EP0800201A3 - Langlebiger Excimerstrahler, Verfahren zu seiner Herstellung und zur Lebensdauerverlängerung sowie Vorrichtung zur Durchführung des letztgenannten Verfahrens - Google Patents

Langlebiger Excimerstrahler, Verfahren zu seiner Herstellung und zur Lebensdauerverlängerung sowie Vorrichtung zur Durchführung des letztgenannten Verfahrens Download PDF

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Die Erfindung betrifft einen Excimerstrahler mit einem Entladungsraum, der ein unter Entladungsbedingungen Excimere bildendes, halogenhaltiges Füllgas enthält, dadurch gekennzeichnet, daß der Halogengehalt des Entladungsraumes (16) pro cm2 seiner Innenoberfläche mindestens 1 x 10-10 mol/cm3 beträgt und gleichzeitig in Abhängigkeit von der maximalen Leistungsdichte des Strahlers (11), ausgedrückt in der Einheit "Watt pro cm Strahlerlänge" auf einen Wert im Bereich von 1 x 10-7 mol/cm3 bis 1 x 10-5 mol/cm3 pro Einheit der Leistungsdichte eingestellt ist. Zur Herstellung eines solchen langlebigen Excimerstrahlers werden die Innenoberflächen des Entladungsraumes vor dem Einfüllen des Füllgases mit einem halogenhaltigen Passivierungsgas behandelt. Die Lebensdauer von Excimerstrahlern läßt sich weiterhin verlängern, indem der Entladungsraum mit Infrarotstrahlen beaufschlagt wird oder indem Halogen aus einem im Entladungsraum angeordneten Halogen-Reservoir freigesetzt wird. Bei einer erfindungsgemäßen, zur Verlängerung der Lebensdauer von Excimerstrahlern geeigneten Vorrichtung ist mindestens ein Infrarotstrahler vorgesehen ist, der benachbart zum Excimerstrahler angeordnet ist, derart, daß die vom Infrarotstrahler ausgehende Infrarotstrahlung den Entladungsraum erwärmt.
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