EA029654B1

EA029654B1 - Низкоэмиссионное остекление

Info

Publication number: EA029654B1
Application number: EA201591829A
Authority: EA
Inventors: Анна-Кристина Бодуин; Стейн Майё; Жан-Мишель Депов; Михаэль Пурвинс; Эрик Матьё; Хансйорг Вайс; Йорг Мённекес
Original assignee: Агк Гласс Юроп
Priority date: 2013-05-30
Filing date: 2014-05-28
Publication date: 2018-04-30
Also published as: WO2014191472A2; PL3004015T3; HUE037213T2; WO2014191472A3; EP3004015A2; EP3004015B1; EA201591829A1; ES2642800T3

Abstract

Изобретение относится к элементам остекления с низкоэмиссионными свойствами, которые способны проходить тепловую обработку и только незначительно изменяют свои свойства при прохождении такой тепловой обработки. Они включают в себя прозрачную подложку, снабженную многослойной конструкцией из тонких слоев типа: первое диэлектрическое покрытие/отражающий инфракрасное излучение функциональный слой/барьерный слой/второе диэлектрическое покрытие. Они отличаются первым диэлектрическим покрытием, включающим в себя слой, выполненный из оксида, в непосредственном контакте с подложкой, барьерным слоем, основанным на оксиде цинка или состоящим из оксида индия, возможно легированного оловом, и вторым диэлектрическим покрытием, включающим в себя, в порядке перечисления, слой, выполненный из оксида, отличающегося от оксида кремния, толщиной более 5 нм, и слой, выполненный из нитрида кремния или оксида кремния толщиной более 10 нм.

Description

029654

Изобретение относится к низкоэмиссионным системам остекления, т.е. системам остекления, обладающим свойством отражать инфракрасное излучение, испускаемое, например, внутри зданий, и тем самым ограничивать потери тепла. Такие системы остекления могут входить в состав окон зданий или применяться в области автомобильного остекления.

Спрос на такие системы остекления часто связан с необходимостью предоставления как можно более высокого светопропускания. Эти два требования, а именно, низкая излучательная способность и высокое пропускание, обычно ведут к взаимно противоречащим решениям в отношении структуры. Необходимо идти на трудно осуществляемые компромиссы.

Наиболее распространенной практикой является предоставление систем из тонких слоев, включающих в себя один или несколько слоев, способных отражать инфракрасное излучение. Системы такого типа обычно состоят из слоев металла, в частности слоев серебра, толщиной в несколько нанометров. Слои должны быть достаточно тонкими, чтобы существенно не снижать пропускание видимого света. Толщина также должна быть достаточной для того, чтобы затруднять пропускание инфракрасных лучей, причем толщина прямо определяет долю эффективно отраженного излучения.

Системы, применяемые в элементах остекления, в то же время должны отвечать и другим условиям. Во-первых, необходимо защищать отражающие слои металла от любого химического или механического воздействия, которому они могут подвергаться. Слои металлов обычно наносят на стеклянную подложку, используя технологии вакуумного распыления, такие как катодное распыление в магнитном поле, более широко известное как "магнетронное распыление". Слои, полученные с использованием этих технологий, имеют преимущество в том, что они в основном однородны по составу, толщине и качеству поверхности. Однако они очень хрупки и должны быть защищены дополнительными слоями. Прозрачные диэлектрические слои из оксидов и/или нитридов металлов, а также из их смесей, используются абсолютно общепринятым образом для придания требуемой прочности. Прозрачные диэлектрические слои кроме того необходимы для того, чтобы увеличивать светопропускание системы и для корректирования цвета благодаря их действию как оптического резонатора.

В то же время слои металла тоже должны быть защищены от любой возможной диффузии из субстрата, которая могла бы нежелательным образом изменить свойства отражающего металлического слоя. Природа диэлектрических слоев, расположенных между подложкой и слоем металла, часто такая же, как и у слоев, расположенных над тем же самым слоем металла. Ими являются оксиды и/или нитриды металлов.

Традиционно последовательность слоев бывает следующей: стекло/диэлектрик 1/металл/диэлектрик

II.

Наиболее широко используемыми диэлектриками являются, в частности, ΖηΟ, ΤίΟ₂. δηΟ₂, δί₃Ν₄, ... . Эти диэлектрические слои обеспечивают различные оптические свойства, а также отличаются условиями своего промышленного производства.

Как указывается выше, металлические слои представляют собой слои, которые определяют излучательную способность всей конструкции. Несмотря на то что в технической литературе упоминаются различные металлы, практически во всей существующей продукции используются слои на основе серебра в качестве отражающего металла. Действительно, это представляет собой наилучший компромисс с точки зрения отражения в инфракрасной области и прозрачности по отношению к лучам в видимом диапазоне длин волн, а также нейтрального окрашивания при пропускании и отражении.

Наиболее распространенные структуры дополнительно включают определенный слой между металлом и внешним диэлектриком, при этом функцией этого слоя является защита металла, в частности, во время нанесения слоя этого диэлектрика. Действительно, образование этого диэлектрика наиболее часто проводят так называемым "реактивным" образом. В этих способах диэлектрик (оксид или нитрид) образуется в момент нанесения из паров металла, испускаемых при бомбардировке металлического катода, реагирующих с атмосферой при сильно пониженном давлении, в которой производится данное нанесение, и которая в случае оксида представляет собой атмосферу кислорода или атмосферу смеси газов, содержащих кислород. В этих условиях осажденный слой металла находится в контакте с этой атмосферой и может разрушаться, в частности, в результате высокой реакционной способности плазмы.

Для защиты от этого разрушения обычно наносят так называемый барьерный или жертвенный слой непосредственно на слой металла, который отражает инфракрасные лучи. Такой слой представляет собой слой из металла или частично окисленный слой очень малой толщины и его функцией является реагирование с составляющими атмосферы, которые могут вызывать разрушение слоя металла, который отражает инфракрасные лучи. Барьерный слой тщательно выбирают, принимая во внимание как его природу, так и толщину. Он сам по себе не предназначен влиять на отражение инфракрасного излучения, но предназначен реагировать с атмосферой, в которой происходит нанесение диэлектрика, из которого состоят слои, наносимые после нанесения слоя металла, отражающего инфракрасные лучи. Чтобы предотвратить существенное снижение светопропускания очень важно обеспечить не только то, чтобы барьерный слой был как можно более тонким, но также и его почти полное превращение в прозрачный диэлектрик в ходе его нанесения или при действиях в процессе нанесения непосредственно до его нанесения.

- 1 029654

Вследствие этого традиционные системы имеют следующую последовательность слоев: стекло/диэлектрик Ι/металл/барьер/диэлектрик II.

Использование керамических мишеней, где это применимо, вместо металлических мишеней предотвращает необходимость проводить реакционное осаждение. Другими словами, осаждение (нанесение) оксида можно проводить в основном инертной атмосфере (обычно при содержании кислорода менее 10%), таким образом предотвращая риск окисления ранее нанесенного слоя серебра. При таком условии можно формировать многослойную конструкцию без барьерного слоя поверх серебра.

Эти низкоэмиссионные системы остекления обычно составляются как многослойные элементы остекления, такие как двойные или тройные стеклопакеты, или даже как ламинированные элементы остекления, в которых листовое стекло, несущее на себе многослойное покрытие, объединяют с одним или несколькими другими листовыми стеклами с покрытием или без него, при этом низкоэмиссионное многослойное покрытие находится в контакте с внутренним пространством между листовыми стеклами, как в случае многослойных стеклопакетов, или в контакте с клеящей прослойкой ламинированного элемента, как в случае ламинированных элементов остекления.

В некоторых случаях становится необходимым провести обработку, усиливающую механическую прочность остекления, такую как термическая закалка листового стекла или стекол, чтобы улучшить сопротивление механическим напряжениям. Для определенных применений также может быть необходимо придавать листовым стеклам изогнутость с более или менее сложным профилем, используя операцию изгибания при высокой температуре. При осуществлении процессов производства и придания формы системам остекления существуют определенные преимущества в проведении этих тепловых обработок на подложке с уже нанесенным покрытием вместо того, чтобы наносить покрытие на уже обработанную подложку. Эти операции проводят при относительно высокой температуре, представляющей собой температуру, при которой функциональный слой, основанный на отражающем в инфракрасном диапазоне материале, например, основанный на серебре, предрасположен к разрушению и потере своих оптических свойств и свойств, относящихся к инфракрасному излучению. Эти тепловые обработки включают, в частности, нагревание листового стекла на воздухе до температуры выше 560°С, например от 560 до 700°С, и особенно в интервале от примерно 640 до 670°С в течение примерно 3, 4, 6, 8, 10, 12 или даже 15 мин в зависимости от типа обработки и толщины стекла. В случае изгибающей обработки листовое стекло можно затем изгибать для придания желаемой формы. Процесс закалки затем включает быстрое охлаждение поверхности плоского или изогнутого листового стекла, используя воздушные форсунки или охлаждающую жидкость для усиления механической прочности стекла.

Поэтому в том случае, когда листовое стекло с покрытием должно подвергаться тепловой обработке, должны приниматься вполне определенные меры предосторожности, чтобы формировать покрытие со структурой, которая позволяет ему выдерживать термическую закалку и/или изгибающую обработку, иногда называемое здесь и далее "пригодным к закалке", без потери оптических и/или энергетических свойств, из-за которых оно и было создано. В частности, диэлектрические материалы, используемые для формирования диэлектрических покрытий, должны выдерживать высокие температуры тепловой обработки без появления какого-либо нежелательного изменения структуры. Примерами материалов особенно пригодных для такого использования являются смешанный оксид цинка-олова, нитрид кремния и нитрид алюминия. Также необходимо обеспечить, чтобы функциональные слои, например, основанные на серебре слои, не окислялись в ходе обработки, например, путем обеспечения того, чтобы в момент обработки присутствовали барьерные слои, способные либо окисляться вместо серебра путем улавливания свободного кислорода или блокировать миграцию свободного кислорода в направлении серебра в ходе тепловой обработки.

Кроме того, формирование этих слоеных конструкций также должно приводить к удовлетворительному окрашиванию как при отражении, так и при пропускании света, причем спрос имеет тенденцию к наиболее нейтральному окрашиванию. Трудность заключается в совмещении колориметрических требований с требованиями, связанными с "основополагающими" условиями: высоким светопропусканием, очень низкой излучательной способностью, способностью выдерживать тепловую обработку - и все это одновременно.

Другое требование, которое все больше необходимо учитывать, проистекает из того, что изделия, не прошедшие тепловую обработку, и изделия, которые прошли тепловую обработку, должны иногда объединяться одно с другим в одном применении, например на фасаде одного здания. Вследствие этого, ранее требовалось разрабатывать и производить параллельно два типа конструкций из низкоэмиссионных слоев - один для не прошедших закаливание элементов остекления, а другой для элементов остекления, предназначенных для закаливания или изгибания, что сложно как с точки зрения исследования и разработки, так и с точки зрения складского управления в производстве, в частности. С тех пор были разработаны так называемые "самосовмещаемые" многослойные покрытия, которые мало изменяют свои свойства, в частности, свои оптические и энергетические свойства, когда подложку подвергают закаливанию или изгибанию при тепловой обработке.

- 2 029654

Кроме того, в то время как принципы, лежащие в основе оптических свойств материалов, формирующих слои, хорошо известны, дополнительная трудность заключается в способах производства этих элементов остекления. Условия нанесения и, в частности, скорость нанесения зависят от природы рассматриваемых материалов. Скорость нанесения должна быть достаточной для экономически приемлемого промышленного производства. Она зависит от многочисленных факторов, которые гарантируют стабильность функционирования с течением времени и по всей поверхности стекла, а также отсутствие дефектов в покрытии.

Было предложено несколько решений, которые бы удовлетворяли этим разносторонним требованиям, но решение, которое предоставило бы действительно удовлетворительный элемент остекления, который позволил бы нам отвечать требованиям этого нового спроса, так и не было предложено.

В публикации ЕР 1140721 описаны многослойные конструкции из низкоэмиссионных слоев на основе серебра типа стекло/диэлектрик 1/Лд/Л20/диэлектрик II, в которых, помимо прочего, первый диэлектрик содержит нижний слой из смешанного оксида цинка-олова и верхний слой из оксида цинка, а второй диэлектрик состоит из смешанного оксида цинка-олова. Публикация ЕР 1140721 дает понять, что описываемые многослойные покрытия могут проходить тепловую обработку и демонстрируют небольшое отклонение от своих оптических свойств после тепловой обработки. Однако было показано, что после тепловой обработки на слоях такого типа появляются помутнение и неприемлемые пятна (см. наш сравнительный пример 1, приведенный ниже).

В публикации заявки \У0 2007/080428 уже отмечен этот недостаток и предпринята попытка его устранения. Для осуществления этого в ней предложен первый диэлектрик, содержащий по меньшей мере три слоя; в порядке, начиная от стекла: (окси)нитрид алюминия/оксид олова или смешанный оксид цинка-олова/оксид цинка, и второй диэлектрик, содержащий по меньшей мере два слоя: основной слой из смешанного оксида цинка-олова и тонкий защитный последний слой толщиной менее 10 нм. Однако такое решение имеет непренебрежимый недостаток: химическая стабильность такого изделия до тепловой обработки недостаточна (см. сравнительные примеры 2 и 3, приведенные ниже). Следовательно, поскольку эти слои должны быть пригодны для применения без последующей тепловой обработки или же должны храниться и возможно транспортироваться иногда в течение долгого времени перед прохождением тепловой обработки, их устойчивость к старению до тепловой обработки должна быть соответственной.

Так, целью данного изобретения является разработать новый тип многослойной конструкции из тонких низкоэмиссионных слоев, которая эффективна с точки зрения оптических и энергетических свойств, и которая сохраняет значения этих характеристик вне зависимости от того, подвергается ли она тепловой обработке типа закаливания или изгибания или нет.

В настоящем изобретении используется следующая информация:

светопропускание (ЬТ) представляет собой процентную долю падающего светового потока, источник света Ό65/2°, проходящего через остекление;

светоотражение (ЬК) представляет собой процентную долю падающего светового потока, источник света Ό65/2°, отраженного остеклением. Его можно измерять со стороны слоя (ЬКе) или со стороны подложки (ЬКд);

пропускание энергии (ЕТ) представляет собой процентную долю энергии падающего излучения, пропускаемой остеклением, которую рассчитывают в соответствии со стандартом ΕΝ410;

отражение энергии (ЕК) представляет собой процентную долю энергии падающего излучения, отраженной остеклением, рассчитываемую в соответствии со стандартом ΕΝ410. Его можно измерять с внешней стороны здания или транспортного средства (ЕКех!) или с внутренней стороны здания или транспортного средства (ЕКш1);

солнечный фактор (8Р или д) представляет собой процентную долю энергии падающего излучения, непосредственно проходящей через остекление, с одной стороны, и абсорбированной при этом, а затем излучаемой в направлении относительно остекления, противоположном источнику энергии. Здесь он рассчитан в соответствии со стандартом ΕΝ410;

значение и (коэффициент к) и излучательная способность (ε) рассчитаны в соответствии со стандартами ΕΝ673 и 180 10292;

значения С1ЕЬЛВ 1976 (Ь*а*Ь*) используются для определения цветовых оттенков. Их измеряют, используя источник света Ό65/10°.

представляет собой отклонение оттенка во время тепловой обработки, т.е. различие в цветах до и после тепловой обработки;

сопротивление на квадрат (К²) ("сопротивление листа"), выраженное в омах на квадрат (Ω/π), характеризует электрическое сопротивление тонких пленок;

когда значения описывают как "в интервале от а до Ь", они могут быть равны а или Ь; расположение многослойной конструкции в многослойной структуре остекления дано согласно

классической последовательной нумерации поверхностей элемента остекления, при этом поверхность 1

- 3 029654

находится на внешней стороне здания или транспортного средства, а поверхность 4 (в случае двойного стеклопакета) или поверхность 6 (в случае тройного стеклопакета) - на внутренней стороне;

при упоминании нитрида кремния или слоев из оксида кремния в данном контексте имеется в виду, что слои также могут включать в себя небольшие количества алюминия, как это хорошо известно в области покрытий, полученных магнетронным распылением. Алюминий включают в качестве легирующей присадки, при этом обычно его массовая доля составляет не более 10%;

для ясности использование терминов, таких как "ниже", "выше", "нижний", "верхний", "первый" или "последний" в данном контексте всегда относится к последовательности слоев, начиная от стекла внизу, поднимаясь вверх по направлению от стекла. Такие последовательности могут включать дополнительные промежуточные слои между определяемыми слоями, кроме случаев, когда указывается на непосредственный контакт.

Настоящее изобретение относится к элементу остекления согласно п. 1 формулы изобретения и зависимым пунктам настоящих предпочтительных вариантов осуществления.

Изобретение касается элемента остекления, включающего прозрачную подложку, снабженную многослойной конструкцией из тонких слоев, включающей в себя, в порядке начиная от подложки, первое диэлектрическое покрытие, отражающий инфракрасное излучение функциональный слой, барьерный слой, накладываемый непосредственно на функциональный слой, и второе диэлектрическое покрытие, и содержащей только один функциональный слой. Действительно, настоящее изобретение не касается других типов солнцезащитных многослойных конструкций с хорошо известными структурами, содержащими два или три функциональных слоя, отражающих инфракрасное излучение. Остекление согласно данному изобретению отличается тем, что (ί) первое диэлектрическое покрытие включает в себя слой, выполненный из оксида, в непосредственном контакте с подложкой, (ΐΐ) барьерный слой основан на оксиде цинка или состоит из оксида индия, возможно легированного оловом и (ΐΐΐ) второе диэлектрическое покрытие включает в себя, в порядке перечисления, слой, выполненный из оксида толщиной более 5 нм, и слой, выполненный из нитрида кремния толщиной более 10 нм.

Благодаря определенному выбору слоев многослойного покрытия и, прежде всего, благодаря комбинации наличия слоя, выполненного из оксида, в непосредственном контакте с подложкой, и достаточного слоя нитрида кремния во втором диэлектрическом покрытии, такие элементы остекления могут, таким образом, предоставить следующие преимущества (ламинирование на стандартном 4миллиметровом прозрачном натриево-кальциево листовом флоат-стекле, входящем в состав двойного стеклопакета вместе с другим стандартным 4-миллиметровым прозрачным натриево-кальциево листовым флоат-стеклом, промежуток между листовыми стеклами величиной 15 мм на 90% заполнен аргоном, многослойная конструкция в положении 3):

высокое светопропускание (ЬТ > 73%) при одновременной низкой излучательной способности (ε < 0,074 или ε < 0,044, предпочтительно ε < 0,024) для ограничения потерь тепла;

не слишком низкий солнечный фактор (8Р или д в интервале от 50 до 65% или даже до 70%), что позволяет энергии солнечного излучения проходить через остекление и, таким образом, выгодно использовать бесплатную энергию в зимнее время;

изолирующие свойства, обеспечивающие достижение значения и<1,2 Вт/(м²К) или и<1,1 Вт/(м²К), предпочтительно и<1,0 Вт/(м²К);

нейтральное окрашивание при пропускании и отражении, как при одинарном остеклении, так и при многослойном остеклении, при предпочтительных величинах для одинарного остекления

при пропускании: 91 < I? < 99 -5 < а* < +5 -6 < Ь* < +6

при отражении со стороны покрытия: 22 < Ь* < 43 -6 < а* < +10

-18 < Ъ* < о

при отражении со стороны подложки: 23 < 1? < 45 -6 < а* < +8

-16 < Ь* < о

пригодность к прохождению тепловой обработки, причем покрытие устойчиво к высоким температурам, или к использованию без тепловой обработки;

эстетичный вид без изъянов, без помутнения в какой-либо значительной степени или даже отсутствие помутнения после тепловой обработки или без нее, и отсутствие неприемлемых пятен после тепловой обработки;

сохранение оптических и энергетических свойств практически без изменений после тепловой обработки, что позволяет применение изделий, прошедших или не прошедших тепловую обработку рядом друг с другом ("самосовместимость"): незначительное изменение цвета или отсутствие этого изменения при пропускании и при отражении (ΔΕ*<8, предпочтительно <5, более предпочтительно <2) и/или незначительное изменение или отсутствие этого изменения в светопропускании и светоотражении и в величинах энергетических характеристик (Δ = |(величина перед тепловой обработкой) - (величина после тепловой обработки)| <5, предпочтительно <3, более предпочтительно <1), в случае одинарного остекления и/или многослойного остекления;

- 4 029654

достаточную химическую устойчивость при применении без тепловой обработки или в течение временного промежутка перед тепловой обработкой, в частности, результаты испытания по Кливленду согласно стандарту Ι8Θ 6270-1:1998 (выдержка в парах влаги, поступающих из емкости с деионизированной водой, нагретой до 50°С) не показывают изменения цвета, видимого невооруженным глазом после 1 дня, предпочтительно после 3 дней;

Изобретатели в действительности обнаружили, что важно не только изготавливать слой из оксида (а не из, как во многих известных многослойных покрытиях, нитрида, такого как нитрид алюминия или кремния), в непосредственном контакте с подложкой, в частности, для того, чтобы обеспечить химическую стабильность изделия, не прошедшего тепловую обработку, но также важно, чтобы присутствовал слой нитрида кремния соответствующей толщины, значение которой согласно определению изобретателей превышает 10 нм, над слоем оксида, имеющему не незначительную толщину, значение которой согласно определению изобретателей превышает 5 нм, во втором диэлектрическом покрытии в дополнение к барьерному слою на основе оксида цинка или состоящему из оксида индия, возможно легированного оловом, в частности, для обеспечения самосовмещения и отсутствия дефектов после тепловой обработки.

Поэтому первый диэлектрик включает слой, выполненный из оксида, в виде одного слоя или в виде самого нижнего слоя. Предпочтительно, чтобы этот слой, выполненный из оксида, и находящийся в непосредственном контакте с подложкой, представлял собой слой оксида по меньшей мере одного элемента, выбранного из Ζη, δη, ΊΊ и Ζτ. Предпочтительно он представляет собой слой из смешанного оксида цинка-олова, более предпочтительно - слой из смешанного оксида цинка-олова, в котором соотношение цинк-олово близко к 50-50 мас.% (Ζη₂δηΟ₄), например 52-48 мас.%. Смешанный оксид цинка-олова может быть предпочтителен, поскольку ему присуща хорошая скорость нанесения по сравнению, например, с δίΟ₂ или А1₂О₃, и/или хорошая стабильность по сравнению, например, с чистым ΖηΟ или оксидом висмута. Кроме того, он может быть предпочтителен, поскольку он менее склонен к образованию помутнения после тепловой обработки слоев по сравнению, например, с оксидами Τι или Ζτ. Слой, выполненный из оксида, в непосредственном контакте с подложкой, предпочтительно имеет толщину по меньшей мере 5 нм, предпочтительно по меньшей мере 8 нм, более предпочтительно по меньшей мере 10 нм. Эти минимальные значения толщины позволяют, помимо прочего, обеспечить химическую стабильность изделия, не прошедшего тепловую обработку, а также обеспечить стойкость к тепловой обработке.

Как и наиболее верхний слой, находящийся в непосредственном контакте с функциональным слоем, первое диэлектрическое покрытие также может предпочтительно включать в себя основанный на оксиде цинка слой, который иногда называют "зародышевым" или "смачивающим" слоем, который способствует росту серебра на своей поверхности. Этот основанный на оксиде цинка слой может состоять из оксида цинка, или возможно он легирован другими металлами, например, алюминием, в массовой доле, в общем случае равной не более 10%, предпочтительно примерно 2%. Его толщина предпочтительно составляет не более 15 нм и предпочтительно находится в интервале от 1,5 до 10 нм, более предпочтительно от 2 до 8 нм.

Первое диэлектрическое покрытие может дополнительно включать в себя один или несколько других слоев между слоем, выполненным из оксида, находящимся в непосредственном контакте с подложкой, и возможным слоем на основе оксида цинка, находящимся в контакте с функциональным слоем: например, один или несколько слоев из диэлектрического материала, выполненные из оксида, нитрида или оксинитрида металла, предпочтительно ΖηΟ, ΤίΟ₂, δηΟ₂, δί₃Ν₄, ΖτΟ₂, смешанного оксида цинкаолова или смешанного оксида титана-циркония.

Предпочтительно первое диэлектрическое покрытие может включать в себя диэлектрический материал с показателем преломления выше чем 2,2, либо в виде слоя оксида, находящегося в непосредственном контакте с подложкой или над ней. Такой тип материала действительно может позволить дополнительно увеличить светопропускание остекления. Предпочтительно он состоит из оксида по меньшей мере одного элемента, выбранного из Τι, N6 и Ζτ, более предпочтительно - из смешанного оксида титанациркония, например, в массовом отношении Τί/Ζτ, близком к 65/35.

Толщина первого диэлектрического покрытия предпочтительно составляет не менее 10 нм или не менее 15 нм, более предпочтительно не менее 20 нм или не менее 25 нм. Его толщина предпочтительно составляет не более 55 нм или не более 50 нм, более предпочтительно не более 45 нм или не более 40 нм.

Функциональный слой, отражающий инфракрасное излучение, представляет собой слой, предпочтительно основанный на серебре, который может состоять из серебра или его возможно легировать палладием или золотом, например, в массовой доле, составляющей не более 5%, предпочтительно примерно 1%. Включение малого количества легирующей присадки в основанный на серебре слой может улучшить химическую стабильность многослойной конструкции. Толщина функционального слоя предпочтительно составляет не менее 6 нм или не менее 8 нм, предпочтительно не менее 10 нм. Его толщина предпочтительно составляет не более 18 нм или не более 16 нм, более предпочтительно не более 15 нм или не более 14 нм. При таком интервале толщин можно обеспечить достижение желаемой низкой излучательной функции, сохраняя при этом хорошее светопропускание.

Согласно данному изобретению многослойная конструкция включает в себя барьерный слой, наложенный непосредственно на функциональный слой, т.е. над указанным функциональным слоем и в непо- 5 029654

средственном контакте с ним. Барьерный слой либо основан на оксиде цинка (т.е. содержит Ζη в количестве не менее 50 ат.%, предпочтительно не менее 60 ат.%, более предпочтительно не менее 70 ат.%, еще более предпочтительно не менее 80 ат.% в пересчете на металл в оксиде), или состоит из оксида индия, возможно легированного оловом. Более предпочтительно указанный барьер состоит из оксида цинка, возможно легированного алюминием, или оксида индия, возможно легированного оловом. Еще более предпочтительно барьерный слой представляет собой чистый ΖηΟ (обозначаемый как ίΖηΘ) или слой из оксида цинка, легированного алюминием (обозначаемый как ΑΖΟ) в массовой доле, равной не более 10%, предпочтительно равной примерно 2%. Его толщина предпочтительно составляет не более 20 нм, или не более 18 нм, предпочтительно находится в интервале от 1 до 18 нм или в интервале от 2 до 18 нм, более предпочтительно от 3 до 18 нм.

Второе диэлектрическое покрытие согласно данному изобретению включает в себя (по-прежнему в порядке, начиная от подложки): слой, выполненный из оксида, отличающегося от оксида кремния, толщиной более 5 нм, и слой, выполненный из нитрида кремния или оксида кремния, толщиной более 10 нм.

Слой, выполненный из оксида, отличающегося от оксида кремния, и толщиной более 5 нм, предпочтительно представляет собой слой оксида по меньшей мере одного элемента, выбранного из Ζη, δη, Τι и Ζτ.

Предпочтительно он представляет собой слой из смешанного оксида цинка-олова, более предпочтительно - слой из смешанного оксида цинка-олова, в котором соотношение цинк-олово близко к 50-50 мас.% (Ζη₂δηΟ₄), например, 52-48 мас.%. Его толщина предпочтительно составляет не менее 8 нм или не менее 10 нм, более предпочтительно не менее 14 нм или не менее 16 нм. Его толщина предпочтительно составляет не более 40 нм или не более 35 нм, более предпочтительно не более 30 нм или не более 28 нм.

Поверх этого слоя оксида, но не обязательно в непосредственном контакте с ним, присутствует слой, выполненный из нитрида кремния или оксида кремния, толщиной более 10 нм. Его толщина предпочтительно составляет не менее 12 нм или не менее 14 нм, более предпочтительно не менее 15 нм или не менее 16 нм. Его толщина предпочтительно составляет не более 30 нм или не более 28 нм, более предпочтительно не более 25 нм или не более 22 нм. Нитрид кремния в общем более предпочтителен, чем оксид кремния, поскольку его нанесение в промышленных условиях с использованием магнетронного распыления может быть проще, и поскольку он может обеспечить в последнем диэлектрике улучшенную механическую устойчивость и улучшенное сопротивление тепловой обработке, чем оксид кремния. Этот слой нитрида кремния может представлять собой последний слой многослойного покрытия.

Предпочтительно, чтобы второе диэлектрическое покрытие содержало защитное верхнее покрытие, образующее последний слой многослойного покрытия. Оно предпочтительно состоит из оксида или из субстехиометрического оксида, по меньшей мере одного элемента, выбранного из Τι и Ζτ, более предпочтительно - из смешанного оксида титана-циркония, например, в массовом отношении Τί/Ζτ, близком к 65/35. Такой слой может улучшать химическую и/или механическую стабильность остекления. Кроме того, он может иметь положительное влияние на АЕ* при отражении остеклением с внешней стороны здания или транспортного средства. Толщина этого защитного верхнего покрытия предпочтительно составляет не менее 2 нм, более предпочтительно не менее 3 нм. Его толщина предпочтительно составляет не более 15 нм или не более 12 нм, более предпочтительно не более 10 нм или не более 9 нм.

Второе диэлектрическое покрытие может дополнительно включать в себя один или несколько других слоев ниже слоя, выполненного из оксида, толщиной более 5 нм, между последним и слоем, выполненным из нитрида кремния, толщиной более 10 нм, или выше слоя, выполненного из нитрида кремния, толщиной более 10 нм, например, один или несколько слоев из диэлектрического материала, выполненные из оксида, нитрида или оксинитрида металла, предпочтительно ΖηΟ, ΤίΟ₂, δηΟ₂, δί₃Ν₄, ΖτΟ₂, смешанного оксида цинка-олова или смешанного оксида титана-циркония.

Предпочтительно, чтобы второе диэлектрическое покрытие состояло из диэлектрического материала с показателем преломления выше чем 2,2, либо в виде слоя, выполненного из оксида, толщиной более 5 нм, либо образующего другой отдельный слой. Такой тип материала действительно может позволить дополнительно увеличить светопропускание остекления. Предпочтительно он состоит из оксида по меньшей мере одного элемента, выбранного из Τι, N6 и Ζτ, более предпочтительно - из смешанного оксида титана-циркония, например, в массовом отношении Τί/Ζτ, близком к 65/35.

Толщина второго диэлектрического покрытия предпочтительно составляет не менее 25 нм или не менее 28 нм, более предпочтительно не менее 30 нм или не менее 35 нм. Его толщина предпочтительно составляет не более 75 нм, не более 70 нм или не более 65 нм, более предпочтительно не более 60 нм или не более 55 нм.

В определенных вариантах осуществления изобретения конструкция из тонких слоев включает в себя, по меньшей мере, или состоит из (в порядке, начиная от подложки):

(ί) слоя из смешанного оксида цинка-олова толщиной в интервале от 27 до 45 нм,

(ΐΐ) слоя из оксида цинка, возможно легированного толщиной в интервале от 2 до 8 нм,

(ίίί) функционального слоя на основе серебра толщиной в интервале от 8 до 16 нм,

- 6 029654

(ίν) барьерного слоя из оксида цинка, возможно легированного алюминием, толщиной в интервале от 1 до 18 нм,

(ν) слоя из смешанного оксида цинка-олова толщиной в интервале от 14 до 30 нм,

(νί) слоя из нитрида кремния толщиной в интервале от 14 до 30 нм, и

(νίί) по желанию, слоя из смешанного оксида титана-циркония толщиной в интервале от 2 до 10 нм. В других вариантах осуществления изобретения конструкция из тонких слоев включает в себя, по

меньшей мере, или состоит из (в порядке, начиная от подложки):

(ί) слоя из смешанного оксида цинка-олова толщиной в интервале от 5 до 30 нм, предпочтительно

20 нм,

(и) слоя из смешанного оксида титана-циркония толщиной в интервале от 5 до 25 нм,

(ίίί) слоя из оксида цинка, возможно легированного толщиной в интервале от 2 до 8 нм,

(ίν) функционального слоя на основе серебра толщиной в интервале от 8 до 16 нм,

(ν) барьерного слоя из оксида цинка, возможно легированного алюминием, толщиной в интервале

от 1 до 18 нм,

(νί) слоя из смешанного оксида цинка-олова толщиной в интервале от 5, предпочтительно от 14 до 30 нм,

(νίί) слоя из нитрида кремния толщиной в интервале от 14 до 30 нм, и

(νίίί) по желанию, слоя из смешанного оксида титана-циркония, толщиной в интервале от 2 до 10 нм.

В других вариантах осуществления изобретения многослойная конструкция из тонких слоев включает в себя, по меньшей мере, или состоит из (в порядке, начиная от подложки):

(ί) слоя из смешанного оксида цинка-олова толщиной в интервале от 5 до 30 нм, предпочтительно 20 нм,

(ίί) слоя из смешанного оксида титана-циркония толщиной в интервале от 5 до 25 нм,

(ίίί) слоя из оксида цинка, возможно легированного, толщиной в интервале от 2 до 8 нм,

от 1 до 18 нм,

(νί) слоя из смешанного оксида титана-циркония толщиной в интервале от 3, предпочтительно от 5 до 20 нм,

(νίί) слоя из смешанного оксида цинка-олова толщиной в интервале от 2, предпочтительно от 5 до 25 нм,

(νίίί) слоя из нитрида кремния толщиной в интервале от 14 до 30 нм, и

(ιχ) по желанию, слоя из смешанного оксида титана-циркония толщиной в интервале от 2 до 10 нм. Элементы остекления согласно данному изобретению предпочтительно применимы в многослойных стеклопакетах, например в двойном или тройном стеклопакетах. Они могут иметь следующие характеристики:

	Одинарное остекление (80)	Двойное остекление (ОС) на до% заполнено Ат, слой в положении з, прозрачные стекла 4 мм
1Т до или после тепловой обработки	> 80%, > 85%, >86%	> 73%, > 75%, >78%
ЬВх до или после тепловой обработки	<14%, <ю%, <8%	-
до или после тепловой обработки	<16%, <12%, <10%	-
ЕТ до или после тепловой обработки	>50%, >55%, >58%, >6о%	-
ЕКс до или после тепловой обработки	<40%, <35%, <33%	-
ЕК§ до или после тепловой обработки	<34%, <30%, <27%	-

- 7 029654

ДЬТ, ДЬКс, дию ДЕТ, ДЕКс, ДЕК§ до/после тепловой обработки	ί 5, ί 1
К² до или после тепловой обработки	от 2 до 7 Ω/α от 2 до 4 Ω/α	-
ΔΚ- до/после тепловой обработки	< 2,0, < 1,5	-
§ до или после тепловой обработки	-	от 55% до 70% от 58% до 64%
Д§ до/после тепловой обработки	-	<5,ί 3,ί ι
Цвет при пропускании Ь* до или после тепловой обработки а* Ъ*	от 91 до 99
от-5 до 5
от -6 до +6
ДЕ* при пропускании	< 8, < 5, < 2	< 8, < 5, < 2
Цвет при отражении со стороны слоя ΙΛ в 8С или с внешней стороны в Г)О а* до или после тепловой обработки Ь*	ОТ 22 ДО 43
от -6 ДО +10
от -18 до о
ДЕ* при отражении (слой или внешн.)	< 8, < 5, < 2	< 8, < 5, < 2
Цвет при отражении со стороны стекла Ь* в 80 или с внутренней стороны в ОС а* до или после тепловой обработки Ь*	от 23 до 45
от -6 до +8
от -18 до о
ΔΕ* при отражении (стекло или внутр.)	< 8, < 5, < 2	< 8, < 5, < 2

Определенные варианты осуществления данного изобретения теперь будут описаны на примерах 18 и примерах сравнения 1-6.

Все толщины в примерах и в примерах сравнения приведены в нм. Все слои накладывали с использованием катодного распыления в магнитном поле в вакууме. При проведении тепловой обработки, если не указано иное, использовали следующие условия: выдержка в статической печи при 670°С в течение 7 мин 30 с.

Пример 1.

Следующую многослойную конструкцию согласно данному изобретению наносили на листовое стекло

стекло	Ζη₂δη0₄	ΖηΟ		ΖηΟ:Α1 (2 масс.%)	Ζη₂8η0₄	8ί₃Ν₄
	32	5	13,3	15	21	20

Получаемое остекление характеризуется сопротивлением на квадрат, равным 3,73 Ω/π. Затем производят тепловую обработку. Сопротивление на квадрат прошедшего тепловую обработку изделия составляет 2,84 Ω/π. В прошедшем тепловую обработку изделии не наблюдали помутнения или пятен.

Пример 2.

стекло	Ζη₂8ηΟ₄	τζο	ΖηΟ	Α§	ΖηΟ:Αΐ (2 масс.%)	Ζη₂δηΟ₄	813Ν4
	10	ι8	4	13,5	5	29	20

Она характеризуется дополнительным наличием материала с высоким показателем преломления в первом диэлектрическом покрытии. В прошедшем тепловую обработку изделии не наблюдали помутнения или пятен, и перед тепловой обработкой изделие имело очень высокую устойчивость к химическому воздействию (после проведения испытания по методике Кливленда не наблюдали какого-либо изменению цвета, заметного невооруженным глазом).

Многослойное покрытие согласно примеру 2 обладало следующими свойствами:

	Одинарное остекление (8С)
ΙΤ до / после тепловой обработки	85,2 % / 86,7 %
ЬКс до / после тепловой обработки	7,77%/8,1%
ЬКд до / после тепловой обработки	9,45 % / 8,1 %
К² до / после тепловой обработки	2,89 Ω/π / 2,08 Ω/π
Цвет при пропускании Ь* до / после тепловой обработки а* Ъ*	93,91 / 94,56
-1,64 / -1,79
2,90 / 2,32
ΔΕ* при пропускании	0,88
Цвет при отражении со стороны слоя	33,88 / 34,44

- 8 029654

I* в 8С или с внешней стороны в ΩΟ а* до / после тепловой обработки Ь*	-0,51 / 1,8
-10,46 / -10,49
ΔΕ* при отражении (слой или внешн.)	2,38
Цвет при отражении со стороны	3747 / 36,53
стекла 17	-0,78 /1,26
в 30 или с внутренней стороны в ВО а*	-9,09 / -9,60
до / после тепловой обработки Ь*
ΔΕ* при отражении (стекло или внутр.)	2,20

Пример 3.

Следующую многослойную конструкцию согласно данному изобретению наносили на листовое

стекло

стекло	Ζη₂3ηΟ₄	ΤΖΟ	ΖηΟ		ΖηΟ:А] (2 масс.%)	Ζη₂3ηΟ₄	8ί₃Ν₄	ΤΖΟ
	10	19	3	13,5	3	22	ι8	10

Она характеризуется дополнительным наличием материала с высоким показателем преломления в первом диэлектрическом покрытии и наличием защитного верхнего покрытия. Опять же, в данном случае в изделии не наблюдали помутнения или пятен после тепловой обработки. Кроме того, перед тепловой обработкой изделие имело очень высокую устойчивость к химическому воздействию (после проведения испытания по методике Кливленда не наблюдали какого-либо изменению цвета, заметного невооруженным глазом).

Образцы согласно примерам 2 и 3 подвергали "испытанию с применением сухой щетки" (ΌΒΤ) и испытанию в климатической камере с целью изучения влияния защитного верхнего покрытия из ΤΖΟ.

Испытание с применением сухой щетки используют для оценки стойкости слоя к эрозии в результате воздействия трения. Описание испытания приведено в Стандарте ΑδΤΜ Ό 2486-00. Образцы испытывали согласно методике А в течение 500 циклов, затем изучали и сравнивали степень их разрушения. Образец с защитным верхним покрытием из ΤΖΟ (пример 3) показал значительно меньшее разрушение, чем образец без защитного слоя из ΤΖΟ на поверхности (пример 2).

При испытании в климатической камере образцы помещали в камеру с атмосферой Н₂О и подвергали действию циклического изменения температуры в течение 2 ч, когда температуру изменяли от 45 до 55°С и снова снижали до 45°С Образцы согласно примерам 2 и 3 показали достаточно похожие между собой результаты после 1 дня и 3 дней, с несколько более хорошим результатом в случае многослойного покрытия с защитным верхним покрытием из ΤΖΟ (пример 3).

Многослойное покрытие согласно примеру 3 обладало следующими свойствами:

	Одинарное остекление (80)	Двойное остекление (ϋθ) на 90% заполнено Аг, слой в положении 3, прозрачные стекла 4 мм
ЬТ до / после тепловой обработки	86,7 % / 87,3 %	78,5%/794%
Т.Кс до / после тепловой обработки	6,9 % / 7,8 %	-
ЬК§ до / после тепловой обработки	8,7 % / 8,9 %	-
ЕТ до / после тепловой обработки	6о,8 % / 61,2 %	-
ЕКс до / после тепловой обработки	29,7 % / 31,1 %	-
ЕКд до / после тепловой обработки	24,5 % / 25,5 %	-
К² до / после тепловой обработки	2,87 Ω/α / 2,ю Ω/α	-
£ до / после тепловой обработки	-	60,4 / 59,5
Δ£ до/после тепловой обработки	-	5 5, й 3, 5 1
Цвет при пропускании Ь* до / после тепловой обработки а* Ь*	94,55 / 94,8ι	90,94 / 91,21
-1,70 / -1,82	-2,51 / -2,60
2,93 / 2,76	2,83 / 2,66
ΔΕ* при пропускании	0,33	0,33
Цвет при отражении со стороны слоя Ь* в ЗС или с внешней стороны в ОС а* до / после тепловой обработки Ь*	32,12 / 33,95	44,28 / 45,26
-0,63 / 1,34	-1,09 / -0,05
-11,98 / -12,16	-7,03 / -7,38
ΔΕ* при отражении (слой или внешн.)	2,69	1,47
Цвет при отражении со стороны стекла Ь*	35,73 / 36,17	42,72 / 46,15
-1,03 / 0,67	-1,65 / -0,49

- 9 029654

в 80 или с внутренней стороны в РОа* до / после тепловой обработки Ъ*	-ίο,ι8 / -ю,6	-6,64 / -7,04
ΔΕ* при отражении (стекло или внутр.)	ι,8ι	1,30

Сравнительный пример 1.

Следующую многослойную конструкцию, не соответствующую данному изобретению, наносили на листовое стекло

стекло	Ζη₂δηΟ₄	ΖηΟ	А§	ΖηΟ:Α1 (2% Μ.)	Ζη₂δηΟ₄
	32	5	13,3	15	41

Это многослойное покрытие соответствует раскрытию в публикации ЕР 1140721. Оно продемонстрировало К² до и после тепловой обработки, равное, соответственно, 3,34 Ω/π и 3,80 Ω/π. При обследовании невооруженным глазом в изделии, прошедшем тепловую обработку, обнаруживаются помутнение и неприемлемые пятна.

При сравнении с примером 1 видно преимущество, в частности, от наличия слоя, выполненного из нитрида кремния, во втором диэлектрическом покрытии, приводящее к предотвращению какого-либо помутнения и появления пятен после тепловой обработки.

Сравнительные примеры 2 и 3.

Сравн. Пр. 2	стекло	Αΐ5ίΝ	Ζη8ηΟ_χ:Αΐ	ΤίΟ_χ	ΖηΟ:Αΐ	Αί	Ζη3ηΟ_χ:Αΐ	ΖηΟ	Α1Ν	Ζη8ηΟ_χ
	43	4	0,9	7,7	8	7,7	ι,3	50	12
Сравн. Пр.З	стекло	Α18ίΝ	Ζη8ηΟ_χ:Αΐ	ΤίΟ_χ	ΖηΟ:Αΐ	^Α3	Ζιι8ιιΟ_χ:ΑΙ	ΖηΟ	Α1Ν	ΖηΒηΟχ	8ίΝ
	43	4	ο,9	7,7	8	7,7	1,3	50	12	20

Перед какой-либо тепловой обработкой проводят испытание по методике Кливленда для оценки их устойчивости к химическому воздействию. Результаты были плохими: после всего 1 дня наблюдали изменение цвета, заметное невооруженным глазом, а после 3 дней оно было еще более заметно.

Для сравнения, в примерах согласно изобретению не наблюдали какого-либо изменения цвета, заметного невооруженным глазом, ни после 1 дня, ни после 3 дней испытания по методике Кливленда. Это, в частности, демонстрирует преимущество от присутствия слоя, изготовленного из оксида и находящегося в непосредственном контакте с подложкой, при обеспечении улучшенной химической стабильности изделия, не прошедшего тепловую обработку.

Примеры 4-6.

Следующие многослойные конструкции согласно данному изобретению наносили на листовое стекло и подвергали тепловой обработке в статической печи при 700°С в течение 9 мин (примеры 4-5) или 5 мин (пример 6). Наблюдали следующие свойства.

- 10 029654

Пример 4.

Пример 5.

стекло	Ζ5Ο5	ΤΖΟ	ΖηΟ	Ае	ΑΖΟ	Ζ5Ο5	5ίΝ	ΤΖΟ
	13	19	3	13	3	18	19	7,5

	Одинарное остекление (5С)	Двойное остекление (00) на 90% заполнено Аг слой в положении 3 прозрачные стекла 4 мм
ДО ТО	после ТО	ДО ТО	после ТО
ίΤ до ί после тепловой обработки	87,5	88,42	79,4	79,7
ЬКс до / после тепловой обработки	5,66	6,27	12,63	13,2
1Л§ до! после тепловой обработки	6,97	7,16	13,24	13,6
ЕТ до / после тепловой обработки	60,23	61,17	52,96	53,6
ЕКс до / после тепловой обработки	29,17	29,93	27,92	28,4
ЕР§ до / после тепловой обработки	23,79	24,29	27,44	27,9
К² до / после тепловой обработки	3	2
□ до / после тепловой обработки			61,14	60,2
Δε до / после тепловой обработки				-0,94
.. , ί*	94,92	95,3	91,4	91,6
Цвет при пропускании до / после тепловой обработки ^а	-1,92	-2	-2,69	-2,7
' ь*	2,37	2,12	2,23	2,1
ΔΕ* при пропускании		0,46		0,24
Цвет при отражении со стороны \|_*	28,86	30,41	42,37	43,1
слоя в 50 или с внешней стороны *	2,58	4,07	0,58	1,4
обработки Ь*	-10,47	-10,3	-5,72	-5,8
ΔΕ* при отражении (спой или внешн )		2,16		1,10
Цвет при отражении со стороны \|_*	28,86	32,47	43,31	43,6
стекла в 30 или с внутренней * стороны в ОС ло / после тепловой ^а	2,58	3,29	-0,07	1
обработки Ь*	10,47	9,62	6,04	6
ΔΕ* при отражении (стекло или внутр )		3,78		1,11

до ТО - до тепловой обработки; после ТО - после тепловой обработки.

стекло	Ζ5Ο5	ΤΖΟ	ΖηΟ	Ае	ΑΖΟ	Ζ5Ο5	5ΪΝ	ΤΖΟ
	15,5	17,5	3	10,5	3	10	19	7

	Одинарное остекление (5С)	Двойное остекление (ОО) на 90% заполнено Аг слой в положении 3 прозрачные стекла 4 мм
до ТО	после ТО	до то	после ТО
ЕТ до / после тепловой обработки	88,4	89,8	80,2	81
ίΚε до ί после тепловой обработки	4,87	4,75	11,99	11,86
ΕΚβ до / после тепловой обработки	5,68	5,38	12,06	11,87
ет до / после тепловой обработки	63,98	64,97	56,04	56,6
ЕВс до / после тепловой обработки	24,49	25,4	24,61	25,24
ЕВв до / после тепловой обработки	19,76	20,5	23,71	24,38
К² до 1 после тепловой обработки	5	3,6
Е до / после тепловой обработки			64,71	63,93
Δ§ до / после тепловой обработки		0		-0,78
,. , е*	95,31	95,91	91,76	92,12
после тепловой обработки ^а	-1,28	-1,38	-2,1	-2,17
ь*	1,12	1,14	1,09	1,24
ΔΕ* при пропускании		0,61		0,40
Цвет при отражении со стороны 0*	26,58	26,26	41,32	41,11
слоя в 3Θ или с внешней стороны а*	-1,47	0,78	-1,28	-0,28
в ϋ<3 до / после тепловой обработку*	-4,97	-6,58	-2,67	-3,41
ΔΕ* при отражении (слой или внешн.)		2,79		1.26
Цвет при отражении со стороны е*	28,84	28,05	41,47	41,17
стекла в ЗС или с внутренней *	-1,51	0,71	-1,87	-0,6
обработки Ь*	-6,24	-7,26	-3,86	-4.27
ΔΕ*πρπ отражении (стекло или внутр.)		2,57		1,37

- 11 029654

Пример 6.

стекло	Ζ5Ο5	ΤΖΟ	ΖηΟ	А₆	ΑΖΟ	Ζ5Ο5	5ίΝ	ΤΖΟ
	23,5	13,1	3	10,8	3	12	20	4

	Одинарное остекление (5С)	Двойное остекление (ОС) на 90% заполнено Аг слой в положении 3 прозрачные стекла 4 им
ДО ТО	после ТО	ДО ТО	после ТО
ц- до / после тепловой обработки	88,7	88,9	80,1	80,3
\|Кс до Ζ после тепловой обработки	4,8	4,7
до! после тепловой обработки	5,5	5,8
ЕТ до 1 после тепловой обработки	63,8	63,9
ЕКс Д° ! после тепловой обработки	25,2	26,3
ЕКк Д° > после тепловой обработки	20,2	21,1
в² до / после тепловой обработки
ё до / после тепловой обработки			63,8	63
Δβ до / после тепловой обработки				-0,8
ί·	95,42	95,51	91,71	91,8
Цвет при пропускании до / ,	-1,67	-1,77	-2,47	-2,55
..... ....... ь*	1,29	1,52	1,37	1,57
ΔΕ* при пропускании		0,27		0,23
Цвет при отражении со стороны Ь*	26,14	25,97	41,39	41,32
слоя в 5С или с внешней стороны *	-0,41	2,13	0,88	0,23
обработки Ь*	-6,24	-8,18	-3,29	-4,23
ΔΕ* при отражении (слой или внешн.)		3,20		1,46
Цвет при отражении со стороны \|_*	29,14	28,82	41,8	41,66
стекла в £6 или с внутренней ,	-0,61	1,85	-1,44	0
обработки Ь*	-6,85	-8,16	-4,09	-4,81
ΔΕ* при отражении (стекло или внутр )		2,81		1,62

Примеры 7 и 8.

Следующие многослойные конструкции согласно данному изобретению наносили на листовое стекло и подвергали тепловой обработке в статической печи при 670°С в течение 6 мин 30 с. Внешний вид стекла с покрытием после тепловой обработки было хорошим (без царапин), при этом наблюдали следующие свойства:

стекло	Ζη₂δη0₄	ΖηΟ	А§	ΖηΟ:Αΐ (2 масс.%)	Ζη-.8ηΟ\|	δί₃Ν₄
пр. 7	25	7	10	7	6,3	25,7
пр. 8	25	7	10	4,4	3,1	28,9
	ΔΕ* при пропускании	ΔΓΤ до и после ТО	К² до ТО	К² после ТО
пр. 7	0,69	1,24	6,10	4,81

пр· 8 I 0.55 I 0.99 I 5,77 I 444

Сравнительные примеры 4-6.

Следующие многослойные конструкции, не соответствующие данному изобретению, наносили на листовое стекло и подвергали тепловой обработке в статической печи при 670°С в течение 6 мин 30 с. Внешний вид стекла с покрытием после тепловой обработки был плохим (много царапин, которые проявились после тепловой обработки), при этом наблюдали следующие свойства:

стекло	Ζη₂δηΟ₄	ΖηΟ	А§	ΖηΟ:Αΐ (2 масс.%)	δΐ₃Ν₄
ср. пр. 4	25	7	10	4	32
ср. пр. 5	25	7	ю	1,9	32
ср. пр. 6	25	7	ю	7	32

	ΔΕ* при пропускании	АЬТ до и после ТО	К² до ТО	К.² после ТО
ср. пр, 4	3,3	4,67	4,89	14,6
ср. пр, 5	2,2	3,18	6,36	ю,3
ср, пр. 6	2,24	3,27	4,84	5,2

Сравнение примеров 7 и 8 со сравнительными примерами 4-6 показывает полезные эффекты от наличия слоя, выполненного из оксида, отличающегося от оксида кремния, в верхнем диэлектрическом покрытии между барьерным слоем и слоем нитрида кремния, а именно, отсутствие появления царапин

- 12 029654

после тепловой обработки, меньшее изменение светопропускания из-за тепловой обработки и меньшее сопротивление листа после тепловой обработки.

Claims

ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ

1. Остекление, содержащее прозрачную подложку, снабженную многослойным покрытием из тонких слоев, включающим в себя в порядке начиная от подложки первое диэлектрическое покрытие, отражающий инфракрасное излучение функциональный слой, барьерный слой, накладываемый непосредственно на функциональный слой, и второе диэлектрическое покрытие, и содержащим только один функциональный слой, отличающийся тем, что (ί) первое диэлектрическое покрытие включает в себя слой, выполненный из оксида, в непосредственном контакте с подложкой, (ίί) барьерный слой основан на оксиде цинка или состоит из оксида индия или оксида индия, легированного оловом, и (ίίί) второе диэлектрическое покрытие включает в себя в порядке перечисления слой, выполненный из оксида, отличающегося от оксида кремния, толщиной более 5 нм, и слой, выполненный из нитрида кремния или оксида кремния, толщиной более 10 нм.
2. Остекление согласно п.1, в котором слой, выполненный из оксида и находящийся в непосредственном контакте с подложкой, представляет собой слой из смешанного оксида цинка-олова.
3. Остекление согласно одному из пп.1 или 2, в котором толщина слоя, выполненного из оксида и находящегося в непосредственном контакте с подложкой, составляет не менее 5 нм.
4. Остекление согласно любому одному из предыдущих пунктов, в котором первое диэлектрическое покрытие, находящееся в непосредственном контакте с функциональным слоем, включает в себя слой на основе оксида цинка.
5. Остекление согласно п.4, в котором толщина слоя на основе оксида цинка составляет не более 15 нм и предпочтительно находится в интервале от 1,5 до 10 нм.
6. Остекление по любому одному из предыдущих пунктов, в котором барьерный слой состоит из оксида цинка или оксида цинка, легированного алюминием.
7. Остекление согласно любому одному из предыдущих пунктов, в котором толщина барьерного слоя составляет не более 20 нм и предпочтительно находится в интервале от 1 до 18 нм.
8. Остекление согласно любому одному из предыдущих пунктов, в котором второе диэлектрическое покрытие содержит защитный верхний слой, образующий последний слой многослойного покрытия и состоящий из оксида или субстехиометрического оксида, по меньшей мере одного элемента, выбранного из Τί и Ζγ.
9. Остекление согласно п.8, в котором толщина защитного верхнего слоя составляет не более 15 нм и предпочтительно находится в интервале от 2 до 10 нм.
10. Остекление согласно любому одному из предыдущих пунктов, в котором многослойное покрытие из тонких слоев включает в себя в порядке, начиная от подложки:

(ί) слой из смешанного оксида цинка-олова толщиной в интервале от 27 до 45 нм,

(ίί) слой из оксида цинка или легированного оксида цинка толщиной в интервале от 2 до 8 нм,

(ίίί) функциональный слой на основе серебра толщиной в интервале от 8 до 16 нм,

(ίν) барьерный слой из оксида цинка или оксида цинка, легированного алюминием, толщиной в интервале от 1 до 18 нм,

(ν) слой из смешанного оксида цинка-олова толщиной в интервале от 14 до 30 нм,

(νί) слой из нитрида кремния толщиной в интервале от 14 до 30 нм.
11. Остекление согласно любому одному из пп.1-9, в котором многослойное покрытие из тонких слоев включает в себя слой из диэлектрического материала с показателем преломления выше чем 2,2 в по меньшей мере одном из двух диэлектрических покрытий.
12. Остекление согласно п.11, в котором диэлектрический материал с показателем преломления выше чем 2,2 представляет собой оксид по меньшей мере одного элемента, выбранного из Τί, N6 и Ζγ.
13. Остекление согласно любому одному из пп.11 и 12, в котором многослойное покрытие из тонких слоев включает в себя в порядке, начиная от подложки:

(ί) слой из смешанного оксида цинка-олова толщиной в интервале от 5 до 20 нм,

(ίί) слой из смешанного оксида титана-циркония толщиной в интервале от 5 до 25 нм,

(ίίί) слой из оксида цинка или легированного оксида цинка толщиной в интервале от 2 до 8 нм,

(ίν) функциональный слой на основе серебра толщиной в интервале от 8 до 16 нм,

(ν) барьерный слой из оксида цинка или оксида цинка, легированного алюминием, толщиной в интервале от 1 до 18 нм,

(νί) слой из смешанного оксида цинка-олова толщиной в интервале от 14 до 30 нм,

(νίί) слой из нитрида кремния толщиной в интервале от 14 до 30 нм.
14. Остекление согласно любому одному из предыдущих пунктов, демонстрирующее отклонение цвета при пропускании и при отражении между одинарным остеклением, не прошедшим тепловую обработку, и одинарным остеклением, прошедшим тепловую обработку, выраженное величиной ΔΕ*, не более 8, предпочтительно не более 5.

- 13 029654
15. Остекление согласно любому одному из предыдущих пунктов, демонстрирующее отклонение в значениях пропускания и отражения света и энергии между одинарным остеклением, не прошедшим тепловую обработку, и одинарным остеклением, прошедшим тепловую обработку, не более 5, предпочтительно не более 3.
16. Остекление согласно п.10, в котором слой из смешанного оксида титана-циркония толщиной в интервале от 2 до 10 нм нанесен на слой (νί).
17. Остекление согласно п.13, в котором слой из смешанного оксида титана-циркония толщиной в интервале от 2 до 10 нм нанесен на слой (νίί).