EP1238388B1 - Piezoelektrischer ultraschallwandler, der ein gehäuse und eine isolierschicht umfasst - Google Patents

Piezoelektrischer ultraschallwandler, der ein gehäuse und eine isolierschicht umfasst Download PDF

Info

Publication number
EP1238388B1
EP1238388B1 EP00991061A EP00991061A EP1238388B1 EP 1238388 B1 EP1238388 B1 EP 1238388B1 EP 00991061 A EP00991061 A EP 00991061A EP 00991061 A EP00991061 A EP 00991061A EP 1238388 B1 EP1238388 B1 EP 1238388B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
housing
piezoelectric ultrasonic
ultrasonic transformer
insulating layer
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP00991061A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1238388A1 (de
Inventor
Klaus Van Der Linden
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Johnson Matthey Catalysts Germany GmbH
Original Assignee
Argillon GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Argillon GmbH filed Critical Argillon GmbH
Publication of EP1238388A1 publication Critical patent/EP1238388A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1238388B1 publication Critical patent/EP1238388B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K9/00—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers
    • G10K9/12—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated
    • G10K9/122—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated using piezoelectric driving means

Definitions

  • the invention relates to a piezoelectric ultrasonic transducer comprising a housing and one with the housing over an insulating layer connected piezoelectrically active Layer.
  • Such an ultrasonic transducer is suitable both for transmission as well as to receive ultrasound. He can in gases and used in liquids. Such an ultrasonic transducer is for example in a flow meter for determining the flow rate of a gas or a Liquid used. Also, such an ultrasonic transducer for determining the liquid level in a container used by means of a transit time measurement of ultrasonic pulses.
  • the piezoelectric active layer usually with Voltage pulses for emitting an ultrasonic pulse stimulated. Conversely, the detection of an ultrasound pulse takes place via a voltage signal which the piezoelectric releases active layer. For particularly effective blasting from ultrasound in one direction without much signal loss is the piezoelectrically active layer in a suitable Housing installed.
  • the layer components of the ultrasonic transducer are conventional with each other and with the case via an adhesive firmly connected.
  • the layers and the housing can not made of materials with identical thermal expansion coefficients be constructed, as e.g. from EP-A-0749005 or EP-A-0594331.
  • specific materials from safety engineering Reasons even required. With temperature changes This leads to the fact that due to different temperature expansions Tensions occur in the composite system, the outwardly by a bending can show. This mechanical Tensions are a static continuous Load, which depends on the temperature and in the long term that Composite system damages.
  • Ultrasonic transducers are known for solving this problem. where the individual layers and the housing with each other connected via highly elastic adhesive or thick adhesive layers are. Highly elastic adhesive and thick adhesive layers lead but disadvantageously to a high attenuation of the emitted Ultrasonic signal.
  • the object of the invention is a piezoelectric ultrasonic transducer specify the type mentioned, the also when used with frequent temperature changes a long life shows.
  • This task is for a piezoelectric ultrasonic transducer of the aforementioned type according to the invention thereby solved that in addition between insulating layer and housing a matching layer is arranged whose thermal expansion coefficient a value between the values of the expansion coefficients comprising the housing and the insulating layer.
  • the housing a metallic housing. In this way, the Advantageously couple sound into liquids.
  • the housing made of a steel, in particular made of a stainless steel.
  • any material that has the piezoelectric Effect shows, for the piezoelectrically active layer is suitable, it is nevertheless advantageous for technical applications, when the piezoelectrically active layer of a piezoceramic consists.
  • a homogeneous electric Field is generated a polar axis in the piezoceramic, necessary for the occurrence of the piezoelectric effect is.
  • a piezoceramic allows its composition Adaptation to different requirements.
  • a suitable Piezoceramic is for example a so-called PZT ceramic, by a lead zirconate titanium oxide ceramic understood becomes.
  • the insulating layer consists of a ceramic, in particular from an alumina ceramic.
  • a ceramic in particular from an alumina ceramic.
  • Such ceramics show good mechanical properties with high electrical Insulation.
  • a Alumina ceramic by a similar coefficient of thermal expansion like a lead zirconate titanium oxide ceramic out.
  • the matching layer consists of titanium or a steel of the material number 1.4021, 1.4460 or 1.4462.
  • the thermal expansion coefficients of these materials are 8 ⁇ 10 -6 / K to 12 ⁇ 10 -6 / K, all between the thermal expansion coefficient of the alumina Kermik of 7 ⁇ 10 -6 / K and the thermal expansion coefficient of steel of the material number 1.4571 for the Housing of 17 ⁇ 10 -6 / K.
  • the material numbers are the "steel key", Verlag Stahl Whyl Wegst GmbH, 18th edition, 1998, Marbach, taken. There you will find the corresponding compositions.
  • the layer system of Ultrasonic transducer connect together when the layers each other and the matching layer with the housing by means of a Epoxy resin are glued.
  • the figure shows in perspective partially broken Representation of an ultrasonic transducer 1 with a housing 2 and layer system arranged therein.
  • the ultrasonic transducer 1 radiates in the direction of the housing bottom 3 ultrasonic signals from or detected coming from this direction Ultrasound signals.
  • the ultrasonic transducer 1 itself is rotationally symmetrical.
  • the layer system of the ultrasonic transducer 1 comprises a piezoelectric active layer 4 of a lead zirconate titanium oxide ceramic, an insulating layer 5 made of an alumina ceramic and a matching layer 6 made of titanium.
  • the piezoelectric active layer 4, the insulating layer 5 and the matching layer 6 are each with each other via adhesive layers 8 Epoxy resin firmly connected.
  • the matching layer 6 is over a further epoxy adhesive layer 8 with the housing bottom. 3 bonded.
  • the illustrated ultrasonic transducer 1 has a diameter of 30 mm.
  • the adhesive layers 8 are about 5 microns thick.
  • the Thickness of the piezoelectrically active layer 4 is about 1 mm.
  • the insulating layer 5 has a thickness of about 1/10 mm.
  • the matching layer is about 2 mm thick.
  • the housing 2 consists of a stainless steel with the material number 1.4571.
  • the layer system of the ultrasonic transducer 1 is in the housing 2 poured over an insulating material 10.
  • insulating material 10 is epoxy resin used.
  • the electrical connections 11 are with a surface, not visible in the drawing, made of sputtered gold electrode on top the insulating layer or with the on top of the piezoelectrically active layer 4 applied surface electrode 12 connected.
  • the electrode 12 consists of a Sputter layer consisting of the metals Cr / Pt / Au.
  • the illustrated ultrasonic transducer 1 is particularly suitable for use in aggressive or explosive atmospheres Gases and liquids, where he also frequent temperature changes is exposed. Such an application For example, the use of the ultrasonic transducer 1 in Flow meters.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Ultraschallwandler umfassend ein Gehäuse und eine mit dem Gehäuse über eine Isolierschicht verbundene piezoelektrisch aktive Schicht.
Ein derartiger Ultraschallwandler eignet sich sowohl zum Senden als auch zum Empfangen von Ultraschall. Er kann in Gasen und in Flüssigkeiten eingesetzt werden. Ein solcher Ultraschallwandler wird beispielsweise in einem Durchflußzähler zur Bestimmung der Durchflußmenge eines Gases oder einer Flüssigkeit eingesetzt. Auch wird ein solcher Ultraschallwandler zum Bestimmen der Flüssigkeitshöhe in einem Behälter mittels einer Laufzeitmessung von Ultraschallimpulsen eingesetzt.
Zum Betrieb wird die piezoelektrisch aktive Schicht meist mit Spannungsimpulsen zum Aussenden eines Ultraschall-Impulses angeregt. Umgekehrt erfolgt die Detektion eines Ultraschall-Impulses über ein Spannungssignal, welches die piezoelektrisch aktive Schicht abgibt. Zum besonders effektiven Abstrahlen von Ultraschall in eine Richtung ohne großen Signalverlust ist die piezoelektrisch aktive Schicht in ein geeignetes Gehäuse eingebaut.
Für Anwendungen in explosiven Gasen oder Flüssigkeiten gibt es strenge Vorschriften hinsichtlich der elektrischen Isolation der strom- oder spannungsführenden Bauteile. Aus diesem Grund befindet sich zwischen dem Gehäuse und der mit elektrischen Anschlüssen versehenen piezoelektrisch aktiven Schicht eine Isolierschicht.
Die Schicht-Komponenten des Ultraschallwandlers sind üblicherweise miteinander und mit dem Gehäuse über einen Kleber fest verbunden. In vielen Fällen, beispielsweise bei einem Einsatz in aggressiven oder korrodierenden Gasen oder Flüssiakeiten, können die Schichten und das Gehäuse jedoch nicht aus Materialien mit identischen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufgebaut werden, wie dies z.B. aus EP-A-0749005 oder EP-A-0594331 bekannt ist. Bei Einsatz in gewissen Chemikalien sind spezifische Materialien aus sicherheitstechnischen Gründen sogar vorgeschrieben. Bei Temperaturänderungen führt dies dazu, daß aufgrund unterschiedlicher Temperaturausdehnungen Spannungen in dem Verbundsystem auftreten, die sich äußerlich durch ein Verbiegen zeigen können. Diese mechanischen Spannungen sind eine statische kontinuierliche Last, die abhängig von der Temperatur wirkt und auf Dauer das Verbundsystem schädigt.
Zur Lösung dieses Problems sind Ultraschallwandler bekannt, bei denen die einzelnen Schichten und das Gehäuse miteinander über hochelastische Kleber oder dicke Klebeschichten verbunden sind. Hochelastische Kleber und dicke Klebeschichten führen jedoch nachteiligerweise zu einer hohen Dämpfung des ausgesendeten Ultraschallsignals.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen piezoelektrischen Ultraschallwandler der eingangs genannten Art anzugeben, der auch bei Einsatz mit häufigen Temperaturwechseln eine lange Lebensdauer zeigt.
Diese Aufgabe wird für einen piezoelektrischen Ultraschallwandler der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zwischen Isolierschicht und Gehäuse zusätzlich eine Anpaßschicht angeordnet ist, deren thermischer Ausdehnungskoeffizient einen Wert zwischen den Werten der Ausdehnungskoeffizienten des Gehäuses und der Isolierschicht aufweist.
Auf diese Art und Weise gelingt es, die bei Temperaturschwankungen und bei unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten der einzelnen Materialien auftretenden mechanischen Spannungen im Schicht- oder Verbundsystem des Ultraschallwandlers zu reduzieren, ohne jedoch das abgegebene Ultraschall-Signal zu dämpfen. Des weiteren können auf diese Art und Weise auch Materialien mit sehr unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten in herkömmlicher Art und Weise miteinander verklebt werden, ohne daß die Effizienz des Ultraschallwandlers bei Ausführungen gemäß Standes der Technik durch dicke und/oder weiche, hochelastische Kleber nachläßt. Durch die geringen mechanischen Spannungen sind hohe Anzahlen von Temperaturwechseln ohne Beschädigung des Ultraschallwandlers möglich. Temperaturwechsel wirken als dynamische Last. Die bei dynamischer Last auftretenden Spannungsspitzen sind gering.
In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung ist das Gehäuse ein metallisches Gehäuse. Auf diese Weise läßt sich der Schall vorteilhaft in Flüssigkeiten einkoppeln.
Insbesondere für den Einsatz in aggressiven Flüssigkeiten oder Gasen oder allgemein in korrodierender Umgebung ist es weiter von Vorteil, wenn das Gehäuse aus einem Stahl, insbesondere aus einem Edelstahl, besteht.
Obschon sich natürlich jedes Material, welches den piezoelektrischen Effekt zeigt, für die piezoelektrisch aktive Schicht eignet, so ist es dennoch für technische Anwendungen von Vorteil, wenn die piezoelektrisch aktive Schicht aus einer Piezokeramik besteht. Durch Anlagen eines homogenen elektrischen Feldes wird eine polare Achse in der Piezokeramik erzeugt, die für das Auftreten des piezoelektrischen Effekts notwendig ist. Eine Piezokeramik erlaubt über ihre Zusammensetzung eine Anpassung an unterschiedliche Anforderungen. Eine geeignete Piezokeramik ist beispielsweise eine sogenannte PZT-Keramik, worunter eine Blei-Zirkonat-Titan-Oxidkeramik verstanden wird.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung besteht die Isolierschicht aus einer Keramik, insbesondere aus einer Aluminiumoxid-Keramik. Derartige Keramiken zeigen gute mechanische Eigenschaften bei gleichzeitig hoher elektrischer Isolierfähigkeit. Insbesondere zeichnet sich eine Aluminiumoxid-Keramik durch einen ähnlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten wie eine Blei-Zirkonat-Titan-Oxidkeramik aus.
Weiter von Vorteil, insbesondere bei einem metallischen Gehäuse aus einem Stahl, ist es, wenn die Anpaßschicht aus Titan, oder einem Stahl der Werkstoffnummer 1.4021, 1.4460 oder 1.4462 besteht. Die thermischen Ausdehnungskoeffizienten dieser Materialien liegen mit 8 · 10-6/K bis 12 · 10-6/K allesamt zwischen dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Aluminiumoxid-Kermik von 7 · 10-6/K und dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Stahl der Werkstoffnummer 1.4571 für das Gehäuse von 17 · 10-6/K. Die Werkstoffnummern sind dabei dem "Stahlschlüssel", Verlag Stahlschlüssel Wegst GmbH, 18. Auflage, 1998, Marbach, entnommen. Dort finden sich die zugehörigen Zusammensetzungen.
Besonders günstig und einfach läßt sich das Schichtsystem des Ultraschallwandlers miteinander verbinden, wenn die Schichten miteinander und die Anpaßschicht mit dem Gehäuse mittels eines Epoxidharzes verklebt sind.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand einer Zeichnung näher erläutert.
Dabei zeigt die Figur perspektivisch in teilweise aufgebrochener Darstellung einen Ultraschallwandler 1 mit einem Gehäuse 2 und darin angeordnetem Schichtsystem. Der Ultraschallwandler 1 strahlt in Richtung des Gehäuse-Bodens 3 Ultraschall-Signale ab bzw. detektiert aus dieser Richtung kommende Ultraschall-Signale. Der Ultraschallwandler 1 selbst ist rotationssymmetrisch ausgebildet.
Das Schichtsystem des Ultraschallwandlers 1 umfaßt eine piezoelektrisch aktive Schicht 4 aus einer Blei-Zirkonat-Titan-Oxidkeramik, eine Isolierschicht 5 aus einer Aluminiumoxid-Keramik und eine Anpaßschicht 6 aus Titan. Die piezoelektrisch aktive Schicht 4, die Isolierschicht 5 und die Anpaßschicht 6 sind miteinander jeweils über Klebeschichten 8 aus Epoxidharz fest verbunden. Die Anpaßschicht 6 ist über eine weitere Epoxidharz-Klebeschicht 8 mit dem Gehäuse-Boden 3 verklebt.
Der dargestellte Ultraschallwandler 1 weist einen Durchmesser von 30 mm auf. Die Klebeschichten 8 sind etwa 5 µm dick. Die Dicke der piezoelektrisch aktiven Schicht 4 beträgt ca. 1 mm. Die Isolierschicht 5 weist eine Dicke von etwa 1/10 mm auf. Die Anpaßschicht ist etwa 2 mm stark.
Das Gehäuse 2 besteht aus einem Edelstahl mit der Werkstoffnummer 1.4571.
Das Schichtsystem des Ultraschallwandlers 1 ist in das Gehäuse 2 über ein Dämmaterial 10 eingegossen. Als Dämmaterial 10 ist Epoxidharz verwendet.
Zum Ansteuern des Ultraschallwandlers 1 sind elektrische Anschlüsse 11 vorgesehen. Die elektrischen Anschlüsse 11 sind mit einer - in der Zeichnung nicht erkennbaren - flächigen, aus aufgesputtertem Gold bestehenden Elektrode auf der Oberseite der Isolierschicht bzw. mit der auf der Oberseite der piezoelektrisch aktiven Schicht 4 flächig aufgebrachten Elektrode 12 verbunden. Die Elektrode 12 besteht dabei aus einer Sputterschicht bestehend aus den Metallen Cr/Pt/Au.
Zum Betrieb des Ultraschallwandlers wird dieser mit Spannungsimpulsen versorgt. Geeignete Schaltungen hierfür sind Stand der Technik. Auch lassen sich mit dem dargestellten Ultraschallwandler 1 ankommende Ultraschall-Signale leicht über die von der piezoelektrisch aktiven Schicht 4 abgegebenen Spannungswerte detektieren.
Der dargestellte Ultraschallwandler 1 eignet sich insbesondere für einen Einsatz in aggressiven oder explosionsgefährdeten Gasen und Flüssigkeiten, wo er zudem noch häufigen Temperaturwechseln ausgesetzt ist. Ein solcher Anwendungsfall ist beispielsweise der Einsatz des Ultraschallwandlers 1 in Durchflußzählern.

Claims (7)

  1. Piezoelektrischer Ultraschallwandler (1) umfassend ein Gehäuse (2) und eine mit dem Gehäuse (2) über eine Isolierschicht (5) verbundene piezoelektrisch aktive Schicht (4), wobei zusätzlich zwischen Isolierschicht (5) und Gehäuse (2) eine Anpaßschicht (6) angeordnet ist, deren thermischer Ausdehnungskoeffizient einen Wert zwischen den Werten der Ausdehnungskoeffizienten des Gehäuses (2) und der Isolierschicht (5) aufweist.
  2. Piezoelektrischer Ultraschallwandler (1) nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse (2) ein metallisches Gehäuse ist.
  3. Piezoelektrischer Ultraschallwandler (1) nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Gehäuse (2) aus einem Stahl, insbesondere aus einem Edelstahl, besteht.
  4. Piezoelektrischer Ultraschallwandler (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die piezoelektrisch aktive Schicht (4) aus einer Piezokeramik besteht.
  5. Piezoelektrischer Ultraschallwandler (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Isolierschicht (5) aus einer Keramik, insbesondere aus einer Aluminiumoxid-Keramik, besteht.
  6. Piezoelektrischer Ultraschallwandler (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Anpaßschicht (6) aus Titan oder einem Stahl der Werkstoffnummern 1.4021, 1.4460 oder 1.4462 besteht.
  7. Piezoelektrischer Ultraschallwandler (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Schichten miteinander und die Anpaßschicht (6) mit dem Gehäuse (2) mittels eines Epoxidharzes verklebt sind.
EP00991061A 1999-12-17 2000-12-14 Piezoelektrischer ultraschallwandler, der ein gehäuse und eine isolierschicht umfasst Expired - Lifetime EP1238388B1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19961095 1999-12-17
DE19961095 1999-12-17
PCT/DE2000/004455 WO2001045081A1 (de) 1999-12-17 2000-12-14 Piezoelektrischer ultraschallwandler umfassend ein gehäuse und eine isolierschicht

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1238388A1 EP1238388A1 (de) 2002-09-11
EP1238388B1 true EP1238388B1 (de) 2005-03-02

Family

ID=7933162

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP00991061A Expired - Lifetime EP1238388B1 (de) 1999-12-17 2000-12-14 Piezoelektrischer ultraschallwandler, der ein gehäuse und eine isolierschicht umfasst

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20020180316A1 (de)
EP (1) EP1238388B1 (de)
DE (1) DE50009672D1 (de)
WO (1) WO2001045081A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008055123B3 (de) * 2008-12-23 2010-07-22 Robert Bosch Gmbh Ultraschallwandler zum Einsatz in einem fluiden Medium

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2005029912A1 (ja) * 2003-09-18 2006-11-30 松下電器産業株式会社 超音波振動子を用いた超音波流量計
DE10344741A1 (de) * 2003-09-25 2005-04-14 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Schall- oder Ultraschallwandler
US7358645B2 (en) * 2004-08-19 2008-04-15 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Backing, transducer array and method for thermal survival
US7589456B2 (en) * 2005-06-14 2009-09-15 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Digital capacitive membrane transducer
DE102005044880C5 (de) * 2005-09-20 2017-10-05 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Ultraschalllwandler für einen Einsatz bei hohen und/oder tiefen Temperaturen
KR100849624B1 (ko) 2007-04-05 2008-07-31 (주)피코소닉 노이즈 저감형의 비파괴검사용 초음파 변환기
ES2339626B1 (es) * 2007-11-06 2010-12-03 Zunibal, S.L. Transductor ultrasonico perfeccionado.
US9502023B2 (en) * 2013-03-15 2016-11-22 Fujifilm Sonosite, Inc. Acoustic lens for micromachined ultrasound transducers
FR3039003B1 (fr) 2015-07-17 2017-07-28 Soitec Silicon On Insulator Procede de fabrication d'un substrat
CN106153080B (zh) * 2016-06-21 2019-08-23 中国飞机强度研究所 一种可移动式压电传感器及使用方法
CN113491563A (zh) * 2020-04-01 2021-10-12 盈甲医疗器械制造（上海）有限公司 用于超声外科手术切割器械的换能装置及其超声外科器械
DE102021107559A1 (de) 2021-03-25 2022-09-29 Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg Verfahren zur Qualitätsprüfung von Ultraschallwandlern

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4825117A (en) * 1987-11-27 1989-04-25 General Electric Company Temperature compensated piezoelectric transducer assembly
JP3238492B2 (ja) * 1992-10-19 2001-12-17 株式会社タイセー 圧電センサ
DE29509574U1 (de) * 1995-06-12 1996-07-11 Siemens AG, 80333 München Schallwandler
DE29611678U1 (de) * 1996-07-04 1997-08-07 Siemens AG, 80333 München Schallwandler, insbesondere Ultraschallwandler

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008055123B3 (de) * 2008-12-23 2010-07-22 Robert Bosch Gmbh Ultraschallwandler zum Einsatz in einem fluiden Medium

Also Published As

Publication number Publication date
US20020180316A1 (en) 2002-12-05
EP1238388A1 (de) 2002-09-11
WO2001045081A1 (de) 2001-06-21
DE50009672D1 (de) 2005-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1238388A1 (de) Piezoelektrischer ultraschallwandler, der ein gehäuse und eine isolierschicht umfasst
EP0040390B1 (de) Drucksensor für Verbrennungsmotor
EP1273051B1 (de) Piezokeramischer biegewandler sowie verwendung des piezokeramischen biegewandlers
US10730074B2 (en) Piezoelectric transducers
EP2010883B1 (de) Verbindungsbauteil mit temperaturfestem sensorelement
DE2746712A1 (de) Piezoelektrischer resonator
EP3630377B1 (de) Ultraschallwandler
DE3119272A1 (de) "bogenabtastungs-ultraschallwandler-anordnung"
EP3665445B1 (de) Spule sowie messwandler mit einer solchen spule
DE112009001424T5 (de) Asymmetrischer Komposit-Schallwellensensor
Bowen et al. Flexible piezoelectric transducer for ultrasonic inspection of non-planar components
DE29509574U1 (de) Schallwandler
EP2466274A1 (de) Ultraschallwandler für ein Ultraschall-Durchflussmessgerät
WO2012156517A2 (de) Vorrichtung und verfahren zum bestimmen von eigenschaften eines mediums
WO2001023855A2 (de) Drucksensoreinrichtung
WO1999010874A1 (de) Schallwandler
DE10055893C5 (de) Ultraschallwandler-Anordnung für den Einsatz in einem Durchflußmesser für ein gasförmiges oder flüssiges Medium
DE10201873A1 (de) Ultraschallwandler-Einrichtung mit Elektroden aus elektrisch leitenden Kunststoffen
EP1332339A2 (de) Koppelelement für ein ultraschall-durchflussmessgerät
DE19520796A1 (de) Piezoelektrischer Biegewandler
EP0459431B1 (de) Ultraschall-Heissprüfkopf
DE102022105199A1 (de) Sensor sowie damit gebildetes Meßsystem
DE3018856A1 (de) Drucksensor fuer verbrennungsmotor
WO2022129447A1 (de) SENSOR ZUM ERFASSEN VON DRUCKSCHWANKUNGEN IN EINEM STRÖMENDEN FLUID SOWIE DAMIT GEBILDETES MEßSYSTEM
DE8805953U1 (de) Elektroakustischer Wandler

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20020502

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): DE FR GB

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: ARGILLON GMBH

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE FR GB

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20050302

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20050302

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: GERMAN

REF Corresponds to:

Ref document number: 50009672

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20050407

Kind code of ref document: P

GBV Gb: ep patent (uk) treated as always having been void in accordance with gb section 77(7)/1977 [no translation filed]

Effective date: 20050302

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20051205

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20060227

Year of fee payment: 6

EN Fr: translation not filed
PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070703