EP1073088A1 - Procédé de fabrication d'une anode d'un écran plat de visualisation, anode obtenue par ce procédé et écran plat utilisant cette anode - Google Patents

Procédé de fabrication d'une anode d'un écran plat de visualisation, anode obtenue par ce procédé et écran plat utilisant cette anode Download PDF

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EP1073088A1
EP1073088A1 EP00402127A EP00402127A EP1073088A1 EP 1073088 A1 EP1073088 A1 EP 1073088A1 EP 00402127 A EP00402127 A EP 00402127A EP 00402127 A EP00402127 A EP 00402127A EP 1073088 A1 EP1073088 A1 EP 1073088A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
anode
conductive
resistors
strips
bands
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP00402127A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Aimé Périn
Brigitte Montmayeul
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
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Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Publication of EP1073088A1 publication Critical patent/EP1073088A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/08—Electrodes intimately associated with a screen on or from which an image or pattern is formed, picked-up, converted or stored, e.g. backing-plates for storage tubes or collecting secondary electrons
    • H01J29/085—Anode plates, e.g. for screens of flat panel displays
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel

Definitions

  • the present invention relates to a method manufacturing an anode of a flat screen display as well as an anode obtained by this process and a flat screen using this anode.
  • the invention relates in particular to manufacture of an anode of a flat screen microtip display ("microtips").
  • the invention applies in particular to the manufacture of anodes for flat display screens in colors.
  • Figure 1 is a schematic view and partial of a known flat screen structure with microtips with which one can implement the invention.
  • Such a microtip screen includes essentially a microtip cathode 2 and a cathodoluminescent anode 4 which is placed opposite this cathode.
  • the cathodoluminescent anode 4 comprises a transparent substrate 6, generally made of glass, which lets in the light produced by cathodoluminescence and through which we observe the screen.
  • the cathode 2 includes a set of parallel conductors 8 forming the columns of this cathode. Only one of these conductors is shown in Figure 1. These conductors 8 are formed on a substrate electrically insulating 10 generally made of glass.
  • This set of conductors 8 is covered an electrically insulating layer 12 on which the grid 14 of the cathode is formed.
  • This grid is a set of parallel lines 16. A single line is shown in Figure 1. Lines 16 are orthogonal to columns 8.
  • Holes 18 are formed through the insulating layer 12 and the grid 14 to the columns 8.
  • the microtips 20 are formed in these holes 18.
  • the screen schematically represented on the Figure 1 uses the electric field created between the conductors 8 and grid 14 so that the electrons are extracted from microtips 20 and reach the phosphor elements of the anode.
  • the anode 4 is provided with strips of phosphor elements 22R, 22B and 22V which alternate with each other and correspond respectively to the three colors red, blue and green.
  • These bands of phosphor elements are respectively deposited on electrically tapes conductors 24R, 24B and 24V which are formed on the substrate 6, parallel to columns 8, from an electrically conductive and transparent layer for example indium oxide doped with tin.
  • Figure 2 is a schematic view and partial view of another known flat screen structure with microtips with which one can implement the invention.
  • Electric arcs can also produce, in the case of figure 1, between two bands neighboring phosphor elements due to the potential difference between these two bands.
  • the conductive strips of the anode are connected to one or more interconnection conductors through electrical resistors.
  • bands 24R, 24B and 24V are respectively connected to three conductors 28R, 28B and 28V interconnection via electrical resistors 30R, 30B and 30V.
  • the object of the present invention is to remedy this drawback.
  • the present invention proposes to form resistors and bands conductive on which the elements are formed phosphors during the same stage of a process manufacture of the anode of a flat screen visualization.
  • the present invention has relates to a method for manufacturing an anode of a flat display screen, in particular a screen microtip, process in which one forms, on a electrically insulating substrate, at least one set of electrically conductive strips carrying bands of phosphor elements and respectively minus one interconnected electrical conductor to the conductive strips through electrical resistance, this process being characterized by what, to form the conductive strips and the resistors, an electrically formed layer is formed conductive on the substrate and these bands are formed conductive and these resistors from this conductive layer.
  • the bands can be distributed conductive in groups and form resistance by group of conductive strips.
  • Resistors can have a form corrugated to reduce the size of the substrate the anode.
  • an anode substrate and a layer are used conductive which are transparent so as to leave pass the light produced by the elements phosphors.
  • This conductive layer is for example in indium oxide doped with tin or ITO.
  • the formation of conductive strips and resistors can include photolithography and an etching of the conductive layer.
  • the present invention also relates to a anode of a flat display screen comprising, on an electrically insulating substrate, at least one set of electrically conductive strips carrying bands of phosphor elements and respectively minus one interconnected electrical conductor to the conductive strips through electrical resistance, this anode being characterized in that the resistors are formed on the substrate, from the same electrically conductive material as the conductive strips.
  • the electrically conductive material is for example indium oxide doped with tin.
  • the invention also relates to a screen display plate including anode cathodoluminescent object of the invention, placed in gaze of a cathode capable of emitting electrons by field effect.
  • the screens of Figures 1 and 2 use, for their anode, strips transparent conductors. These conductive strips are for example made of indium oxide doped with tin.
  • Figure 4 is an exemplary embodiment an anode A1 according to the invention, for a screen like the one shown on the figure 1.
  • This area constitutes the useful surface of the screen.
  • interconnection conductors 32R, 32B and 32V are for example made of indium oxide doped with tin, which allows them to be made at the same time that the conductive strips and the resistors, or another conductive material, for example from aluminum.
  • Each conductive strip is connected to one of the interconnection conductors and includes, in its end closest to this conductor, a resistance which is therefore in ITO.
  • the bands 34R, 34B and 34V are respectively connected to conductors 32R, 32B and 32V and the corresponding resistors are respectively referenced 36R, 36B and 36V.
  • resistors 36R and 36V are respectively in contact with the conductors 32R and 32V interconnection while the ends respective resistors 36B form pads 38.
  • Each pad 38 is subsequently connected to interconnection conductor 32B by a technique of classic interconnection, for example the technique called "bonding".
  • the sets of bands 34R, 34B and 34V are alternately polarized and their voltage alternately applied is less than 1 kV. She is for example 500 V.
  • resistors have a value such that the current in the conductive strips 34R, 34B and 34V either limited to a few milliamps an electric arc will not be able to start. For example with tension anode of 500 V and resistances of 500 k ⁇ maximum current is limited to 1 mA, which prevents the formation of electric arcs.
  • the current per pixel being of the order of 20 ⁇ A an indium oxide doped with tin is used, the resistance per square is 500 ⁇ .
  • Each of resistors 36R, 36B and 36V of 500 k ⁇ then form by example a 20 ⁇ m wide and 20 mm long strip.
  • This strip can be straight but has preferably a wavy shape, as seen on the Figure 4, to less clutter the substrate 6 of the anode.
  • Figure 5 is another example of manufacture of an anode A2 in accordance with the invention, for a screen like the one shown on Figure 2.
  • Such resistances can for example each be formed of a straight strip or preferably wavy, in ITO of square resistance 1000 ⁇ , 20 ⁇ m wide and 60 mm long.
  • the invention does not only apply to microtip screens. It also applies to the manufacture of all emission screens field including carbon emission screens or microcrack screens.

Abstract

Selon l'invention, on forme au moins un ensemble de bandes conductrices (34R, 34B, 34V) portant des bandes d'éléments luminophores et au moins un conducteur d'interconnexion (32R, 32B, 32V) relié aux bandes conductrices par l'intermédiaire de résistances (36R, 36B, 36V). Les bandes conductrices et les résistances sont formées à partir d'une même couche conductrice. L'invention s'applique notamment aux écrans plats à micropointes en couleurs. <IMAGE>

Description

DOMAINE TECHNIQUE
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une anode d'un écran plat de visualisation ainsi qu'une anode obtenue par ce procédé et un écran plat utilisant cette anode.
L'invention concerne en particulier la fabrication d'une anode d'un écran plat de visualisation à micropointes (« microtips »).
L'invention s'applique notamment à la fabrication d'anodes d'écrans plats de visualisation en couleurs.
ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE
La figure 1 est une vue schématique et partielle d'une structure connue d'écran plat à micropointes avec lequel on peut mettre en oeuvre l'invention.
Un tel écran à micropointes comprend essentiellement une cathode à micropointes 2 et une anode cathodoluminescente 4 qui est placée en regard de cette cathode.
L'anode cathodoluminescente 4 comprend un substrat transparent 6, généralement en verre, qui laisse passer la lumière produite par cathodoluminescence et à travers lequel on observe l'écran.
Le principe de fonctionnement et le détail de la constitution d'un tel écran sont décrits en particulier dans le document suivant auquel on se reportera :
FR 2623013 A correspondant à EP 0316214 A et à US 4,940,916 A (Borel et al.).
Au sujet des écrans plats à micropointes on pourra également consulter les documents suivants :
US 4,857,161 A (Borel et al.), US 4,908,539 A (Meyer), US 5,194,780 A (Meyer) et US 5,534,744 A (Leroux et al.).
En revenant à la figure 1, la cathode 2 comprend un ensemble de conducteurs parallèles 8 formant les colonnes de cette cathode. Un seul de ces conducteurs est représenté sur la figure 1. Ces conducteurs 8 sont formés sur un substrat électriquement isolant 10 généralement en verre.
Cet ensemble de conducteurs 8 est recouvert d'une couche électriquement isolante 12 sur laquelle est formée la grille 14 de la cathode. Cette grille est un ensemble de lignes parallèles 16. Une seule ligne est représentée sur la figure 1. Les lignes 16 sont orthogonales aux colonnes 8.
Des trous 18 sont formés à travers la couche isolante 12 et la grille 14 jusqu'aux colonnes 8. Les micropointes 20 sont formées dans ces'trous 18.
L'écran schématiquement représenté sur la figure 1 utilise le champ électrique créé entre les conducteurs 8 et la grille 14 pour que les électrons soient extraits des micropointes 20 et atteignent les éléments luminophores (« phosphor elements ») de l'anode.
Dans le cas d'un écran en couleurs l'anode 4 est pourvue de bandes d'éléments luminophores 22R, 22B et 22V qui alternent les unes avec les autres et correspondent respectivement aux trois couleurs rouge, bleu et vert.
Ces bandes d'éléments luminophores sont respectivement déposées sur des bandes électriquement conductrices 24R, 24B et 24V qui sont formées sur le substrat 6, parallèlement aux colonnes 8, à partir d'une couche électriquement conductrice et transparente par exemple en oxyde d'indium dopé à l'étain.
Dans le cas de l'écran de la figure 1 il y a trois bandes référencées 24R, 24B et 24V pour chaque colonne 8 et les ensembles de bandes 24R, 22B et 24V sont alternativement polarisés par rapport à la cathode 2 pour que les électrons extraits des micropointes 20 d'un pixel, c'est-à-dire d'une intersection d'une ligne 16 et d'une colonne 8 de la cathode, soient alternativement dirigés vers les éléments luminophores de chaque couleur qui se trouvent en regard de ce pixel.
Dans le cas de la figure 1, seule une bande 22R d'éléments luminophores rouges est excitée par des électrons 26 émis par l'un des pixels correspondant à cette bande 22R.
La figure 2 est une vue schématique et partielle d'une autre structure connue d'écran plat à micropointes avec laquelle on peut mettre en oeuvre l'invention.
On précise que dans le cas des figures 1 et 2 les mêmes références correspondent aux mêmes éléments.
Dans l'écran de la figure 2 toutes les bandes conductrices 24R, 24B et 24V de l'anode 4 sont respectivement associées à des colonne 8R, 8B et 8V de la cathode 2 de l'écran. Les bandes conductrices 24R, 24B et 24V de l'anode sont alors polarisées simultanément et l'on commande les colonnes 8R, 8B et 8V qui se trouvent en face de ces bandes 24R, 24B et 24V. En d'autres termes, on excite les pixels rouges, bleus et verts qui sont sélectionnés.
Dans le cas de la figure 2, seul un pixel rouge est excité par des électrons.
Pour des questions de brillance de l'écran de la figure 1 ou de la figure 2, on recherche une tension maximale entre l'anode 4 et la cathode 2 de cet écran. Des arcs électriques peuvent alors se produire entre la grille 14 et les éléments luminophores qui ,sont polarisés pour attirer les électrons émis par les micropointes 20.
Des arc électriques peuvent également se produire, dans le cas de la figure 1, entre deux bandes voisines d'éléments luminophores en raison de la différence de potentiel qui existe entre ces deux bandes.
De façon classique, pour résoudre ce problème, les bandes conductrices de l'anode sont reliées à un ou plusieurs conducteurs d'interconnexion par l'intermédiaire de résistances électriques.
Ceci est schématiquement illustré sur la figure 3 où l'on voit une partie d'une anode d'un écran plat à micropointes et, dans cette partie, deux groupes comprenant chacun trois bandes conductrices 24R, 24B et 24V.
Dans chaque groupe, les bandes 24R, 24B et 24V sont respectivement reliées à trois conducteurs d'interconnexion 28R, 28B et 28V par l'intermédiaire de résistances électriques 30R, 30B et 30V.
A ce sujet on se reportera au document suivant :
FR 2725072 A correspondant à US 5,592,056 A (Peyre et al.).
Différentes techniques sont connues pour former ces résistances électriques.
On utilise par exemple la technique des couches minces en déposant un matériau résistif puis en gravant ce matériau ou la technique des couches épaisses en formant ces résistances par sérigraphie d'une encre résistive ou d'une pâte résistive.
Toutes ces techniques se traduisent par un certain nombre d'étapes supplémentaires lors de la fabrication des écrans, ce qui complique cette fabrication et augmente le coût de ces écrans.
EXPOSÉ DE L'INVENTION
La présente invention a pour but de remédier à cet inconvénient.
Elle a pour objet une anode pour écran plat de visualisation, plus simple que les anodes connues, mentionnées plus haut.
Elle a aussi pour objet un procédé de fabrication d'une telle anode, plus simple que les procédés connus, mentionnés plus haut.
Pour ce faire, la présente invention propose de former les résistances et les bandes conductrices sur lesquelles sont formés les éléments luminophores pendant une même étape d'un procédé de fabrication de l'anode d'un écran plat de visualisation.
De façon précise, la présente invention a pour objet un procédé de fabrication d'une anode d'un écran plat de visualisation, en particulier d'un écran à micropointes, procédé dans lequel on forme, sur un substrat électriquement isolant, au moins un ensemble de bandes électriquement conductrices portant respectivement des bandes d'éléments luminophores et au moins un conducteur électrique d'interconnexion relié aux bandes conductrices par l'intermédiaire de résistance électriques, ce procédé étant caractérisé en ce que, pour former les bandes conductrices et les résistances, on forme une couche électriquement conductrice sur le substrat et l'on forme ces bandes conductrices et ces résistances à partir de cette couche conductrice.
On peut former une résistance par bande conductrice.
En variante, on peut répartir les bandes conductrices en groupes et former une résistance par groupe de bandes conductrices.
Selon un premier mode de mise en oeuvre particulier du procédé objet de l'invention, on forme un seul conducteur d'interconnexion et l'on relie toutes les résistances à ce conducteur d'interconnexion.
Selon un deuxième mode de réalisation particulier, on forme une pluralité de conducteurs d'interconnexion et l'on relie en alternance les résistances à ces conducteurs d'interconnexion.
En vue de former une anode pour un écran en couleurs on peut former trois ensembles de bandes conductrices alternées portant respectivement des bandes d'éléments luminophores de couleurs différentes.
Les résistances peuvent avoir une forme ondulée en vue de réduire l'encombrement du substrat de l'anode.
Dans le cas où l'on veut former une anode pour un écran destiné à être observé à travers cette anode, on utilise un substrat d'anode et une couche conductrice qui sont transparents de manière à laisser passer la lumière produite par les éléments luminophores.
Cette couche conductrice est par exemple en oxyde d'indium dopé à l'étain ou ITO.
La formation des bandes conductrices et des résistances peut comprendre une photolithographie et une gravure de la couche conductrice.
La présente invention concerne aussi une anode d'un écran plat de visualisation comprenant, sur un substrat électriquement isolant, au moins un ensemble de bandes électriquement conductrices portant respectivement des bandes d'éléments luminophores et au moins un conducteur électrique d'interconnexion relié aux bandes conductrices par l'intermédiaire de résistance électriques, cette anode étant caractérisée en ce que les résistances sont formées sur le substrat, à partir du même matériau électriquement conducteur que les bandes conductrices.
Le matériau électriquement conducteur est par exemple l'oxyde d'indium dopé à l'étain.
L'invention concerne également un écran plat de visualisation comprenant l'anode cathodoluminescente objet de l'invention, placée en regard d'une cathode apte à émettre des électrons par effet de champ.
BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS
La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés ci-après, à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels :
  • les figures 1 et 2 sont des vues en perspective schématiques et partielles d'écrans plats de visualisation à micropointes connus et ont déjà été décrites,
  • la figure 3 est une vue schématique de résistances électriques utilisables de façon connue dans les écrans des figures 1 et 2 et a déjà été décrite, et
  • les figures 4 et 5 illustrent schématiquement deux modes de réalisation particuliers de l'invention qui sont utilisables respectivement dans l'écran de la figure 1 et dans l'écran de la figure 2.
    • EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS
    Comme on l'a vu plus haut, les écrans des figures 1 et 2 utilisent, pour leur anode, des bandes conductrices transparentes. Ces bandes conductrices sont par exemple en oxyde d'indium dopé à l'étain.
    En agissant sur le dopage en étain et en adaptant les paramètres de dépôt de l'oxyde d'indium dopé à l'étain ou ITO ainsi que les traitements thermiques après ce dépôt, on sait obtenir un ITO dans une gamme de résistivités allant d'environ 10-4 Ω.cm jusqu'à quelques millièmes d'ohm.centimètre.
    En choississant une résistivité et une géométrie appropriées, il est possible de former des résistances de faibles encombrement, dans une gamme de valeurs allant de quelques centaines de kilo-ohms à quelques mégohms.
    En partant d'un substrat transparent, par exemple en verre, sur lequel on a formé une couche d'oxyde d'indium dopé à l'étain ayant les caractéristiques voulues, on forme alors les bandes conductrices et les résistances d'accès à ces bandes en une seule étape comprenant une photolithographie et une gravure, techniques bien connues de l'homme du métier.
    La figure 4 est un exemple de réalisation d'une anode A1 conformément à l'invention, pour un écran du genre de celui qui est représenté sur la figure 1.
    On forme au préalable, sur un substrat en verre 31, deux conducteurs d'interconnexion parallèles et adjacents 32R et 32B d'un côté d'une zone du substrat qui est réservée aux bandes conductrices et aux résistances que l'on veut former conformément à l'invention.
    Cette zone constitue la surface utile de l'écran.
    De l'autre côté de cette zone, on forme un autre conducteur d'interconnexion 32V parallèle aux conducteurs 32R et 32B.
    Ces conducteurs d'interconnexion 32R, 32B et 32V sont par exemple en oxyde d'indium dopé à l'étain, ce qui permet de les réaliser en même temps que les bandes conductrices et les résistances, ou en un autre matériau conducteur, par exemple de l'aluminium.
    On forme ensuite trois ensembles de bandes parallèles en oxyde d'indium dopé à l'étain sur le substrat 31, dans la zone prévue à cet effet. Ces bandes sont perpendiculaires aux conducteurs d'interconnexion et ont les références 34R pour le premier ensemble, 34B pour le deuxième ensemble et 34V pour le troisième ensemble.
    Elles sont destinées à recevoir respectivement des bandes d'éléments luminophores 35R, 35B et 35V (rouges pour les bandes 34R, bleues pour les bandes 34B et vertes pour les bandes 34V).
    Chaque bande conductrice est connectée à l'un des conducteurs d'interconnexion et comprend, en son extrémité la plus proche de ce conducteur, une résistance qui est donc en ITO.
    Les bandes 34R, 34B et 34V sont respectivement connectées aux conducteurs 32R, 32B et 32V et les résistances correspondantes sont respectivement référencées 36R, 36B et 36V.
    On voit que les résistances 36R et 36V sont respectivement en contact avec les conducteurs d'interconnexion 32R et 32V alors que les extrémités respectives des résistances 36B forment des plots 38.
    Chaque plot 38 est ultérieurement connecté au conducteur d'interconnexion 32B par une technique d'interconnexion classique, par exemple la technique appelée « bonding ».
    Dans un écran utilisant l'anode de la figure 4, les ensembles des bandes 34R, 34B et 34V sont alternativement polarisés et la tension qui leur est alternativement appliquée est inférieure à 1 kV. Elle vaut par exemple 500 V.
    Il existe alors un risque de formation d'un arc électrique entre une bande polarisée et une bande voisine ainsi qu'entre une bande polarisée et la grille de la cathode de l'écran.
    Si les résistances ont une valeur telle que le courant dans les bandes conductrices 34R, 34B et 34V soit limité à quelques milliampères un arc électrique ne pourra pas s'amorcer. Par exemple avec une tension d'anode de 500 V et des résistances de 500 kΩ le courant maximal est limité à 1 mA, ce qui empêche la formation des arcs électriques.
    Le courant par pixel étant de l'ordre de 20 µA on utilise un oxyde d'indium dopé à l'étain dont la résistance par carré vaut 500 Ω. Chacune des résistances 36R, 36B et 36V de 500 kΩ forme alors par exemple une bande large de 20 µm et longue de 20 mm.
    Cette bande peut être rectiligne mais a de préférence une forme ondulée, comme on le voit sur la figure 4, pour moins encombrer le substrat 6 de l'anode.
    On obtient un écran de visualisation conforme à l'invention en remplaçant, dans l'écran de la figure 1, l'anode 4 par l'anode A1 conforme à l'invention de la figure 4, les bandes 34R, 34B et 34V étant parallèles aux colonnes 8 de la cathode 2.
    La figure 5 est un autre exemple de fabrication d'une anode A2 conformément à l'invention, pour un écran du genre de celui qui est représenté sur la figure 2.
    Dans le cas de l'anode de la figure 5, on forme au préalable un seul conducteur d'interconnexion 32 (au lieu des trois conducteurs d'interconnexion de la figure 4) et toutes les bandes 34R, 34B et 34V sont ensuite formées, avec leurs résistances respectives 36R, 36B et 36V et sont en contact avec le conducteur d'interconnexion 32 par l'intermédiaire de ces résistances.
    Dans un écran utilisant l'anode de la figure 5 toutes les bandes conductrices 34R, 34B et 34V sont polarisées simultanément et la tension qui leur est appliquée peut être de plusieurs kilovolts et vaut par exemple 3 kV.
    Un arc électrique est alors susceptible de se produire entre les bandes conductrices 34R, 34B et 34V de l'anode et la grille de la cathode de l'écran.
    Si l'on tolère une chute de tension de 2%, c'est-à-dire par exemple environ 60 volts, dans les résistances lorsque celles-ci sont parcourues par le courant d'un pixel, c'est-à-dire environ 20 µA, ces résistances doivent avoir une valeur de 3 MΩ. Le courant dans chaque bande est alors limité à 1 mA, ce qui empêche la formation des arcs électriques.
    De telles résistances peuvent par exemple être formées chacune d'une bande rectiligne ou de préférence ondulée, en ITO de résistance carrée 1000 Ω, large 20 µm et longue de 60 mm.
    On obtient un autre écran de visualisation conforme à l'invention en remplaçant, dans l'écran de la figure 2, l'anode 4 par l'anode A2 conforme à l'invention de la figure 5, les bandes 34R, 34B et 34V étant parallèles aux colonnes 8R, 8B et 8V de la cathode 2.
    Diverses variantes et modifications peuvent être apportées à l'invention telle que décrite et apparaítront à l'homme du métier.
    En particulier, on n'a décrit que le cas où l'on utilise une seule résistance par bande conductrice de l'anode mais il est possible de former des groupes comprenant plusieurs bandes et d'utiliser une résistance adaptée par groupe.
    De même, on a fait référence dans la description qui précède à un écran en couleurs mais l'invention s'applique également à un écran monochrome si cet écran comporte une anode pourvue de bandes d'éléments luminophores.
    En outre, on a décrit des exemples de fabrication d'anodes dans lesquelles le substrat est transparent pour observer l'écran à travers ce substrat. Cependant, dans d'autres exemples, on peut former les bandes conductrices et les résistances associées ainsi que les éléments luminophores sur un substrat opaque dans le cas où l'on forme un écran que l'on peut observer à travers sa cathode.
    L'invention ne s'applique pas seulement aux écrans à micropointes. Elle s'applique aussi à la fabrication de tous les écrans à émission par effet de champ y compris les écrans à émission par le carbone ou les écrans à microfissures.

    Claims (13)

    1. Procédé de fabrication d'une anode d'un écran plat de visualisation, en particulier d'un écran à micropointes, procédé dans lequel on forme, sur un substrat électriquement isolant (31), au moins un ensemble de bandes électriquement conductrices (34R, 34B, 34V) portant respectivement des bandes d'éléments luminophores et au moins un conducteur électrique d'interconnexion (32, 32R-32B-32V) relié aux bandes conductrices par l'intermédiaire de résistances électriques (36R, 36B, 36V), ce procédé étant caractérisé en ce que, pour former les bandes conductrices et les résistances, on forme une couche électriquement conductrice sur le substrat et l'on forme ces bandes conductrices et ces résistances à partir de cette couche conductrice.
    2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel on forme une résistance (36R, 36B, 36V) par bande conductrice (34R, 34B, 34V).
    3. Procédé selon la revendication 1, dans lequel les bandes conductrices sont réparties en groupes et l'on forme une résistance par groupe de bandes conductrices.
    4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel on forme un seul conducteur d'interconnexion (32) et l'on relie toutes les résistances (36R, 36B, 36V) à ce conducteur d'interconnexion.
    5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel on forme une pluralité de conducteurs d'interconnexion (32R, 32B, 32C) et l'on relie en alternance les résistances (36R, 36B, 36C) à ces conducteurs d'interconnexion.
    6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel on forme trois ensembles de bandes conductrices alternées (34R, 34B, 34V) portant respectivement des bandes d'éléments luminophores de couleurs différentes.
    7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel les résistances (36R, 36B, 36V) ont une forme ondulée.
    8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel le substrat (31) et la couche conductrice sont transparents de manière à laisser passer la lumière produite par les éléments luminophores.
    9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel la couche conductrice est en oxyde d'indium dopé à l'étain.
    10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel la formation des bandes conductrices (34R, 34B, 34V) et des résistances (36R, 36B, 36V) comprend une photolithographie et une gravure de la couche conductrice.
    11. Anode d'un écran plat de visualisation comprenant, sur un substrat électriquement isolant (31), au moins un ensemble de bandes électriquement conductrices (34R, 34B, 34V) portant respectivement des bandes d'éléments luminophores (35R, 35B, 35V) et au moins un conducteur électrique d'interconnexion (32, 32R-32B-32V) relié aux bandes conductrices par l'intermédiaire de résistances électriques (36R, 36B, 36V), cette anode étant caractérisée en ce que les résistances sont formées sur le substrat, à partir du même matériau électriquement conducteur que les bandes conductrices.
    12. Anode selon la revendication 11, dans laquelle le matériau électriquement conducteur est l'oxyde d'indium dopé à l'étain.
    13. Ecran plat de visualisation comprenant :
      une cathode apte à émettre des électrons par effet de champ, et
      une anode cathodoluminescente placée en regard de la cathode et conforme à l'une quelconque des revendications 11 et 12.
    EP00402127A 1999-07-27 2000-07-25 Procédé de fabrication d'une anode d'un écran plat de visualisation, anode obtenue par ce procédé et écran plat utilisant cette anode Withdrawn EP1073088A1 (fr)

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