EP1124238B1 - Verfahren zum Verbinden von Kontaktflächen elektrischer Bauelemente-Rohlinge - Google Patents

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EP1124238B1
EP1124238B1 EP00128042A EP00128042A EP1124238B1 EP 1124238 B1 EP1124238 B1 EP 1124238B1 EP 00128042 A EP00128042 A EP 00128042A EP 00128042 A EP00128042 A EP 00128042A EP 1124238 B1 EP1124238 B1 EP 1124238B1
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EP
European Patent Office
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connection
blank
cassette
conductor blank
process according
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EP00128042A
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EP1124238A3 (de
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Armin Lotz
Karlheinz Dr. Ullrich
Karlheinz Dr. Wienand
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Heraeus Electro Nite International NV
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Heraeus Electro Nite International NV
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Definitions

  • the invention relates to a method for connecting contact surfaces of electrical component blanks, in particular of contact surfaces on substrates with electrically insulating Surface and thereon sheet resistance, with at least two metallic, elongated connection conductors of a connecting conductor blank, the first by at least two spaced apart transverse webs in the connecting conductor blank mechanically connected to each other, as well as an apparatus for performing the method.
  • component blanks both single types of semi-finished products for components as also referred to contiguous multiple types of semi-finished products for components, the be separated after their connection with connecting conductors to discrete components; the the latter are also referred to as component multiple blanks (benefits).
  • the between pads of the sensor and contact points of the connectors located bonding wires are preferably made of gold, silver, platinum or aluminum and are preferably by thermocompression bonding with pads and Contact points electrically connected.
  • the relatively complicated production technology, as here in addition to sticking the sensor element on a connection and the additional contact between Pads and contact points is required; furthermore, the temperature resistance to be considered problematic at higher temperatures.
  • the object of the invention is to inexpensively lead wires or tapes on bonding pads which produce an electrical and mechanically strong connection to the sensor element, wherein a corrosion resistance is given up to 750 ° C.
  • the object is achieved according to the process that in a first step for the production a terminal conductor blank formed in a contiguous metal sheet openings which are adjacent to the later transverse webs and connecting conductors of the connecting conductor blank, wherein in a second step, the connecting conductor blank is inserted into a cassette and is locked, that one of the transverse webs of the cassette (or cassette mouth) protrudes and in a third step is severed so that free ends of parallel connecting leads out of the cassette (or cassette mouth) protrude that in a fourth step the Cartridge is inserted into a bonding or welding device so that the free ends the connection conductor in each case with contact surfaces of at least one component blank or Component multiple blanks brought into line and by a temperature-assisted Bonding process or by welding.
  • the first step in the first step elongated, etched gap-shaped openings for the connecting conductor blank from the metal sheet.
  • the elongated, slit-shaped openings for the connecting conductor blank from the metal sheet by laser beam or water jet or to cut a combination of it.
  • openings for locking the terminal conductor blank are simultaneously formed in the cassette and predetermined breaking points for further processing.
  • the crosspiece in the third step, is through Mechanical load of predetermined breaking points or predetermined breaking lines in the connection conductor blank separated.
  • the fourth step of the method advantageously the free ends of the connecting conductor blank together with contact surfaces of a single-type blank or with predetermined breaking points for the singling of blanks provided multiple-type blanks in cover brought and bonded or welded, followed by the multiple-type blank is divided into individual blanks; this will be advantageously the free ends the connection conductor with the contact surfaces or bond pads of the components by thermocompression bonding or welding joined together; following the fourth Step, the second crosspiece is separated from the connecting conductor blank, so that individual Components are created.
  • the process according to the invention proves to be particularly advantageous with regard to a automated processing or further processing for large quantities; especially at Production and joining of the band-shaped connection conductors for component multiple blanks (Parallel production in benefits) is a significant cost-effectiveness to achieve, as a lead connector blank as a so-called "Multibandreliiteil” or "Leadframe” on a complete series composed of individual component blanks or on a component multiple blank becomes.
  • the object is achieved according to the device, that for receiving after the first Step prepared connecting conductor blank a lower part and upper part having cassette is provided with a flat support surface for the connecting conductor blank, wherein at least from the plane of the support surface elevations or pins for the purpose of aligning the connecting conductor blank protrude by means of openings therein for the purpose of locking, wherein for the positive locking the cassette top corresponding to the surveys Recesses are provided.
  • a separating device has a receiving device for the cassette for the purpose of defined separation of a first, from a first End of the cassette outstanding crosspiece on, with a separating punch as Abkant Vietnamese is provided, whose trajectory the flat bearing surface at an angle of 85 cuts up to 95 °;
  • the plane intersects the path of movement of the separating punch the connecting conductor blank in the area of a predetermined breaking point (or predetermined breaking line).
  • the device in a preferred embodiment for carrying out the fourth Step a bonding device or welding device with a device for positive locking Recording the cassette, the cassette with its first end to a Hot table adjacent can be used and the heating table a bearing surface for component blanks or a multiple device blank.
  • connection conductor is preferably nickel or a nickel-based alloy used; Furthermore, it is possible stainless steel and silver, or a silver-based alloy for the connection conductor.
  • the thickness of the connecting conductor blank is in Range of 0.05 to 0.6 mm, preferably 0.15 to 0.25 mm.
  • FIG. 1a shows a connection conductor blank together with a component blank
  • Figure 1b an enlargement of the component blank is shown.
  • FIG. 2a shows the side view of a cassette with upper and lower part including connecting conductor blank, wherein the lower part according to Figure 2b with elevations for locking the Connection conductor blank is provided.
  • FIG. 3a shows a separating device (26) with recording device (27) for the cassette (18) for the purpose of defined despreading of a first transverse web (6) projecting from a first end (29) of the cassette (18), wherein by free separation from the cassette mouth (19) projecting ends (29) are formed by individual Anschlußleitem; figure 3b shows a top view; the cassette (18) is in a recess of the separating device (26) lateral support elements held positively.
  • FIG. 4 shows a bonding device
  • the connecting conductor blank 1 has a multiplicity of metallic, elongated Connecting conductors 2, by etching, punching or cutting of a metal sheet 3 are formed, wherein elongated, slit-shaped openings 4 can be seen; the connection conductors 2 are each connected by a first crosspiece 6 and a second crosspiece 7 with each other connected. Perpendicular to the axis of the elongated connection conductor 2 extends a Rupture line 8, along which the first crosspiece 6 of the individual leads 2 of the Connecting conductor blank 1 is separated so that free ends 9 of the connecting conductor 2 are present, as shown below with reference to FIG.
  • FIG. 1 a a component multiple blank 11 can be seen whose contact fields 12 have the same distance from each other, as the connection conductor 2 of the connecting conductor blank.
  • the connecting conductor blank 1 is shown in FIG 2a in a lower and upper part 16, 17 existing Cassette 18 is clamped so that the first transverse web 6 and the predetermined breaking line 8 from protrude a mouth 19 of the cassette.
  • FIG. 2b shows, in a plan view, the lower cassette part 16 with a largely flat bearing surface 21 with elevations and pins 23 for locking the terminal conductor blank to be introduced 1 (including the blank itself).
  • the connecting conductor blank 1 rests with its connection conductors 2 on one row of elevations 22 of the lower part 16 of the cassette, wherein the elevations 22 through the elongated, slot-shaped openings 4 of the blank extend; that way is one Locking the connecting conductor blank 1 against lateral displacement guaranteed.
  • Wieiterhin the second transverse web 7 has at least two openings 24 into which the lower part 16 of the cassette firmly connected pins 23 engage according to Figure 2a; in this way will the Connection conductor blank 1 protected against longitudinal displacement and against lateral rotation.
  • the actual separating device 26 with receiving the cassette 18 is based on the figures 3a, 3b, according to which, according to Figure 2a, the predetermined breaking point 8 of the connecting conductor blank. 1 is outside of the cartridge mouth 19 and protrudes from the cassette mouth 19 and the fold of the first transverse web 6 takes place so that the free ends 9 slightly after the bending process protrude from the cartridge 18 (see Figure 4).
  • cassette 18 is connected to connecting conductor blank 1 after the bending process inserted into a receptacle of the bonding or welding device 31, wherein the cassette mouth 19 outstanding free ends 9 on contact surfaces 12 of component blanks, or component multiple blanks 11 (according to FIGS. 1a, 1b) are positioned so that the free ends 9 cover the respective contact surfaces 12.
  • the component blanks or Component multiple blanks 11 are located on a support surface (33) of a heating table 32 of the bond or Welding device 31, whereby it is possible, the free ends 9 of the connecting conductor blank 1 with the contact surfaces 12 by means of a lowerable bonding or welding head 34 in a thermocompression bonding or welding together electrically and mechanically firmly connect.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Connections Effected By Soldering, Adhesion, Or Permanent Deformation (AREA)
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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbinden von Kontaktflächen elektrischer Bauelement-Rohlinge, insbesondere von Kontaktflächen auf Substraten mit elektrisch isolierender Oberfläche und darauf befindlichem Schichtwiderstand, mit wenigstens zwei metallischen, langgestreckten Anschlussleitern eines Anschlussleiter-Rohlings, die zunächst durch wenigstens zwei im Abstand zueinander angeordnete Querstege im Anschlussleiter-Rohling mechanisch miteinander verbunden sind, sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
Als Bauelement-Rohlinge werden sowohl Einzel-Typen von Halbzeugen für Bauelemente als auch zusammenhängende Mehrfach-Typen von Halbzeugen für Bauelemente bezeichnet, die nach ihrer Verbindung mit Anschlussleitern zu diskreten Bauelementen vereinzelt werden; die letztgenannten werden auch als Bauelement-Mehrfach-Rohlinge (Nutzen) bezeichnet.
Aus dem deutschen Gebrauchsmuster G 89 13 803.1 U1 ist ein Widerstandsthermometer zur Messung der Oberflächentemperatur mit einem Metallschichttemperatursensor bekannt, der in einem Plastikgehäuse elektronischer Leistungsbauelemente mit Kühlfläche angeordnet ist. Der als Kühlung des elektronischen Bauelements ausgebildete und mit einer Bohrung versehene Anschluss bildet den Träger des Metallschichttemperatursensors, wobei die Anschlussflächen des Metallschichttemperatursensors durch Bonddrähte mit den für das elektronische Leistungsbauelement vorgesehenen Anschlüssen verbunden sind. Das Gehäuse ist durch die Metallfläche des als Träger benutzten Anschlusses und die den Metallschichttemperatursensor und die Kontaktstellen der Bonddrähte mit den nach außen geführten Anschlüssen umgebende Plastikumfüllung begrenzt. Die zwischen Anschlussflächen des Sensors und Kontaktstellen der Anschlüsse befindlichen Bonddrähte bestehen vorzugsweise aus Gold, Silber, Platin oder Aluminium und sind vorzugsweise durch Thermokompressionsbondung mit Anschlussflächen und Kontaktstellen elektrisch leitend verbunden. Als problematisch erweist sich bei der Verbindung mittels Bonddrähte die verhältnismäßig komplizierte Fertigungstechnik, da hier neben dem Aufkleben des Sensorelements auf einen Anschluss auch die zusätzliche Kontaktierung zwischen Anschlussflächen und Kontaktstellen erforderlich ist; weiterhin ist die Temperaturbeständigkeit bei höheren Temperaturen als problematisch anzusehen.
Aufgabe der Erfindung ist es, kostengünstig Anschlussdrähte oder Bänder auf Bondpads zu fügen, die eine elektrische und mechanisch feste Verbindung zum Sensorelement herstellen, wobei eine Korrosionsfestigkeit bis zu 750°C gegeben ist.
Die Aufgabe wird verfahrensgemäß dadurch gelöst, dass in einem ersten Schritt zur Herstellung eines Anschlussleiter-Rohlings in einem zusammenhängenden Metallblech Öffnungen gebildet werden, die an die späteren Querstege und Anschlussleiter des Anschlussleiter-Rohlings angrenzen, wobei in einem zweiten Schritt der Anschlussleiter-Rohling in eine Kassette eingebracht und arretiert wird, dass einer der Querstege aus der Kassette (bzw. Kassetten-Maul) ragt und in einem dritten Schritt so abgetrennt wird, dass freie Enden von parallel verlaufenden Anschlussleitern aus der Kassette (bzw Kassetten-Maul) ragen, dass in einem vierten Schritt die Kassette in eine Bond- oder Schweiß-Vorrichtung so eingebracht wird, dass die freien Enden der Anschlussleiter jeweils mit Kontaktflächen wenigstens eines Bauelement-Rohlings oder Bauelement-Mehrfach-Rohlings in Deckung gebracht und durch einen temperaturunterstützten Bond-Vorgang oder durch Schweißen miteinander verbunden werden.
Als vorteilhaft erweist es sich, dass nach dem erfindungsgemäßen Verfahren Sensorelemente (bzw. deren Kontaktflächen) sowohl als Einzel-Typen als auch als Bauelement- Mehrfach-Rohlinge mit entsprechenden Anschlussleitern versehen werden können, wobei eine weitgehend automatisierte Herstellung und Weiterverarbeitung möglich ist.
Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens Lösung sind in den Ansprüchen 2 bis 10 angegeben.
In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens werden im ersten Schritt langgestreckte, spaltförmige Öffnungen für den Anschlussleiter-Rohling aus dem Metallblech geätzt.
In einer weiteren Ausgestaltung des Verfahrens werden im ersten Schritt langgestreckte, spaltförmige Öffnungen für den Anschlussleiter-Rohling aus dem Metallblech gestanzt.
Weiterhin ist es vorteilhafterweise auch möglich, die langgestreckten, spaltförmigen Öffnungen für den Anschlussleiter-Rohling aus dem Metallblech durch Laserstrahl oder Wasserstrahl bzw. eine Kombination daraus zu schneiden.
Vorzugsweise werden im ersten Schritt gleichzeitig Öffnungen zur Arretierung des Anschlussleiter-Rohlings in der Kassette sowie Sollbruchstellen für die weitere Verarbeitung gebildet.
In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens wird im dritten Schritt der Quersteg durch mechanische Belastung von Sollbruchstellen bzw. Sollbruch-Linien im Anschlussleiter-Rohling abgetrennt.
Im vierten Schritt des Verfahrens werden vorteilhafterweise die freien Enden des Anschlussleiter-Rohlings zusammen mit Kontaktflächen eines Einzel-Typen-Rohlings oder eines mit Sollbruchstellen für die Vereinzelung von Rohlingen versehenen Mehrfach-Typen-Rohlings in Deckung gebracht und gebondet oder verschweißt, wobei darauffolgend der Mehrfach-Typen-Rohling in einzelne Rohlinge aufgeteilt wird; dabei werden vorteilhafterweise die freien Enden der Anschlussleiter mit den Kontaktflächen bzw. Bondpads der Bauelemente durch Thermokompressionsbonden oder Schweißen miteinander verbunden; im Anschluss an den vierten Schritt wird der zweite Quersteg vom Anschlussleiter-Rohling abgetrennt, so dass einzelne Bauelemente entstehen.
Als besonders vorteilhaft erweist sich das erfindungsgemäße Verfahren im Hinblick auf eine automatisierte Verarbeitung bzw. Weiterverarbeitung für große Stückzahlen; insbesondere bei Herstellung und Fügung der bandförmigen Anschlussleiter für Bauelement-Mehrfach-Rohlinge (Parallelfertigung im Nutzen) ist eine erhebliche Kosteneffizienz zu erzielen, da ein Anschlussleiter-Rohling als sogenanntes "Multibandätiteil" bzw. "Leadframe" auf eine komplette Reihe von einzelnen Bauelement-Rohlingen bzw. auf einen Bauelement-Mehrfach-Rohling gefügt wird.
Die Aufgabe wird vorrichtungsgemäß dadurch gelöst, dass zur Aufnahme des nach dem ersten Schritt hergestellten Anschlussleiter-Rohlings eine Unterteil und Oberteil aufweisende Kassette mit einer ebenen Auflagefläche für den Anschlussleiter-Rohling vorgesehen ist, wobei wenigstens aus der Ebene der Auflagefläche Erhebungen oder Stifte zwecks Ausrichtung des Anschlussleiter-Rohlings mittels darin befindlicher Öffnungen zwecks Arretierung herausragen, wobei zur formschlüssigen Arretierung das Kassetten-Oberteil den Erhebungen entsprechende Ausnehmungen vorgesehen sind.
Als besonders vorteilhaft erweist es sich, dass mit Hilfe der Vorrichtung eine exakte Positionierung und Dimensionierung durch Anschlagelemente und Abkantungselemente möglich ist; auf diese Weise wird eine Lageungenauigkeit des Anschlussleiter-Rohlings vermieden.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind in den Ansprüchen 12 bis 14 angegeben.
In einer bevorzugten Ausgestaltung der Vorrichtung weist eine Trennvorrichtung eine Aufnahmeeinrichtung für die Kassette zwecks definiertem Abtrennen eines ersten, aus einem ersten Ende der Kassette herausragenden Querstegs auf, wobei ein Trennstempel als Abkanthilfe vorgesehen ist, dessen Bewegungsbahn die ebene Auflagefläche unter einem Winkel von 85 bis 95° schneidet; vorteilhafterweise schneidet die Ebene der Bewegungsbahn des Trennstempels den Anschlussleiter-Rohling im Bereich einer Sollbruchstelle (oder Sollbruch-Linie).
Weiterhin weist die Vorrichtung in einer bevorzugten Ausgestaltung zur Durchführung des vierten Schritts eine Bondvorrichtung oder Schweißvorrichtung mit einer Einrichtung zur formschlüssigen Aufnahme der Kassette auf, wobei die Kassette mit ihrem ersten Ende zu einem Heiztisch benachbart einsetzbar ist und der Heiztisch eine Auflagefläche für Bauelement-Rohlinge oder einen Mehrfach-Bauelement-Rohling aufweist.
Als Werkstoff für den Anschlussleiter wird vorzugsweise Nickel oder eine Nickel-Basis-Legierung eingesetzt; weiterhin ist es möglich Edelstahl und Silber, bzw. eine Silber-Basis-Legierung für den Anschlussleiter einzusetzen. Die Dicke des Anschlussleiter-Rohlings liegt im Bereich von 0,05 bis 0,6 mm, vorzugsweise bei 0,15 bis 0,25 mm.
Im folgenden ist der Gegenstand der Erfindung anhand der Figuren 1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b und 4 näher erläutert.
Figur 1a zeigt einen Anschluss- Leiter-Rohling zusammen mit einem Bauelemente-Rohling, während in Figur 1b eine Vergrößerung des Bauelemente-Rohlings dargestellt ist.
Figur 2a zeigt die Seitenansicht einer Kassette mit Ober- und Unterteil einschließlich Anschlussleiter-Rohling, wobei das Unterteil gemäß Figur 2b mit Erhebungen zur Arretierung des Anschluss-Leiter-Rohlings versehen ist.
Figur 3a zeigt eine Trennvorrichtung (26) mit Aufnahme einrichtung (27) für die Kassette (18) zwecks definiertem Abtiermen eines ersten, aus einem ersten Ende (29) der Kassette (18) herausragenden Querstegs (6), wobei durch Abtrennung freie aus dem Kassettenmaul (19) ragende Enden (29) von einzelnen Anschlussleitem gebildet werden; Figur 3b zeigt eine Draufsicht; die Kassette (18) wird dabei in einer Ausnehmung der Trennvorrichtung (26) mit seitlichen Abstützelementen formschlüssig gehalten.
Figur 4 zeigt eine Bondvorrichtung.
Gemäß Figur 1a weist der Anschlussleiter-Rohling 1 eine Vielzahl von metallischen, langgestreckten Anschlussleitern 2 auf, die durch Ätzen, Stanzen oder Schneiden aus einem Metallblech 3 gebildet sind, wobei langgestreckte, spaltförmige Öffnungen 4 erkennbar sind; die Anschlussleiter 2 sind durch jeweils einen ersten Quersteg 6 und einen zweiten Quersteg 7 miteinander verbunden. Senkrecht zur Achse der langgestreckten Anschlussleiter 2 verläuft eine Sollbruchlinie 8, entlang derer der erste Quersteg 6 von den einzelnen Anschlussleitern 2 des Anschlussleiter-Rohlings 1 so abgetrennt wird, dass freie Enden 9 der Anschlussleiter 2 vorliegen, wie sie nachfolgend anhand Figur 4 gezeigt sind.
Weiterhin ist in Figur 1a ein Bauelement-Mehrfach-Rohling 11 erkennbar, dessen Kontaktfelder 12 den gleichen Abstand zueinander aufweisen, wie die Anschlussleiter 2 des Anschlussleiter-Rohlings.
In Figur 1b ist der Bauelement-Mehrfach-Rohling 11 vergrößert dargestellt, so dass dessen Substrat 13, die Kontaktfelder 12 und Sollbruchstellen 14 deutlicher erkennbar sind.
Der Anschlussleiter-Rohling 1 wird gemäß Figur 2a in eine aus Unter- und Oberteil 16, 17 bestehende Kassette 18 so eingespannt, dass der erste Quersteg 6 und die Sollbruchlinie 8 aus einem Maul 19 der Kassette herausragen.
Figur 2b zeigt in einer Draufsicht das Kassetten-Unterteil 16 mit einer weitgehend ebenen Auflagefläche 21 mit Erhebungen und Stiften 23 zur Arretierung des einzubringenden Anschlussleiter-Rohlings 1 (einschließlich des Rohlings selbst).
Gemäß Figur 2b ruht der Anschlussleiter-Rohling 1 mit seinen Anschlussleitern 2 auf einer Reihe von Erhebungen 22 des Unterteils 16 der Kassette, wobei die Erhebungen 22 sich durch die langgestreckten, spaltförmigen Öffnungen 4 des Rohlings erstrecken; auf diese Weise ist eine Arretierung des Anschlussleiter-Rohlings 1 gegen seitliche Verschiebung gewährleistet. Wieiterhin weist der zweite Quersteg 7 wenigstens zwei Öffnungen 24 auf, in die mit dem Unterteil 16 der Kassette fest verbundene Stifte 23 gemäß Figur 2a eingreifen; auf diese Weise wird der Anschlussleiter-Rohling 1 gegen Längsverschiebung und gegen seitliche Verdrehung geschützt.
Die eigentliche Trennvorrichtung 26 mit Aufnahme der Kassette 18 ist anhand der Figuren 3a, 3b näher erläutert, wonach gemäß Figur 2a die Sollbruchstelle 8 des Anschlussleiter-Rohlings 1 außerhalb des Kassettenmauls 19 liegt bzw. aus Kassettenmaul 19 herausragt und die Abkantung des ersten Quersteges 6 so erfolgt, dass die freien Enden 9 nach dem Abkantvorgang geringfügig aus der Kassette 18 herausragen (s. Figur 4).
Gemäß Figur 4 wird Kassette 18 mit dem Anschlussleiter-Rohling 1 nach dem Abkantvorgang in eine Aufnahme der Bond- bzw. Schweiß-Vorrichtung 31 eingesetzt, wobei die aus Kassetten-Maul 19 herausragenden freien Enden 9 auf Kontaktflächen 12 von Bauelement-Rohlingen, bzw. Bauelement-Mehrfachrohlingen 11 (gemäß Figur 1a,1b) so positioniert werden, dass die freien Enden 9 die jeweiligen Kontaktflächen 12 abdecken. Die Bauelement-Rohlinge bzw. Bauelement-Mehrfachrohlinge 11 befinden sich dabei auf einer Auflagefläche (33) eines Heiztisches 32 der Bond- bzw. Schweiß-Vorrichtung 31, wodurch es möglich ist, die freien Enden 9 des Anschlussleiter-Rohlings 1 mit den Kontaktflächen 12 mit Hilfe eines absenkbaren Bond- bzw. Schweiß-Kopfes 34 in einer Thermokompressionsbondung bzw. Verschweißung miteinander elektrisch und mechanisch fest zu verbinden. Nach dem Bond- bzw. Schweiß-Vorgang ist somit der Bauelement-Rohling bzw. Bauelement-Mehrfachrohling 11 an einem Ende mit dem Anschlussleiter-Rohling 1 verbunden, welcher an seinem anderen Ende durch den zweiten Quersteg 7 mit seinen Anschlussleitem 2 zusammen gehalten wird.
In einem weiteren Verfahrensschritt erfolgt anschließend die Aufteilung in Einzelelemente, in dem im Falle eines Bauelement-Mehrfachrohlings 11 diese an ihren parallel zu den entlang der Achsen der Anschlussleiter 2 verlaufenden Sollbruchstellen 14 (Figur 1b) vereinzelt werden, wobei Quersteg 7 durch einen weiteren Abkantvorgang oder Schneidvorgang von Anschlussleiter-Rohling 1 abgetrennt wird, so dass vereinzelte Bauelement-Rohlinge vorliegen, die dann jeweils mit zwei oder auch mehr Anschlussleitern 2 verbunden sind.

Claims (14)

  1. Verfahren zum Verbinden von Kontaktflächen elektrischer Bauelement-Rohlinge, insbesondere von Kontaktflächen auf Substraten mit elektrisch isolierender Oberfläche und darauf befindlichem Schichtwiderstand, mit wenigstens zwei metallischen, langgestreckten Anschlussleitern eines Anschlussleiter-Rohlings, die zunächst durch wenigstens zwei im Abstand zueinander angeordnete Querstege im Anschlussleiter-Rohling (1) mechanisch miteinander verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass in einem ersten Schritt zur Herstellung des Anschlussleiter-Rohlings (1) in einem zusammenhängenden Metallblech (3) Öffnungen (4) gebildet werden, die an die späteren Querstege und Anschlussleiter des Anschlussleiter-Rohlings (1) angrenzen, dass in einem zweiten Schritt der Anschlussleiter-Rohling (1) in eine Kassette (18) eingebracht und arretiert wird, dass einer der Querstege (6,7) aus der Kassette (18) ragt und in einem dritten Schritt so abgetrennt wird, dass freie Enden (9) von parallel verlaufenden Anschlussleitem aus der Kassette (18) ragen, dass in einem vierten Schritt die Kassette (18) in eine Bond- oder Schweiß-Vorrichtung (31) so eingebracht wird, dass die freien Enden (9) der Anschlussleiter jeweils mit Kontaktflächen wenigstens eines Bauelement-Rohlings oder Bauelement-Mehrfach-Rohlings (11) in Deckung gebracht und durch einen Bond-Vorgang oder durch Schweißen miteinander verbunden werden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im ersten Schritt langgestreckte, spaltförmige Öffnungen (4) für den Anschlussleiter-Rohling (1) aus dem Metallblech (3) geätzt werden.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im ersten Schritt langgestreckte, spaltförmige Öffnungen (4) für den Anschlussleiter-Rohling (1) aus dem Metallblech (3) gestanzt werden.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im ersten Schritt langgestreckte, spaltförmige Öffnungen (4) für den Anschlussleiter-Rohling (1) durch einen Laserstrahl aus dem Metallblech (3) geschnitten werden.
  5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass im ersten Schritt langgestreckte, spaltförmige Öffnungen (4) durch einen Hochdruck-Wasserstrahl aus dem Metallblech (3), geschnitten werden.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass im ersten Schritt gleichzeitig Öffnungen (24) zur Arretierung des Anschlussleiter-Rohlings (1) in der Kassette sowie Sollbruchstellen (8) für die weitere Verarbeitung gebildet werden.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass im dritten Schritt der Quersteg durch mechanische Belastung von Sollbruchstellen (8) im Anschlussleiter-Rohling (1) abgetrennt wird.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass im vierten Schritt die freien Enden (9) der Anschlussleiter (2) zusammen mit Kontaktflächen eines mit Sollbruchstellen (8) für die Vereinzelung von Rohlingen versehenen Mehrfachrohlings in Deckung gebracht und gebondet oder verschweißt werden, wobei darauffolgend der Mehrfachrohling in einzelne Rohlinge aufgeteilt wird.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass im vierten Schritt die freien Enden (9) der Anschlussleiter mit den Kontaktflächen (12) der Bauelemente (13) durch Thermokompressionsbonden oder Schweißen miteinander verbunden werden.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass im Anschluss an den vierten Schritt der zweite Quersteg (6,7) vom Anschlussleiter-Rohling (1) abgetrennt wird.
  11. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufnahme des nach dem ersten Schritt hergestellten Anschlussleiter-Rohlings (1) eine Unterteil (16) und Oberteil (17) aufweisende Kassette (18) mit einer ebenen Auflagefläche (21) für den Anschlussleiter-Rohling (1) vorgesehen ist, wobei wenigstens aus der Ebene der Auflagefläche (21) Erhebungen (22) und/oder Stifte (23) zwecks Ausrichtung des Anschlussleiter-Rohlings (1) mittels darin befindlicher Öffnungen (24) zur Arretierung herausragen, wobei zur formschlüssigen Arretierung das Kassetten-Oberteil (17) den Erhebungen (22) entsprechende Ausnehmungen aufweist.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass eine Trennvorrichtung (26) eine Aufnahmeeinrichtung (27) für die Kassette (18) zwecks definiertem Abtrennen eines ersten, aus einem ersten Ende (29) der Kassette (18) herausragenden Querstegs (6) aufweist, wobei ein Trennstempel als Abkanthilfe vorgesehen ist, dessen Bewegungsbahn die ebene Auflagefläche unter einem Winkel von 85 bis 95° schneidet.
  13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Ebene der Bewegungsbahn des Trennstempels den Anschlussleiter-Rohling (1) im Bereich einer Sollbruchlinie (8) schneidet.
  14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass zur Durchführung des vierten Schritts eine Bondvorrichtung oder Schweißvorrichtung (31) mit einer Einrichtung zur formschlüssigen Aufnahme der Kassette (18) vorgesehen ist, wobei die Kassette (18) mit ihrem ersten Ende (29) zu einem Heiztisch (32) benachbart einsetzbar ist und der Heiztisch eine Auflagefläche (33) für Bauelement-Rohlinge oder einen Mehrfach-Bauelement-Rohling (11) aufweist.
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