EP0184475B1 - Verfahren und Vorrichtung zum Starten einer Mikrowellenionenquelle - Google Patents

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EP0184475B1
EP0184475B1 EP85402076A EP85402076A EP0184475B1 EP 0184475 B1 EP0184475 B1 EP 0184475B1 EP 85402076 A EP85402076 A EP 85402076A EP 85402076 A EP85402076 A EP 85402076A EP 0184475 B1 EP0184475 B1 EP 0184475B1
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plasma
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ultra
ionized
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René Gualandris
Paul Ludwig
Jean-Claude Rocco
François Zadworny
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Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
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Commissariat a lEnergie Atomique CEA
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/16—Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation

Claims (9)

1. Verfahren zum Starten einer Höchstfrequenzionenquelle, enthaltend einen Hohlraumresonator (9), der mit einem Gas oder einem Dampf eines Materials versorgt wird, das zur Ausbildung eines Plasmas bestimmt ist, ein System (8) zum Einkoppeln einer Höchstfrequenzenergie in den Hohlraum und ein System (14) zum Extrahieren der Plasmaionen aus dem Hohlraum, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlraum vom Mehrmode-Typ ist, man mitten in dem zu ionisierenden Milieu elektronische Keime bildet und man das Plasma nach seiner Zündung mit Hilfe der einzigen Höchstfrequenzenergie unterhält.
2. Startverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erzeugung der elektronischen Keime mitten im zu ionisierenden Milieu einzig beim anfänglichen Starten stattfindet.
3. Startverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erzeugung der elektronischen Keime mitten im zu ionisierenden Milieu wiederholt stattfindet.
4. Startverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Erzeugung der elektronischen Keime mitten im zu ionisierenden Milieu durch direkte Einimpfung von Elektronen erhalten wird.
5. Startverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Erzeugung elektronischer Keime mitten im zu ionisierenden Milieu durch vorübergehende und örtliche Anwendung eines Magnetfeldes erhalten wird, das eine Intensität hat, die ausreichend ist, um in einem kleinen Volumen des Hohlraums die Bedingungen zu erzeugen, die eine elektronische zyklotronische Resonanz einrichten, die ihrerseits die Bildung des Plasmas hervorruft.
6. Startverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Erzeugung elektronischer Keime mitten im zu ionisierenden Milieu durch vorübergehende Anwendung eines Überdrucks im Hohlraum erhalten wird.
7. Höchstfrequenzionenquelle, enthaltend einen Mehrmode-Hohlraumresonator (9), der mit einem Gas oder einem Dampf aus einem Material versorgt wird, das dazu bestimmt ist, ein Plasma zu bilden, ein System (8) zum Einkoppeln einer Höchstfrequenzenergie in den Hohlraum und ein System (14) zum Ausleiten von Plasmaionen aus dem Hohlraum, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Startvorrichtung enthält, die von einem Elektromagneten (11, 12) gebildet ist, der die Außenwand des Hohlraums einige Zentimeter stromabwärts des Einkoppelsystems (8) umgibt und dessen Magnetjoch (12) an der Wand (9) dieses Hohlraums befestigt ist.
8. Höchstfrequenzionenquelle, die in bekannter Art einen Mehrmode-Hohlraumresonator (9) verwendet, der mit einem Gas oder einem Dampf aus einem Material versorgt wird, das zur Ausbildung eines Plasmas bestimmt ist, mit einem System (8) zum Einkoppeln einer Höchstfrequenzenergie in den Hohlraum und einem System (14) zum Ausleiten der Plasmaionen aus dem Hohlraum, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Startvorrichtung enthält, die aus der Gruppe ausgewählt ist, die Heizdrähte, Feldemissionsspitzen, Funkenquellen, lonisationslehren umfaßt, wobei die gewählte Vorrichtung im Hohlraum oder durch seine Wand hindurch angewendet ist.
9. Höchstfrequenzionenquelle nach einem der Ansprüche 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß die drei Dimensionen des Mehrmode-Hohlraumresonators Länge, Breite und Höhe jeweils größer als die kleine Seite oder als der Durchmesser des Wellenleiters des Einkoppelsystems für die Höchstfrequenzenergie in den Hohlraum sind.
EP85402076A 1984-11-06 1985-10-25 Verfahren und Vorrichtung zum Starten einer Mikrowellenionenquelle Expired EP0184475B1 (de)

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