DK3036514T3 - Trykføler til detektion af kraft - Google Patents
Trykføler til detektion af kraft Download PDFInfo
- Publication number
- DK3036514T3 DK3036514T3 DK14752630.5T DK14752630T DK3036514T3 DK 3036514 T3 DK3036514 T3 DK 3036514T3 DK 14752630 T DK14752630 T DK 14752630T DK 3036514 T3 DK3036514 T3 DK 3036514T3
- Authority
- DK
- Denmark
- Prior art keywords
- pressure sensor
- measuring
- force
- polarized
- capacity
- Prior art date
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 31
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000035876 healing Effects 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 description 1
- 238000003306 harvesting Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000016507 interphase Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
- G01L1/142—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
Description
Nærværende opfindelse angår en fremgangsmåde til måling af en kraft ved hjælp af en trykføler henholdsvis et system til måling af en kraft med en trykføler af et piezoelektrisk materiale.
Det er kendt teknik, at bestemme kraften via den inducerede ladning, således som dette eksempelvis forekommer i kvarts-kraftmåledåser og piezofølere. I den forbindelse kræves der til måleteknisk evaluering en ladningsforstærker. GB 2 086 584 A beskriver en fremgangsmåde til måling af en kraft ved hjælp af en trykføler af et piezoelektrisk materiale, hvor ændringen af trykfølerens kapacitet anvendes til kraftmåling. Der beskrives ikke den samtidige måling med en polariseret og med en ikke-polariseret trykføler, og slet ikke den elektrotekniske kombination i en evalueringsenhed. SADAYUKI TAKAHASHI ET Al: "Effects of Impurities on the Mechanical Quality Factor of Lead Zirconate Titanate Ceramics" JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, bd. 11, nr. 1, 1. januar 1972 (1972-01-01), siderne 31-35, XP055140504, ISSN: 0021-4922, DOI: 10.1143/JJAP. 11.31 og US 2002/185935 A1 beskriver det bredt udbredte piezoelektriske materiale Pb(ZrTi)03, som er egnet til anvendelse ved stor kompressionsbelastning. DE 10 2008 002925 A1 beskriver baggrundsviden til kraftmåling med trykfølere.
Det er hensigten med opfindelsen, at forbedre disse kendte fremgangsmåder således, at en kombination af en enklere kraftdetektion og en nøjagtigere kraftbestemmelse opnås. Desuden skal der angives et system til måling af denne kraft.
Ifølge opfindelsen opnås dette med hensyn til fremgangsmåden ved de i krav 1 angivne træk. Løsningen består i, at målingen af kraften sker samtidigt med en polariseret og en ikke-polariseret trykføler, og kapaciteten for begge trykfølere tilføres en elektroteknisk kombination i en evalueringsenhed, og det piezoelektriske materiale har en mekanisk godhedsfaktor i området 200 til 2000 og har en koercitivfeltstyrke > 1,5 kV/mm ved rumtemperatur.
Eftersom ændringen i kapacitet for trykføleren anvendes til kraftmåling, kræves ikke nogen ladningsforstærker til måling og derved er målesystemet samlet miniaturiseret.
Med henblik på at udkoble forstyrrelseselementer sker målingen af kapaciteten fortrinsvis i overensstemmelse med Lock-In-fremgangsmåden, ved en bestemt målefrekvens. Fortrinsvis ligger målefrekvensen imellem 800 Hz og 1,2 kHz, særligt fore-trukkent ved 1 kHz.
Et system ifølge opfindelsen til måling af en kraft ifølge krav 4 til udøvelse af den ovenfor beskrevne fremgangsmåde udmærker sig ved, at systemet omfatter en polariseret og en ikke-polariseret trykføler, og kapaciteten for begge trykfølere kan tilføres den elektrotekniske kombination i evalueringsenheden, og det piezoelektriske materiale har den mekaniske godhedsfaktor i området 200 til 2000 og har koercitivfeltstyrken >1,5 kV/mm ved rumtemperatur.
Polariserede trykfølere giver den fordel at starte målingen ved hjælp af en impuls og dermed at spare energi. Polariserede trykfølere har en stejlere stigning af kapaciteten. Ikke-polariserede trykfølere har fra en bestemt startpåvirkning et tydeligt lineært forløb (se fig. 5). Således har den polariserede trykføler fordelene med en enklere kraftdetektering og den ikke-polariserede trykføler fordelen med den nøjagtigere kraftbestemmelse. En forbindelse af begge virkninger via en elektroteknisk kombination af begge typer trykfølere er tænkelig for den kapacitive kraftmåling.
Fortrinsvis er trykføleren en rund plade med affasede kanter. Fortrinsvis bliver målesignalet sendt trådløs til en evalueringsenhed. I overensstemmelse med opfindelsen er anvendelsen af en trykføler til måling af et belastningssignal til medicinske anvendelser eller til måling af et belastningssignal til industrielle anvendelser eller til måling af et belastningssignal til forbrugeranvendelser eller til måling af et belastningssignal til automotive anvendelser. Måleprincippet beror således på målingen af kapaciteten af en med tryk påvirket trykføler af piezoelektrisk materiale. Ved trykpåvirkningen sker der en kontraktion af den piezoelektriske trykføler og dermed en ændring af kapaciteten. Ud fra denne sammenhæng kan den ved påvirkningen påførte kraft henholdsvis trykket, bestemmes ved hjælp af den målte kapacitet (se fig. 1). Kapacitetsændringen er sammensat af en ferroelektrisk og en geometrisk del, idet den ferroelekriske, dvs. ændringen af dielektricitetskonstanten, er overvejende og bestemmer signalstyrken.
Ved en direkte kapacitiv kraftmåling er en ladningsforstærker ikke nødvendig, således at en væsentlig miniaturisering af målesystemet er mulig.
Ved anvendelsen af piezoeffekten optræder der tab på grund af ledningsevnen for materialet (se fig. 2) og ved hystereseeffekter (se fig. 3). Målingen af kapaciteten sker i overensstemmelse med Lock-In-fremgangsmåden, ved en bestemt målefrekvens, fortrinsvis imellem 800 Hz og 1,2 kHz, særlig foretrukkent ved 1 kHz, hvorved andre forstyrrelseseelementer udkobles.
Til føleren kan der anvendes såvel et ferroelektrisk blødt som også et ferroelektrisk hårdt materiale.
Gennemførte undersøgelser kunne for hårde piezoelektriske materialer eftervise bedre linearitetsforhold imellem påført tryk og målt kapacitet.
Med hårde piezoelektriske materialer forstås materialer med en høj mekanisk godhedsfaktor i området 200 til 2000, fortrinsvis 400 til 1200, som ved rumtemperatur har en koercitivfeltstyrke > 1,5 kV/mm, fortrinsvis > 2 kV/mm.
Desuden er følsomheden i forbindelse med hårde piezokeramikker væsentligt større (se fig. 4). Deraf fås fordelen med en enklere måleteknisk bestemmelse af påvirkningen.
For anvendelsen bliver en polariseret trykføler anvendt, eftersom denne samtidigt giver muligheden, ved hjælp af en impuls at starte målingen og dermed at spare energi. Desuden kan også ikke-polariserede trykfølere anvendes til ren kapacitetsmåling. Medens den polariserede trykføler har den stejlere stigning af kapaciteten, fås der for de ikke-polariserede trykfølere, fra en bestemt startpåvirkning, et tydeligt mere lineært forløb (se fig. 5). Således har den polariserede trykføler fordelene med en enklere kraftdetektering, og den upolariserede trykføler den nøjagtigere kraftbestemmelse. En kombination af begge effekter, ved hjælp af en elektroteknisk kombination af begge typer af trykfølere, er nødvendig for den kapacitive kraftmåling.
Udformningen af trykføleren kan eksempelvis ske i form af en rund plade. Anvendelsen af trykfølere med en affaset kant, har en højere styrke ved trykpåvirkninger. Ved valget af en hård piezokeramik kunne en bedre lineær sammenhæng imellem påvirkning og målt kapacitet opnås. Nærværende opfindelse angår især: • Trykføler til måling af en kraft, kendetegnet ved, at ændringen af dielektricitetskonstanterne anvendes til kraftmåling, • Trykføler til måling af en kraft, kendetegnet ved, at det anvendte materiale er piezoelektrisk/ferroelektrisk, og kraftændringen bevirker en polarisationsændring, og således bliver ændringen af dielektricitetskonstanterne målbar. • Trykføler til måling af en kraft, kendetegnet ved, at et polariseret ferroelektrisk materiale anvendes, med henblik på at muliggøre en ladningsgenerering. • Trykføler til måling af en kraft, som ved hjælp af ladningsgenereringen ved belastning igangsætter et kredsløb til en måling ("Trigger-signal"). Før belastningen er kredsløbet i en hvilefase, med henblik på at spare energi. • Trykføler til måling af en kraft bestående af en ikke-polariseret piezokeramik til bedre måling af belastningssignalet. • Kombination af polariserede og ikke-polariserede ferroelektrika, af det samme eller forskellige materialer, med henblik på at afkoble målingen af "Trigger-signal". • System, som er kendetegnet ved, at til eliminering af temperatur og øvrige omgivelsespåvirkninger forbliver et eller flere yderligere ferroelektriske konstruktionselementer af samme eller anden art ubelastede. Ved målingen af kapaciteten for de ubelastede konstruktionselementer, kan eksempelvis temperaturpåvirkningen elimineres. • System til måling af et belastningssignal til medicinske anvendelser. • System til måling af et belastningssignal til industrielle anvendelser. • System til måling af et belastningssignal til forbrugeranvendelser. • System til måling af et belastningssignal til automotive anvendelser. • System, som er kendetegnet ved, at ved hjælp af det polariserede ferro-elektrikum genereres den til måling nødvendige energi ("energihøstning"). • System, som er kendetegnet ved, at målesignalet sendes trådløst til en evalueringsenhed. I det følgende beskrives opfindelsen nærmere ved hjælp af et eksempel. EKSEMPEL:
Medicinsk belastningsføler
Ved denne anvendelse drejer det sig om et medicinsk målesystem til registrering af belastninger af ekstremiteter, eksempelvis foden. Trykføleren befinder sig under foden og detekterer de ved belastning af foden opstående kræfter og sender disse via en trådløs forbindelse til et lagringsmedie. Ved kendskab til den statiske og dynamiske kapacitive kraftmåling, og under udelukkelse af forstyrrelseselementer, som eksempelvis temperaturen, er en overvågning af helingsfremskridtet mulig. Ligeledes er det muligt, ved hjælp af måledataene at indgribe i en helingsproces. (Se fig. 6).
Claims (7)
- PAT E N T K RAV1. Fremgangsmåde til måling af en kraft under anvendelse af en trykføler fremstillet af et piezoelektrisk materiale, idet ændringen i kapaciteten for trykføleren anvendes til måling af kraften, kendetegnet ved, at kraften samtidigt måles under anvendelse af en polariseret trykføler og en ikke-polariseret trykføler, og kapaciteten af begge trykfølere tilføres en elektroteknisk kombination i en evalueringsenhed, og det piezoelektriske materiale har en mekanisk godhedsfaktor i området 200 til 2000 og har en koercitivfeltstyrke større end 1,5 kV/mm ved rumtemperatur.
- 2. Fremgangsmåde ifølge krav 1, kendetegnet ved, at kapaciteten måles i overensstemmelse med Lock-I n-fremgangsmåden ved en bestemt målefrekvens.
- 3. Fremgangsmåde ifølge krav 2, kendetegnet ved, at målefrekvensen er imellem 800 Hz og 1,2 kHz.
- 4.System til måling af en kraft til udøvelse af fremgangsmåden ifølge ethvert af kravene 1-3, kendetegnet ved, at systemet har en polariseret trykføler og en ikke-polariseret trykføler, og kapaciteten af begge trykfølere kan tilføres den elektrotekniske kombination i evalueringsenheden, og det piezoelektriske materiale har den mekaniske godhedsfaktor i området 200 til 2000 og har koercitivfeltstyrken på > 1,5 kV/mm ved rumtemperatur.
- 5. Trykføler ifølge krav 4, kendetegnet ved, at trykføleren er en lille rund plade med affasede kanter.
- 6. Trykføler ifølge ethvert af kravene 4 og 5, kendetegnet ved, at målesignalet transmitteres trådløst til en evalueringsenhed.
- 7. Anvendelse af en trykføler ifølge ethvert af kravene 4-6 til måling af et belastningssignal til en medicinsk anvendelse eller til måling af et belastningssignal til industrielle anvendelser eller til måling af et belastningssignal til en brugeranvendelse eller til måling af et belastningssignal til automotive anvendelser.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013216402 | 2013-08-19 | ||
PCT/EP2014/067576 WO2015024906A1 (de) | 2013-08-19 | 2014-08-18 | Drucksensor zur kraftdetektierung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DK3036514T3 true DK3036514T3 (da) | 2018-07-23 |
Family
ID=51357949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DK14752630.5T DK3036514T3 (da) | 2013-08-19 | 2014-08-18 | Trykføler til detektion af kraft |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10031034B2 (da) |
EP (1) | EP3036514B1 (da) |
JP (1) | JP6530398B2 (da) |
CN (1) | CN105452829B (da) |
DE (1) | DE102014216359A1 (da) |
DK (1) | DK3036514T3 (da) |
WO (1) | WO2015024906A1 (da) |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT375466B (de) * | 1977-07-27 | 1984-08-10 | List Hans | Messwertaufnehmer mit einem piezoelektrischen messelement |
US5347870A (en) * | 1992-01-29 | 1994-09-20 | State University Of New York | Dual function system having a piezoelectric element |
US5268611A (en) * | 1992-03-16 | 1993-12-07 | Rockwell International Corporation | Anisotropic transducer |
JP3525400B2 (ja) * | 1995-10-17 | 2004-05-10 | Necトーキン株式会社 | 力検出装置 |
JPH11163668A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 積層圧電単結晶基板及びそれを用いた圧電デバイス |
JP3032761B1 (ja) * | 1998-09-04 | 2000-04-17 | ティーディーケイ株式会社 | 圧電セラミックス |
JP4141061B2 (ja) * | 1999-07-16 | 2008-08-27 | Necトーキン株式会社 | 荷重変換器 |
JP3879591B2 (ja) * | 2001-06-11 | 2007-02-14 | 株式会社デンソー | 圧電アクチュエータ及びその駆動方法 |
DE10225704A1 (de) * | 2001-06-11 | 2003-01-23 | Denso Corp | Piezoelektrischer Aktuator und Verfahren zu dessen Antrieb |
JP3729781B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2005-12-21 | 株式会社鈴木 | アクチュエータの制御方法 |
JP3641470B2 (ja) * | 2002-07-12 | 2005-04-20 | 株式会社鈴木 | アクチュエータの荷重検出方法 |
JP2004226294A (ja) * | 2003-01-24 | 2004-08-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧動圧検知センサ |
DE102007005222A1 (de) * | 2006-02-03 | 2007-08-09 | Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering | Einsatz von piezokeramischen Wandlern zur Regelung der spanabhebenden Werkstückbearbeitung |
US20070188053A1 (en) * | 2006-02-14 | 2007-08-16 | Robert Bosch Gmbh | Injection molded energy harvesting device |
KR100811861B1 (ko) * | 2006-08-31 | 2008-03-10 | 한국표준과학연구원 | 촉각센서의 제조 방법 |
DE102008002925B4 (de) * | 2007-11-12 | 2016-05-12 | W. Zimmermann Gmbh & Co. Kg | Druck- und Dehnungsmessung bei Flächengebilden |
US8040024B2 (en) * | 2008-03-05 | 2011-10-18 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Piezoceramic material, piezoelectric element and non-resonance knock sensor |
US7938074B2 (en) * | 2009-01-22 | 2011-05-10 | Deere & Company | Pressure sensing system for a planter |
JP2013007653A (ja) * | 2011-06-24 | 2013-01-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 外力検出装置及び外力検出センサー |
CN102636297B (zh) * | 2012-04-20 | 2013-08-07 | 合肥工业大学 | 一种三维力传感器 |
-
2014
- 2014-08-18 EP EP14752630.5A patent/EP3036514B1/de active Active
- 2014-08-18 DK DK14752630.5T patent/DK3036514T3/da active
- 2014-08-18 WO PCT/EP2014/067576 patent/WO2015024906A1/de active Application Filing
- 2014-08-18 DE DE102014216359.5A patent/DE102014216359A1/de not_active Withdrawn
- 2014-08-18 US US14/912,793 patent/US10031034B2/en active Active
- 2014-08-18 JP JP2016535449A patent/JP6530398B2/ja active Active
- 2014-08-18 CN CN201480046218.9A patent/CN105452829B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10031034B2 (en) | 2018-07-24 |
WO2015024906A1 (de) | 2015-02-26 |
CN105452829A (zh) | 2016-03-30 |
DE102014216359A1 (de) | 2015-02-19 |
CN105452829B (zh) | 2019-06-18 |
JP2016528511A (ja) | 2016-09-15 |
US20160195439A1 (en) | 2016-07-07 |
EP3036514B1 (de) | 2018-04-11 |
JP6530398B2 (ja) | 2019-06-12 |
EP3036514A1 (de) | 2016-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Garten et al. | Enhanced flexoelectricity through residual ferroelectricity in barium strontium titanate | |
Narvaez et al. | Large flexoelectric anisotropy in paraelectric barium titanate | |
US11885386B2 (en) | Vehicle brake pad and a production process thereof | |
Yanaseko et al. | Output voltage characteristics of piezoelectric fiber/aluminum composites fabricated by interphase forming/bonding method | |
Kim et al. | Performance of unimorph cantilever generator using Cr/Nb doped Pb (Zr0. 54Ti0. 46) O3 thick film for energy harvesting device applications | |
DK3036514T3 (da) | Trykføler til detektion af kraft | |
CN203216645U (zh) | 多层压电陶瓷压力传感器 | |
Vopsaroiu et al. | Experimental determination of the magnetoelectric coupling coefficient via piezoelectric measurements | |
CN103952757A (zh) | 三硼酸铋晶体高温压电切型及其在高温压电领域的应用 | |
Zhang et al. | Determination of temperature dependence of full matrix material constants of PZT-8 piezoceramics using only one sample | |
Bukhari et al. | Shear piezoelectric coefficients of PZT, LiNbO3 and PMN-PT at cryogenic temperatures | |
TWI620920B (zh) | 多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統 | |
JP2006215000A (ja) | 熱感知素子の製造方法 | |
US20210297012A1 (en) | Ultrasonic Vibration Device Having Piezo Sensor | |
Kim et al. | Evolution of linear moduli and remanent state variables during polarization reversal in a lead zirconate titanate wafer at various temperatures | |
Yanaseko et al. | Detection of impact location by using anisotropy of output voltage of metal-core piezoelectric fiber/aluminum composites | |
Lin et al. | Re-poling process for piezoelectric-based multilayer ceramic capacitors force sensor | |
Xiao et al. | Resonant magnetoelectric effect with strongly nonlinear magneto-elastic coupling in magnetoelectric laminate composites | |
Martin et al. | Temperature dependence of mechanical degradation in lead-free alkali niobate ceramics under unipolar loading | |
Uchino et al. | Anomalous temperature dependence of electrostrictive coefficients in K (Ta0. 55Nb0. 45) O3 | |
JP5667787B2 (ja) | 強誘電体の脱分極方法、および強誘電体デバイス | |
Matsuo et al. | Indirect measurements of electrocaloric effect in ferroelectric thin films by positive-up-negative-down method | |
Aubert et al. | Wireless and batteryless SAW sensors, a promising solution for harsh environments | |
Chen et al. | A wireless thin contact stress sensor based on surface acoustic wave resonator in ZnO/Si structure | |
CHU et al. | Tuning the resonant frequencies of flexure mode flexoelectric piezoelectric composites |