DE973258C
(de )
1959-12-31
Magnetische Polschuhlinse kleiner Brennweite fuer elektronenoptische Vergroesserungen in Elektronenmikroskopen
DE69305463T2
(de )
1997-03-20
Feldemissions-Elektronenkanone mit magnetischer Immersionslinse zur Reduzierung der Aberration einer elektrostatischen Linse
DE2752598C3
(de )
1981-10-15
Verfahren zum Betrieb einer elektromagnetischen fokussierenden elektronen-optischen Linsenanordnung und Linsenanordnung hierfür
WO2014094972A1
(de )
2014-06-26
Elektromagnetischer aktuator für ein chirurgisches instrument
DE948799C
(de )
1956-09-06
Magnetische Elektronenlinse mit einem in Achsrichtung verschiebbaren Polschuh
DE112017007776B4
(de )
2023-05-25
Ladungsträgerstrahlvorrichtung
DE112015006787B4
(de )
2021-11-25
Ionenätzsystem
DE19915572C2
(de )
2003-07-03
Immersionslinse und Elektronenstrahl-Projektionssystem zu deren Anwendung
EP2195821B1
(de )
2013-07-10
Vorrichtung zur ablenkung oder einlenkung eines teilchenstrahls
EP0594870A1
(de )
1994-05-04
Steuermotor
DE102004019834B4
(de )
2007-03-22
Korrekturlinsen-System für ein Partikelstrahl-Projektionsgerät
DE857991C
(de )
1956-01-12
Mit permanentmagnetischer Erregung arbeitende Elektronenlinse
DE2016753C3
(de )
1981-05-07
Vorrichtung zur Justierung des Objektfeldes in Elektronenmikroskopen
DE3224871C2
(de )
1984-10-11
Magnetische Elektronenlinse
DE2805371C2
(de )
1984-02-16
Elektronenstrahl-Lithographiegerät und Verfahren zum Betrieb
DE2627176C3
(enExample )
1979-05-17
DE102010041813A1
(de )
2012-04-05
Teilchenstrahlgerät und Verfahren zur Untersuchung und/oder Bearbeitung eines Objekts
DE3428802C2
(enExample )
1992-11-19
DE102008009410B4
(de )
2010-04-08
Elektronenstrahlvorrichtung und Verfahren zum Justieren eines Elektronenstrahls
DE1920941B2
(de )
1979-05-03
Vorrichtung zur Korrektur des Strahlenganges eines durch ein magnetisches Streufeld einer oder mehrerer magnetischer Linsen abgelenkten Elektronenstrahles
WO1992001099A1
(de )
1992-01-23
Fadenspeicher- und -liefervorrichtung
DE892036C
(de )
1953-10-05
Mit permanentmagnetischer Erregung arbeitende regelbare Optik fur Elektronenmikroskope
DE1057244B
(de )
1959-05-14
Fokussierungseinrichtung zur gebuendelten Fuehrung eines Elektronenstrahls ueber eine groessere Wegstrecke durch ein periodisch in der Richtung alternierendes Magnetfeld, insbesondere fuer Wanderfeldroehren
DE885451C
(de )
1953-08-06
Regelanordnung fuer permanentmagnetisches elektronenoptisches Doppellinsensystem
DE971549C
(de )
1959-02-12
Elektronenlinsensystem mit mehreren magnetischen Linsen mit Ausgleich der chromatischen Abweichung