EP1073088A1 - Fabrication of an anode of a flat viewing screen,anode obtained by said method and flat screen using such anode - Google Patents

Fabrication of an anode of a flat viewing screen,anode obtained by said method and flat screen using such anode Download PDF

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EP1073088A1
EP1073088A1 EP00402127A EP00402127A EP1073088A1 EP 1073088 A1 EP1073088 A1 EP 1073088A1 EP 00402127 A EP00402127 A EP 00402127A EP 00402127 A EP00402127 A EP 00402127A EP 1073088 A1 EP1073088 A1 EP 1073088A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
anode
conductive
resistors
strips
bands
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP00402127A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Aimé Périn
Brigitte Montmayeul
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Publication of EP1073088A1 publication Critical patent/EP1073088A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/08Electrodes intimately associated with a screen on or from which an image or pattern is formed, picked-up, converted or stored, e.g. backing-plates for storage tubes or collecting secondary electrons
    • H01J29/085Anode plates, e.g. for screens of flat panel displays
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel

Definitions

  • the present invention relates to a method manufacturing an anode of a flat screen display as well as an anode obtained by this process and a flat screen using this anode.
  • the invention relates in particular to manufacture of an anode of a flat screen microtip display ("microtips").
  • the invention applies in particular to the manufacture of anodes for flat display screens in colors.
  • Figure 1 is a schematic view and partial of a known flat screen structure with microtips with which one can implement the invention.
  • Such a microtip screen includes essentially a microtip cathode 2 and a cathodoluminescent anode 4 which is placed opposite this cathode.
  • the cathodoluminescent anode 4 comprises a transparent substrate 6, generally made of glass, which lets in the light produced by cathodoluminescence and through which we observe the screen.
  • the cathode 2 includes a set of parallel conductors 8 forming the columns of this cathode. Only one of these conductors is shown in Figure 1. These conductors 8 are formed on a substrate electrically insulating 10 generally made of glass.
  • This set of conductors 8 is covered an electrically insulating layer 12 on which the grid 14 of the cathode is formed.
  • This grid is a set of parallel lines 16. A single line is shown in Figure 1. Lines 16 are orthogonal to columns 8.
  • Holes 18 are formed through the insulating layer 12 and the grid 14 to the columns 8.
  • the microtips 20 are formed in these holes 18.
  • the screen schematically represented on the Figure 1 uses the electric field created between the conductors 8 and grid 14 so that the electrons are extracted from microtips 20 and reach the phosphor elements of the anode.
  • the anode 4 is provided with strips of phosphor elements 22R, 22B and 22V which alternate with each other and correspond respectively to the three colors red, blue and green.
  • These bands of phosphor elements are respectively deposited on electrically tapes conductors 24R, 24B and 24V which are formed on the substrate 6, parallel to columns 8, from an electrically conductive and transparent layer for example indium oxide doped with tin.
  • Figure 2 is a schematic view and partial view of another known flat screen structure with microtips with which one can implement the invention.
  • Electric arcs can also produce, in the case of figure 1, between two bands neighboring phosphor elements due to the potential difference between these two bands.
  • the conductive strips of the anode are connected to one or more interconnection conductors through electrical resistors.
  • bands 24R, 24B and 24V are respectively connected to three conductors 28R, 28B and 28V interconnection via electrical resistors 30R, 30B and 30V.
  • the object of the present invention is to remedy this drawback.
  • the present invention proposes to form resistors and bands conductive on which the elements are formed phosphors during the same stage of a process manufacture of the anode of a flat screen visualization.
  • the present invention has relates to a method for manufacturing an anode of a flat display screen, in particular a screen microtip, process in which one forms, on a electrically insulating substrate, at least one set of electrically conductive strips carrying bands of phosphor elements and respectively minus one interconnected electrical conductor to the conductive strips through electrical resistance, this process being characterized by what, to form the conductive strips and the resistors, an electrically formed layer is formed conductive on the substrate and these bands are formed conductive and these resistors from this conductive layer.
  • the bands can be distributed conductive in groups and form resistance by group of conductive strips.
  • Resistors can have a form corrugated to reduce the size of the substrate the anode.
  • an anode substrate and a layer are used conductive which are transparent so as to leave pass the light produced by the elements phosphors.
  • This conductive layer is for example in indium oxide doped with tin or ITO.
  • the formation of conductive strips and resistors can include photolithography and an etching of the conductive layer.
  • the present invention also relates to a anode of a flat display screen comprising, on an electrically insulating substrate, at least one set of electrically conductive strips carrying bands of phosphor elements and respectively minus one interconnected electrical conductor to the conductive strips through electrical resistance, this anode being characterized in that the resistors are formed on the substrate, from the same electrically conductive material as the conductive strips.
  • the electrically conductive material is for example indium oxide doped with tin.
  • the invention also relates to a screen display plate including anode cathodoluminescent object of the invention, placed in gaze of a cathode capable of emitting electrons by field effect.
  • the screens of Figures 1 and 2 use, for their anode, strips transparent conductors. These conductive strips are for example made of indium oxide doped with tin.
  • Figure 4 is an exemplary embodiment an anode A1 according to the invention, for a screen like the one shown on the figure 1.
  • This area constitutes the useful surface of the screen.
  • interconnection conductors 32R, 32B and 32V are for example made of indium oxide doped with tin, which allows them to be made at the same time that the conductive strips and the resistors, or another conductive material, for example from aluminum.
  • Each conductive strip is connected to one of the interconnection conductors and includes, in its end closest to this conductor, a resistance which is therefore in ITO.
  • the bands 34R, 34B and 34V are respectively connected to conductors 32R, 32B and 32V and the corresponding resistors are respectively referenced 36R, 36B and 36V.
  • resistors 36R and 36V are respectively in contact with the conductors 32R and 32V interconnection while the ends respective resistors 36B form pads 38.
  • Each pad 38 is subsequently connected to interconnection conductor 32B by a technique of classic interconnection, for example the technique called "bonding".
  • the sets of bands 34R, 34B and 34V are alternately polarized and their voltage alternately applied is less than 1 kV. She is for example 500 V.
  • resistors have a value such that the current in the conductive strips 34R, 34B and 34V either limited to a few milliamps an electric arc will not be able to start. For example with tension anode of 500 V and resistances of 500 k ⁇ maximum current is limited to 1 mA, which prevents the formation of electric arcs.
  • the current per pixel being of the order of 20 ⁇ A an indium oxide doped with tin is used, the resistance per square is 500 ⁇ .
  • Each of resistors 36R, 36B and 36V of 500 k ⁇ then form by example a 20 ⁇ m wide and 20 mm long strip.
  • This strip can be straight but has preferably a wavy shape, as seen on the Figure 4, to less clutter the substrate 6 of the anode.
  • Figure 5 is another example of manufacture of an anode A2 in accordance with the invention, for a screen like the one shown on Figure 2.
  • Such resistances can for example each be formed of a straight strip or preferably wavy, in ITO of square resistance 1000 ⁇ , 20 ⁇ m wide and 60 mm long.
  • the invention does not only apply to microtip screens. It also applies to the manufacture of all emission screens field including carbon emission screens or microcrack screens.

Abstract

The technique includes formation of all conducting bands in a single layer, with resistances formed in serpentine fashion to provide electrical connections. A series of conducting bands (34R, 34B, 34V) are formed, each carrying the luminophore elements for the three colours. The conducting bands of each of the three sets are connected by interconnecting rails (32R, 32B, 32V), with resistance elements (36R, 36B, 36V) linking each band to its respective rail. The conducting bands and their resistances are formed from the same conductive layer. The bands may be formed in groups, in which case one resistance is provided for the connection of each group. The resistances may be formed by a serpentine conducting track on the substrate, and both the substrate and the resistances are formed of a transparent material. The conducting layer may be an oxide of indium, doped with tin.

Description

DOMAINE TECHNIQUETECHNICAL AREA

La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une anode d'un écran plat de visualisation ainsi qu'une anode obtenue par ce procédé et un écran plat utilisant cette anode.The present invention relates to a method manufacturing an anode of a flat screen display as well as an anode obtained by this process and a flat screen using this anode.

L'invention concerne en particulier la fabrication d'une anode d'un écran plat de visualisation à micropointes (« microtips »).The invention relates in particular to manufacture of an anode of a flat screen microtip display ("microtips").

L'invention s'applique notamment à la fabrication d'anodes d'écrans plats de visualisation en couleurs.The invention applies in particular to the manufacture of anodes for flat display screens in colors.

ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEUREPRIOR STATE OF THE ART

La figure 1 est une vue schématique et partielle d'une structure connue d'écran plat à micropointes avec lequel on peut mettre en oeuvre l'invention.Figure 1 is a schematic view and partial of a known flat screen structure with microtips with which one can implement the invention.

Un tel écran à micropointes comprend essentiellement une cathode à micropointes 2 et une anode cathodoluminescente 4 qui est placée en regard de cette cathode.Such a microtip screen includes essentially a microtip cathode 2 and a cathodoluminescent anode 4 which is placed opposite this cathode.

L'anode cathodoluminescente 4 comprend un substrat transparent 6, généralement en verre, qui laisse passer la lumière produite par cathodoluminescence et à travers lequel on observe l'écran.The cathodoluminescent anode 4 comprises a transparent substrate 6, generally made of glass, which lets in the light produced by cathodoluminescence and through which we observe the screen.

Le principe de fonctionnement et le détail de la constitution d'un tel écran sont décrits en particulier dans le document suivant auquel on se reportera :The operating principle and the detail of the constitution of such a screen are described in particular in the following document to which we report to :

FR 2623013 A correspondant à EP 0316214 A et à US 4,940,916 A (Borel et al.).FR 2623013 A corresponding to EP 0316214 A and to US 4,940,916 A (Borel et al.).

Au sujet des écrans plats à micropointes on pourra également consulter les documents suivants :About microtip flat screens we may also consult the following documents:

US 4,857,161 A (Borel et al.), US 4,908,539 A (Meyer), US 5,194,780 A (Meyer) et US 5,534,744 A (Leroux et al.).US 4,857,161 A (Borel et al.), US 4,908,539 A (Meyer), US 5,194,780 A (Meyer) and US 5,534,744 A (Leroux et al.).

En revenant à la figure 1, la cathode 2 comprend un ensemble de conducteurs parallèles 8 formant les colonnes de cette cathode. Un seul de ces conducteurs est représenté sur la figure 1. Ces conducteurs 8 sont formés sur un substrat électriquement isolant 10 généralement en verre.Returning to Figure 1, the cathode 2 includes a set of parallel conductors 8 forming the columns of this cathode. Only one of these conductors is shown in Figure 1. These conductors 8 are formed on a substrate electrically insulating 10 generally made of glass.

Cet ensemble de conducteurs 8 est recouvert d'une couche électriquement isolante 12 sur laquelle est formée la grille 14 de la cathode. Cette grille est un ensemble de lignes parallèles 16. Une seule ligne est représentée sur la figure 1. Les lignes 16 sont orthogonales aux colonnes 8.This set of conductors 8 is covered an electrically insulating layer 12 on which the grid 14 of the cathode is formed. This grid is a set of parallel lines 16. A single line is shown in Figure 1. Lines 16 are orthogonal to columns 8.

Des trous 18 sont formés à travers la couche isolante 12 et la grille 14 jusqu'aux colonnes 8. Les micropointes 20 sont formées dans ces'trous 18.Holes 18 are formed through the insulating layer 12 and the grid 14 to the columns 8. The microtips 20 are formed in these holes 18.

L'écran schématiquement représenté sur la figure 1 utilise le champ électrique créé entre les conducteurs 8 et la grille 14 pour que les électrons soient extraits des micropointes 20 et atteignent les éléments luminophores (« phosphor elements ») de l'anode.The screen schematically represented on the Figure 1 uses the electric field created between the conductors 8 and grid 14 so that the electrons are extracted from microtips 20 and reach the phosphor elements of the anode.

Dans le cas d'un écran en couleurs l'anode 4 est pourvue de bandes d'éléments luminophores 22R, 22B et 22V qui alternent les unes avec les autres et correspondent respectivement aux trois couleurs rouge, bleu et vert.In the case of a color screen the anode 4 is provided with strips of phosphor elements 22R, 22B and 22V which alternate with each other and correspond respectively to the three colors red, blue and green.

Ces bandes d'éléments luminophores sont respectivement déposées sur des bandes électriquement conductrices 24R, 24B et 24V qui sont formées sur le substrat 6, parallèlement aux colonnes 8, à partir d'une couche électriquement conductrice et transparente par exemple en oxyde d'indium dopé à l'étain.These bands of phosphor elements are respectively deposited on electrically tapes conductors 24R, 24B and 24V which are formed on the substrate 6, parallel to columns 8, from an electrically conductive and transparent layer for example indium oxide doped with tin.

Dans le cas de l'écran de la figure 1 il y a trois bandes référencées 24R, 24B et 24V pour chaque colonne 8 et les ensembles de bandes 24R, 22B et 24V sont alternativement polarisés par rapport à la cathode 2 pour que les électrons extraits des micropointes 20 d'un pixel, c'est-à-dire d'une intersection d'une ligne 16 et d'une colonne 8 de la cathode, soient alternativement dirigés vers les éléments luminophores de chaque couleur qui se trouvent en regard de ce pixel.In the case of the screen in Figure 1 there has three bands referenced 24R, 24B and 24V for each column 8 and the strip sets 24R, 22B and 24V are alternately polarized with respect to the cathode 2 so that the electrons extracted from the microtips 20 of a pixel, i.e. of an intersection of a line 16 and a column 8 of the cathode, either alternately directed towards the phosphor elements of each color that are next to this pixel.

Dans le cas de la figure 1, seule une bande 22R d'éléments luminophores rouges est excitée par des électrons 26 émis par l'un des pixels correspondant à cette bande 22R.In the case of Figure 1, only one strip 22R of red phosphor elements is excited by electrons 26 emitted by one of the pixels corresponding to this strip 22R.

La figure 2 est une vue schématique et partielle d'une autre structure connue d'écran plat à micropointes avec laquelle on peut mettre en oeuvre l'invention.Figure 2 is a schematic view and partial view of another known flat screen structure with microtips with which one can implement the invention.

On précise que dans le cas des figures 1 et 2 les mêmes références correspondent aux mêmes éléments.It is specified that in the case of FIGS. 1 and 2 the same references correspond to the same elements.

Dans l'écran de la figure 2 toutes les bandes conductrices 24R, 24B et 24V de l'anode 4 sont respectivement associées à des colonne 8R, 8B et 8V de la cathode 2 de l'écran. Les bandes conductrices 24R, 24B et 24V de l'anode sont alors polarisées simultanément et l'on commande les colonnes 8R, 8B et 8V qui se trouvent en face de ces bandes 24R, 24B et 24V. En d'autres termes, on excite les pixels rouges, bleus et verts qui sont sélectionnés.In the screen of figure 2 all conductive strips 24R, 24B and 24V from anode 4 are respectively associated with columns 8R, 8B and 8V of cathode 2 of the screen. 24R conductive strips, 24B and 24V of the anode are then polarized simultaneously and the columns 8R, 8B and 8V which are located opposite these bands 24R, 24B and 24V. In other words, we excite the red pixels, blue and green which are selected.

Dans le cas de la figure 2, seul un pixel rouge est excité par des électrons.In the case of Figure 2, only one pixel red is excited by electrons.

Pour des questions de brillance de l'écran de la figure 1 ou de la figure 2, on recherche une tension maximale entre l'anode 4 et la cathode 2 de cet écran. Des arcs électriques peuvent alors se produire entre la grille 14 et les éléments luminophores qui ,sont polarisés pour attirer les électrons émis par les micropointes 20.For questions of screen brightness in Figure 1 or Figure 2, we are looking for a maximum voltage between anode 4 and cathode 2 of this screen. Electric arcs can occur between the grid 14 and the phosphor elements which , are polarized to attract the electrons emitted by the microtips 20.

Des arc électriques peuvent également se produire, dans le cas de la figure 1, entre deux bandes voisines d'éléments luminophores en raison de la différence de potentiel qui existe entre ces deux bandes.Electric arcs can also produce, in the case of figure 1, between two bands neighboring phosphor elements due to the potential difference between these two bands.

De façon classique, pour résoudre ce problème, les bandes conductrices de l'anode sont reliées à un ou plusieurs conducteurs d'interconnexion par l'intermédiaire de résistances électriques.Conventionally, to resolve this problem, the conductive strips of the anode are connected to one or more interconnection conductors through electrical resistors.

Ceci est schématiquement illustré sur la figure 3 où l'on voit une partie d'une anode d'un écran plat à micropointes et, dans cette partie, deux groupes comprenant chacun trois bandes conductrices 24R, 24B et 24V.This is schematically illustrated on the Figure 3 where we see part of an anode of a screen microtip dish and, in this part, two groups each comprising three conductive strips 24R, 24B and 24V.

Dans chaque groupe, les bandes 24R, 24B et 24V sont respectivement reliées à trois conducteurs d'interconnexion 28R, 28B et 28V par l'intermédiaire de résistances électriques 30R, 30B et 30V.In each group, bands 24R, 24B and 24V are respectively connected to three conductors 28R, 28B and 28V interconnection via electrical resistors 30R, 30B and 30V.

A ce sujet on se reportera au document suivant :On this subject we will refer to the document next :

FR 2725072 A correspondant à US 5,592,056 A (Peyre et al.).FR 2725072 A corresponding to US 5,592,056 A (Peyre et al.).

Différentes techniques sont connues pour former ces résistances électriques.Different techniques are known for form these electrical resistances.

On utilise par exemple la technique des couches minces en déposant un matériau résistif puis en gravant ce matériau ou la technique des couches épaisses en formant ces résistances par sérigraphie d'une encre résistive ou d'une pâte résistive.We use for example the technique of thin layers by depositing a resistive material and then engraving this material or the layering technique thick by forming these resistances by screen printing resistive ink or resistive paste.

Toutes ces techniques se traduisent par un certain nombre d'étapes supplémentaires lors de la fabrication des écrans, ce qui complique cette fabrication et augmente le coût de ces écrans.All of these techniques translate into a number of additional steps during the manufacture of screens, which complicates this manufacturing and increases the cost of these screens.

EXPOSÉ DE L'INVENTIONSTATEMENT OF THE INVENTION

La présente invention a pour but de remédier à cet inconvénient. The object of the present invention is to remedy this drawback.

Elle a pour objet une anode pour écran plat de visualisation, plus simple que les anodes connues, mentionnées plus haut.It relates to an anode for flat screen display, simpler than known anodes, mentioned above.

Elle a aussi pour objet un procédé de fabrication d'une telle anode, plus simple que les procédés connus, mentionnés plus haut.It also relates to a method of manufacture of such an anode, simpler than known methods, mentioned above.

Pour ce faire, la présente invention propose de former les résistances et les bandes conductrices sur lesquelles sont formés les éléments luminophores pendant une même étape d'un procédé de fabrication de l'anode d'un écran plat de visualisation.To do this, the present invention proposes to form resistors and bands conductive on which the elements are formed phosphors during the same stage of a process manufacture of the anode of a flat screen visualization.

De façon précise, la présente invention a pour objet un procédé de fabrication d'une anode d'un écran plat de visualisation, en particulier d'un écran à micropointes, procédé dans lequel on forme, sur un substrat électriquement isolant, au moins un ensemble de bandes électriquement conductrices portant respectivement des bandes d'éléments luminophores et au moins un conducteur électrique d'interconnexion relié aux bandes conductrices par l'intermédiaire de résistance électriques, ce procédé étant caractérisé en ce que, pour former les bandes conductrices et les résistances, on forme une couche électriquement conductrice sur le substrat et l'on forme ces bandes conductrices et ces résistances à partir de cette couche conductrice.Specifically, the present invention has relates to a method for manufacturing an anode of a flat display screen, in particular a screen microtip, process in which one forms, on a electrically insulating substrate, at least one set of electrically conductive strips carrying bands of phosphor elements and respectively minus one interconnected electrical conductor to the conductive strips through electrical resistance, this process being characterized by what, to form the conductive strips and the resistors, an electrically formed layer is formed conductive on the substrate and these bands are formed conductive and these resistors from this conductive layer.

On peut former une résistance par bande conductrice. We can form a resistance by strip conductive.

En variante, on peut répartir les bandes conductrices en groupes et former une résistance par groupe de bandes conductrices.Alternatively, the bands can be distributed conductive in groups and form resistance by group of conductive strips.

Selon un premier mode de mise en oeuvre particulier du procédé objet de l'invention, on forme un seul conducteur d'interconnexion et l'on relie toutes les résistances à ce conducteur d'interconnexion.According to a first mode of implementation particular of the process which is the subject of the invention, a single interconnection conductor and we connect all resistances to this conductor interconnection.

Selon un deuxième mode de réalisation particulier, on forme une pluralité de conducteurs d'interconnexion et l'on relie en alternance les résistances à ces conducteurs d'interconnexion.According to a second embodiment particular, we form a plurality of conductors interconnection and we connect alternately resistances to these interconnection conductors.

En vue de former une anode pour un écran en couleurs on peut former trois ensembles de bandes conductrices alternées portant respectivement des bandes d'éléments luminophores de couleurs différentes.In order to form an anode for a screen in colors we can form three sets of bands alternate conductors carrying respectively strips of phosphor elements of different colors.

Les résistances peuvent avoir une forme ondulée en vue de réduire l'encombrement du substrat de l'anode.Resistors can have a form corrugated to reduce the size of the substrate the anode.

Dans le cas où l'on veut former une anode pour un écran destiné à être observé à travers cette anode, on utilise un substrat d'anode et une couche conductrice qui sont transparents de manière à laisser passer la lumière produite par les éléments luminophores.In the case where we want to form an anode for a screen intended to be observed through this anode, an anode substrate and a layer are used conductive which are transparent so as to leave pass the light produced by the elements phosphors.

Cette couche conductrice est par exemple en oxyde d'indium dopé à l'étain ou ITO.This conductive layer is for example in indium oxide doped with tin or ITO.

La formation des bandes conductrices et des résistances peut comprendre une photolithographie et une gravure de la couche conductrice. The formation of conductive strips and resistors can include photolithography and an etching of the conductive layer.

La présente invention concerne aussi une anode d'un écran plat de visualisation comprenant, sur un substrat électriquement isolant, au moins un ensemble de bandes électriquement conductrices portant respectivement des bandes d'éléments luminophores et au moins un conducteur électrique d'interconnexion relié aux bandes conductrices par l'intermédiaire de résistance électriques, cette anode étant caractérisée en ce que les résistances sont formées sur le substrat, à partir du même matériau électriquement conducteur que les bandes conductrices.The present invention also relates to a anode of a flat display screen comprising, on an electrically insulating substrate, at least one set of electrically conductive strips carrying bands of phosphor elements and respectively minus one interconnected electrical conductor to the conductive strips through electrical resistance, this anode being characterized in that the resistors are formed on the substrate, from the same electrically conductive material as the conductive strips.

Le matériau électriquement conducteur est par exemple l'oxyde d'indium dopé à l'étain.The electrically conductive material is for example indium oxide doped with tin.

L'invention concerne également un écran plat de visualisation comprenant l'anode cathodoluminescente objet de l'invention, placée en regard d'une cathode apte à émettre des électrons par effet de champ.The invention also relates to a screen display plate including anode cathodoluminescent object of the invention, placed in gaze of a cathode capable of emitting electrons by field effect.

BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINSBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés ci-après, à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels :

  • les figures 1 et 2 sont des vues en perspective schématiques et partielles d'écrans plats de visualisation à micropointes connus et ont déjà été décrites,
  • la figure 3 est une vue schématique de résistances électriques utilisables de façon connue dans les écrans des figures 1 et 2 et a déjà été décrite, et
  • les figures 4 et 5 illustrent schématiquement deux modes de réalisation particuliers de l'invention qui sont utilisables respectivement dans l'écran de la figure 1 et dans l'écran de la figure 2.
  • The present invention will be better understood on reading the description of exemplary embodiments given below, by way of purely indicative and in no way limiting, with reference to the appended drawings in which:
  • FIGS. 1 and 2 are schematic and partial perspective views of known microtip display flat screens and have already been described,
  • FIG. 3 is a schematic view of electrical resistors usable in a known manner in the screens of FIGS. 1 and 2 and has already been described, and
  • FIGS. 4 and 5 schematically illustrate two particular embodiments of the invention which can be used respectively in the screen in FIG. 1 and in the screen in FIG. 2.
  • EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERSDETAILED PRESENTATION OF PARTICULAR EMBODIMENTS

    Comme on l'a vu plus haut, les écrans des figures 1 et 2 utilisent, pour leur anode, des bandes conductrices transparentes. Ces bandes conductrices sont par exemple en oxyde d'indium dopé à l'étain.As we saw above, the screens of Figures 1 and 2 use, for their anode, strips transparent conductors. These conductive strips are for example made of indium oxide doped with tin.

    En agissant sur le dopage en étain et en adaptant les paramètres de dépôt de l'oxyde d'indium dopé à l'étain ou ITO ainsi que les traitements thermiques après ce dépôt, on sait obtenir un ITO dans une gamme de résistivités allant d'environ 10-4 Ω.cm jusqu'à quelques millièmes d'ohm.centimètre.By acting on the doping in tin and by adapting the deposition parameters of indium oxide doped with tin or ITO as well as the heat treatments after this deposition, it is known to obtain an ITO in a range of resistivities going from about 10 -4 Ω.cm up to a few thousandths of an ohm. centimeter.

    En choississant une résistivité et une géométrie appropriées, il est possible de former des résistances de faibles encombrement, dans une gamme de valeurs allant de quelques centaines de kilo-ohms à quelques mégohms.By choosing a resistivity and a suitable geometry, it is possible to form space-saving resistors, in a range of values ranging from a few hundred kilo-ohms to a few megohms.

    En partant d'un substrat transparent, par exemple en verre, sur lequel on a formé une couche d'oxyde d'indium dopé à l'étain ayant les caractéristiques voulues, on forme alors les bandes conductrices et les résistances d'accès à ces bandes en une seule étape comprenant une photolithographie et une gravure, techniques bien connues de l'homme du métier.Starting from a transparent substrate, by glass example, on which a layer has been formed indium oxide doped with tin having the desired characteristics, we then form the strips conductive and the access resistors to these strips in a single step including a photolithography and a engraving, techniques well known to those skilled in the art.

    La figure 4 est un exemple de réalisation d'une anode A1 conformément à l'invention, pour un écran du genre de celui qui est représenté sur la figure 1.Figure 4 is an exemplary embodiment an anode A1 according to the invention, for a screen like the one shown on the figure 1.

    On forme au préalable, sur un substrat en verre 31, deux conducteurs d'interconnexion parallèles et adjacents 32R et 32B d'un côté d'une zone du substrat qui est réservée aux bandes conductrices et aux résistances que l'on veut former conformément à l'invention.It is formed beforehand, on a substrate in glass 31, two parallel interconnection conductors and adjacent 32R and 32B on one side of an area of the substrate which is reserved for conductive strips and to the resistances that we want to form in accordance with the invention.

    Cette zone constitue la surface utile de l'écran.This area constitutes the useful surface of the screen.

    De l'autre côté de cette zone, on forme un autre conducteur d'interconnexion 32V parallèle aux conducteurs 32R et 32B.On the other side of this area, we form a other 32V interconnection conductor parallel to 32R and 32B conductors.

    Ces conducteurs d'interconnexion 32R, 32B et 32V sont par exemple en oxyde d'indium dopé à l'étain, ce qui permet de les réaliser en même temps que les bandes conductrices et les résistances, ou en un autre matériau conducteur, par exemple de l'aluminium.These interconnection conductors 32R, 32B and 32V are for example made of indium oxide doped with tin, which allows them to be made at the same time that the conductive strips and the resistors, or another conductive material, for example from aluminum.

    On forme ensuite trois ensembles de bandes parallèles en oxyde d'indium dopé à l'étain sur le substrat 31, dans la zone prévue à cet effet. Ces bandes sont perpendiculaires aux conducteurs d'interconnexion et ont les références 34R pour le premier ensemble, 34B pour le deuxième ensemble et 34V pour le troisième ensemble. We then form three sets of bands parallel to indium oxide doped with tin on the substrate 31, in the zone provided for this purpose. These bands are perpendicular to the conductors interconnection and have the references 34R for the first set, 34B for the second set and 34V for the third set.

    Elles sont destinées à recevoir respectivement des bandes d'éléments luminophores 35R, 35B et 35V (rouges pour les bandes 34R, bleues pour les bandes 34B et vertes pour les bandes 34V).They are intended to receive respectively strips of phosphor elements 35R, 35B and 35V (red for the 34R bands, blue for the bands 34B and green for bands 34V).

    Chaque bande conductrice est connectée à l'un des conducteurs d'interconnexion et comprend, en son extrémité la plus proche de ce conducteur, une résistance qui est donc en ITO.Each conductive strip is connected to one of the interconnection conductors and includes, in its end closest to this conductor, a resistance which is therefore in ITO.

    Les bandes 34R, 34B et 34V sont respectivement connectées aux conducteurs 32R, 32B et 32V et les résistances correspondantes sont respectivement référencées 36R, 36B et 36V.The bands 34R, 34B and 34V are respectively connected to conductors 32R, 32B and 32V and the corresponding resistors are respectively referenced 36R, 36B and 36V.

    On voit que les résistances 36R et 36V sont respectivement en contact avec les conducteurs d'interconnexion 32R et 32V alors que les extrémités respectives des résistances 36B forment des plots 38.We see that the resistors 36R and 36V are respectively in contact with the conductors 32R and 32V interconnection while the ends respective resistors 36B form pads 38.

    Chaque plot 38 est ultérieurement connecté au conducteur d'interconnexion 32B par une technique d'interconnexion classique, par exemple la technique appelée « bonding ».Each pad 38 is subsequently connected to interconnection conductor 32B by a technique of classic interconnection, for example the technique called "bonding".

    Dans un écran utilisant l'anode de la figure 4, les ensembles des bandes 34R, 34B et 34V sont alternativement polarisés et la tension qui leur est alternativement appliquée est inférieure à 1 kV. Elle vaut par exemple 500 V.In a screen using the anode of the Figure 4, the sets of bands 34R, 34B and 34V are alternately polarized and their voltage alternately applied is less than 1 kV. She is for example 500 V.

    Il existe alors un risque de formation d'un arc électrique entre une bande polarisée et une bande voisine ainsi qu'entre une bande polarisée et la grille de la cathode de l'écran.There is then a risk of formation of a electric arc between a polarized strip and a strip neighbor as well as between a polarized strip and the grid of the screen cathode.

    Si les résistances ont une valeur telle que le courant dans les bandes conductrices 34R, 34B et 34V soit limité à quelques milliampères un arc électrique ne pourra pas s'amorcer. Par exemple avec une tension d'anode de 500 V et des résistances de 500 kΩ le courant maximal est limité à 1 mA, ce qui empêche la formation des arcs électriques.If the resistors have a value such that the current in the conductive strips 34R, 34B and 34V either limited to a few milliamps an electric arc will not be able to start. For example with tension anode of 500 V and resistances of 500 kΩ maximum current is limited to 1 mA, which prevents the formation of electric arcs.

    Le courant par pixel étant de l'ordre de 20 µA on utilise un oxyde d'indium dopé à l'étain dont la résistance par carré vaut 500 Ω. Chacune des résistances 36R, 36B et 36V de 500 kΩ forme alors par exemple une bande large de 20 µm et longue de 20 mm.The current per pixel being of the order of 20 µA an indium oxide doped with tin is used, the resistance per square is 500 Ω. Each of resistors 36R, 36B and 36V of 500 kΩ then form by example a 20 µm wide and 20 mm long strip.

    Cette bande peut être rectiligne mais a de préférence une forme ondulée, comme on le voit sur la figure 4, pour moins encombrer le substrat 6 de l'anode.This strip can be straight but has preferably a wavy shape, as seen on the Figure 4, to less clutter the substrate 6 of the anode.

    On obtient un écran de visualisation conforme à l'invention en remplaçant, dans l'écran de la figure 1, l'anode 4 par l'anode A1 conforme à l'invention de la figure 4, les bandes 34R, 34B et 34V étant parallèles aux colonnes 8 de la cathode 2.We get a display screen according to the invention by replacing, in the screen of Figure 1, the anode 4 by the anode A1 according to the invention of FIG. 4, the bands 34R, 34B and 34V being parallel to the columns 8 of the cathode 2.

    La figure 5 est un autre exemple de fabrication d'une anode A2 conformément à l'invention, pour un écran du genre de celui qui est représenté sur la figure 2.Figure 5 is another example of manufacture of an anode A2 in accordance with the invention, for a screen like the one shown on Figure 2.

    Dans le cas de l'anode de la figure 5, on forme au préalable un seul conducteur d'interconnexion 32 (au lieu des trois conducteurs d'interconnexion de la figure 4) et toutes les bandes 34R, 34B et 34V sont ensuite formées, avec leurs résistances respectives 36R, 36B et 36V et sont en contact avec le conducteur d'interconnexion 32 par l'intermédiaire de ces résistances. In the case of the anode of FIG. 5, we forms a single interconnection conductor beforehand 32 (instead of the three interconnection conductors of Figure 4) and all bands 34R, 34B and 34V are then formed, with their respective resistances 36R, 36B and 36V and are in contact with the conductor interconnection 32 through these resistances.

    Dans un écran utilisant l'anode de la figure 5 toutes les bandes conductrices 34R, 34B et 34V sont polarisées simultanément et la tension qui leur est appliquée peut être de plusieurs kilovolts et vaut par exemple 3 kV.In a screen using the anode of the figure 5 all conductive strips 34R, 34B and 34V are polarized simultaneously and the voltage that their is applied may be several kilovolts and is worth for example 3 kV.

    Un arc électrique est alors susceptible de se produire entre les bandes conductrices 34R, 34B et 34V de l'anode et la grille de la cathode de l'écran.An electric arc is then likely to occur between the conductive strips 34R, 34B and 34V of the anode and the grid of the cathode of the screen.

    Si l'on tolère une chute de tension de 2%, c'est-à-dire par exemple environ 60 volts, dans les résistances lorsque celles-ci sont parcourues par le courant d'un pixel, c'est-à-dire environ 20 µA, ces résistances doivent avoir une valeur de 3 MΩ. Le courant dans chaque bande est alors limité à 1 mA, ce qui empêche la formation des arcs électriques.If we tolerate a voltage drop of 2%, that is to say for example around 60 volts, within resistances when these are crossed by the current of a pixel, i.e. approximately 20 µA, these resistors must have a value of 3 MΩ. The current in each band is then limited to 1 mA, this which prevents the formation of electric arcs.

    De telles résistances peuvent par exemple être formées chacune d'une bande rectiligne ou de préférence ondulée, en ITO de résistance carrée 1000 Ω, large 20 µm et longue de 60 mm.Such resistances can for example each be formed of a straight strip or preferably wavy, in ITO of square resistance 1000 Ω, 20 µm wide and 60 mm long.

    On obtient un autre écran de visualisation conforme à l'invention en remplaçant, dans l'écran de la figure 2, l'anode 4 par l'anode A2 conforme à l'invention de la figure 5, les bandes 34R, 34B et 34V étant parallèles aux colonnes 8R, 8B et 8V de la cathode 2.We get another display screen according to the invention by replacing, in the screen of FIG. 2, the anode 4 by the anode A2 in accordance with the invention of FIG. 5, the bands 34R, 34B and 34V being parallel to columns 8R, 8B and 8V of the cathode 2.

    Diverses variantes et modifications peuvent être apportées à l'invention telle que décrite et apparaítront à l'homme du métier.Various variants and modifications may be made to the invention as described and will appear to those skilled in the art.

    En particulier, on n'a décrit que le cas où l'on utilise une seule résistance par bande conductrice de l'anode mais il est possible de former des groupes comprenant plusieurs bandes et d'utiliser une résistance adaptée par groupe.In particular, we have only described the case where only one resistance is used per conductive strip anode but it is possible to form groups comprising multiple bands and using one resistance adapted by group.

    De même, on a fait référence dans la description qui précède à un écran en couleurs mais l'invention s'applique également à un écran monochrome si cet écran comporte une anode pourvue de bandes d'éléments luminophores.Likewise, reference was made in the description above to a color screen but the invention also applies to a monochrome screen if this screen has an anode provided with bands phosphor elements.

    En outre, on a décrit des exemples de fabrication d'anodes dans lesquelles le substrat est transparent pour observer l'écran à travers ce substrat. Cependant, dans d'autres exemples, on peut former les bandes conductrices et les résistances associées ainsi que les éléments luminophores sur un substrat opaque dans le cas où l'on forme un écran que l'on peut observer à travers sa cathode.In addition, examples of manufacture of anodes in which the substrate is transparent to observe the screen through this substrate. However, in other examples, we can form conductive strips and resistors associated as well as the phosphor elements on a opaque substrate in the case where we form a screen that you can observe through its cathode.

    L'invention ne s'applique pas seulement aux écrans à micropointes. Elle s'applique aussi à la fabrication de tous les écrans à émission par effet de champ y compris les écrans à émission par le carbone ou les écrans à microfissures.The invention does not only apply to microtip screens. It also applies to the manufacture of all emission screens field including carbon emission screens or microcrack screens.

    Claims (13)

    Procédé de fabrication d'une anode d'un écran plat de visualisation, en particulier d'un écran à micropointes, procédé dans lequel on forme, sur un substrat électriquement isolant (31), au moins un ensemble de bandes électriquement conductrices (34R, 34B, 34V) portant respectivement des bandes d'éléments luminophores et au moins un conducteur électrique d'interconnexion (32, 32R-32B-32V) relié aux bandes conductrices par l'intermédiaire de résistances électriques (36R, 36B, 36V), ce procédé étant caractérisé en ce que, pour former les bandes conductrices et les résistances, on forme une couche électriquement conductrice sur le substrat et l'on forme ces bandes conductrices et ces résistances à partir de cette couche conductrice.Method of manufacturing an anode of flat display screen, in particular a screen microtip, process in which one forms, on a electrically insulating substrate (31), at least one set of electrically conductive strips (34R, 34B, 34V) respectively carrying bands of elements phosphors and at least one electrical conductor interconnection (32, 32R-32B-32V) connected to the bands conductive via resistors electric (36R, 36B, 36V), this process being characterized in that, to form the strips conductive and resistors, we form a layer electrically conductive on the substrate and one forms these conductive strips and these resistances to from this conductive layer. Procédé selon la revendication 1, dans lequel on forme une résistance (36R, 36B, 36V) par bande conductrice (34R, 34B, 34V).Method according to claim 1, in which we form a resistor (36R, 36B, 36V) by conductive strip (34R, 34B, 34V). Procédé selon la revendication 1, dans lequel les bandes conductrices sont réparties en groupes et l'on forme une résistance par groupe de bandes conductrices.Method according to claim 1, in which the conductive strips are divided into groups and we form resistance by group of conductive strips. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel on forme un seul conducteur d'interconnexion (32) et l'on relie toutes les résistances (36R, 36B, 36V) à ce conducteur d'interconnexion.Method according to any one of claims 1 to 3, in which one is formed interconnection conductor (32) and we connect all resistors (36R, 36B, 36V) to this conductor interconnection. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel on forme une pluralité de conducteurs d'interconnexion (32R, 32B, 32C) et l'on relie en alternance les résistances (36R, 36B, 36C) à ces conducteurs d'interconnexion.Method according to any one of claims 1 to 3, in which a plurality of interconnection conductors (32R, 32B, 32C) and the resistors are connected alternately (36R, 36B, 36C) to these interconnection conductors. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel on forme trois ensembles de bandes conductrices alternées (34R, 34B, 34V) portant respectivement des bandes d'éléments luminophores de couleurs différentes.Method according to any one of claims 1 to 5, in which three are formed sets of alternating conductive strips (34R, 34B, 34V) respectively carrying strips of elements phosphors of different colors. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel les résistances (36R, 36B, 36V) ont une forme ondulée.Method according to any one of claims 1 to 6, wherein the resistors (36R, 36B, 36V) have a wavy shape. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel le substrat (31) et la couche conductrice sont transparents de manière à laisser passer la lumière produite par les éléments luminophores.Method according to any one of claims 1 to 7, wherein the substrate (31) and the conductive layer are transparent so that let in the light produced by the elements phosphors. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel la couche conductrice est en oxyde d'indium dopé à l'étain.Method according to any one of claims 1 to 8, wherein the conductive layer is made of indium oxide doped with tin. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel la formation des bandes conductrices (34R, 34B, 34V) et des résistances (36R, 36B, 36V) comprend une photolithographie et une gravure de la couche conductrice.Method according to any one of claims 1 to 9, wherein the formation of conductive strips (34R, 34B, 34V) and resistors (36R, 36B, 36V) includes a photolithography and a etching of the conductive layer. Anode d'un écran plat de visualisation comprenant, sur un substrat électriquement isolant (31), au moins un ensemble de bandes électriquement conductrices (34R, 34B, 34V) portant respectivement des bandes d'éléments luminophores (35R, 35B, 35V) et au moins un conducteur électrique d'interconnexion (32, 32R-32B-32V) relié aux bandes conductrices par l'intermédiaire de résistances électriques (36R, 36B, 36V), cette anode étant caractérisée en ce que les résistances sont formées sur le substrat, à partir du même matériau électriquement conducteur que les bandes conductrices.Anode of a flat display screen comprising, on an electrically insulating substrate (31), at least one set of bands electrically conductors (34R, 34B, 34V) respectively carrying bands of phosphor elements (35R, 35B, 35V) and at minus an electrical interconnection conductor (32, 32R-32B-32V) connected to the conductive strips by through electrical resistors (36R, 36B, 36V), this anode being characterized in that the resistors are formed on the substrate, from the same electrically conductive material as the strips conductive. Anode selon la revendication 11, dans laquelle le matériau électriquement conducteur est l'oxyde d'indium dopé à l'étain.Anode according to claim 11, in which the electrically conductive material is indium oxide doped with tin. Ecran plat de visualisation comprenant : une cathode apte à émettre des électrons par effet de champ, et une anode cathodoluminescente placée en regard de la cathode et conforme à l'une quelconque des revendications 11 et 12. Flat display screen including: a cathode capable of emitting electrons by field effect, and a cathodoluminescent anode placed opposite the cathode and according to any one of claims 11 and 12.
    EP00402127A 1999-07-27 2000-07-25 Fabrication of an anode of a flat viewing screen,anode obtained by said method and flat screen using such anode Withdrawn EP1073088A1 (en)

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