EP0937542A1 - Verfahren zum Polieren optischer Linsen und Mehrspindel-Poliermaschine mit verschiedenen Polierwerkzeugen zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
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- EP0937542A1 EP0937542A1 EP98103129A EP98103129A EP0937542A1 EP 0937542 A1 EP0937542 A1 EP 0937542A1 EP 98103129 A EP98103129 A EP 98103129A EP 98103129 A EP98103129 A EP 98103129A EP 0937542 A1 EP0937542 A1 EP 0937542A1
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- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
- B24B13/06—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor grinding of lenses, the tool or work being controlled by information-carrying means, e.g. patterns, punched tapes, magnetic tapes
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- B24B13/0031—Machines having several working posts; Feeding and manipulating devices
- B24B13/0037—Machines having several working posts; Feeding and manipulating devices the lenses being worked by different tools, e.g. for rough-grinding, fine-grinding, polishing
Definitions
- the inventive method for polishing lenses and the devices for Execution of the method are used to manufacture lenses of higher precision and / or to reduce manufacturing costs. This is achieved through the special process sequence, the structure of the polishing machine used and the use of special ones Polishing tools.
- Lenses for optical purposes are first used in the prior art Grinding produced on one or two spindle grinding machines, one polishable surface is generated. The grinding is followed by the polishing of the Lenses, distinguishing between pre-polishing and finish polishing becomes. But it can also be worked with a polishing process, which is then appropriate takes longer.
- Shaping tools used, which are used on special polishing machines.
- the Forming tools are designed so that a separate one for each radius of curvature of the lenses Molding tool is needed. That side of the mold that with The lens comes into contact with a soft material that works together enables the desired material removal with a polishing suspension. Because of the wear on the polishing tool by the working process, dressing tools become needed to rework the quickly wearing molds.
- the two spindles on the one hand the tool and on the other hand carry the workpiece, with their axes inclined to each other and set in rotation, the direction of rotation being the same on both. Through the It becomes necessary to tilt the spindles in a calculated speed ratio to rotate towards each other.
- the polishing tool ensures that the material is removed from the lens Every point on the lens surface is largely the same, which means that it is optimal. While decorating The spindles should be noted that the intersection of the axes of the tool and the workpiece spindle coincides with the center of curvature of the lens. Of the Tool diameter must be significantly larger than the lens diameter (approx. 2 times) and rest the lens on the tool so that the edge of the lens does not overlap Center of rotation or the edge of the tool extends.
- the workpiece spindle is usually in the lower part of the polishing machine and is on a so-called Z-slide attached to the vertical movements allowed (infeed movements).
- the tool spindle is against it connected to a swivel head, which is located in the upper machine part and around the so-called B axis (perpendicular to the X and Z axes) can be swiveled to to enable the aforementioned inclination.
- the swivel head is on one so-called X-slide attached, which allows horizontal movements.
- Machines that have an upper and a lower spindle become single-spindle Called machines (a spindle in the upper or lower part). Two or more spindles Accordingly, machines have several spindles in the upper and lower part. Around To avoid errors, this type of designation is used in the present description not used. The specified number of spindles corresponds to that below actual - regardless of how they are distributed on the machine. So then e.g. B. a three-spindle machine two spindles in the lower part and one in the upper part or vice versa.
- the Lenses can be manufactured more precisely and / or more cost-effectively. This is according to the invention achieved as follows:
- the proposed polishing machine for performing the method according to the invention is basically equipped with an electronic control system.
- This can e.g. B. be a CNC controller.
- X and Z slides In the upper part of the machine there is a combination of X and Z slides, the linear movements in horizontal and vertical direction allowed.
- the X direction is horizontal and transverse to the machine operator, the Z direction vertical.
- X and Z slides have at least two, preferably three spindles attached, which are preferably equipped as tool spindles.
- the axes of this Spindles lie in a vertical plane that is perpendicular to the B axis (see below) is. Since there is no swivel head between the machine frame and the spindles is a particularly stable construction, which has a positive effect on the Accuracy of the lenses produced affects.
- the polishing machine according to the invention also has a lower one Machine part arranged swivel head, which by means of a shaft around the B axis turned can be, which in turn is connected to the machine frame.
- the B axis is arranged horizontally and perpendicular to the X axis.
- the usual one intermediate ships for linear movement are eliminated. This allows the Swivel head can be stored particularly stably, which again has a positive effect on the accuracy of the lenses produced.
- the swivel head carries two spindles. These can be designed or equipped as a workpiece spindle and as a dressing spindle. Thereby it is possible to use the polishing tools arranged in the upper area of the machine dress without the workpiece holder and the dressing tool against each other should be exchanged.
- the necessary positioning of the concerned Spindles to each other is easily possible because the tool spindles on top are in X and Z direction can be traversed and the dressing spindle below with the swivel head can be tilted around the B axis.
- the quality standard is also further improved by the fact that the dressing process can be done automatically. With appropriate machine programming can the tool after a certain number of polishing processes be trained. This always has the required accuracy. Quality defects, that result from forgetting to dress the tool not possible anymore.
- a further increase in lens accuracy is in the invention Polishing machine achieved by inserting an additional linear axis.
- This Additional linear axis is an essential feature of the invention and is called the Y axis executed, which are arranged parallel to the B axis (axis of rotation) of the swivel head becomes (horizontal, away from the operator).
- the overhead tool spindles already move in two axes (X and Z axis)
- the device for the adjustment movement in the Y direction so to arrange that it is integrated in the pivot bearing of the swivel head (B-axis).
- B-axis swivel head
- Such a correction is provided in the method according to the invention.
- the somewhat uneven material removal on the lens depending on the radius is used during the polishing process and an uneven oscillation is used, which has the center of curvature of the lens as the center of rotation.
- the oscillation process is controlled in such a way that the oscillation slows down or comes to a temporary standstill when surface elements of the molding tool, which produce an increased material removal, have reached a position on the lens at which an increased material removal is desired.
- the position of the lens to be polished by means of of a push button is measured.
- the exact location of the work surfaces of the The polishing tool is also known from the coordinates with which the machine worked while dressing the tool.
- the CNC control is based on these values the machine will then be able to position all of the tool to minimize the required machine run times, since these movements are then on the shortest paths can be carried out and in all axes with the maximum permissible speed can be moved.
- inventive method provides that at the proposed polishing machine, which has several tool spindles with different polishing tools.
- a polishing tool on the first spindle be attached, which enables a flat material removal and thus special is economical, while polishing tools are attached to the second and possibly the third spindle that work more punctiform and thus local corrections to the Enable lens geometry.
- Cost savings on the tools are possible if they are designed in such a way that with one and the same tool lenses of different curvature and different Diameter can be polished (e.g. pot tools or inflatable Tools).
- Another way to save tool costs is in the use of molds that are machined in the polishing machine itself and be provided with the required shape. This editing can be done multiple times these tools are carried out so that other curvatures are possible are.
- the interferometer is integrated in the polishing machine. This can be in connection with the workpiece magazine, but it can also another mounting location can be selected, which is from the feed systems of the Machine can be reached.
- This arrangement makes it possible to measure the polished lenses fully automatically to then make corrections in further polishing steps, also without manual intervention to make on the lens geometry.
- the result is another cost saving, since the manual removal of the lenses from the polishing machine with subsequent Measure in the interferometer and reinsert in the Machine is omitted.
- Fig. 1 to 5 show the different designs of the polishing tools used.
- Fig. 6 shows the structure of the polishing machine according to the invention using an exemplary embodiment. In principle, however, other designs are also possible. For the sake of clarity, spindle drives have not been drawn.
- the polishing machine is basically equipped with a CNC control.
- Fig. 7 to 11 show the machine in different working positions.
- a multiple molding tool (34) is shown here, which also has a base body (35), on which a thicker plastic layer (36) is applied.
- This Plastic layer (36) can preferably consist of epoxy resin, the packing, e.g. B. fine glass particles and / or polish were added. The aim is in in any case that the plastic layer (36) is easy to grind, and thermal expansion which is similar to that of glass. However, this layer can also consist of another material.
- For attachment to the tool spindles (4) of the A polishing machine serves a locating pin (33).
- the contour (spherical cap) of the multiple molding tool adapted to the lens (9) (34) can then be machined on a separate machine or preferably directly on the polishing machine. This results in handling advantages (cost reduction) and an improved one Accuracy because unnecessary tool changes are eliminated.
- the plastic layer (36) has a relatively large thickness, it can be used successively for lenses (9) with different Radii of curvature are dressed. It is not necessary to apply polishing film, since the plastic layer (36) itself is soft enough. With one Tool can therefore, after appropriate adjustment, lenses (9) with different Radii of curvature are polished.
- the polishing process can be done either by adding of polishing suspension or only with the addition of coolant, if that Polish is already contained in the plastic.
- the multi-mold (34) has properties that both cost reduce, as well as increase the accuracy.
- a cup tool (37) is shown, the base body (38) carries a polishing ring (39) made of soft material at its open end.
- the Cup tool (37) is attached to the tool spindle (4) by means of a mounting pin (33) Polishing machine attached.
- the polishing ring (39) z. B. are made from Novotex, that is free of polish or can also be mixed with polish. Accordingly is worked with or without a polishing suspension.
- This tool shape has the advantage that lenses (9) of different diameters and with different Curvatures can be polished.
- the axes of the spindles involved so inclined to each other that the axis intersection with the center of curvature the lenses (9) collapse.
- the main advantage with this tool is therefore the cost saving in tool procurement.
- the tool shown here is a polishing pin (40) whose receiving pin (33) is fixed to a base body (41) on the front A polishing body (42) is attached at the end; the z. B. can consist of felt.
- the polishing pen (40) can be used for the finest reworking of the pre-polished lenses (9) be carried out if there are deviations in the control with the interferometer (19) result in the fine range. These deviations can only be achieved by polishing can be eliminated, because this is the only way to remove the minimal amount of material is possible.
- This tool is particularly advantageous on the invention multi-spindle polishing machine used, since then without tool change can be pre- and post-polished.
- the workpiece spindle (7) can either be continuous rotate or be used as an axis.
- the Spindle in its rotational movement both with respect to the bevel angle (rotation angle) and controlled for angular velocity, d. H. the angular velocity is inconsistent and depending on the bevel angle. If at a certain point on the lens increased material removal is to take place, so the angular velocity in the corresponding Chamfer position slows down, so that the polishing tool stays there relatively longer Is intervention and removes more material.
- An inflatable polishing tool (43) is shown in Fig. 5. This wears on one Base body (44), which has a bore (45), a rubber membrane (46).
- This Rubber membrane (46) can either on its entire surface or only in their Center with polishing foils (47).
- the receiving pin (33) is in this inflatable polishing tool (43) in the center also with a bore (48) Mistake.
- Rubber membrane (46) more or less curved.
- the residual stress can be used the membrane can be worked. It is then also possible to apply a slight vacuum to the Apply rubber membrane (46) so that the pressing force against the lens (9) reduced.
- Lenses (9) of different curvature can be polished in the case of surface coverage. This is e.g. B. advantageous if with simple lenses (9) the front and the back to be processed with one and the same polishing tool. If the rubber membrane (46) is only covered with a round polishing film (47) in the center finest corrections to the lens geometry can be made. It is advantageous the soft pressing of the polishing film (47) onto the workpiece. During this correction work the workpiece spindle (7) can either rotate or also be used as an axis become. In the latter case, the spindle is gradually determined Angular positions in which it remains more or less long during the The polishing process is running. A check of the lens geometry goes into these corrections ahead of the interferometer (19).
- Fig. 6 shows the polishing machine in the starting position.
- an X-slide (2) is arranged in the upper area, the linear movements can run horizontally across the operator.
- a Z-slide (3) mounted, which in turn linear movements in vertical direction.
- the guides of the X carriage (2) and Z-slides (3) were not drawn.
- the polishing machine is on the left tool spindle (4) equipped with a multiple mold (34), while the middle Tool spindle (4) carries a cup tool (37) and on the right tool spindle (4) a polishing pin (40) is mounted.
- a suction lifter (11), which is connected, is also connected to the Z-slide (3) with the workpiece magazine for loading and unloading the lens holder (8) with the lenses (9) is used and the interferometer (19) is also operated.
- the suction lifter (11) can collide upwards into an air cylinder (13) Park position be driven.
- a button (12) is housed, with which the position of the lens (9) can be detected can, if this by moving the X-slide (2) and the Z-slide (3) in the lens holder (8) was put down.
- a swivel head (5) is arranged in the lower region of the machine frame (1) can be pivoted by means of a shaft (10) about the B axis (6), which is perpendicular to the X and the Z axis is arranged, d. H. is perpendicular to the drawing plane.
- the workpiece spindle (7) is attached, the at its upper end Lenses holder (8) in which the lens (9) is inserted.
- the dressing spindle (17) which connects the dressing tool (18) is connected to the swivel head (5) wearing.
- the direction of the Y axis results when the adjustment is in the area of the swivel head (5) is made.
- the swivel head (5) is connected to a shaft (10) connected, which in turn in the machine frame (1) rotatable and axially displaceable is stored. If this shaft (10) in its axial direction by a suitable drive (not shown) is shifted, the desired adjustment option results in Y direction.
- the Y-axis then coincides with the B-axis and there is no need to to provide a separate guide with a Y-slide.
- the polishing machine according to the invention is also with a workpiece magazine equipped, which among other things consists of a magazine disc (14), workpiece holders on the top side and on an external pitch circle (15) for the lenses (9) are arranged.
- the magazine disc (14) is on a vertical Drive shaft (16) attached, from which it is rotatably driven in angular steps becomes.
- the workpiece holders (15) with the lenses (9) can thus one after the other in the Removal position (20) can be rotated.
- Functionally assigned to the workpiece magazine is the suction lifter (11), which, as mentioned, is connected to the Z-carriage (3) and as Loading and unloading device is used.
- An interferometer (19) is also arranged in the area of the magazine disc (14) the pre-polished lenses (9) can be deposited by the suction lifter (11). After Measurement in the interferometer (19), the lenses (9) from the suction lifter (11) put back into the lens holder (8) and with the cup tool (37) and / or polished the polishing pin (40).
- the tool spindles (4) can of course can also be equipped with other polishing tools, e.g. B. the molding tool (30) and the inflatable polishing tool (43).
- This illustration shows the polishing machine in the working position Lens (9) removed from the workpiece holder (15) by the suction lifter (11) ".
- the X-slide (2) with the tool spindles (4) and the suction lifter (11) is used for this moved to the left in the X direction so that the siphon (11) was above that Lens (9) is in the workpiece holder (15), which is in the removal position (20).
- the Z-slide (3) is moved down until the Suction lifter (11) touches the lens (9), which is from the button (12) or a vacuum switch, which is connected to the suction lifter (11) is detected. This will make the Machine movement in the Z direction stopped by the CNC control and the suction lifter (11) applied with vacuum so that the lens (9) adheres to it.
- the Z-carriage (3) upwards the lens (9) from the workpiece holder (15) taken.
- This figure shows the working position Lens (9) inserted in lens holder (8) ".
- the suction lifter (11) After the lens (9) has been picked up by the suction lifter (11), it can then be used by moving the X-slide (2) to the right and the Z-slide (3) downwards in the lens holder (8) of the workpiece spindle (7) are deposited. After that, using Button (12) determines the exact height position of the lens (9), which it holds in the lens holder (8) occupies. The suction lifter (11) is then moved into the parking position by the air cylinder (13).
- This illustration shows the polishing machine in the working position Polishing the lens (9) with the multiple molding tool (34) ".
- the swivel head (5) is moved around the B axis (6) in working position rotated and the drives (not shown) of the tool spindle (4) the multiple mold (34) and the workpiece spindle (7) with the lens holder (8) and the lens (9) started. Since the position of the lens (9) is determined using a button (12) and the positions of the tools are known (geometry in CNC Control saved), can then be moved by moving the X-slide (2) and of the Z-slide (3) in rapid traverse the multiple molding tool (34) until just before Lens (9) are driven. After reaching the corresponding position, the Inflated rubber membrane of the lens holder (8) and the lens (9) in contact with brought to the multiple mold (34) and then with automatic addition polished by polishing suspension.
- the first lens (9) produced is measured after the pre-polishing with the interferometer (19) integrated in the machine (see also To Fig. 10 ") and, if necessary, the necessary corrections to the set machine parameters. Adjusting the swivel head (5) with the workpiece spindle (7) and the dressing spindle (17) in the Y axis can also be part of this the drive of the Y-axis is started by the CNC control and the shaft (10) with the swivel head (5) is moved in the Y direction according to the entered empirical value Since all machine movements are controlled by a CNC control, the correction entries are also made Since the multiple molding tool (34) and the lens holder (8) with the lens (9) remain firmly attached to their spindles, ie are not changed, each subsequent lens (9) can be made with the same input using these correction inputs , Very good accuracy can be produced without inaccuracies that are not recorded due to tool changes being superimposed.
- This illustration shows the polishing machine in the working position Measure the lens (9) with the interferometer (19) ".
- the lens (9) pre-polished with corrected machine parameters was removed using a siphon (11) and method of the X-slide (2) and the Z-slide (3) from the lens holder (8) removed and into a transport system (not shown) of the interferometer (19) filed and brought by this in measuring position. There she opens up measure any deviations in their geometry. If the lens (9) works properly is, it is by the siphon (11) by moving the X-slide (2) and des Z-carriage (3) as well as applying vacuum again and in that Workpiece holder (15) stored, which is in the removal position (20).
- the lens (9) has deviations in its geometry, it will be from the suction lifter (11) and again for polishing in the lens holder (8) filed, the necessary transfer movements again by the X-slide (2) and the Z-slide (3).
- This illustration shows the polishing machine in the working position Polishing the lens (9) with the polishing pen (40) ".
- polishing tool (40) is used as the polishing tool, with which it is possible to make very precise corrections to the lens geometry.
- the lens (9), with rotating spindles, is attached to the lens holder (8) by rotating the swivel head (5) around the B axis (6) with a predetermined one Angle initially inclined. With an additional process in the X and Z directions the polishing pen is moved into the desired position towards the lens (9).
- the polishing stick (40) After switching on the polishing slurry, the polishing stick (40) is crawled along brought into contact with the lens (9) and the correction process by fine polishing takes place. During the polishing process, the polishing pin (40) then touches the lens (9) under the specified angle (e.g. in the direction of the normal) on the desired machining circle, that has the right distance to the lens axis.
- the polishing pin (40) Preferably on A processing spiral is selected instead of a processing circle, d. H. through procedures In the X, Z and B axes, the polishing pin (40) gradually becomes from the outer periphery the lens (9) moves towards its center.
- the angle of attack mentioned The polishing pin (40), relative to the lens surface, is kept constant.
- a targeted material removal on the lens surface is achieved in that the Feed speed of the polishing pin (40) towards the lens center accordingly is varied.
- the feed rate is reduced at places where material is removed, if less material is to be removed, the feed rate is reduced elevated.
- the lens (9) is then measured again with the interferometer (19) and then either placed in the workpiece holder (15) or again corrects what happens as described above, depending on what the findings are.
- This illustration shows the polishing machine in the working position Dressing the multiple molding tool (34) with the dressing tool (18) ".
Abstract
Verfahren zum Polieren von optischen Linsen (9) bei dem eine mehrspindelige Poliermaschine benutzt wird, die CNC-gesteuert ist und im oberen Bereich über einen X-Schlitten (2) und einen Z-Schlitten (3) verfügt, an dem mindestens zwei Werkzeugspindeln (4) befestigt sind. Im unteren Bereich ist ein Schwenkkopf (5) angeordnet, an dem eine Abrichtspindel (17) und eine Werkstückspindel (7) angebracht sind. Es ist ein Bewegungssystem vorhanden, mit dem die unteren Spindeln relativ zu den oberen Spindeln in Richtung der Y-Achse verschiebbar sind. Folgende Zusatzeinrichtungen sind vorhanden: Werkstückmagazin, Beschickungseinrichtung, Taster (12) und Interferometer (19). Verschiedene Polierwerkzeuge zur Optimierung von Kosten und/oder Qualität werden eingesetzt. Der Poliervorgang läuft wie folgt ab: Linse (9) automatisch in Linsenhalter (8) einlegen, vorpolieren und in Interferometer (19) vermessen, Maschinenparameter evtl. korrigieren, weitere Linse (9) vorpolieren und mit z. B. Polierstift (40) nachpolieren, mittels Interferometer (19) Abschlußkontrolle durchführen und Linse (9) in Werkstückmagazin ablegen. <IMAGE>
Description
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Polieren Von Linsen und die Vorrichtungen zur
Durchführung des Verfahrens dienen zum Herstellen von Linsen höherer Präzision
und/oder zur Senkung der Herstellkosten. Dies wird erreicht durch den speziellen Verfahrensablauf,
den Aufbau der eingesetzten Poliermaschine und den Einsatz besonderer
Polierwerkzeuge.
Linsen für optische Zwecke werden nach dem Stand der Technik zunächst durch
Schleifen auf ein- oder zweispindeligen Schleifmaschinen hergestellt, wobei eine
polierfähige Oberfläche erzeugt wird. An das Schleifen schließt sich das Polieren der
Linsen an, wobei zwischen dem Vorpolieren und dem Fertigpolieren unterschieden
wird. Es kann aber auch mit einem Poliervorgang gearbeitet werden, der dann entsprechend
länger dauert. Für das Polieren sphärischer Linsen werden sogenannte
Formwerkzeuge benutzt, die auf speziellen Poliermaschinen eingesetzt werden. Die
Formwerkzeuge sind so gestaltet, daß für jeden Krümmungsradius der Linsen ein gesondertes
Formwerkzeug benötigt wird. Diejenige Seite des Formwerkzeuges, die mit
der Linse in Berührung kommt, ist mit einem weichen Material belegt, das im Zusammenwirken
mit einer Poliersuspension den erwünschten Materialabtrag ermöglicht.
Wegen der Abnutzung an dem Polierwerkzeug durch den Arbeitsprozeß werden Abrichtwerkzeuge
benötigt, um die schnell verschleißenden Formwerkzeuge wieder nachzuarbeiten.
Während des Poliervorgangs werden die beiden Spindeln, die einerseits das Werkzeug
und andererseits das Werkstück tragen, mit ihren Achsen zueinander schräg gestellt
und in Rotation versetzt, wobei die Drehrichtung an beiden gleich ist. Durch die
Schrägstellung wird es notwendig, die Spindeln in einem errechneten Drehzahlverhältnis
zueinander rotieren zu lassen. In Verbindung mit einer speziellen Flächenauslegung
des Polierwerkzeugs wird damit gewährleistet, daß der Materialabtrag an der Linse an
jeder Stelle der Linsenoberfläche weitgehend gleich, das heißt optimal ist. Beim Einrichten
der Spindeln ist zu beachten, daß der Schnittpunkt der Achsen von Werkzeug
und Werkstückspindel mit dem Krümmungsmittelpunkt der Linse zusammenfällt. Der
Werkzeugdurchmesser muß deutlich größer sein als der Linsendurchmesser (ca. 2-fach)
und die Linse so an dem Werkzeug anliegen, daß der Linsenrand nicht über das
Drehzentrum oder den Rand des Werkzeuges hinausreicht.
Nach dem Stand der Technik befindet sich die Werkstückspindel üblicherweise im
unteren Teil der Poliermaschine und ist an einem sogenannten Z-Schlitten
befestigt, der
vertikale Bewegungen erlaubt (Zustellbewegungen). Die Werkzeugspindel ist dagegen
mit einem Schwenkkopf verbunden, der sich im oberen Maschinenteil befindet und um
die sogenannte B-Achse (senkrecht zur X- und Z-Achse) geschwenkt werden kann, um
die erwähnte Schrägstellung zu ermöglichen. Der Schwenkkopf ist an einem
sogenannten X-Schlitten befestigt, der horizontale Bewegungen erlaubt. Durch Schrägstellen
des Schwenkkopfes mit der Werkzeugspindel und Verfahren in X- und
Z-Richtung wird die vorgenannte Übereinstimmung des Achsenschnittpunkts mit dem
Krümmungsmittelpunkt der Linse ermöglicht.
Maschinen, die über eine obere und eine untere Spindel verfügen, werden einspindelige
Maschinen genannt (eine Spindel im Ober- bzw. Unterteil). Zwei- oder mehrspindelige
Maschinen haben dementsprechend mehrere Spindeln im Ober- bzw. Unterteil. Um
Irrtümer zu vermeiden, wird diese Art der Bezeichnung in der vorliegenden Beschreibung
nicht benutzt. Die angegebene Anzahl der Spindeln entspricht nachstehend der
tatsächlichen - unabhängig davon, wie diese an der Maschine verteilt sind. So hat dann
z. B. eine dreispindelige Maschine zwei Spindeln im Unterteil und eine im Oberteil oder
umgekehrt.
Die heute üblichen Polierverfahren und die Maschinen bzw. Vorrichtungen zur Durchführung
dieser Verfahren entsprechend dem Stand der Technik haben eine Reihe von
Nachteilen, wie folgt:
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren und der Vorrichtung zur Durchführung des
Verfahrens werden die unter 1. bis 9. genannten Nachteile vermieden, das heißt, die
Linsen können präziser und/oder kostengünstiger hergestellt werden. Dies wird erfindungsgemäß
wie folgt erreicht:
Die vorgeschlagene Poliermaschine zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens
ist prinzipiell mit einer elektronischen Steuerung bzw. Regelung ausgerüstet.
Dieses kann z. B. eine CNC-Steuerung sein.
Im oberen Maschinenteil befindet sich die Kombination von X- und Z-Schlitten,
die
lineare Bewegungen in horizontaler und vertikaler Richtung erlaubt. Die X-Richtung
ist
horizontal und quer zum Maschinenbediener, die Z-Richtung vertikal. An dieser Kombination
von X- und Z-Schlitten sind mindestens zwei, vorzugsweise drei Spindeln befestigt,
die vorzugsweise als Werkzeugspindeln ausgerüstet werden. Die Achsen dieser
Spindeln liegen in einer vertikalen Ebene, die senkrecht zur B-Achse (siehe unten) angeordnet
ist. Da sich zwischen dem Maschinengestell und den Spindeln kein Schwenkkopf
befindet, ergibt sich eine besonders stabile Konstruktion, was sich positiv auf die
Genauigkeit der hergestellten Linsen auswirkt.
Die erfindungsgemäße Poliermaschine verfügt außerdem über einen im unteren
Maschinenteil angeordneten Schwenkkopf, der mittels einer Welle um die B-Achse
gedreht
werden kann, die ihrerseits mit dem Maschinengestell verbunden ist. Die B-Achse
ist horizontal und senkrecht zur X-Achse angeordnet. Der sonst üblicherweise
zwischengeschaltete Schiffen für Linearbewegung entfällt. Dadurch kann der
Schwenkkopf besonders stabil gelagert werden, was sich nochmals positiv auf die Genauigkeit
der hergestellten Linsen auswirkt. An dem Schwenkkopf sind zwei Spindeln
befestigt, deren Achsen in der gleichen Ebene liegen wie die der vorgenannten Spindeln.
Wie vorstehend bereits dargestellt, trägt der Schwenkkopf zwei Spindeln. Diese können
als Werkstückspindel und als Abrichtspindel ausgeführt bzw. ausgerüstet werden. Dadurch
ist es möglich, die im oberen Bereich der Maschine angeordneten Polierwerkzeuge
abzurichten, ohne daß die Werkstückaufnahme und das Abrichtwerkzeug gegeneinander
ausgetauscht werden müßten. Die nötige Positionierung der betreffenden
Spindeln zueinander (Achsenschnittpunkt der Spindeln fällt mit Krümmungsmittelpunkt
der Linse zusammen) ist leicht möglich, da die oben liegenden Werkzeugspindeln in X-und
Z-Richtung verfahren werden können und die unten liegende Abrichtspindel mit
dem Schwenkkopf um die B-Achse schräg gestellt werden kann.
Alle Ungenauigkeiten beim Polieren der Linse, die sich aus dem Auswechseln von
Werkstückaufnahme bzw. Abrichtwerkzeug ergeben könnten, werden damit sicher
vermieden, da dieses Auswechseln nicht mehr stattfindet.
Verbessert wird der Qualitätsstandard auch nochmals dadurch, daß der Abrichtvorgang
automatisch durchgeführt werden kann. Bei entsprechender Maschinenprogrammierung
kann jeweils nach einer bestimmen Anzahl von Poliervorgängen das Werkzeug
abgerichtet werden. Dieses hat damit immer die erforderliche Genauigkeit. Qualitätsmängel,
die daraus resultieren, daß vergessen wurde, das Werkzeug abzurichten, sind
nicht mehr möglich.
Ein wichtiges Ziel ist es, die Wirtschaftlichkeit beim Polieren von Linsen zu steigern. Da,
wie erwähnt, das Abrichtwerkzeug fest an der betreffenden Spindel montiert bleibt,
entfällt der manuelle Arbeitsaufwand, der sonst zum Auswechseln von Werkstückaufnahme
und Abrichtwerkzeug nötig wäre. Da kein Handeingriff beim Abrichten mehr
nötig ist, kann dieser Arbeitsgang vollautomatisch von der CNC-Maschinensteuerung
übernommen werden. Das Abrichten kann dann z. B. zyklisch, d. h. jeweils nach einer
bestimmten Anzahl von Poliervorgängen durchgeführt werden. Dementsprechend groß
ist die Kostenersparnis.
Eine weitere Steigerung der Linsengenauigkeit wird bei der erfindungsgemäßen
Poliermaschine durch das Einführen einer zusätzlichen linearen Achse erreicht. Diese
zusätzliche lineare Achse ist ein wesentliches Erfindungsmerkmal und wird als Y-Achse
ausgeführt, die parallel zu der B-Achse (Drehachse) des Schwenkkopfes angeordnet
wird (horizontal, weg vom Bediener). Da die oben liegenden Werkzeugspindeln bereits
in zwei Achsen (X- und Z-Achse) verfahren werden, ist es zweckmäßig, die Verstellmöglichkeit
in Y-Richtung vorzugsweise im Bereich des Schwenkkopfes vorzusehen,
der die unten liegenden Werkstück- und Abrichtspindel trägt. Prinzipiell ist es jedoch
auch möglich, die Werkzeugspindeln in Y-Richtung zu verstellen.
Besonders vorteilhaft ist es, die Vorrichtung für die Verstellbewegung in Y-Richtung
so
anzuordnen, daß sie in das Drehlager des Schwenkkopfes (B-Achse) integriert ist. Ein
spielbehafteter Y-Schlitten kann damit entfallen, was die Stabilität der Maschine erhöht.
Diese Anordnung gestattet es, den Schwenkkopf mit den daran befestigten Spindeln im
Feinbereich in Y-Richtung zu verfahren. Damit ist es jeweils möglich, die Achse einer
der unten liegenden Spindeln durch Verfahren in X- und Y-Richtung exakt mit der
Achse einer der oben liegenden Spindeln zur Deckung zu bringen. Durch dieses Verfahren
im Feinbereich in Richtung der Y-Achse kann erreicht werden, daß die genannten
Spindeln auch in Y-Richtung so genau zueinander ausgerichtet werden können, wie
dies in X-Richtung möglich ist. Damit werden Ungenauigkeiten an der Poliermaschine
ausgeglichen. Während die Verfahrmöglichkeit in X-Richtung bisher schon praktiziert
wurde, ist die Korrekturmöglichkeit in Y-Richtung ein wesentliches Erfindungsmerkmal,
das sich sehr positiv auf die Linsengenauigkeit auswirkt.
Beim Linsenpolieren mit der erfindungsgemäßen Verstellmöglichkeit in der Y-Achse
wird nach der Fertigstellung der ersten Linse deren Geometrie nachgemessen und bei
unerwünschten Abweichungen die Maschinenparameter korrigiert, wozu auch ein
Nachstellen in der Y-Achse gehört. Damit kann eine Präzision erreicht werden, die bisher
nicht möglich war.
Bei den heute gebräuchlichen gleichförmigen Oszillationsbewegungen zwischen Werkzeug
und Linse während des Poliervorgangs soll erreicht werden, daß nicht immer die
gleichen Flächenelemente miteinander in Berührung kommen und Zonen stärkeren
oder schwächeren Materialabtrags gleichmäßig auf der Linsenoberfläche verteilt werden.
Damit wird ungleichmäßiger Materialabtrag im Feinbereich vermieden. Eine Korrektur
der Linsengeometrie findet dabei nicht statt. Beim Polieren wird jedoch angestrebt,
nicht nur die Oberflächenqualität der Linse zu verbessern, sondern auch feinste
Korrekturen in der Linsengeometrie vorzunehmen.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist eine solche Korrektur vorgesehen. Hierzu
wird der etwas ungleichmäßige Materialabtrag an der Linse in Abhängigkeit vom Radius
während des Poliervorgangs ausgenutzt und mit einer ungleichmäßigen Oszillation
gearbeitet, die den Krümmungsmittelpunkt der Linse als Drehzentrum hat. Der
Oszillationsvorgang wird dabei so gesteuert, daß sich die Oszillation verlangsamt oder
vorübergehend zum Stillstand kommt, wenn Flächenelemente des Formwerkzeugs, die
einen verstärkten Materialabtrag erzeugen, eine Position an der Linse erreicht haben,
an der ein verstärkter Materialabtrag erwünscht ist.
Zur weiteren Steigerung der Wirtschaftlichkeit ist bei der erfindungsgemäßen Maschine
zum Polieren von Linsen vorgesehen, daß die Position der zu polierenden Linse mittels
eines Tasters meßtechnisch erfaßt wird. Die genaue Lage der Arbeitsflächen des
Polierwerkzeuges ist ebenfalls bekannt aus den Koordinaten, mit denen die Maschine
beim Abrichten des Werkzeugs gearbeitet hat. Aufgrund dieser Werte ist die CNC-Steuerung
der Maschine dann in der Lage, alle für das Positionieren des Werkzeuges
erforderlichen Maschinenlaufzeiten zu minimieren, da diese Bewegungen dann auf dem
kürzesten Wege ausgeführt werden können und in allen Achsen mit der maximal
zulässigen Geschwindigkeit verfahren werden kann. Eine Kollisionsgefahr zwischen
Werkzeug und Werkstück besteht nicht, da zu jedem Zeitpunkt genau bekannt ist, wo
sich beide befinden. Die Folge dieser Weg/Zeitoptimierung ist, daß ein außerordentlich
wirtschaftliches Arbeiten mit der Maschine möglich ist.
Die Wirtschaftlichkeit wird weiter gesteigert, indem bei der vorgeschlagenen Maschine
zum Polieren von Linsen auch mit einem Werkstückmagazin mit Be- und Entladesystem
gearbeitet wird, das so in die CNC-Maschinensteuerung integriert werden kann, daß
praktisch kein Handeingriff mehr erforderlich ist. Der Bedienungsaufwand kann so auf
ein Minimum reduziert werden und beschränkt sich praktisch auf das Befüllen und
Entleeren des Magazins.
Weitere Vorteile bezüglich Qualität und/oder Kostenreduzierung ergeben sich, wenn die
bisher gebräuchlichen Formwerkzeuge durch fortschrittliche Werkzeuge anderer Bauart
ersetzt oder ergänzt werden. Das erfindungsgemäße Verfahren sieht vor, daß an der
vorgeschlagenen Poliermaschine, die über mehrere Werkzeugspindeln verfügt, mit
unterschiedlichen Polierwerkzeugen gearbeitet wird.
Zur Steigerung der Linsenqualität kann z. B. an der ersten Spindel ein Polierwerkzeug
befestigt werden, das einen flächigen Materialabtrag ermöglicht und damit besonders
wirtschaftlich ist, während an der zweiten und ggf. dritten Spindel Polierwerkzeuge befestigt
werden, die mehr punktförmig arbeiten und damit örtliche Korrekturen an der
Linsengeometrie ermöglichen.
Kostenersparnisse bei den Werkzeugen sind möglich, wenn diese so gestaltet werden,
daß mit ein- und demselben Werkzeug Linsen verschiedener Krümmung und verschiedenen
Durchmessers poliert werden können (z. B. Topfwerkzeuge oder aufblasbare
Werkzeuge). Eine weitere Möglichkeit zum Einsparen von Werkzeugkosten besteht in
der Verwendung von Formwerkzeugen, die in der Poliermaschine selbst bearbeitet und
dabei mit der benötigten Form versehen werden. Diese Bearbeitung kann mehrmals an
diesen Werkzeugen durchgeführt werden, so daß auch andere Krümmungen möglich
sind.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren und den Vorrichtungen zur Durchführung des
Verfahrens ist vorgesehen, daß das Interferometer in die Poliermaschine integriert ist.
Dies kann im Zusammenhang mit dem Werkstückmagazin sein, es kann jedoch auch
ein anderer Befestigungsort gewählt werden, der von den Vorschubsystemen der
Maschine erreicht werden kann.
Durch diese Anordnung ist es möglich, die polierten Linsen vollautomatisch zu vermessen
um anschließend, ebenfalls ohne Handeingriff, in weiteren Polierschritten Korrekturen
an der Linsengeometrie vorzunehmen. Das Ergebnis ist eine weitere Kostenersparnis,
da das manuelle Entnehmen der Linsen aus der Poliermaschine mit anschließendem
Vermessen in dem Interferometer und das Wiedereinlegen in die
Maschine entfällt.
In Abb. 1 bis 5 sind die verschiedenen konstruktiven Ausführungen der verwendeten
Polierwerkzeuge dargestellt.
Die Abb. 6 zeigt den Aufbau der erfindungsgemäßen Poliermaschine an einem Ausführungsbeispiel.
Es sind jedoch grundsätzlich auch andere Ausführungen möglich. Spindelantriebe
wurden der Übersichtlichkeit halber nicht gezeichnet. Die Poliermaschine ist
grundsätzlich mit einer CNC-Steuerung ausgerüstet.
Die Abb. 7 bis 11 zeigen die Maschine in verschiedenen Arbeitspositionen.
In dieser Abbildung ist das an sich bekannte Formwerkzeug (30) zum Polieren von Linsen
(9) dargestellt. Es besteht aus einem Grundkörper (31), der entsprechend der Linsenkrümmung
ausgedreht ist. Die Arbeitsfläche ist mit dünnen Polierfolien (32) beklebt,
die zur Erreichung der genannten Korrekturen verschiedene Gestalt und Anordnung
haben können. Zur Befestigung an den Werkzeugspindeln (4) der Poliermaschine dient
ein Aufnahmezapfen (33).
Hier ist ein Mehrfach-Formwerkzeug (34) dargestellt, das ebenfalls einen Grundkörper
(35) besitzt, auf den eine dickere Kunststoffschicht (36) aufgebracht ist. Diese
Kunststoffschicht (36) kann vorzugsweise aus Epoxydharz bestehen, dem Füllkörper,
z. B. feine Glaspartikel und/oder Poliermittel beigemischt wurden. Anzustreben ist in
jedem Fall, daß die Kunststoffschicht (36) gut schleifbar ist, und eine Wärmedehnung
aufweist, die derjenigen von Glas ähnlich ist. Diese Schicht kann jedoch auch aus
einem anderen Material bestehen. Zur Befestigung an den Werkzeugspindeln (4) der
Poliermaschine dient ein Aufnahmezapfen (33).
Die an die Linse (9) angepaßte Kontur (Kugelkalotte) des Mehrfach-Formwerkzeugs
(34) kann dann durch spannehmende Bearbeitung (z. B. Schleifen) auf einer
separaten Maschine oder vorzugsweise direkt auf der Poliermaschine hergestellt werden.
Hieraus ergeben sich Handlings-Vorteile (Kostenreduzierung) und eine verbesserte
Genauigkeit, da unnötige Werkzeugwechsel entfallen. Da die Kunststoffschicht
(36) eine relativ große Dicke hat, kann sie nacheinander für Linsen (9) mit verschiedenen
Krümmungsradien abgerichtet werden. Das Anbringen von Polierfolie ist nicht erforderlich,
da die Kunststoffschicht (36) selbst weich genug ist. Mit einem einzigen
Werkzeug können daher, nach entsprechender Anpassung, Linsen (9) mit verschiedenen
Krümmungsradien poliert werden. Der Poliervorgang kann entweder unter Zugabe
von Poliersuspension erfolgen oder nur unter Zugabe von Kühlflüssigkeit, wenn das
Poliermittel bereits in dem Kunststoff enthalten ist. Da die Bearbeitung auf der gesamten
Linsenoberfläche gleichzeitig erfolgt, ist der Materialabtrag sehr intensiv und das
Arbeiten mit diesem Werkzeug auch aus diesem Grund besonders kostengünstig. Besonders
vorteilhaft ist es auch, wenn der Kunststoff mit seinen Füllstoffen eine ähnliche
Wärmedehnung wie Glas hat, da sich dann keine Ungenauigkeiten beim Polieren,
durch Temperaturunterschiede zwischen Mehrfach-Formwerkzeug (34) und Linse (9),
ergeben.
Insgesamt hat das Mehrfach-Formwerkzeug (34) Eigenschaften, die sowohl die Kosten
reduzieren, als auch die Genauigkeit steigern.
In dieser Abbildung wird ein Becherwerkzeug (37) dargestellt, dessen Grundkörper (38)
an seinem offenen Ende einen Polierring (39) aus weichem Material trägt. Das
Becherwerkzeug (37) wird mittels Aufnahmezapfen (33) an der Werkzeugspindel (4) der
Poliermaschine befestigt. Der Polierring (39) kann z. B. aus Novotex hergestellt werden,
das poliermittelfrei ist oder auch mit Poliermittel versetzt sein kann. Dementsprechend
wird mit oder ohne Poliersuspension gearbeitet. Diese Werkzeugform hat den Vorteil,
daß damit Linsen (9) verschiedenen Durchmessers und mit verschiedenen
Krümmungen poliert werden können. Hierzu werden die Achsen der beteiligten Spindeln
so zueinander schräg gestellt, daß der Achsenschnittpunkt mit dem Krümmungsmittelpunkt
der Linsen (9) zusammenfällt. Der wesentliche Vorteil bei diesem Werkzeug
ist demnach die Kostenersparnis bei der Werkzeugbeschaffung.
Bei dem hier dargestellten Werkzeug handelt es sich um einen Polierstift (40), an
dessen Aufnahmezapfen (33) ein Grundkörper (41) befestigt ist, an dessen vorderem
Ende ein Polierkörper (42) angebracht ist; der z. B. aus Filz bestehen kann. Mit diesem
Polierstift (40) können feinste Nachbearbeitungen an den bereits vorpolierten Linsen (9)
vorgenommen werden, wenn sich bei der Kontrolle mit dem Interferometer (19) Abweichungen
im Feinbereich ergeben. Diese Abweichungen können nur durch Polierbearbeitung
beseitigt werden, da ausschließlich damit der erforderliche, geringe Materialabtrag
möglich ist. Besonders vorteilhaft wird dieses Werkzeug auf der erfindungsgemäßen
mehrspindeligen Poliermaschine eingesetzt, da dann ohne Werkzeugwechsel
vor- und nachpoliert werden kann.
Während dieser Korrekturarbeiten kann die Werkstückspindel (7) entweder fortlaufend
rotieren oder auch als Achse benutzt werden. In dem letztgenannten Fall wird die
Spindel in ihrer Drehbewegung sowohl bezüglich Fasenwinkel (Drehwinkel) als auch
bezüglich Winkelgeschwindigkeit kontrolliert, d. h. die Winkelgeschwindigkeit ist unstetig
und abhängig vom Fasenwinkel. Wenn an einer bestimmten Stelle der Linse ein
verstärkter Materialabtrag erfolgen soll, so wird die Winkelgeschwindigkeit in der entsprechenden
Fasenlage verlangsamt, so daß das Polierwerkzeug dort relativ länger im
Eingriff ist und mehr Material abträgt.
In Abb. 5 wird ein aufblasbares Polierwerkzeug (43) gezeigt. Dieses trägt an einem
Grundkörper (44), der über eine Bohrung (45) verfügt, eine Gummimembran (46). Diese
Gummimembran (46) kann entweder an ihrer gesamten Oberfläche oder nur in ihrem
Zentrum mit Polierfolien (47) belegt werden. Der Aufnahmezapfen (33) ist bei diesem
aufblasbaren Polierwerkzeug (43) im Zentrum ebenfalls mit einer Bohrung (48)
versehen. Zum Polieren wird die Gummimembran (46) über die Bohrungen (48) und
(45) mit Luft aufgeblasen und so die gewünschte Form hergestellt. Je nach Druck ist die
Gummimembran (46) mehr oder weniger stark gewölbt. In bestimmten Fällen, z. B.
wenn nur ein sehr geringer Materialabtrag erwünscht ist, kann mit der Eigenspannung
der Membran gearbeitet werden. Es ist dann auch möglich, ein leichtes Vakuum an die
Gummimembran (46) anzulegen, so daß sich die Andrückkraft gegen die Linse (9)
vermindert.
Bei der flächigen Belegung können Linsen (9) unterschiedlicher Krümmung poliert werden.
Dies ist z. B. vorteilhaft, wenn bei einfachen Linsen (9) die Vorder- und die Rückseite
mit ein und demselben Polierwerkzeug bearbeitet werden soll. Wenn die Gummimembran
(46) nur im Zentrum mit einer runden Polierfolie (47) belegt wird, so können
feinste Korrekturen an der Linsengeometrie vorgenommen werden. Vorteilhaft ist dabei
das weiche Andrücken der Polierfolie (47) an das Werkstück. Während dieser Korrekturarbeiten
kann die Werkstückspindel (7) entweder rotieren oder auch als Achse benutzt
werden. In dem letztgenannten Fall wird die Spindel schrittweise in bestimmte
Winkelpositionen gefahren, in denen sie mehr oder weniger lange verharrt, während der
Poliervorgang abläuft. Diesen Korrekturen geht eine Kontrolle der Linsengeometrie in
dem Interferometer (19) voraus.
In Abb. 6 ist die Poliermaschine in der Ausgangsstellung dargestellt. An dem Maschinengestell
(1) ist im oberen Bereich ein X-Schlitten (2) angeordnet, der lineare Bewegungen
in horizontaler Richtung quer zum Bediener ausführen kann. An diesem
X-Schlitten (2) ist ein Z-Schlitten (3) gelagert, der seinerseits lineare Bewegungen in
vertikaler Richtung ausführen kann. Die Führungen des X-Schlittens (2) und des
Z-Schlittens (3) wurden nicht gezeichnet. An dem Z-Schlitten (3) sind drei Werkzeugspindeln
(4) befestigt, an deren unteren Enden die verschiedenen Polierwerkzeuge
angebracht werden. In Abb. 6 ist die Poliermaschine an der linken Werkzeugspindel (4)
mit einem Mehrfach-Formwerkzeug (34) ausgerüstet, während die mittlere
Werkzeugspindel (4) ein Becherwerkzeug (37) trägt und an der rechten Werkzeugspindel
(4) ein Polierstift (40) montiert ist.
Ebenfalls mit dem Z-Schlitten (3) verbunden ist ein Saugheber (11), der in Verbindung
mit dem Werkstückmagazin zum Be- und Entladen des Linsenhalters (8) mit den Linsen
(9) eingesetzt wird und auch das Interferometer (19) bedient. Zur Vermeidung von
Kollisionen kann der Saugheber (11) mittels einem Luftzylinder (13) nach oben in eine
Parkposition gefahren werden.
Im Inneren des rohrförmig ausgebildeten Saughebers (11) oder alternativ auch desselben,
ist ein Taster (12) untergebracht, mit dem die Position der Linse (9) erfaßt werden
kann, wenn diese durch Verfahren des X-Schlittens (2) und des Z-Schlittens
(3) in
dem Linsenhalter (8) abgelegt wurde.
Im unteren Bereich des Maschinengestells (1) ist ein Schwenkkopf (5) angeordnet, der
mittels Welle (10) um die B-Achse (6) geschwenkt werden kann, die senkrecht zu der X-und
der Z-Achse angeordnet ist, d. h. senkrecht auf der Zeichenebene steht. An dem
Schwenkkopf (5) ist die Werkstückspindel (7) befestigt, die an ihrem oberen Ende den
Linsenhalter (8) trägt, in den die Linse (9) eingelegt wird. Ebenfalls mit dem
Schwenkkopf (5) verbunden ist die Abrichtspindel (17), die das Abrichtwerkzeug (18)
trägt.
Besondere konstruktive Vorteile im Zusammenhang mit der Verstellmöglichkeit in
Richtung der Y-Achse ergeben sich, wenn die Verstellung im Bereich des Schwenkkopfes
(5) vorgenommen wird. Der Schwenkkopf (5) wird hierzu mit einer Welle (10)
verbunden, die ihrerseits in dem Maschinengestell (1) drehbar und axial verschiebbar
gelagert ist. Wenn diese Welle (10) in ihrer Achsrichtung von einem geeigneten Antrieb
(nicht gezeichnet) verschoben wird, so ergibt sich die gewünschte Verstellmöglichkeit in
Y-Richtung. Die Y-Achse fällt dann mit der B-Achse zusammen und es erübrigt sich,
eine gesonderte Führung mit Y-Schlitten vorzusehen.
Die erfindungsgemäße Poliermaschine ist entsprechend Abb. 6 auch mit einem Werkstückmagazin
ausgerüstet, das unter anderem aus einer Magazinscheibe (14) besteht,
auf deren Oberseite und auf einem außen liegenden Teilkreis Werkstückaufnahmen
(15) für die Linsen (9) angeordnet sind. Die Magazinscheibe (14) ist an einer vertikalen
Antriebswelle (16) befestigt, von der sie in Winkelschritten rotatorisch angetrieben
wird. Die Werkstückaufnahmen (15) mit den Linsen (9) können so nacheinander in die
Entnahmeposition (20) gedreht werden. Dem Werkstückmagazin funktionell zugeordnet
ist der Saugheber (11), der wie erwähnt mit dem Z-Schlitten (3) verbunden ist und als
Be- und Entladeeinrichtung dient.
Im Bereich der Magazinscheibe (14) ist auch ein Interferometer (19) angeordnet, in dem
die vorpolierten Linsen (9) von dem Saugheber (11) abgelegt werden können. Nach der
Vermessung in dem Interferometer (19) werden die Linsen (9) von dem Saugheber (11)
wieder in den Linsenhalter (8) zurückgelegt und mit dem Becherwerkzeug (37) und/oder
dem Polierstift (40) nachpoliert. Die Werkzeugspindeln (4) können selbstverständlich
auch mit anderen Polierwerkzeugen bestückt werden, z. B. dem Formwerkzeug (30)
und dem aufblasbaren Polierwerkzeug (43).
Diese Abbildung zeigt die Poliermaschine in der Arbeitsposition Linse (9) von Saugheber
(11) aus Werkstückaufnahme (15) entnommen".
Der X-Schlitten (2) mit den Werkzeugspindeln (4) und dem Saugheber (11) wird hierzu
in der X-Richtung nach links bewegt, so daß der Saugheber (11) über derjenigen
Linse (9) steht, die in der Werkstückaufnahme (15) liegt, die sich in der Entnahmeposition
(20) befindet. Anschließend wird der Z-Schlitten (3) nach unten gefahren bis der
Saugheber (11) die Linse (9) berührt, was von dem Taster (12) oder einem Vakuumschalter,
der mit dem Saugheber (11) verbunden ist, erfaßt wird. Dadurch wird die
Maschinenbewegung in Z-Richtung von der CNC-Steuerung gestoppt und der Saugheber
(11) mit Vakuum beaufschlagt, so daß die Linse (9) an ihm haftet. Durch Verfahren
des Z-Schlittens (3) nach oben wird die Linse (9) aus der Werkstückaufnahme
(15) entnommen.
Diese Abbildung zeigt die Arbeitsposition Linse (9) in Linsenhalter (8) eingelegt".
Nach der Aufnahme der Linse (9) durch den Saugheber (11), kann diese anschließend
durch Verfahren des X-Schlittens (2) nach rechts und des Z-Schlittens (3) nach unten in
den Linsenhalter (8) der Werkstückspindel (7) abgelegt werden. Danach wird mittels
Taster (12) die genaue Höhenposition der Linse (9) ermittelt, die sie im Linsenhalter (8)
einnimmt. Der Saugheber (11) wird dann von dem Luftzylinder (13) in Parkposition gefahren.
Diese Abbildung zeigt die Poliermaschine in der Arbeitsposition Polieren der Linse (9)
mit dem Mehrfach-Formwerkzeug (34)".
Beim Start des Poliervorgangs wird der Schwenkkopf (5) um die B-Achse
(6) in Arbeitsposition
gedreht und die Antriebe (nicht gezeichnet) der Werkzeugspindel (4) mit
dem Mehrfach-Formwerkzeug (34) und der Werkstückspindel (7) mit dem Linsenhalter
(8) und der Linse (9) gestartet. Da die Position der Linse (9) mittels Taster (12) bestimmt
wurde und auch die Positionen der Werkzeuge bekannt sind (Geometrie in CNC
Steuerung gespeichert), kann anschließend durch Verfahren des X-Schlittens
(2) und
des Z-Schlittens (3) im Eilgang das Mehrfach-Formwerkzeug (34) bis kurz vor die
Linse (9) gefahren werden. Nach Erreichen der entsprechenden Position wird die
Gummimembran des Linsenhalters (8) aufgeblasen und die Linse (9) in Kontakt mit
dem Mehrfach-Formwerkzeug (34) gebracht und anschließend unter automatischer Zugabe
von Poliersuspension poliert.
Bevor die nächste Linse (9) bearbeitet wird, wird die erste hergestellte Linse (9) nach
dem Vorpolieren mit dem in die Maschine integrierten Interferometer (19) vermessen
(siehe auch Zu Abb. 10") und, falls erforderlich, die nötigen Korrekturen an den eingestellten
Maschinenparametern vorgenommen. Hierzu kann auch ein Verstellen des
Schwenkkopfes (5) mit der Werkstückspindel (7) und der Abrichtspindel (17) in der
Y-Achse gehören. Hierzu wird der Antrieb der Y-Achse von der CNC-Steuerung
gestartet
und die Welle (10) mit dem Schwenkkopf (5) entsprechend dem eingegebenen
Erfahrungswert in Y-Richtung verschoben. Da alle Maschinenbewegungen von einer
CNC-Steuerung kontrolliert werden, werden auch die Korrektureingaben an dieser
Steuerung vorgenommen. Da das Mehrfach-Formwerkzeug (34) und der Linsenhalter
(8) mit der Linse (9) fest an ihren Spindeln montiert bleiben, d. h. nicht gewechselt
werden, kann mit diesen Korrektureingaben jede nachfolgende Linse (9) mit der
gleichen, sehr guten Genauigkeit hergestellt werden, ohne daß sich durch Werkzeugwechsel
nicht erfaßte Ungenauigkeiten überlagern.
Diese Abbildung zeigt die Poliermaschine in der Arbeitsposition Vermessen der
Linse (9) mit dem Interferometer (19)".
Die mit korrigierten Maschinenparametern vorpolierte Linse (9) wurde mittels Saugheber
(11) und Verfahren des X-Schlittens (2) und des Z-Schlittens (3) aus dem Linsenhalter
(8) entnommen und in ein Transportsystem (nicht gezeichnet) des Interferometers
(19) abgelegt und von diesem in Meßposition gerbacht. Dort wird sie auf
etwaige Abweichungen in ihrer Geometrie vermessen. Wenn die Linse (9) einwandfrei
ist, so wird sie von dem Saugheber (11) durch Verfahren des X-Schlittens
(2) und des
Z-Schlittens (3) sowie Anlegen von Vakuum wieder aufgenommen und in derjenigen
Werkstückaufnahme (15) abgelegt, die sich in der Entnahmeposition (20) befindet.
Falls die Linse (9) jedoch Abweichungen in ihrer Geometrie aufweist, so wird sie von
dem Saugheber (11) aufgenommen und zum Nachpolieren nochmals in dem Linsenhalter
(8) abgelegt, wobei die notwendigen Transferbewegungen ebenfalls wieder von
dem X-Schlitten (2) und dem Z-Schlitten (3) übernommen werden.
Diese Abbildung zeigt die Poliermaschine in der Arbeitsposition Polieren der Linse (9)
mit dem Polierstift (40)".
Der Vorgang verläuft ähnlich wie bei Zu Abb. 9" bereits beschrieben. Zum Einsatz
kommt hier jedoch als Polierwerkzeug der Polierstift (40), mit dem es möglich ist, ganz
gezielt feinste Korrekturen an der Linsengeometrie vorzunehmen.
Falls solche Korrekturen im Bezug auf die Achse der Linse (9) rotationssymetrisch erfolgen
sollen, so wird die Linse (9), bei drehenden Spindeln, mit dem Linsenhalter (8)
durch Drehen des Schwenkkopfes (5) um die B-Achse (6) mit einem vorgegebenen
Winkel zunächst schräg gestellt. Durch zusätzliches Verfahren in X- und Z-Richtung
wird der Polierstift in die gewünschte Position zu der Linse (9) gefahren.
Nach dem Zuschalten der Poliersuspension wird der Polierstift (40) im Kriechgang mit
der Linse (9) in Kontakt gebracht und der Korrekturvorgang durch Feinpolieren läuft ab.
Während des Poliervorgangs berührt dann der Polierstift (40) die Linse (9) unter dem
vorgegebenen Winkel (z. B. in Richtung der Normalen) auf dem gewünschten Bearbeitungskreis,
der den richtigen Abstand zur Linsenachse hat. Vorzugsweise wird an
Stelle eines Bearbeitungskreises eine Bearbeitungsspirale gewählt, d. h. durch Verfahren
der X-, Z- und B-Achse wird der Polierstift (40) allmählich vom äußeren Umfang
der Linse (9) in Richtung ihres Zentrums bewegt. Der genannte Anstellwinkel des
Polierstiftes (40), relativ zur Linsenoberfläche wird dabei konstant gehalten.
Ein gezielter Materialabtrag an der Linsenoberfläche wird dadurch erreicht, daß die
Vorschubgeschwindigkeit des Polierstiftes (40) Richtung Linsenzentrum entsprechend
variiert wird. An Stellen großen Materialabtrags wird die Vorschubgeschwindigkeit reduziert,
soll weniger Material abgetragen werden, so wird die Vorschubgeschwindigkeit
erhöht. Die Linse (9) wird anschließend nochmals mit dem Interferometer (19) vermessen
und dann entweder in der Werkstückaufnahme (15) abgelegt oder nochmals
korrigiert, was wie vorbeschrieben abläuft, je nach dem wie der Befund ist.
Falls solche Korrekturen jedoch punktförmig, d. h. bezogen auf die Linsenachse nicht
rotationssymetrisch durchgeführt werden sollen, so sind die Bewegungen der Maschine
in allen drei Achsen ähnlich wie oben beschrieben, die Werkstückspindel (7) wird jedoch
als C-Achse betrieben, d. h. sie kann in verschiedenen Phasenlagen
(Winkelpositionen) mit unterschiedlichen Winkel-geschwindigkeiten gedreht werden.
Diese Korrekturmöglichkeit durch unterschiedliche Winkelgeschwindigkeiten wird der
o. g. Korrekturmöglichkeit durch unterschiedliche Vorschubgeschwindigkeit überlagert.
Während dem anschließend durchgeführten Korrekturvorgang durch Feinpolieren rotiert
demnach die Linse (9) ungleichförmig um die C-Achse während sich der gleichförmig
rotierende Polierstift (40) durch Verfahren der X-, Z- und B-Achse zum Linsenzentrum
hin bewegt, wobei diese Bewegung ebenfalls ungleichförmig ist.
Wenn eine fertig polierte Linse (9), ggf. nach entsprechender Korrektur, in die Werkstückaufnahme
(15) in der Entnahmeposition (20) zurückgelegt wurde, so wird die
Magazinscheibe (14) mittels Antriebswelle (16) um einen Teilungsschritt weitergedreht
und damit die nächste Werkstückaufnahme (15) mit polierfähiger Linse (9) in die Entnahmeposition
(20) gedreht. Anschließend wird die entsprechende Linse (9) mit dem
Saugheber (11) entnommen, in den Linsenhalter (8) eingelegt und der Polierzyklus beginnt
von neuem.
Diese Abbildung zeigt die Poliermaschine in der Arbeitsposition Abrichten des Mehrfach-Formwerkzeugs
(34) mit dem Abrichtwerkzeug (18)".
Zunächst wird der Schwenkkopf (5) mit der Abrichtspindel (17) und dem Abrichtwerkzeug
(18) in die benötigte Schräglage gedreht. Da alle Werkzeugpositionen in der
CNC-Steuerung bekannt sind, kann dann durch Verfahren des X-Schlittens (2) und des
Z-Schlittens (3) im Eilgang das Mehrfach-Formwerkzeug (34) in unmittelbare Nähe zu
dem Abrichtwerkzeug (18) gefahren werden. Nach Erreichen dieser Position wird in
beiden Linearachsen auf den Kriechgang umgeschaltet und die Antriebe der Werkzeugspindel
(4) und der Abrichtspindel (17) gestartet. Unmittelbar bevor die Schneidkante
des Abrichtwerkzeugs (18) das Mehrfach-Formwerkzeug (34) berührt, wird auch
die Zugabe von Kühlflüssigkeit eingeschaltet. Anschließend wird die Bewegung in der
X-Achse gestoppt, während die Kriechgangbewegung in der Z-Achse auf die noch
kleinere Vorschubbewegung zurückgeschaltet wird. Mit dieser, sehr kleinen Geschwindigkeit
in der Z-Richtung wird der Abrichtvorgang durchgeführt.
- 1
- Maschinengestell
- 2
- X-Schlitten
- 3
- Z-Schlitten
- 4
- Werkzeugspindel
- 5
- Schwenkkopf
- 6
- B-Achse
- 7
- Werkstückspindel
- 8
- Linsenhalter
- 9
- Linse
- 10
- Welle
- 11
- Saugheber
- 12
- Taster
- 13
- Luftzylinder
- 14
- Magazinscheibe
- 15
- Werkstückaufnahme
- 16
- Antriebswelle
- 17
- Abrichtspindel
- 18
- Abrichtwerkzeug
- 19
- Interferometer
- 20
- Entnahmeposition
- 30
- Formwerkzeug
- 31
- Grundkörper
- 32
- Polierfolien
- 33
- Aufnahmezapfen
- 34
- Mehrfach-Formwerkzeug
- 35
- Grundkörper
- 36
- Kunststoffschicht
- 37
- Becherwerkzeug
- 38
- Grundkörper
- 39
- Polierring
- 40
- Polierstift
- 41
- Grundkörper
- 42
- Polierkörper
- 43
- aufblasbares Polierwerkzeug
- 44
- Grundkörper
- 45
- Bohrung
- 46
- Gummimembran
- 47
- Polierfolie
- 48
- Bohrung
Claims (11)
- Verfahren zum Polieren von optischen Linsen (9) dadurch gekennzeichnet, daß eine mehrspindelige, z. B. fünfspindelige Poliermaschine benutzt wird, die in allen Bewegungsabläufen bzw. Achsen CNC-gesteuert ist und im oberen Bereich über die Kombination von einem X-Schlitten (2) und einem Z-Schlitten (3) verfügt, an der mindestens zwei, vorzugsweise drei Werkzeugspindeln (4) befestigt sind, während im unteren Bereich ein Schwenkkopf (5) angeordnet ist, der um eine B-Achse (6) schwenkbar ist und an dem eine Abrichtspindel (17) und eine Werkstückspindel (7) befestigt sind, wobei die letztere auch als C-Achse, d. h. mit kontrollierter Rotation betrieben werden kann, und die Mittelachsen aller Spindeln (4), (7) und (17) in einer gemeinsamen Ebene liegen und daß zusätzlich ein Bewegungssystem vorhanden ist, das es gestattet, die unteren Spindeln relativ zu den oberen Spindeln in Richtung der Y-Achse zu verschieben (oder umgekehrt) und die erfindungsgemäße Poliermaschine außerdem über verschiedene Zusatzeinrichtungen verfügt, wie z. B. ein Werkstückmagazin mit automatischer Be- und Entladevorrichtung, einen Taster (12), der es ermöglicht, die Positionen der Linsen (9) zu erfassen und ein Interferometer (19), mit dem die Linsen (9) vermessen werden können und, daß die Werkzeugspindeln (4) mit verschiedenen Polierwerkzeugen zur Optimierung von Kosten und/oder Qualität ausgerüstet werden, und der Poliervorgang so abläuft, daß in einem 1. Schritt eine Linse (9) aus dem Werkstückmagazin automatisch in den Linsenhalter (8) der Werkstückspindel (7) eingelegt wird, in einem 2. Schritt die Linse (9) vorpoliert wird, in einem 3. Schritt die erreichte Qualität mittels Interferometer (19) gemessen wird, in einem 4. Schritt die Maschinenparameter entsprechend den Meßergebnissen, falls erforderlich, korrigiert werden, in einem 5. Schritt eine weitere Linse (9) mit der neuen Maschineneinstellung vorpoliert wird; der 3. Schritt wiederholt wird, in einem 6. Schritt die Linse (9), falls erforderlich, mit einem anderen Polierwerkzeug, z. B. dem Polierstift (40) nachpoliert (korrigiert) wird, in einem 7. Schritt mittels Interferometer (19) eine abschließende Qualitätskontrolle durchgeführt wird und die Linse (9) in einem 8. Schritt bei bestandener Qualitätskontrolle automatisch in dem Werkstückmagazin abgelegt wird.
- Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß während des Poliervorgangs der Rotation von Werkzeugspindel (4) und Werkstückspindel (7) eine ungleichförmige Oszillationsbewegung überlagert wird, bei der sich das Polierwerkzeug relativ zur Linse (9) auf einer Kreisbahn bewegt, deren Mittelpunkt mit dem Krümmungsmittelpunkt der Linse (9) zusammenfällt und die Ungleichförmigkeit dieser Oszillationsbewegung von der CNC-Steuerung so gesteuert wird, daß ein gezielter Materialabtrag an der Linse (9) im Sinne einer Korrektur entsteht.
- Verfahren nach Anspruch 1 und 2 dadurch gekennzeichnet, daß Polierwerkzeuge geeigneter Bauart, in der Poliermaschine durch spanende Bearbeitung ihre endgültige Form erhalten, die der Geometrie der Linse (9) angepaßt ist, was mit Hilfe des Abrichtwerkzeugs (18) oder eines anderen Werkzeugs an der Abrichtspindel (17) erfolgt.
- Verfahren nach Anspruch 1 bis 3 dadurch gekennzeichnet, daß die drehenden Polierwerkzeuge bei entsprechender Abnutzung in der Poliermaschine selbst, mittels Abrichtwerkzeug (18) voll automatisch abgerichtet werden, ohne daß ein Werkzeugwechsel erfolgt.
- Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens nach Anspruch 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß die entsprechende Poliermaschine CNC-gesteuert ist und im oberen Bereich über einen X-Schlitten (2) und einen Z-Schlitten (3) verfügt, an dem mindestens zwei, vorzugsweise drei angetriebene Werkzeugspindeln (4) befestigt sind und an dem Z-Schlitten (3) außerdem eine Be- und Entladevorrichtung für die Linsen (9) angebracht ist und im unteren Bereich der Maschine ein Schwenkkopf (5) um die B-Achse (6) drehbar gelagert ist, an dem eine angetriebene Werkstückspindel (7) und eine angetriebene Abrichtspindel (17) befestigt sind, wobei die Werkstückspindel (7) auch als C-Achse ausgebildet werden kann (kontrollierte Rotation) und außerdem eine Vorschubeinrichtung vorhanden ist, die es gestattet, die beiden unteren Spindeln (7) und (17) relativ zu den oberen Werkzeugspindeln (4) in Y-Richtung zu verschieben (oder umgekehrt) und die Poliermaschine außerdem über ein Werkstückmagazin, einen Taster (12) zum Erfassen der Linsenpositionen und ein Interferometer (19) zur Qualitätskontrolle verfügt und, daß das eingesetzte Polierwerkzeug während des Poliervorgangs mittels der CNC-Steuerung relativ zur Linse (9) ungleichförmige Oszillationsbewegungen ausführen kann, deren Mittelpunkt mit dem Krümmungsmittelpunkt der Linse (9) zusammenfällt und der gesamte Poliervorgang CNC-gesteuert und automatisch ablaufen kann, mit den Arbeitsschritten Linse (9) in Linsenhalter (8) einlegen",
- Vorrichtung nach Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, daß die Poliermaschine CNC-gesteuert ist und in ihrem oberen Bereich über drei angetriebene Werkzeugspindeln (4) mit den Polierwerkzeugen, z. B. den Polierwerkzeugen (34), (37) und (40) verfügt, wobei die Werkzeugspindeln (4) an der Kombination eines X-Schlittens (2) und eines Z-Schlittens (3) befestigt sind, die auch den Saugheber (11) als Be- und Entladeeinrichtung trägt, in dessen Zentrum sich der Taster (12) befindet, und der Saugheber (11) mittels eines Luftzylinders (13) in eine Parkposition gefahren werden kann, während im unteren Bereich der Poliermaschine der Schwenkkopf (5) mittels einer Welle (10) am Maschinengestell (1) drehbar um die B-Achse (6) gelagert ist und in die Welle (10) eine Vorschubeinrichtung integriert ist, die es gestattet, den Schwenkkopf (5) in Y-Richtung um kleine Beträge zu verschieben und der Schwenkkopf (5) die angetriebene Werkstückspindel (7) mit dem Linsenhalter (8) und die angetriebene Abrichtspindel (17) mit dem Abrichtwerkzeug (18) trägt, wobei die Werkstückspindel (7) als C-Achse ausgebildet ist, die kontinuierliche oder kontrollierte Rotation erlaubt und daß das Werkstückmagazin aus einer Magazinscheibe (14) besteht, die mittels Antriebswelle (16) in Schritten drehbar gelagert ist und auf einem außenliegenden Teilkreis über Werkstückaufnahmen (15) verfügt, die nacheinander in die Entnahmeposition (20) gedreht werden können, in deren Nähe sich auch das Interferometer (19) befindet.
- Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens nach Anspruch 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß als Polierwerkzeug ein Formwerkzeug (30) benutzt wird, das aus einem Grundkörper (31) besteht, der mit Polierfolien (32) beklebt ist, die auf Grund ihrer Form und Anordnung gemeinsam mit der ungleichförmigen Oszillation auch Korrekturen an der Linsengeometrie ermöglichen und ein Aufnahmezapfen (33) zur Befestigung an der Werkzeugspindel (4) der Poliermaschine dient.
- Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens nach Anspruch 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß als Polierwerkzeug ein Mehrfach-Formwerkzeug (34) benutzt wird, das aus einem Grundkörper (35) besteht, der mit einer Kunststoffschicht (36) belegt ist, deren Dicke es gestattet, nacheinander mehrere Krümmungsradien anzuarbeiten und daß die Kunststoffschicht mit oder ohne eingelagerte Füllstoffe, wie z. B. Glaspartikel und Poliermittel ausgeführt wird und ein Aufnahmezapfen (33) zur Befestigung an der Werkzeugspindel (4) der Poliermaschine dient.
- Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens nach Anspruch 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß ein Becherwerkzeug (37) benutzt wird, das aus einem Grundkörper (38) besteht, an dessen offenem Ende ein Polierring (39) befestigt ist, der aus Kunststoff oder Preßmassen besteht, wahlweise auch mit eingelagertem Poliermittel und ein Aufnahmezapfen (33) zur Befestigung an der Werkzeugspindel (4) dient.
- Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens nach Anspruch 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß ein Polierstift (40) benutzt wird, der aus einem Grundkörper (41) besteht, an dessen einem Ende ein Polierkörper (42) befestigt ist, der z. B. aus Filz bestehen kann und ein Aufnahmezapfen (33) zur Befestigung an der Werkzeugspindel (4) der Poliermaschine dient.
- Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens nach Anspruch 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß ein aufblasbares Polierwerkzeug (43) benutzt wird, das aus einem Grundkörper (44) besteht, der über eine zentrale Bohrung (45) verfügt und mit einer aufblasbaren Gummimembran (46) bespannt ist, die entweder auf der gesamten Fläche oder nur in ihrem Zentrum mit Polierfolien (47) verschiedener Form belegt ist und daß der Aufnahmezapfen (33), der ebenfalls über eine zentrale Bohrung (48) verfügt, zur Aufnahme des Werkzeugs an der Werkzeugspindel (4) der Poliermaschine dient.
Priority Applications (1)
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EP98103129A EP0937542A1 (de) | 1998-02-23 | 1998-02-23 | Verfahren zum Polieren optischer Linsen und Mehrspindel-Poliermaschine mit verschiedenen Polierwerkzeugen zur Durchführung des Verfahrens |
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EP0937542A1 true EP0937542A1 (de) | 1999-08-25 |
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EP98103129A Withdrawn EP0937542A1 (de) | 1998-02-23 | 1998-02-23 | Verfahren zum Polieren optischer Linsen und Mehrspindel-Poliermaschine mit verschiedenen Polierwerkzeugen zur Durchführung des Verfahrens |
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