DEP0013392DA - Einrichtung mit auf Trägerunterlagen aufgebrachten dünnen, sich ihnen gegenüber neutral verhaltenden Metallschichten, insbesondere elektrischer Kondensator mit auf dem Dielektrikum aufgedampften Belegungen - Google Patents

Einrichtung mit auf Trägerunterlagen aufgebrachten dünnen, sich ihnen gegenüber neutral verhaltenden Metallschichten, insbesondere elektrischer Kondensator mit auf dem Dielektrikum aufgedampften Belegungen

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DEP0013392DA
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DE
Germany
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dielectric
coatings
vapor
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English (en)
Inventor
Hans-Nikolaus Dr. Schulz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens and Halske AG
Original Assignee
Siemens and Halske AG
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Description

Kirad oUtung7iri.it aui1 Träse runt erlagen aufgebrachten d n# sich'geöcnuber öS--1' verhalt end on Me A It* chi chi eia, insbesondere elektrischer Kondensator mit
auf dem Dielektrikum aufgedampften Belegungen^ raJ
Die Herstellung danner Schichten auf Trarjerunterlaben ist; im Lauiü der Zeit zu einer Spezialtechnik grö'.Cten ^ •&W3 angewachsen. Man ist insbesondere unter"Bcnutsun^ dor aoGenannteri theriaiöcJfen Auldampfting, bei welcher Li ο Über?,Ligsstoffe durch Srwärmang verdampft und'auf dern-Cvjger kondensiert v/qrJen, in der lage, nahezu jeder Fcmlurut]g, dio an die Überaugsßchiohten ,^enteilt wird, su jubsprechen.. Siae Schwierigkeit ist lediglich, ^aJLdie dünnen Schichten m ihrun zovniiiHchben Porten 'nicht jacitlicU beständig sind, iusbeconlere wenn öie aus dünn α π me üs,11-aufla^en unedler Mot pille bestehen. Man kann dieser Schwie rigkeit dadui'Gh pciiognen, daß man nichtkorrognonöanfäl-Hige Metallu für di5 Heratellung der Schichten wählt. Dieii bedeutet jodoeb eine Verteuerung sowohl hinsichtlich des auj?suv;endenden Rohmaterials als auch eine Verteuerung bei der Herstellung, denn worin Pian eich der theriiisehun Aui'danpfurLg bedient, sind wegun d^r höheren Siedepunkte edler Metalle wesentlich. vwgrb'i3or;i5e. Heizleistungen und entsprechend auch hochtemperaturbeständige Einrichtungen für die Verdampfungsapparatur erforderlich, Aus diesen Gründen benutat man für die Herstellung dünner elektrisch leitender Schichten auf dem Aufdamplungswegc normalerweise Material alt niedrigem Siedepunkt, wie beispielsweise Zink., Cadmium und d ei el eichen. In großem Umfange werden diese Schichten bei der Herstellung elektrischer Kondensat or er1 benutet, die als Belegungen auf dem dielektrischen I1TVi",or aufgudampft werden. Lf wurde nun beobachtet , daß unter Om !finden Bchon nach sehr lciiraer Zeit dio« se Metallßchichfco/ij "lie anfange, allen Forderangm ejitapiv chen, Korrosicnseröcheinungen s·."Igten, ¥w4urc3'i^icj Mit- e kungsweise des ICondonsators in l1rage gustollt wuräi , Systematische ITntersuchungon ergaben, daß' die
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Claims (1)

  1. erlaben 'aufge1sraont.en\diin.-:
    Vbiiidunge
    :ct-äß-''4'iL'e·.· umgebenden;^o:ilW-der Met.al;ls;cMc3ät■■'als^iLOAOr··.:;:
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