EP0734040B1 - Einrichtung zum Verbinden von Vakuumpumpständen mit Elektronenröhren - Google Patents

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EP0734040B1
EP0734040B1 EP96103541A EP96103541A EP0734040B1 EP 0734040 B1 EP0734040 B1 EP 0734040B1 EP 96103541 A EP96103541 A EP 96103541A EP 96103541 A EP96103541 A EP 96103541A EP 0734040 B1 EP0734040 B1 EP 0734040B1
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EP
European Patent Office
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neck
electron tube
pump frame
rollers
tube
Prior art date
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EP96103541A
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English (en)
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EP0734040A1 (de
Inventor
Armin Blecker
Hartmut Tschesche
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Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
    • H01J9/385—Exhausting vessels

Definitions

  • the invention relates to a vacuum pumping station for connecting to an electron tube according to the preamble of the first claim.
  • the evacuation of electron tubes takes place via pumping stations, which are a component of an almost fully automated treatment system.
  • the only Activity that is still carried out manually according to the current state of the art must be the connection between the pumping station and electron tube. This requires two work steps. In a must the suction port of the vacuum pump with the stem of the electron tube be connected and in another operation the electrical Contact for heating the cathode of the electron tube made.
  • the existing facilities it is even when using the latest Robot technology not possible, the alignment of intake manifolds and pump stem as well as the electrical connections with the required To achieve accuracy. So far, the aforementioned activities can only manually performed with the necessary precision (see US-A-2 799 982).
  • the invention has for its object to present a device with which automatically connects the pumping station and the electron tube with the required accuracy can be established.
  • it is about concerned with the connection of the intake of the pumping station with the Pump stem of the electron tube and around the making of the electrical connections for heating the cathode.
  • the invention makes it possible to evacuate electron tubes to be carried out fully automatically. In particular, it ensures that the connection the electron tube with the pumping station with the required accuracy and reliability as part of a fully automated process can be manufactured. In addition to heating the electron tube whose cathode is automatically provided with an electrical connection.
  • Figures 1a) to 3a) each show longitudinal sections and the figures 1b) to 3b) the associated cross sections along the lines A, A 'from the Figures 1a) to 3a) of the arrangement at three different times of the operation.
  • a vacuum pumping station of which only the high-vacuum suction flange 1 is used to evacuate an electron tube from which only the tube neck 10 is shown.
  • the intake flange 1 which also serves as a guide table, lateral guide rollers 4 are connected.
  • the pumping station and thus those mounted on the connection flange 1 Devices can be moved in the direction of the electron tube.
  • the guide rollers 4 slide in the guide rails 6.
  • This movement changes the ones with the guide rails connected rotatable lever 5 in the imaging plane against the outer Frame 2 slightly tilted over the compression springs 9. So that the distance of the with the levers connected via brackets 7 centering rollers 8 changed.
  • the two centering rollers 8 include the tube neck 10, which means that the this connected pump stem 11 when starting up the pumping station is securely guided in the sealing ring 13 of the intake manifold.
  • the appropriate Contacts 12 at the other end of the tube neck 10 (tube base) with one electrical connection via the spring contacts 15 are provided.
  • a release unit 17 is provided for this purpose.
  • the spring contacts 15 are connected to the intake flange 1 via a holder 16 and move with this in the direction of the tube neck 10 when the pumping station is raised.
  • the bracket 16 is also the spring contacts 15 by contact with the roller 18 of the release unit 17 pushed in the direction of the electrical contacts 12 of the tube neck 10.
  • the electrical connection is made by a process known per se between the spring contacts 15 and the electrical contacts 12 of the Cathode of the electron tube manufactured.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
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Description

Die Erfindung betrifft einen Vakuumpumpstand zum Verbinden mit einer Elektronenröhre nach dem Oberbegriff des 1. Patentanspruches. Die Evakuierung von Elektronenröhren erfolgt über Pumpstände, welche Bestandteil eines nahezu vollautomatisierten Behandlungssystems sind. Die einzige Tätigkeit, die nach dem heutigen Stand der Technik noch manuell ausgeführt werden muß, ist das Herstellen der Verbindung zwischen Pumpstand und Elektronenröhre. Dazu sind zwei Arbeitsgänge notwendig. In einem muß der Ansaugstutzen der Vakuumpumpe mit dem Pumpstengel der Elektronenröhre verbunden werden und in einem anderen Arbeitsgang wird der elektrische Kontakt zur Beheizung der Kathode der Elektronenröhre hergestellt. Mit den bisher existierenden Einrichtungen ist es selbst bei Einsatz der neuesten Robotertechnologie nicht möglich, die Ausrichtung von Ansaugstutzen und Pumpstengel sowie der elektrischen Anschlüsse mit der erforderlichen Genauigkeit zu erreichen. Die vorgenannten Tätigkeiten können bisher nur manuell mit der notwendigen Präzision ausgeführt werden (siehe US-A-2 799 982).
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung vorzustellen, mit der automatisch die Verbindung von Pumpstand und Elektronenröhre mit der erforderlichen Genauigkeit hergestellt werden kann. Insbesondere handelt es sich dabei um die Verbindung des Ansaugstutzens des Pumpstandes mit dem Pumpstengel der Elektronenröhre und um die Herstellung der elektrischen Anschlüsse für die Beheizung der Kathode.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der beiden Patentansprüche gelöst.
Durch die Erfindung wird es möglich, die Evakuierung von Elektronenröhren vollautomatisch durchzuführen. Insbesondere wird sichergestellt, daß die Verbindung der Elektronenröhre mit dem Pumpstand mit der erforderlichen Genauigkeit und Zuverlässigkeit im Rahmen eines vollautomatisierten Verfahrens hergestellt werden kann. Zusätzlich wird zum Ausheizen der Elektronenröhre deren Kathode automatisch mit einer elektrischen Verbindung versehen.
An Hand der Abbildungen 1a), b) bis 3a), b) soll die Erfindung näher erläutert werden.
Die Abbildungen 1a) bis 3a) zeigen jeweils Längsschnitte und die Abbildungen 1b) bis 3b) die dazugehörigen Querschnitte entlang den Linien A, A' aus den Abbildungen 1a) bis 3a) der Anordnung zu drei verschiedenen Zeitpunkten des Arbeitsvorganges.
Ein Vakuumpumpstand, von welchem nur der hochvakuumseitige Ansaugflansch 1 dargestellt ist, dient zur Evakuierung einer Elektronenröhre, von welcher nur der Röhrenhals 10 dargestellt ist. Mit dem Ansaugflansch 1, welcher auch als Führungstisch dient, sind seitliche Führungsrollen 4 verbunden. Der Pumpstand und somit die auf dem Anschlußflansch 1 montierten Einrichtungen sind in Richtung der Elektronenröhre verschiebbar. Bei einer solchen Bewegung gleiten die Führungsrollen 4 in den Führungsschienen 6. Da das Profil der Führungsschienen sich in Richtung der Bewegung verändert, werden durch diese Bewegung die mit den Führungsschienen verbundenen drehbaren Hebel 5 in der Abbildungsebene gegen den äußeren Rahmen 2 über die Druckfedern 9 leicht gekippt. Damit wird der Abstand der mit den Hebeln über Halterungen 7 verbundenen Zentrierrollen 8 verändert. Die beiden Zentrierrollen 8 umfassen den Röhrenhals 10, wodurch der mit diesem verbundene Pumpstengel 11 beim Hochfahren des Pumpstandes sicher in den Dichtring 13 des Ansaugstutzens geführt wird.
Die einzelnen Schritte dieses Vorganges sind durch die Abbildungen 1a). b) bis 3a), b) dargestellt.
In Abbildung 1a) befindet sich der Pumpstand in der unteren Position. Der Abstand der Zentrierrollen 8 ist groß (Abbildung 1b)), so daß der Röhrenhals 10 dazwischen positioniert werden kann. Durch Anheben des Pumpstandes (Abbildung 2a) werden durch die Führungsrollen 4 die Hebel 5 derart geschwenkt, daß sich der Abstand der Führungsrollen 8 soweit verringert, bis sie den Röhrenhals 10 fest umfassen und zentrieren (Abbildung 2b)). Jetzt können der Pumpstengel 11 und der Dichtring 13 exakt zusammengeführt werden. Beim weiteren Anheben des Pumpstandes (Abbildung 3a)) werden die Hebel 5 durch die Führungsrollen 4 wieder etwas auseinandergedrückt. Dadurch vergrößert sich der Abstand der Zentrierrollen 8 wieder (Abbildung 3b)), so daß ein Verspannen des Pumpstengels 11 vermieden wird.
Zur Beheizung der Kathode der Elektronenröhre müssen die entsprechenden Kontakte 12 am anderen Ende des Röhrenhalses 10 (Röhrensockel) mit einer elektrischen Verbindung über die Federkontakte 15 versehen werden. Zu diesem Zweck ist eine Auslöseeinheit 17 vorgesehen. Die Federkontakte 15 sind über eine Halterung 16 mit dem Ansaugflansch 1 verbunden und bewegen sich mit diesem in Richtung Röhrenhals 10 bei Anheben des Pumpstandes. Bei Erreichen der Endposition (Abbildung 3a)) wird die Halterung 16 mit den Federkontakten 15 durch Berührung mit der Rolle 18 der Auslöseeinheit 17 in Richtung der elektrischen Kontakte 12 des Röhrenhalses 10 geschoben. Somit wird durch einen an sich bekannten Vorgang die elektrische Verbindung zwischen den Federkontakten 15 und den elektrischen Kontakten 12 der Kathode der Elektronenröhre hergestellt.

Claims (2)

  1. Vakuumpumstand zum Verbinden mit einer Elektronenröhre, deren Röhrhals (10) mit einem rohrförmigen Pumpstengel (11) und mit elektrischen Kontakten (12) versehen ist, wobei der Pumpstand mit einem Ansaugflansch (1) und einem Dichtring (13) versehen ist und zum Verbinden mit der Elektronenröhre in Richtung der Elektronenröhre verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Ansaugflansch (1) als Führungstisch ausgebildet ist, an welchem Führungsrollen (4) angebracht sind, und diese Führungsrollen beim Verschieben des Pumpstandes in Führungsschienen (6) gleiten, wobei die Führungsschienen (6) jeweils mit Hebeln (5) verbunden sind und an diesen Hebeln wiederum über Halterungen (7) Zentrierrollen (8) zum Umfassen des Röhrenhalses (10) angebracht sind und die Führungsschienen (6) ein Profil aufweisen, das dazn geeignet ist, daß bei Bewegung des Pumpstandes in Richtung der Elektronenröhre am Anfang die Zentrierrollen (8) sich in einem gewissen Abstand vom Röhrenhals (10) befinden und dann im weiteren Verlauf der Bewegung den Röhrenhals fest umschließen und zentrieren bis der Pumpstengel (11) den Dichtring (13) erreicht hat, und die Zentrierrollen bei weiterer Bewegung des Pumpstandes in die gleiche Richtung bis zur Endposition wieder einen gewissen Abstand zum Röhrenhals einnehmen.
  2. Vakuumpumpstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Ansaugflansch (1) eine Halterung (16) mit Federkontakten (15) vorhanden ist und an einem der Hebel (5) eine Auslöseeinheit (17) mit einer Rolle (18) angebracht ist, derart, daß bei Erreichen der Endposition des Pumpstandes die Rolle (18) der Auslöseeinheit (17) die Halterung (16) und somit die Federkontakte (15) in Richtung der elektrischen Kontakte (12) verschiebt, so daß eine elektrische Verbindung der Federkontakte (15) mit den Kontakten (12) der Elektronenröhre zustandegebracht werden kann.
EP96103541A 1995-03-24 1996-03-07 Einrichtung zum Verbinden von Vakuumpumpständen mit Elektronenröhren Expired - Lifetime EP0734040B1 (de)

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EP0734040A1 EP0734040A1 (de) 1996-09-25
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