DE963091C - Verfahren zum Pruefen der Guete eines elektronen-optischen Bildes und Vorrichtung dazu - Google Patents
Verfahren zum Pruefen der Guete eines elektronen-optischen Bildes und Vorrichtung dazuInfo
- Publication number
- DE963091C DE963091C DEN10905A DEN0010905A DE963091C DE 963091 C DE963091 C DE 963091C DE N10905 A DEN10905 A DE N10905A DE N0010905 A DEN0010905 A DE N0010905A DE 963091 C DE963091 C DE 963091C
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- measuring surface
- electron
- oscillation
- screen
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 31
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 claims description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 16
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 2
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 claims 2
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/21—Means for adjusting the focus
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL339296X | 1954-07-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE963091C true DE963091C (de) | 1957-05-02 |
Family
ID=19784646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DEN10905A Expired DE963091C (de) | 1954-07-15 | 1955-07-10 | Verfahren zum Pruefen der Guete eines elektronen-optischen Bildes und Vorrichtung dazu |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US2873378A (enrdf_load_stackoverflow) |
| BE (1) | BE539818A (enrdf_load_stackoverflow) |
| CH (1) | CH339296A (enrdf_load_stackoverflow) |
| DE (1) | DE963091C (enrdf_load_stackoverflow) |
| FR (1) | FR1134114A (enrdf_load_stackoverflow) |
| GB (1) | GB781815A (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2986634A (en) * | 1954-07-15 | 1961-05-30 | Philips Corp | Method of examining the quality of electron-optical images and devices for carrying out this method |
| US3136839A (en) * | 1958-09-16 | 1964-06-09 | Safir Aran | Apparatus for objectively testing an optical system |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2267961A (en) * | 1938-10-22 | 1941-12-30 | American Optical Corp | Means of testing lenses |
| US2385503A (en) * | 1941-03-20 | 1945-09-25 | Charles J Glasser | Optical testing device and method of testing |
| US2705901A (en) * | 1946-01-15 | 1955-04-12 | Chalmers W Sherwin | Oscillographic integrator |
| NL74565C (enrdf_load_stackoverflow) * | 1947-01-25 | |||
| US2524807A (en) * | 1947-03-28 | 1950-10-10 | Heinz E Kallmann | Optical automatic range determining device |
-
0
- BE BE539818D patent/BE539818A/xx unknown
-
1955
- 1955-06-20 US US516727A patent/US2873378A/en not_active Expired - Lifetime
- 1955-07-10 DE DEN10905A patent/DE963091C/de not_active Expired
- 1955-07-12 GB GB20132/55A patent/GB781815A/en not_active Expired
- 1955-07-13 FR FR1134114D patent/FR1134114A/fr not_active Expired
- 1955-07-13 CH CH339296D patent/CH339296A/de unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB781815A (en) | 1957-08-28 |
| CH339296A (de) | 1959-06-30 |
| BE539818A (enrdf_load_stackoverflow) | |
| US2873378A (en) | 1959-02-10 |
| FR1134114A (fr) | 1957-04-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2156617C3 (de) | Einrichtung zur Bestimmung der Lage der Ebene maximaler Amplitude einer Ortsfrequenz, beispielsweise bei einem Entfernungsmesser | |
| DE102014224246B4 (de) | Systeme und verfahren zur lochmessung unter verwendung eines nicht drehenden chromatischen punktsensor- (cps) stifts | |
| DE2354141C2 (de) | Optisches Meßverfahren zum Untersuchen von Oberflächen und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| DE906737C (de) | Anordnung zum vergroesserten Abbilden von Gegenstaenden mittels Elektronenstrahlen | |
| DE2161405A1 (de) | Optische Vorrichtung zur Bestimmung des Ortes eines Punktes auf einer Flache | |
| DE2448651A1 (de) | Anordnung zum beruehrungslosen messen der abmessungen eines bewegten messobjekts | |
| DE3904032C2 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
| EP0716287B1 (de) | Vorrichtungen zum Messen einer Lage von Bahnen oder Bogen | |
| DE69803044T2 (de) | Optisches gerät zur kontaktlosen messung des abstandes zu einer lichtquelle | |
| DE963091C (de) | Verfahren zum Pruefen der Guete eines elektronen-optischen Bildes und Vorrichtung dazu | |
| DE10125454B4 (de) | Gerät zur Röntgenanalyse mit einem Mehrschichtspiegel und einem Ausgangskollimator | |
| DE2555781C3 (de) | Elektronenstrahlapparat | |
| EP0135673A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Festlegung einer Koordinate auf einer Oberfläche eines Festkörpers | |
| DE2702444B2 (de) | Korpuskularstrahloptisches Gerät zur Abbildung einer Maske auf ein Präparat | |
| DE1813743B2 (de) | Anordnung zur Abtastung eines Feldes in zwei Richtungen | |
| DE10153581A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der Wirkkontur von Rotationswerkzeugen | |
| DE60202435T2 (de) | Optische Methode und Vorrichtung zur Messung geometrischer Grössen | |
| DEN0010905MA (enrdf_load_stackoverflow) | ||
| EP0218865A1 (de) | Prüfanordnung zur berührungslosen Ermittlung von Defekten in nicht strukturierten Flächen | |
| DE3145987A1 (de) | "verfahren und vorrichtung zur messung der stroemungsvektoren in gasstroemungen" | |
| DE1218169B (de) | Vorrichtung zum Pruefen der Wandstaerke von Glasrohren | |
| DE3743194C2 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
| DE2416708A1 (de) | Verfahren, vorrichtung und geraet zur bestimmung der verschiebung eines punktes der oberflaeche eines festen koerpers | |
| DE889040C (de) | Magnetisches Objektivsystem fuer Elektronen-Rastermikroskope | |
| DE112018000062T5 (de) | Energiestrahl-eingang zu atomsonden-proben aus verschiedenen winkeln |