EP0658637B1 - Procédé et dispositif de traitement de surfaces métalliques par voie sèche - Google Patents
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- EP0658637B1 EP0658637B1 EP19940402726 EP94402726A EP0658637B1 EP 0658637 B1 EP0658637 B1 EP 0658637B1 EP 19940402726 EP19940402726 EP 19940402726 EP 94402726 A EP94402726 A EP 94402726A EP 0658637 B1 EP0658637 B1 EP 0658637B1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
- C23G5/00—Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
Description
- son rendement (rapport de la puissance introduite pour créer le plasma à la densité d'espèces produites qui interagissent effectivement avec le support à traiter), ou encore la densité d'énergie obtenue (dans le cas de la décharge couronne, elle n'atteint que quelques W par unité de surface de diélectrique), qui si ils étaient accrus pourraient permettre des temps de traitement plus courts,
- mais aussi du fait de facteurs "géométriques" limitants : dans le cas de la décharge couronne traditionnelle, la distance électrode/échantillon est tout à fait critique et doit être maintenue très faible, ce qui peut poser problème dans le cas de substrats dont le relief est relativement tourmenté; dans le cas de la décharge micro-ondes, elle donne lieu à la formation d'un spot plasmagène, de dimensions déterminées et limitées par la source plasma,
- par ailleurs, un plasma tel que celui créé dans ce document, contient par définition des espèces ioniques et des électrons (donc des espèces électriquement chargées) pouvant induire un bombardement ionique et donc un effet de pulvérisation de la surface métallique qui dans certains cas, peut s'avérer préjudiciable (par exemple quand la surface métallique est recouverte d'un revêtement que l'on ne souhaite pas altérer).
- d'opérer sensiblement à pression atmosphérique,
- une grande flexibilité de distance entre l'objet à traiter et le dispositif utilisé pour effectuer ce traitement,
- d'éviter le contact des pièces avec des espèces électriquement chargées,
- d'offrir une densité énergétique améliorée permettant une vitesse de traitement accrue.
- la figure 1 est une vue schématique d'une installation convenant pour la mise en oeuvre du procédé selon l'invention.
- la figure 2 représente schématiquement en coupe un exemple d'appareil de formation d'espèces gazeuses excitées ou instables convenant pour la mise en oeuvre du procédé selon l'invention.
- le dépôt de silice a été effectué, et gravé de façon à créer 100 carreaux sur une surface de 1 cm2 de l'échantillon d'acier (de 10 cm par 10 cm), chaque carreau ayant une surface approximative de 1 mm2. Après dépôt, un ruban adhésif était collé proprement sur ce cm2 de la surface de l'échantillon de tôle, puis décollé. Le test consistait alors à compter les carreaux arrachés et fixés sur la face intérieure du ruban. Les résultats obtenus après nettoyage de surface comme précédemment décrit dans cet exemple de mise en oeuvre ont montré un résultat de 100 % de carreaux de silice demeurant en place sur chaque pièce de tôle métallique correspondant à un arrachage de zéro carreau sur la face intérieure du ruban. Ce résultat est à comparer avec le cas où la pièce métallique n'a pas été nettoyée par le procédé selon l'invention, elle a simplement été dégraissée à l'aide d'un solvant tel que l'hexane. On obtient alors pour ces pièces métalliques non traitées un résultat de 100 % de carreaux arrachés, correspondant à zéro carreau de silice demeurant en place sur la pièce métallique.
Claims (10)
- Procédé de préparation de surface par voie sèche d'au moins une portion de surface métallique, en vue de réaliser l'une ou plusieurs des fonctions suivantes sur ladite surface métallique : nettoyage, dégraissage, activation de surface,
caractérisé en ce que la portion est traitée, à une pression voisine de la pression atmosphérique, par une atmosphère gazeuse de traitement comprenant des espèces excitées ou instables et substantiellement dépourvue d'espèces électriquement chargées, obtenue à partir :d'un mélange gazeux primaire (8), qui est obtenu à la sortie (6) de gaz d'au moins un appareil (4) de formation d'espèces gazeuses excitées ou instables, dans lequel a été transformé, par. décharge électrique, un mélange gazeux initial (7) comprenant un gaz inerte et/ou un gaz réducteur et/ou un gaz oxydant; etd'un mélange gazeux adjacent (9, 10) n'ayant pas transité par le dit appareil (4). - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le mélange gazeux adjacent est réducteur.
- Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le mélange gazeux adjacent contient du silane SiH4.
- Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la pièce comportant la portion métallique à traiter est portée à une température n'excédant pas 600°C.
- Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la pièce (1) comportant la portion métallique à traiter est amenée en regard de la sortie (6) de gaz dudit appareil (4), le cas échéant en regard des sorties de gaz de plusieurs appareils placés en parallèles sur la largeur de la pièce et/ou successivement en regard des sorties de gaz de plusieurs appareils (11, 4, 12) placés en série, par un système de convoyage (2) traversant un espace intérieur (31) délimité par un tunnel (3) ou un ensemble de capotage, isolé de l'atmosphère environnante, ledit tunnel ou ensemble étant raccordé de façon étanche audit appareil ou incluant le dit appareil.
- Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que ladite décharge électrique, dont le dit appareil est le siège, utilisée pour transformer ledit mélange gazeux initial, est créée entre une première électrode (14) et une seconde électrode (17), une couche (16) d'un matériau diélectrique étant disposée sur la surface d'au moins une des électrodes (17), en regard de l'autre électrode, et en ce que le dit mélange gazeux initial traverse la décharge transversalement aux électrodes.
- Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'énergie mise en oeuvre dans le dit appareil, ramenée à l'unité de surface de diélectrique est supérieure à 1 W/cm2, et préférentiellement supérieure à 10 W/cm2.
- Procédé selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que l'on réalise un zonage de l'atmosphère de traitement rencontrée successivement par la pièce à traiter le long du convoyeur, de la façon suivante :a) au moins un des appareils (11, 4, 12) de formation d'espèces gazeuses excitées ou instables transforme un mélange gazeux initial (7) différent de celui transformé par l'appareil le précédant dans le dit tunnel (3) ou ensemble, et/oub) le mélange gazeux adjacent (9, 10) mis en oeuvre au niveau d'au moins un des appareils (11, 4, 12) de formation d'espèces gazeuses excitées ou instables est différent de celui mis en oeuvre au niveau de l'appareil le précédant dans le dit tunnel ou ensemble.
- Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que les étapes a) et b) ont lieu au niveau d'un même appareil.
- Utilisation d'un dispositif de traitement de surface par voie sèche d'au moins une portion de surface métallique, pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une des revendications 1 à 9, dispositif comprenant un tunnel (3) ou ensemble de capotage définissant un espace intérieur (31) traversé par des moyens de convoyage (2) des pièces (1) comportant la ou les portions à traiter, isolé de l'atmosphère environnante, se raccordant de façon étanche à ou incluant un ou plusieurs appareils (11, 4, 12) de formation d'espèces gazeuses excitées ou instables montés en série et/ou parallèle, comprenant au moins un passage (18) de gaz tubulaire ayant un axe, formé entre une électrode extérieure (14) et une électrode intérieure (17), l'une au moins des électrodes comportant, en regard de l'autre, un revêtement diélectrique (16), les électrodes étant reliées à une source haute tension et haute fréquence, l'électrode extérieure (14) entourant le diélectrique (16) et comportant une entrée (20) de gaz dit initial et une sortie (21) de gaz dit primaire allongées, parallèles à l'axe et sensiblement diamétralement opposées, ladite sortie de gaz débouchant à l'intérieur dudit tunnel ou ensemble, le dit tunnel ou ensemble étant muni d'au moins un moyen d'injection (9, 10, 13) d'un gaz dit adjacent ne transitant pas par le ou les dits appareils.
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