EP0043781A1 - Procédé pour la fabrication d'une couche composite résistant à la fois au grippage, à l'abrasion, à la corrosion et à la fatigue par contraintes alternées, et couche composite ainsi obtenue - Google Patents

Procédé pour la fabrication d'une couche composite résistant à la fois au grippage, à l'abrasion, à la corrosion et à la fatigue par contraintes alternées, et couche composite ainsi obtenue Download PDF

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EP0043781A1
EP0043781A1 EP19810420091 EP81420091A EP0043781A1 EP 0043781 A1 EP0043781 A1 EP 0043781A1 EP 19810420091 EP19810420091 EP 19810420091 EP 81420091 A EP81420091 A EP 81420091A EP 0043781 A1 EP0043781 A1 EP 0043781A1
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metal
layers
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Jean-Paul Terrat
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Centre Stephanois de Recherches Mecaniques Hydromecanique et Frottement SA
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    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides

Definitions

  • the present invention relates to a composite layer capable of resisting both seizure, abrasion, fatigue by alternating stresses and corrosion, based on a transition metal such as titanium, tantalum, hafnium, or others. It also concerns, as new industrial products, the parts thus coated.
  • the part to be coated can be made of very diverse materials such as, for example, steels or bronzes, or aluminum alloys, but also ceramics, paper, plastic, etc. very often, however, the part is made of steel and it is a mechanical part.
  • the words "parts”, “substrate”, can designate very diverse materials , steel being just one example.
  • the seizure occurs in particular when the material of the surface of a rubbing body can form intermetallià compounds. ques for example, by diffusion, with the material which constitutes the surface of the opposing body.
  • the abrasion is particularly intense when the soft surface of a part is scratched or torn off by the roughness of the harder opposing body, or by hard particles present in the atmosphere.
  • Fatigue by alternating stresses can lead either to surface tears perpendicular to the direction of friction, or to deep shears which gradually isolate the surface layer and promote its erosion.
  • the present invention aims to achieve a coating or particularly spectacular results don its action against a, plusiours, or the four main modes of aging mentioned above.
  • At least three successive unitary layers are formed on the part to be coated, formed in a proportion greater than 70% by combinations between a transition metal and a non-metal chosen from the group carbon, nitrogen, oxygen, silicon, boron.
  • the chemical compositions of the successive unitary layers are very close to one another, only the last, that is to say the one immediately in contact with the substrate, which may be of a different nature.
  • the meaning to be attached to the expression "very similar chemical compositions”. is that only the index x varies from one unit layer to another, but not the choice of components.
  • the invention does not relate to successions such as Ti N - Ti C - Ti N .... inside the same composite layer.
  • the outer unitary layer has a hardness greater than 1000 Vickers, the elastic modulus of the compound which constitutes it is less than 150,000 N / mm 2 and its thickness is less than 5 micrometers.
  • the outer layer consists of at least 90% of the metal / non-metal compound and that which follows it at least 70% of the compound with a chemical composition close to that of the previous one.
  • the third layer that is encountered from the surface can be the repetition of the outer layer and one can then put as many superimposed unit layers as desired.
  • the layer immediately below the outer layer has a hardness at least 500 Vickers greater than that of the first layer and its thickness is less than 5 micrometers.
  • the last layer immediately in contact with the substrate has a hardness greater than 1000 V ickers, and its thickness does not exceed 20 micrometers.
  • cathodic sputtering is used, of the type known as the magnetron in which a target of the transition metal considered is bombarded with ions of a neutral plasma gas such as neon, argon, xenon, or krypton in the presence of a reactive gas capable of releasing the metalloid which will combine with the sprayed transition metal, such as nitrogen, ammonium or hydrazine.
  • a neutral plasma gas such as neon, argon, xenon, or krypton
  • a reactive gas capable of releasing the metalloid which will combine with the sprayed transition metal such as nitrogen, ammonium or hydrazine.
  • Figure 1 is a sectional view showing the minimum of three superimposed layers that comprises a coating according to the invention in the case where it is proposed to coat with titanium nitride a piece of gcier support.
  • Figures 2 and 3 show two alternative embodiments of a layer according to the invention.
  • a steel part 1 which for the coating, constitutes the support, or substrate.
  • one begins by coating the part with a thin layer 2 of titanium nitride Ti N, the thickness of which is less than 5 micrometers.
  • a second elementary unitary layer is then made of titanium nitride Ti N x (0.4 ⁇ x ⁇ 1), the thickness of which is less than 5 micrometers. (layer 3).
  • a third elementary layer 4 is deposited, the chemical composition of which is Ti N.
  • the steel part 1 is coated with a composite layer 5 according to the invention, formed of the three elementary layers 2, 3 and 4 illustrated in FIG. 1.
  • the steel part 1 is coated with a composite layer 8 formed of five elementary layers.
  • the final composite layer of titanium nitride thus deposited is both chemically very inert and very hard.
  • one of the two friction pieces is often made of graphite, the opposing piece being steel.
  • a yellow titanium nitride TiN layer is then obtained, which is allowed to grow until its thickness reaches four micrometers.
  • a second step the same parameters are kept, with the exception of the nitrogen pressure which is reduced to 2 x 10 -4 torrs.
  • a second layer formed of nitride Ti N 0.6 is then obtained, which is also allowed to grow until it reaches a thickness of four micrometers.
  • the nitrogen pressure is then reduced to the initial pressure of 3 x 10 -4 torr to produce a new layer formed of titanium nitride Ti N.
  • the operation can be repeated as many times as desired, thereby forming successive layers. But the first three unit layers are sufficient to be in accordance with the invention.
  • the coating thus obtained presets an outer layer whose hardness is 2000 Vickers, that is to say greater than the 1000 Vickers required; its thickness is four micrometers, that is to say less than the five micrometers required and its Young's modulus is 95,000 N / mm 2 , that is to say less than the 150,000 N / mm 2 required.
  • the third layer is formed from titanium nitride TI N, therefore identical to the outer layer.
  • this coating in accordance with the present invention, has, compared to the conventional solution, a resistance to corrosion, according to the conventional salt spray test, five times greater and a resistance to mechanical aging by seizure and fatigue three times greater. .
  • the first layer is produced only in a nitrogen atmosphere, without spraying with titanium.
  • this first layer formed is based on iron nitride Fe 3 N.
  • the different subsequent unit layers formed are then Ti N and Ti N x.
  • a compcsite layer according to the invention is also obtained here, which multiplies the resistance of the part to aging by several times by the four modes described above.
  • the present invention also relates to an improvement to the above examples concerning a composite layer where the metal is titanium, while the non-metal combining with titanium is nitrogen.
  • the parts to be coated may be polarized under a swimming voltage, the thief of this voltage should not exceed -1000 V.
  • the processing layer according to the invention is the one which resists both abrasion and corrosion simultaneously.
  • a first layer is then obtained which is allowed to grow until its thickness reaches 4 micrometers.
  • a second step the same implementation parameters are kept, with the exception of the partial pressures of the gases which are reduced respectively to 2.10 -3 torrs for argon and 3.10 -4 torrs for nitrogen.
  • a second layer is then obtained which is also allowed to grow to a thickness of 4 micrometers.
  • a piece of XC steel (0.38% carbon) coated with said layer has a corrosion resistance greater than 2000 hours. If you also submit an XC 38 steel part coated with the layer according to the invention by the action of an abrasive jet, under a pressure of 6 bars, the weight loss noted on the coated part is 2 mg.
  • the microhardness of the various coatings formed is less than that obtained according to the conditions of the invention and as described in the first example above.
  • the microhardness of the outer layer is equal to 1500 Hv. That of the underlying layer is equal to 2200 Hv. Finally, that of the third layer is equal to that of the outer layer.
  • an XC 38 steel part coated with the composite layer thus produced has a corrosion resistance which does not exceed 900 hours.
  • the weight loss recorded after abrasion test is 6 mg.

Abstract

L'invention concerne une couche composite capable résister aux quatre principaux modes de vieillissement des pièces. La pièce ou substrat (1), en un matériau très divers, est revètue par une succession de couches unitaires (2), (3), (4), au nombre d'au moins trois, et composées chacune principalement par une combinaison entre un élément métallique (M) tel que du titane (Ti) et un élément non métallique (m) tel que de l'azote (N). Les compositions de deux couches voisinent ne diffèrent l'une de l'autre que par la valeur de l'indice (x) affecté au non métal dans la composition chimique de la cauche unitaire. Les trois couches unitaires forment la couche composite (5). Application: couche composite formée par la superposition de couches unitaires de composition N m et N mx, alternativement.

Description

  • La présente invention est relative à une couche composé- te capable de résister à la fois au grippage , à l'abrasion , à la fatigue par contrgintes alternées et à la corrosion, à base d'un métal de transition tel que le titane, le tantale , le hafnium , ou autres.Elle concerne également , à titre de produits industriels nouveaux, les pièces ainsi revêtues.
  • On notera que la pièce à revêtir peut être réalisée en des matériaux très divers tels que par exemple les aciers ou les bronzes , ou les alliages d'aluminium , mais également les céramiques, le papier , la matière plastique ....très souvent , cependant , la pièce est en acier et il s'agit d'une pièce mécanique.Dans la deacrip- ti n qui va suivre , il est donc bien entendu que les mots "pièces ", " substrat " , peuvent désigner des matières très diverses , l'acier n'étant qu'un exemple..
  • On sait que les modes de vieillissement couramment appelés usure et qui peuvent affecter la surface d'une pièce mécanique , se groupent autour de quatre grands thèmes qui sont : le grippage , l'abrasion , la fatigue par contraintes alternées , la corrosion.
  • Le grippage se produit notamment lorsque le matériau de la surface d'un corps frottant peut former des composés intermétallià. ques par exemple , par diffusion , avec le matériau qui constitue la surface du corps antagoniste.
  • L'abrasion est particulièrement intense lorsque la surface tendre d'une pièce est rayée ou arrachée par les aspérités du corps antagoniste plus dur , ou par des particules dures présentes dans l' ambiance.
  • La fatigue par contraintes alternées peut amener soit des déchirures superficielles perpendiculaires à la direction du frottement , soit des cisaillements profonds qui isolent peu à peu la couche superficielle et favorisent orhors son égrènement.
  • - Quant à la corrosion, elle est particulièrement néfaste lorsqu'elle peut se développer vers l'intérieur du matériau, en suivant des chemins de moindre résistance.
  • C'est une des quêtes fondamentales de la mécanique de chercher à retarder le vieillissement des pièces par l'un ou l'autre de ces moles principaux et surtout de trouver des palliatifs valables pour ces quatre modes de vieillissement pris ensemble.
  • La présente invention a pour but de réaliser un revêtement oux résultats particulièrement spectaculaires dons son action contre un, plusiours, ou les quatre modes principaux de vieillissement précités.
  • La présente invention repose sur les observations suivantes ;
    • 1°) - Une couche frottante résiste d'autant mieux au vieillissement par fatigue qu'elle permet mieux l'accomodement.En effet , ce vieillissement est formé par l'accumulation de micro-atteintes ponctuelles du domaine plastique, lorsque se superposent localement un état de contraintes excessif et une zone de moindre résistance provenant d' une hétérogénéité de la structure.Le présente de zones de haute ductilité , fluant facilement , permet alors d'écrêter les contraintes excessives et donc de diminuer le vieillissement.
    • 2°) La forme la plus néfaste de corrosion c'est-à-dire celle qui mène à des vieillissements rapides et dangereux ,n'est pas le genre dephé- nomène qui affecte une pièce par toute sa surface , comme par exemple le noircissement des pièces en argent ou le ternissement de l'étain, mais au contraire celle qui , ayant trouvé un tracé de mdndre résistance , chemine vers l'intérieur du corps.Ce sera le cas , par exemple de certains joints de grains,ou des alignements de macrostructures basaltiques .De tels cheminements peuvent être arrêtés si le chemin préférentiel s'interrompt en butant sur une autre structure plus profonde , dont les points faibles ne coîncident pas avec ceux de la macrostructure superficielle.
    • 3°) - Une surface résiste d'autant mieux à l'abrasion qu'elle est très dure.
    • 4°) - On évite généralement la formation de composés intermétalliques en evêtant la surface extérieure d'un composé métal/non métal , tel que nitrure , carbure , oxyde , siliciure ...
  • On peut donc conclure de ces observations qu'une surface résistera particulièrement bien au vieillissement si l'on sait établir des dnisotropies judicieuses de façon à réaliser à la fois les accommodements qui empêcheront ou au moins retarderont le vieillissement par contraintes , et les barrages qui empêcheront les corrosions fissuran- tes de cheminer.
  • C'est ce que réalise la couche composite conforme à l'invention et , lorsque les pièces sont revêtues d'une telle couche , on constate une augmentation sensible et surprenante deleur résistance aux quatre modes de vieillissement précités , pris ensemble ou séparément , ainsi que le feront apparaître les exemples non restrictifs ultérieurs
  • Suivant une première caractéristique de l'invention , on réalise sur la pièce à revêtir au moins trois couches unitaires successives constituées dans une proportion supérieure à 70% par des combinaisons entre un métal de transition et un non métal choisi dans le groupe carbone , azote , oxygène , silicium , bore .
  • Suivant une deuxième caractéristique del'invetion , les compositions chimiq es des couches unitaires successives sont très voisines les unes des autres, seule la dernière , c'est-à-dire celle immédiatement au contact du substrat , pouvant être de nature différente.
  • L'exemple suivant permettra de préciser ce qu'on entend par " compositions chimiques très voisines " :
    • Si l'on choisit par exemple de revêtir la pièce à l'aide d' une couche composite à base d'azote et de titane , les couches unitaires successives pourront être , en allant de l'extérieur vers l' intérieur :
    • - d'abord une couche unitaire de couleur jaune , correspondant à la composition stoechométrique Ti N ;
    • - en dessous , une couche unitaire de couleur grise correspondant à une composition non sbechiométrique Ti Nx , avec x compris entre 0,4 et 1 ( 0,4<x<1);
    • - puis une autre couche de Ti N stoechiométrique ; - etc...
  • Un autre exemple correspond au cas où la couche composite de revêtement serait à réaliser à base de carbone et de titane.Dans ce cas , les couches unitaires rencontrées pourraient avoir alternativement pour composition :
    • - l'alliage stoechiométrique Ti C ;
    • - l'alliage non stoechiométrique Ti Cx :
    • - à nouveau Ti C ; etc....
  • Autrement dit , le sens à attacher a l'expression " compositions chimiques très voisines". consiste en ce que seul l'indice x varie d'une couche unitaire à l'autre , mais non le choix des composants. Par exemple , l'invention ne concerne pas les successions telles que Ti N - Ti C - Ti N ....à l'intérieur d'une même couche composite .
  • Suvant une autre caractéristique de l'invention , la couche unitaire extérieure a une dureté supérieure à 1000 Vickers, le module d'élasticité du composé qui la constitue est inférieur à 150 000 N/mm2 et son épaisseur est inférieure à 5 micromètres.
  • Suivant une autre caractéristique de l'invention , la couche extérieure est constituée par au moins 90% du composé métal/non métal et celle qui la suit par au moins 70% du composé de composition chimique voisine de celle du précédent.
  • Suivant ùne autre caractéristique del'invention , la troisième couche que l'on rencontre à partir dela surface peut être la répétition de la couche extérieure et l'on peut alors mettre ainsi autant de couches unitaires superposées qu' l'on veut.
  • Suivant une autre caractéristique de l'invention , la couche iméédiatement en dessous dela couche extérieure a une durété supérieure d'au moins 500 Vickers à celle de la première couche et son épaisseur est inférieure à 5 micromètres.
  • Suivant une autre caractéristique de l'invention , la dernière couche immédiatement au contact du substrat-a une dureté supérieure à 1000 Vickers , et son épaisseur n'excède pas 20 micromètres.
  • Suivant un mode de réalisation priviligié de la couche composite selon l'invention , on fait appel à la pulvérisation cathodique, du type connu sous le nom de magnétron où l'on bombarde une cible du métal de transition considéré , par des ions d'un gaz neutre plasmagène tel le néon , l'argon , le xénon , ou le krypton en présence d' un gaz réactif susceptible de libérer le métalloide qui se combinera avec le métal de transition pulvérisé , tel l'azote , l'ammonide ou l'hydrazine.
  • Les strates successives de la couche composite selon l'invention sont obtenues en faisant varier successivement , dans les proportions requises , les trois paramètres principaux de mise en oeuvre , c'est-à-dire :
    • - la pression partielle du gaz neutre plasmagène ;
    • - la pression partielle du gaz réactif ;
    • - la tension appliquée sur la bcible, ou encore , ce qui est équivalent car découlant de la valeur de cette tension , la densité de puissance dela décharge cathodique.
  • Les dessins annexés et les exemples qui vont suivre permettront de mieux comprendre l'invention et ses avantages , étant entendu qu'ils de sont donnés qu'à titre d'exemples non limitatifs.
  • Figure 1 est une vue en coupe montrant le minimum de trois couches superposées que comporte un revêtement selon l'invention dans le cas où l'on se propose de revêtir avec du nitrure de titane une pièce de support en gcier.
  • Figures 2 et 3 montrent deux variantes de réalisation d'une couche selon l'invention.
  • On a représenté sur la figure 1 une pièce en acier 1 , qui pour le revêtement , constitue le support , ou substrat.
  • Selon l'invention , on commence par revêtir la pièce d'une couche mince 2 en nitrure de titane Ti N , dont l'épaisseur est inférieure à 5 micromètres.
  • On réalise ensuite par dessus une seconde couche unitaire élémentaire en nitrure de titane Ti Nx ( 0,4<x<1) dont l'épaisseur est inférieure à 5 micromètres. ( couche 3).
  • Par dessus cette seconde couche élémentaire 3 , on dépose une troisième couche élémentaire 4 dont la composition chimique est Ti N.
  • Finalement , dans cet exemple , la pièce d'acier 1 est revêtue d'une couche composite 5 selon l'invention , formée des trois couches élémentaires 2 , 3 et 4 illustrées en figure 1.
  • Dans la variante dela figure 2 , on a représenté de la même façon une pièce d'acier 1, qui est revêtue non seulement des trois couches élémentaires 2 , 3 et 4 , mais également de couches unitaires supplémentaires , à savoir :
    • - une couche élémentaire 6 en Ti Nx , dont l'épaiaseur est inférieure à 5 micromètres ;.
    • - une couche élémentaire7en Ti N , dont l'épaisseur est inférieure à 5 micromètres.
  • Dans cet exemple de la figure 2 , la pièce en acier 1 est revêtue d'une couche composite 8 formée de cinq couches élémentaires.
  • On pourrait bien entendu prévoir un dombre encore plus grand de couches élémentaires , dans lesquelles alterneraient Ti N et Ti Nx .
  • Dans l'exemple de la figure 3 , on a représenté la pièce en acier 1 revêtue de tois couches unitaires , la première faite de nitrure defer Fe3 N , la seconde de Ti Nx et la troisème, c'est-à-dire ici, la couche unitaire extérieure , faite de Ti N.
  • On constate que les revêtements donnés à titre d'exemples aux figures 1 , 2 et 3 , sont à la fois très résistants à l'usure , très résistants à la corrosion et très résistants à la fatigue . Par ailleurs , ces revêtements selon l'invention présentent les avantages suivants t
    • -les différents paramètres peuvent facilement être adaptés à une fabrication en série;
    • - il est possible de réaliser une couche composite telle que 8, présentant une grande épaisseur totale : il suffit pour cela de multiplier le nombre des couches élémentaires extérieures telle que 3 , 4 , 6 , 7 ....cela permet d'obtenir une couche composite finale de grande épaisseur sans pour cela accumuler les contraintes résiduelles
  • En ce qui concerne les caractéristiques de la fabricatién, elles peuvent correspondre aux données suivantes :
    • - application rapide des différentes couches élémentaires successives , par exemple par pulvérisation cathodique ;
    • - possibilité d'appliquer ce revêtement , non seulement sur des pièces en acier , mais sur les substrats les plus divers , qui peuvent être non seulement des métaux ou alliages métalliques , mais même de la céramique , du papier ,de la matière.plastique , etc...
  • On constate que la couche composite finale de nitrure de titane ainsi déposée est à la fois chimiquement très inerte et très dure.
  • Etant donné qu'à chaque nouvelle couche élémentaire telle que 2 , 3 , 4 , 6 , 7 ....on stoppe la croissance des germes initiaux, on repart sur d'autres germes pour déposer la couche suivante ; ceci explique que dans les couches finales 5 ou 8 , les contraintes résiduelles soient complètement libérées dans chaque couche élémentaire.
  • A titre a'illustration , on va maintenant décrire plus en détail quelques exemples possibles de réalisation selon l'invention.
    • Premier exemple
  • Il s'agit de faire un joint d'étanchéité du genre qui fait frotter l'une contre l'autre ,deux surfacesplanes annulaires .
  • Dans les joirts classiques , une des deux pièces frottan- tes est souvent en graphite., la pièce antagoniste étant en acier.
  • Dans une version d'un tel joint fait selon l'invention, cette pièce antagoniste est rev êtue de la façon suivante :
    • Dans une enceinte capable d'être mise sous vide ,puis remplie de telle ambiance que l'on désire , sous la pression souhaitée,et équipée d'un système de pulvérisation cathodique du métal d'une cible, on dispose une cible en-titane et une ambiance d'azote.
  • Dans un premier temps, on procède à un dépôt dans les conditions définies par les paramètres suivants :
    • - pression d'argon ( gaz support) : 5 x 10 -3 torrs
    • - pression d'azote : 3 x 10-4 torrs
    • - cible en titane
    • - puissance de la décharge : P = 10 W/an2.
  • On obtient alors une couche de nitrure de titane TiN de couleur jaune , que l'on laisse croître jusqu'à ce que son épaisseur atteigne quatre micromètres.
  • Dans un second temps , on garde les mêmes paramètres, à l'exception de la pression d'azote qui l'on ramène à 2 x 10-4 torrs. On obtient alors une deuxième couche formée de nitrure Ti N0,6 , qu' on laisse croître elle aussi jusqu'à ce qu'elle atteigne une épaisseur de quatre micromètres.
  • On ramène ensuite la pression d'azote à la pression initiale de 3 x 10-4 torrs pour réaliser une nouvelle couche formée de nitrure de titane Ti N.
  • L'opération peut être répétée autant de fois que l' on veut , en formant ainsi des couches successives.Mais les trois premières couches unitaires suffisent pour être conformes à l'invention.
  • Le revêtement ainsi obtenu , conformément à l'invention présete une couche extérieure dont la dureté est de 2000 Vickers , c' est-à-dire supérieure aux 1000 Vickers requis ; son épaisseur est de quatre micromètres , c'est-à-dire inférieure aux cinq micromètres requis et son module de Young est de 95 000 N/mm2 , c'est-à-dire inférieur aux 150 000 N/mm2 requis . En dessous , on constate l'existence d'une couche dont la dureté est de 2 800 Vickers ( donc supérieure de plus de 500 Vickers à celle de la précendente) . La troisième couche est formée de nitrure de titane TI N , donc identique à la couche externe.
  • Or , ce revêtement , conforme a la présente invention, présente , par rapport à la solution classique , une résistance à la corrasion , selon le test classique du brouillard salin , cinq fois supérieure et une tenue au vieillissement mécanique par grippage et fatigue trois fois supérieure.
    • Deuxième exémple
  • Pour réaliser le joint d'étanchéité , on prend cette fois ,une pièce en acier classique et on opère comme il est dit précédemment pour la revêtir des couches unitaires successives.
  • Toutefois , dans ce cas , la première couche est réalisée uniquement en ambiance d'azote , sans pulvérisation de titane. De la sorte,cette première couche formée est à base de nitrure de fer Fe3 N . Les différentes couches unitaires ultérieures formées sont alors Ti N et Ti N x.
  • La couche composite finale formée se présente alors comme à la figure 3 précédemment décrite.
  • On obtient également ici une couche compcsite selon l'invention qui multiplie de plusieurs fois la résistance de la pièce au vieillissement par les quatre modes décrits précédemment.
  • La présente invention concerne également un perfectionnement aux exemples ci-dessus concernant une couche composte où le métal est le titane , tandis que le non-métal se combinant au titane est de l'azote.
  • Par une étude systématique de l'influence des différents paramètres de mise en-oeuvre précités , la demanderesse a découvert que si , pour gaz neutre plasmagène , on choisit l'argon en quantité telle que sa pression partielle soit comprise entre 2,5 et 6,10-3 torrs et si pour gaz réactif on choisit l'azote en quantité telle que sa pression partielle soit comprise entre 2 et 5.10-4 torrs , si enfin la densité de puissance de la décharge cathodique est telle que sa valeur soit comprise entre 8 et 15 W/an2, on obtient alors à la fois une macrostructure et une microstructure originales et aun accroissement surpren ant de la résistance à l' abrasion et à la corrosion.
  • Plus précisément , le perfectionnement de cette couche à base de titane et d'azote s'obtient dans les conditions rigoureuses que voici , qui forment une: partie de l'invention :
    • 1 - L'argon doit avoir une pureté supérieure à 99,8% . Sa près ion partielle doit être comprise entre 2,5 et 6.10 -3 torrs.
    • 2 - L'azote doit avoir une pureté supérieure à 98%. Sa pression partielle doit être comprise entre 2 et 5.10-4 torrs.
    • 3 - La cible cathodique est en titane qui doit avoir une pureté supérieure ou égale à 99% .
    • 4 - La spuissonce dela décharge cathodique ramenée à l'unité de surface de la cible doit être comprise entre 8 et 15 W/cm2.
    • 5 - La distance entre les pièces à revêtir et la cible catho di- que doit être comprise entre 3 et 6 cm.
    • 6 - Les pièces à revêtir sont reliées électriquement à la masse.
  • A titre de variante possible du mode de mise en oeuvre, les pièces à revêtir pourront être polarisées sous une tension nagé- tive , la voleur de cette tension ne devant pas excéder -1000 V.
  • On obtient alors le résultat surprenant que voici: parmi toutes les couches connues , la couche de mise en oeuvre selon l' invention est celle qui résiste le mieux simultanément à la fois à lbbrasion et à la corrosion.
  • Certes , on a déjà relevé la tenue exceptionnelle à la corrosion de matériaux comme le tantale ou encore la résistance à l' abrasion de matériaux comme le carbure de chrome , mais aucun maté- irou ou revêtement connu ne possède de façon concomitante les quali- es delà couche à base de titane et d'azote mises en oeuvre selon les conditions de la présente invention.
  • On décrrra maintenant, à titre non limitatif, quelques exemples de mise en oeuvre selon l'invention :
    • Pour réaliser la couche à base de titane et d'azote,on opère delà façon suivante :
    • Dans une enceinte depulvérisation cathodique magnétron où la cible est en titane ( pureté : 99,5%) , on procéde dans un premier temps à un dépôt avec les paramètres de mise en oeuvre que
      • voici : - pression d'argon ( pureté 99,99%) : 3.10-3 torrs ;
      • - pression d'azote (pureté 99,9 %) : 5.10-4 torrs ;
      • - puissance de la décharge cathodique : 14 W/cm2 ;
      • - distance entre pièce et cible cathodique : 5 m ;
      • - pièce à revêtir reliée électriquement à la terre.
  • On obtient alors une première couche que l'on laisse croître jusqu'à ce que que son épaisseur atteigne 4 micromètres.
  • Dans un deuxième temps , on conserve les mêmes paramètres de mise en oeuvre , à l'exception des pressions partielles des gaz qui sont ramenées respectivement à 2.10 -3 torrs pour l'argon et 3.10-4 torrs pour l'azote. On obtient alors une deuxième couche que lon laisse croître également jusqu'à une épaisseur de 4 micromètres
  • Dans un troisième tepps, on ramène la valeur de ces pressions partielles à la valeur initiale de la première opération. On obtient ainsi un revêtement dont la microdureté de la couche extérieure est de 2 600 Hv , celle de la couche sous-jacente de 3 300 Hv , celle enfin de la troisième couche de 2 600 Hv.
  • Soumise à un test classique de corrosion en brouillard salin une pièce en acier XC ( 0,38 % de carbone) revêtue deladite couche présente une résistance à la corrosion supérieure a 2000 heures. Si l'on soumet par ailleurs une pièce en acier XC 38 revêtue de la couche selon l'invention à l'action d'un jet d'abrasif , sous une pression de 6 bars , la perte de poids relevée sur la pièce revêtue est de 2 mg.
  • A titre de mmporaison, la perte de poids relevée sur une pièce revêtue d'un revêtement de carbure de chrome,bien connu pour sa résistance à l'abrasion , est de 36 mg pour des conditions identiques d'essais.
  • A titre de comparaison, on décrit ci-après les résultats obtenus si l'on change la valeur d'un seul des paramètres de mise en eouvre, par exemple la pression partielle d'argon , les autres paramètres étant maintenus tels que dans l'exemple précédent :
    • C'est ainsi que , dans un premier temps , cette pression partielle d'argon est fixée à 7.10-3 torrs , puis amenée à 10-2 torrs dans une deuxième étape , et enfin à nouveau égale à 7.10-3 torrs , lors de la dernière étape du dépôt. De la sorte , pour chacune des trois opérations successives , la valeur de la pression partielle de gaz neutre d'argon se situe en dehors de la plage revendiquée selon l'invention.
  • De façon surprenante, la microdureté des différentes couchés formées est inférieure à celle obtenue selon les conditions de l'invention et telle que décrite dans le premier exemple ci-dessus.
  • Ainsi , la microdureté de la couche externe est égale à 1500 Hv. Celle de la couche sous-jacente est égale à 2200 Hv. Celle enfin de la troisième couche est égale à celle de la couche externe.
  • Mise en corrosion selon le test précité ,une pièce en acier XC 38 revêtue de la couche composite ainsi réalisée présente une résistance à la corrosion qui ne dépasse pas 900 heures.
  • La perte de poids relevée après essai d'abrasion est de 6 mg.

Claims (24)

1 - Couche composite résistant à la fois au grippage , à l'abrasion , à la fatigue par contraintes alternées et à la corrosion, caractérisée en ce que elle est faite d'au mains trois couches unitaires successives , constituées , dans une proportion supérieure à 70% par des combinaisons entre un métal de transition (M) et un élément non métallique appelé non métal ( m) les deux premières couches unitaires à partir de la sufface étant faites respectivement de deux elliages M mx du même mélal de transition ( M) et du même non métal (m) , les compositions des deux dites couches unitaires ne différant l'une de l'autre que par les valeurs de l'indice x respectivement dans l'une et dans l'autre.
2 - Couche comppsite suivant la revendication 1 , caractérisée en ce que la couche unitaire extérieure a une dureté supérieure à 1000 Vickers , une épaisseur inférieure à cinq micromètres, tandis que le module d'élasticité du composé qui la constitue est inférieur à 150 000 N/mm2.
3 - Couche compos te suivant la revendication 1 , caractérisée en ce que la couche unitaire immédiatement en dessous de la précédente , a une dureté supérieure d'au moins 500 Vickers à celle de la couche unitaire extérieure , et une épaisseur inférieure à cinq micromètres.
4 - Couche composite suivant la revendication 1 , caractérisée en ce que la dernière couche unitaire directement au contact du substrat a une dureté supérieure à 1000 Vickers et une épaisseur inférieure à vingt micromètres.
5 - Couche composite suivant la revendication 1 , caractérisée en ce que le non métal ( m) entrant dans la composition des premières couches unitaires est choisi dans le groupe carbone , azote , oxygène , silicium , bore.
6 - Couche composite suivant la revendication 1 , caractérisée en ce que l'indice x des alliages M mx constituant les premières couches unitaires est compris entre 0,4 et 1 .
7 - Couche composite suivant la revendication 1, caractérisée en ce que la couche unitaire extérieure est composée d'au moins 90%
du composé métal / non métal. 8 - Couche composite suivant la revendication 1 , caractérisée en ce que la couche unitaire sous-jacente à la couche extérieure comporte une proportion d'au moins 70% du composé métal/non métal.
9 - Couche composite suivant la revendication 1 , caractérisée en ce qu'elle comporte plus de trois couches unitaires successives. , les couches unitaires supplémentaires étant des répétitions des deux premières. -
10 - Couche composite suivant la revendication 1 , caractérisée en ce que la dernière couche immédiatement au contact du substrat est la répétition de la couche unitaire extérieure.
11 - Couche composite suivant la revendication 1 , caractérisée en ce que le métal ( M) entrant dans la composition des premières couches unitaires est choisi dans le groupe : titane , tantale , hafnium , chrome , molybdène , tungstène.
12 - Couche composite suivant la revendication 1 , caractérisée en ce que les couches unitaires successives sont formées à base de titane et d'azote.
13 - Couche composite suivant la revendication 1 , caractérisée en ce que les couches successives sont formées à base de titane et de carbone.
14 - Couche composite suivant la revendication 1 , caractérisée en ce que les couches unitaires sucvessives sont formées à base de tantale et d'azote.
15 - Couche composite suivant la revendication 1 , caractérisée en ce que la dernière couche unitaire immédiatement au contact du substrat est constituée par une combinaison métal / non métal dans laquelle le métal est le fer.
16 - Couche composite suivant les revendications 1 et 15 , caractérisée en ce que la dernière couche unitaire immédiatement au contact du substrat est à base de nitrure de fer.
17 - Procédé pour revêtir une pièce à l'aide d'une couche composite suivant l'une quelconque des revendications précédentes , caractérisé en ce qu'on applique chaque couche élémentaire avec une très faible épaisseur avant de déposer la couche élémentaire suivante , si bien qu'on stoppe dans chaque couche élémentaire la croissance des germes cristallins initiaux avant de repartir sur d' autres germes pour la couche élementaire suivante , ce qui a pour effet d'empêcher une accumulation des contraintes résiduelles sur l' épaisseur totale de la couche composite.
18 - Couche composite suivant l'une quelconque des revendications précédentes , réalisée à base de titane et d'azote , et caractérisée en ce que pour son mede de réqlisation, on fait appel a la pulvérisation cathodique magnétron en réunissant simultanément les conditions rigoureuses suivantes:
- la pression partielle de gaz neutre plasmagène est comprise entre 2,5 et 6.10-3 torrs ;
- la pression partielle de gaz réactif choisi pour sa faculté de fournir de l'azote à la réaction de nitruration du titane est comprise entre 2 et 5.14-4 torrs ;
- la densité de puissance de la décharge cathodique est comprise entre 8 et 15 W/cm2.
19 - Couche composite suivant la revendication 18 , caractérisée en ce que la cible de pulvérisation utilisée pour sa fabrication est en titane de pureté supérieure ou égale à 99%.
20 - Couche composite suivant la revendication 18 , caractérisée en ce que le gaz neutre plasmagène est choisi dans le groupe néon , argon , krypton , xénon.
21 - Couche composite suivant la revendication 18 , caractérisée en ce que le gaz neutre plasmagène est l'argon.
22 - Couche composite suivant la revendication 18, caractérisée en ce que le gaz, réactif choisi pour sa faculté de fournir de l'azote à la réaction de nitruration du titane est choisi dans le groupe azone , ammoniac , hydrazine.
23 - Couche composite suivant la revendication 18 , caractérisée en ce que , pour sa mise en oeuvre , la distance entre la pièce à revêtir et la cible cathodique est comprise entre 3 et 6 cm.
24 - Couche composite suivant la revendication 18 , caractérisée en ce que , pour sa mise en oeuvre , la pièce à revêtir de la couche composite est polarisée sous une tension négative n'excédant pas - 1000 volts.
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