EP0344513A3 - Procédé de fabrication d'une plaque de commande pour un appareil de lithographie - Google Patents

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EP0344513A3
EP0344513A3 EP19890108867 EP89108867A EP0344513A3 EP 0344513 A3 EP0344513 A3 EP 0344513A3 EP 19890108867 EP19890108867 EP 19890108867 EP 89108867 A EP89108867 A EP 89108867A EP 0344513 A3 EP0344513 A3 EP 0344513A3
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EP
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manufacture
semiconductor body
lithography apparatus
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steering plate
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Burkhard Prof. Dr. Lischke
Wolfgang Dr. Benecke
Uwe Schnakenberg
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Siemens AG
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Siemens AG
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/1472—Deflecting along given lines
    • H01J37/1474—Scanning means
    • H01J37/1477—Scanning means electrostatic
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
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