photoresist 4 is applied to the surface 3 of the tool body 1.
  • a UV source 5 is disposed above the photoresist 4, wherein between the UV source 5 and 4 a photoresist designed as a template or the like layer 6 is arranged, the UV-transmissive areas 7 and UV-opaque areas 8 has.
  • This layer 6 may, for. Example, a transparency sheet with printed grid pattern, but it can also be developed a grid pattern on a film, which then serves as a template.
  • the recesses 11 are filled with grinding wheels 2, which may be formed in particular as diamond grains.
  • grinding wheels 2 depending on their size, their respective relative position to a corresponding recess 11 and the dimension of the recess 11, a position in which the abrasive body touches the surface 3 of the tool body 1, or, for. B. has too large dimensions, no contact with the surface.
  • abrasive body 2 may be arranged in so-called second layer.
  • the grinding wheels 2 are galvanically connected to the tool body 1.
  • the grinding wheels 2, which had no contact with the tool body 1, are not connected to these and omitted at the latest by cleaning measures.
  • unwanted second layers and unsuitable grinding wheels 2 are removed from not correspondingly sized recesses 11.
  • this additional layer 12 can be varied freely and is tuned to the size, shape and orientation of the grinding wheels 2.

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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Schleifwerkzeuges mit galvanisch gebundenen Schleifkörpern.
  • Aus der Praxis sind derartige Verfahren bekannt, bei denen die Bestückung des Werkzeuggrundkörpers mit Schleifkörpern wie CBN, Diamant, Saphir oder ihren Ersatzstoffen in einem sogenannten Kornsumpf, durch Bestreuen oder durch Vorfixierung mittels einem leitenden Klebstoff erfolgt. Die Schleifkörper lagern sich dabei ungeordnet an der Oberfläche des Werkzeuggrundkörpers an und werden dann galvanisch fixiert. Eine möglichst homogene Schleifkörperverteilung und -konzentration wird hierbei durch mehrere, die Besetzungsdichte jeweils verbessernde Arbeitsschritte angestrebt. Dabei werden freigebliebene Flächen, z. B. mittels Pipette gezielt nachbestückt, was sowohl zeit- als auch kostenintensiv ist.
  • Nachteilig hierbei ist, dass einerseits eine Bestimmung der Verteilung und der Konzentration der Schleifkörper nur mit großem manuellen Einsatz möglich ist, und durch Zusetzen von Spanräumen und auftretende Mehrfachbeschichtungen, die durch Höhenunterschiede (Doppellagigkeit) den Traganteil, die Formtreue sowie die Rauheit des Belages negativ beeinflussen und so gute und gleichmäßige Schleifbeläge kaum erzielt werden können. Schleifbelagbereiche mit verringertem Schleifkörperanteil, die zu erhöhter Rauheit und erhöhtem Verschleißverhalten bis hin zur partiellen Zerstörung des Schleifkörpers führen, sind genauso wie Schleifbelagbereiche mit stark erhöhtem Schleifkörperanteil, die durch den reduzierten Spanraum zu thermischen Überlastungen und damit Schleifbrand führen, somit unvermeidlich.
  • Aus der DE 196 43 113 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung von Schleifscheiben zur Randbearbeitung von optischen Linsen bekannt. Die Schleifscheiben beinhaltet einen zylindrischen Scheibenkörper metallischer Eigenschaften zumindest am Außenumfang, wo in einer Schleifzone die einzelnen Schleifkörner des Schleifmaterials mit freiliegenden Spitzen in eine umfangsmäßig aufgebrachte Metallplattierung eingebunden sind. Die Schleifkörner bilden dabei ein regelmäßiges Umfangsmuster und die Metallplattierung ist zwischen den punktartigen Ablegestellen der einzelnen Schleifkörner praktisch frei von Fremdmaterial. Zur Positionierung der Schleifkörner kann die Schleifscheibe mit einen Gitter versehen werden, das durch Einbringung von Vertiefungen in die Schleifzone hergestellt werden kann. Alternativ kann das Gitter auch durch einen (elektro-)chemischen Plattierungsprozess aufgebracht und nach erfolgter Bestückung des Gitters mit Schleifkörner und Aufbringung einer dünnen Plattierungsschicht entfernt werden.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, die vorgenannten Nachteile zu vermeiden und ein Verfahren der eingangs genannten Art anzugeben, mit dem auf einfache Weise eine homogene Verteilung der Schleifkörper sicher erreicht werden kann.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zur Herstellung eines Schleifwerkzeuges mit galvanisch gebundenen Schleifkörpern, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:
    • auf einem galvanisierbaren Werkzeuggrundkörper wird eine Aussparungen freilassende, galvanisch resistente Schicht aufgebracht,
    • die leeren Aussparungen werden mit Schleifkörpern, insbesondere Diamantkörnern, Saphir, CBN oder ihren Ersatzstoffen, wie z. B. synthetischer Diamant, Aluminiumoxid oder Siliziumkarbid, gefüllt,
    • die Schleifkörper werden galvanisch an dem Werkzeuggrundkörper angebunden, insbesondere angenickelt und
    • die Schicht wird entfernt.
  • Dabei wird die Aussparungen freilassende Schicht hergestellt durch folgende Verfahrensschritte:
    • auf den Werkzeuggrundkörper wird eine Schicht aus einem säure- und alkalibeständigen Fotoresist aufgebracht,
    • das getrocknete Fotoresist wird in Freiräume umschließender Form partiell mit einer UV-Quelle belichtet und polymerisiert,
    • das Fotoresist wird entwickelt und fixiert,
    • die nicht UV-belichteten und somit auch nicht polymerisierten Bereiche der Freiräume werden entfernt,
    • die leeren Freiräume werden mit Schleifkörpern gefüllt und
    • die Schleifkörper werden galvanisch angebunden, insbesondere angenickelt und
    • zwischen den Schleifkörpern werden Freibereiche durch zumindest teilweises Entfernen (Strippen) der polymerisierten Bereiche geschaffen.
  • Vorzugsweise kann zumindest der die Aussparungen freilassende Bereich der Schicht weist eine Netz- oder Gitterstruktur oder dergleichen auf, so dass eine besonders gleichmäßige Verteilung und Anordnung der Aussparungen, und somit auch der Schleifkörper erfolgen kann. Die Struktur der Schicht kann dabei entsprechend der beabsichtigen Anordnung der Schleifkörper ausgebildet sein.
  • Hierdurch ist eine einfache Bestückung des Werkzeuggrundkörpers mit den Schleifkörpern möglich, und es kann leicht eine sehr homogene sowie genau festgelegte Schleifkörperverteilung und -konzentration erreicht werden.
  • Insofern lassen sich auf einfache Weise beliebige Raster, Gitter oder andere Muster in der Schicht auf dem Werkzeuggrundkörper erzielen. Dabei kann die Belichtung vorzugsweise durch ein auf eine Transparenzfolie gedrucktes oder auf einen Film entwickeltes Gittermuster hindurch erfolgen, welches möglichst nahe an das Fotoresist gebracht wird. Dieses Verfahren eignet sich besonders für plane, nicht gekrümmte Flächen, wobei der Abstand zwischen Fotoresist und Folie bzw. Film bei UV-Quellen mit parallelem Strahlengang nicht von wesentlicher Bedeutung ist. Für die UV-Belichtung von gekrümmten Flächen kann die Folie bzw. der Film auch direkt auf dem Werkzeuggrundkörper angeordnet, insbesondere aufgeklebt sein.
  • Zum Entwickeln und Entfernen des Fotoresists kann eine wässrig-alkalische Lösung in unterschiedlichen Konzentrationen, wie z. B. 1%-ige oder 10%-ige Natronlauge verwendet werden.
  • Auch kann zumindest der die Aussparungen freilassende Bereich der Schicht als eine Folie mit die Foliendicke vollständig durchgreifende Ausnehmungen oder dergleichen ausgebildet sein und auf den Werkzeuggrundkörper aufgeklebt werden, so dass die Folie in auf einer Rolle, insbesondere mit Trennlagen aufgewickelter Form bereitgestellt und dann auf den Werkzeuggrundkörper aufgebracht werden kann. Dabei kann die Folie aufgrund ihrer Konsistenz bereits an dem Werkzeuggrundkörper haften, sie kann aber auch eine zusätzliche Klebschicht aufweisen oder mit einem separat aufzubringenden Klebstoff am Werkzeuggrundkörper angebracht werden. Diese Art der Schichtaufbringung ist besonderes für Radienpofile von mehr als 8 mm, Zylinderprofile und Planflächen wie beliebige geometrische Segmentierungen sowie Schleifscheiben großer Dimension geeignet. Dabei kann die UV-Belichtung durch optische Einrichtungen auf die jeweiligen gekrümmten Flächen abgestimmt sein, es kann aber auch der zu belichtende Werkzeuggrundkörper an zumindest einer ortsfesten UV-Quelle vorbeibewegt bzw. eine UV-Quelle über den Werkzeuggrundkörper hinwegbewegt werden.
  • Auch kann nach dem Auffüllen der Aussparungen mit den Schleifkörpern eine Verteilung und Ausrichtung der Schleifkörper durch Vibration erfolgen, so dass ein aufgrund seiner Geometrie, z. B. wegen eines gegenüber dem Idealfall vergrößerten Durchmessers weniger geeignetes Diamantkorn nur geringe Stützkräfte in einer Aussparung findet und aufgrund der Vibration aus der Aussparung herausbefördert wird und diese für ein geeigneteres Diamantkorn freigibt.
  • Durch eine gezielte Festlegung der geometrischen Charakteristika der Aussparungen kann auch Einfluss auf die sich festsetzenden Schleifkörper genommen werden. Dabei wird das sich anlagernde Schleifkorn, wenn es ausreichende Stützkräfte der Aussparungswandung hat, in einer bestimmten Position und Ausrichtung anlagern. Längliche, reiskornähnliche Schleifkörper werden sich dabei bei ausreichenden Stützkräften in einem bestimmten Winkel festsetzen und somit vorzugsweise mit der oberen Schneidkante mit den "normalen" Körnern abschließen. Fehlen die Stützkräfte der Aussparungswandung durch ein ungünstiges Längen/Breitenverhältnis des Korns, so wird dieses von einem Korn mit günstigerem Verhältnis verdrängt. Somit kann auch ein längliches Diamantkorn im späteren Schleifprozess mitarbeiten und erhöht die Standzeit des Schleifwerkzeuges.
  • Sofern sich Diamantkörper oder -splitter in einer sogenannten zweiten Lage festsetzen, lassen sich diese, da sie selbst über keinen galvanischen Kontakt zum Werkzeuggrundkörper verfügen, nach dem Galvanisieren des Schleifwerkzeuges und gegebenenfalls dem Entfernen der Schicht, durch herkömmliche Reinigungsmaßnahmen leicht und einfach entfernen.
  • Erfindungsgemäß kann die Geometrie, insbesondere die Form, die Ausdehnung und/oder die Tiefe der Aussparungen auf die anzubringenden Schleifkörper abgestimmt werden.
  • Bei einem bevorzugten Verfahren können als galvanisches Bindungsmaterial Nickel, Kupfer, Silber, Bronze oder Verbindungen dieser Metalle verwendet werden.
  • Erfindungsgemäß kann die Schicht entfernt werden und es können die Freibereiche ebenfalls galvanisiert, insbesondere fertig genickelt werden, so dass durch das Entfernen der Schicht zwischen den Schleifkörpern Freibereiche geschaffen werden, die bei der Verwendung des Schleifwerkzeuges als Spanraum dienen. Somit können einerseits die Materialeigenschaften des Schleifwerkzeuges als auch durch Beeinflussung des freien Spanraumes die Schleifeigenschaften des Schleifwerkzeuges auf die jeweiligen Anforderungen abgestimmt werden.
  • Bei einem nach dem eingangs genannten Verfahren hergestellten Schleifwerkzeug kann die Schleifkörperverteilung und -konzentration genau auf den späteren Verwendungszweck abgestimmt sein.
  • Vorzugsweise können die Schleifkörper in einer einschichtigen Belegung auf dem Werkzeuggrundkörper angeordnet sein und das Muster der Schleifkörper Bereiche mit einem oder mehreren Schleifkörpern und Freibereiche ohne Schleifkörper, insbesondere in regelmäßig abwechselnder Form, aufweisen.
  • Dabei können wenigstens einige der Freibereiche zumindest teilweise als eine Netz- und/oder Gitterstruktur und/oder gezielt als Spanraum ausgebildet sein.
  • Erfindungsgemäß können die Schleifkörper in einer betreffend ihre geometrischen Abmessungen definierten Position in Bezug auf den Werkzeuggrundkörper angeordnet sein, wobei die Gesamtheit der Schleifkörper so angeordnet sein kann, dass sie aufgrund ihrer angepassten Positionierung eine definierte gemeinsame Hüllfläche bildet.
  • Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung kann als galvanisches Bindungsmaterial Nickel, Kupfer, Silber, Bronze oder Verbindungen dieser Metalle vorgesehen sein.
  • Im Folgenden wird anhand der Zeichnung ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Verfahrens erläutert. Die Figuren 1 bis 9 zeigen die verschiedenen Herstellphasen eines solchen Verfahrens.
  • Fig. 1 zeigt ausschnittsweise einen Werkzeuggrundkörper 1, der eine mit Schleifkörpern 2 zu bestückende Oberfläche 3 aufweist.
  • Wie in Fig. 2 dargestellt, wird auf die Oberfläche 3 des Werkzeuggrundkörpers 1 eine Schicht aus einem säure- und alkalibeständigen Fotoresist 4 aufgebracht.
  • Wie aus Fig. 3 ersichtlich, wird dann eine UV-Quelle 5 oberhalb des Fotoresists 4 angeordnet, wobei zwischen UV-Quelle 5 und Fotoresist 4 eine als Schablone oder dergleichen ausgebildete Schicht 6 angeordnet ist, die UV-durchlässige Bereiche 7 und UV-undurchlässige Bereiche 8 aufweist. Diese Schicht 6 kann z. B. eine Transparenzfolie mit aufgedrucktem Gittermuster sein, es kann aber auch ein Gittermuster auf einen Film entwickelt werden, der dann als Schablone dient.
  • Gemäß Fig. 4 erfolgt dann die Belichtung des Fotoresists 4 mit UV-Licht durch die UV-Quelle 5, wobei das Fotorestist 4 aufgrund der Schablone belichtete Bereiche 9 und unbelichtete Bereiche 10 aufweist. Die belichteten Bereiche werden durch das UV-Licht polymerisiert und das Fotoresist 4 wird anschließend entwickelt und fixiert. Hierdurch werden die unbelichteten und nicht polymerisierten Bereiche 10 entfernt und es verbleiben auf der Oberfläche 3 des Werkzeuggrundkörpers 1 lediglich die belichteten und polymerisierten sowie inzwischen entwickelten und fixierten Bereiche 9, zwischen denen nunmehr Aussparungen 11 entstanden sind (vgl. Fig. 5).
  • Wie aus Fig. 6 ersichtlich, werden die Aussparungen 11 mit Schleifkörpern 2 gefüllt, die insbesondere als Diamantkörner ausgebildet sein können. Dabei haben die Schleifkörper 2 in Abhängigkeit von ihrer Größe, ihrer jeweiligen relativen Position zu einer entsprechenden Aussparung 11 und der Dimension der Aussparung 11 eine Lage, in welcher der Schleifkörper die Oberfläche 3 des Werkzeuggrundkörpers 1 berührt, oder aber, z. B. wegen zu großer Abmessungen, keinen Kontakt zur Oberfläche hat. Auch können Schleifkörper 2 in sogenannter zweiter Lage angeordnet sein.
  • Entsprechend Fig. 7 werden die Schleifkörper 2 galvanisch an dem Werkzeuggrundkörper 1 angebunden. Die Schleifkörper 2, die keinen Kontakt zum Werkzeuggrundkörper 1 hatten, werden dabei nicht an diesen angebunden und entfallen spätestens durch Reinigungsmaßnahmen. Somit werden unerwünschte zweite Lagen und unpassende Schleifkörper 2 aus nicht entsprechend dimensionierten Aussparungen 11 entfernt.
  • Wie in Fig. 8 dargestellt, wird anschließend das Fotoresist 4 vollständig entfernt und sofern erforderlich können gemäß Fig. 9 die Freibereiche zwischen den Schleifkörpern 2 galvanisiert werden. Die Höhe dieser zusätzlichen Schicht 12 kann dabei frei variiert werden und ist auf die Größe, Form und Ausrichtung der Schleifkörper 2 abstimmbar.

Claims (6)

  1. Verfahren zur Herstellung eines Schleifwerkzeuges mit galvanisch gebundenen Schleifkörpern (2) mit folgenden Verfahrensschritten:
    - auf einem galvanisierbaren Werkzeuggrundkörper (1) wird eine Aussparungen (11) freilassende, galvanisch resistente Schicht aufgebracht,
    - die leeren Aussparungen (11) werden mit Schleifkörpern (2), insbesondere Diamantkörnern, gefüllt,
    - die Schleifkörper (2) werden galvanisch an dem Werkzeuggrundkörper (1) angebunden, insbesondere angenickelt und
    - die Schicht wird entfernt,
    dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparungen (11) freilassende Schicht durch folgende Verfahrensschritte hergestellt wird :
    - auf den Werkzeuggrundkörper (1) wird eine Schicht aus einem säure- und alkalibeständigen Fotoresist (4) aufgebracht,
    - das getrocknete Fotoresist (4) wird in Freiräume (11) umschließender Form partiell mit einer UV-Quelle (5) belichtet und polymerisiert,
    - das Fotoresist (4) wird entwickelt und fixiert,
    - die nicht polymerisierten Bereiche (10) der Freiräume (11) werden entfernt,
    - die leeren Freiräume (11) werden mit Schleifkörpern (2) gefüllt und
    - die Schleifkörper (2) werden galvanisch angebunden, insbesondere angenickelt und
    - zwischen den Schleifkörpern (2) werden Freibereiche durch zumindest teilweises Entfernen der polymerisierten Bereiche (9) geschaffen.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest der die Aussparungen (11) freilassende Bereich der Schicht eine Netz- oder Gitterstruktur oder dergleichen aufweist.
  3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Auffüllen der Aussparungen (11) mit den Schleifkörpern (2) eine Verteilung und Ausrichtung der Schleifkörper (2) durch Vibration erfolgt.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Geometrie, insbesondere die Form, die Ausdehnung und/oder die Tiefe der Aussparungen (11) auf die anzubringenden Schleifkörper (2) abgestimmt wird.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass als galvanisches Bindungsmaterial Nickel, Kupfer, Silber, Bronze oder Verbindungen dieser Metalle verwendet werden.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht entfernt und die entstandenen Freibereiche galvanisiert, insbesondere fertig genickelt werden.
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