DE963091C - Verfahren zum Pruefen der Guete eines elektronen-optischen Bildes und Vorrichtung dazu - Google Patents

Description

AUSGEGEBEN AM 2. MAI 1957

Λ^τ 10905 VIII c/2ig

In der deutschen Patentschrift 926 267 ist ein Verfahren zur Scharfeinstellung des Bildes in einem Elektronenmikroskop beschrieben worden. Bei diesem Verfahren wird die Richtung des Strahlenbündels periodisch rasch geändert, so daß die bilderzeugenden Strahlenkegel sich anscheinend erweitern. Die Güte eines scharf eingestellten Bildes ändert sich hierdurch nicht, aber die Unscharfe eines nicht richtig eingestellten Bildes wird zeitweilig vergrößert und somit besser wahrnehmbar.

Bei der vorliegenden Anordnung wird dieses Verfahren erweitert, so daß die Stelle der Bildebene bei gegebener Linsenstärke noch genauer bestimmt werden kann bzw. durch Änderung der Brennweite der Linse das Bild in die dafür bestimmte Ebene versetzt werden kann. Es wird hierbei die Funktion des Auges bei der Scharfeinstellung von einer elektrischen Meßvorrichtung übernommen. Diese Vorrichtung gewährt nicht nur eine größere Genauigkeit, sondern ermöglicht es auch, bei einer Intensität der Strahlen

einzustellen, die für visuelle Beobachtung zu schwach ist.

Bei dem Verfahren zum Prüfen der Güte eines elektronenoptischen Bildes, bei dem der von einem Gegenstandspunkt ausgehende Strahlenkegel durch rasche periodische Änderung seiner Richtung anscheinend erweitert wird, wird erfindungsgemäß die wechselnde Komponente des Elektronenstromes gemessen, der auf einen kleinen Teil der Auffangfläche ίο auftrifft, die den Rand einer Bildeinzelheit enthält, der einen Winkel mit der Richtung bildet, in der das Strahlenbündel verschoben wird. Der erwähnte kleine Teil der Auffangfläche wird nachstehend als »Meßfläche« bezeichnet. Wenn die Abbildung nicht scharf ist, verschiebt sich der Rand der Bildeinzelheit über der Meßfläche. Dies hat eine periodische Änderung des gemessenen Elektronenstromes zur Folge. Durch Änderung des Abstandes der Auffangfläche von der Linse oder durch Änderung der Brennweite der Linse wird diese Stromänderung gesteigert oder verringert. Die Einstellung kann derartig sein, daß die Änderung verschwindend klein (bei einer völlig fehlerfreien Linse Null) ist. Dann ist die optimale Bildschärfe erzielt. Es ist einleuchtend, daß bei gegebener Linseneinstellung die Stromänderung am stärksten und somit die Messung am genauesten ist, wenn der Rand der Bildeinzelheit eine Gerade senkrecht zur Richtung der Bündelverschiebung ist und die Meßfläche eine langgestreckte Form aufweist und sich gleichfalls senkrecht zu dieser Verschiebung erstreckt.

Der durch die Meßfläche hindurchgehende Elektronenstrom ist sehr schwach, so daß bei unmittelbarer Verstärkung der Stromänderungen Rauscherscheinungen sich störend bemerkbar machen. Vorzugsweise findet deshalb für die Messung ein Elektronenvervielfacher mit Photokathode Verwendung. Wie weiter unten erläutert, umfaßt die Erfindung auch ein Verfahren, um elektronenoptische Linsen auf Astigmatismus zu prüfen.

Die Erfindung wird nachstehend an Hand einer Zeichnung näher erläutert.

Fig. ι erläutert die Wirkung der raschen periodischen Verschiebung der Strahlenkegel;

Fig. 2 zeigt schematisch eine Einzelheit des Eingangsteiles eines Elektronenvervielfachers, wie er nach der Erfindung Verwendung finden kann;

Fig. 3 erläutert ein weiteres Verfahren zum Übertragen des zu messenden Signals auf den Elektronenvervielfacher ;

Fig. 4, 5 und 6 beziehen sich auf- die Anwendung der Erfindung zum Bestimmen des Astigmatismus einer elektronenoptischen Linse.

Fig. ι stellt den Gang eines Elektronenbündels bei einem elektronenoptischen System von der Quelle bis zum Bild dar. Weil bei diesen Systemen die durch einen Punkt' des Gegenstandes gehenden Strahlen ] üblicherweise wenig divergieren, ist in Fig. 1 das j Bündel deutlichkeitshalber als eine Linie 1 dargestellt, die von einer punktförmigen Elektronenquelle 2 ausgeht. Derjenige Strahl ist gewählt, der, nachdem er im Kondensator 3 nach der optischen Achse 4 hin gebrochen ist, auf den äußersten Punkt 5 des Gegenstandes 6 auftrifft. Darauf wird der Strahl von dem Objektiv 7 auf den entsprechenden Punkt 8 des Bildes 9 gerichtet. Infolge, der Schlankheit des Bündels ist im Punkt 10, in dem die Linie die zur Projektion des Bildes bestimmte Fläche, beispielsweise einen Leuchtschirm 11, schneidet, der Querschnitt des Bündels sehr gering. Infolgedessen kann das Auge, wenn die Fläche 11 nicht weit vom Bild entfernt ist, nicht feststellen, daß in dieser Fläche kein scharfes Bild erzeugt wird.

Wie in der deutschen Patentschrift 926 267 bereits beschrieben worden ist, kann dafür gesorgt werden, daß das Strahlenbündel unter einem anderen Winkel auf die Auffangfläche 11 auftrifft. Zu diesem Zweck wird dafür gesorgt, daß das Bündel beim Durchschneiden einer Ebene 12 abbiegt und beim Durchschneiden einer Ebene 13 um einen größeren Winkel zurückbiegt, so daß es wieder auf den ursprünglichen Gegenstandspunkt 5 auf trifft. Wenn dem Bündel auf diese Weise ein periodisch wechselnder Ausschlag erteilt wird, so daß es sich zwischen den Linien 14 und 15 bewegt, bewegt sich der Schnittpunkt mit dem Schirm 11 über einen Abstand gleich der Länge der Linie 16 auf und ab; der Bündeldurchmesser wird somit scheinbar vergrößert und besser wahrnehmbar.

Es sei angenommen, daß die periodische Bewegung des Bündels 1 zwischen 14 und 15 in der Zeichenebene erfolgt. Im Auffangschirm 11 kann eine schlitzförmige Öffnung hergestellt werden, deren Längsrichtung mit der Richtung, in der das Bündel schwingt, einen Winkel bildet. In Fig. 1 ist dieser Schlitz, in der Richtung der optischen Achse gesehen, als ein Rechteck 17 dargestellt, dessen lange Seiten sich senkrecht zur Schwingungsrichtung erstrecken.. Gemäß der Erfindung wird auf diesen Schlitz der Rand einer Bildeinzelheit projiziert, der gleichfalls mit der Schwingungsrichtung einen Winkel, vorzugsweise einen rechten Winkel, einschließt. Dieser Rand ist mit 18 bezeichnet. Infolge der periodischen raschen Verschiebung des Elektronenbündels schwingt der Rand 18 um eine Strecke von der Länge der Linie 16 zwischen den gestrichelten Linien 19 und 20. Im schraffierten Teil des Schlitzes ist der Elektronenstrom Null, jedenfalls erheblich schwächer als im nicht schraffierten Teil. Der gesamte durch den Schlitz hindurchgelassene Strom weist somit in Abhängigkeit von der Lage des Randes 18 einen Mindestwert auf, wenn der Rand an der Linie 20, und einen Höchstwert, wenn der Rand an der Linie 19 liegt. Der Strom durch die Meßfläche enthält somit eine wechselnde Komponente, die sich verstärken und messen läßt und die geringer wird, je mehr sich die Auffangfläche der wirklichen Bildebene nähert. Die Messung ist am genauesten, wenn die Meßfläche und der Bildrand senkrecht zur Schwingungsrichtung sind.

Zum Messen dieser Wechselstrornkomponente kann nach der Erfindung hinter einer Öffnung 17 (Fig. 2) im Auffangschirm 11 (beispielsweise dem Leuchtschirm eines Elektronenmikroskops), welche Öffnung die Meßfläche bildet, ein Leuchtschirm 21 angeordnet werden, der groß genug ist, um den ganzen durch den Schlitz 17 hindurchfallenden Elektronenstrom auffangen zu können, und der mit der Photokathode 22

des Elektronen vervielfachers 23 zusammenarbeitet.

Der Schirm 21 ist auf der Seite, von der die Elektronen kommen, mit einer Metallschicht 24, z. B. einer Aluminiumschicht, überzogen, die die Aufgabe hat, das Licht des Schirmes 21 zu reflektieren und Licht, das von der anderen Seite, beispielsweise aus dem leuchtenden Auffangschirm 11 kommt, zurückzuhalten.

Ein anderes Verfahren, um bei einer Vorrichtung

nach der Erfindung den Elektronenvervielfacher zu erregen, besteht darin, daß ein kleiner Teil des leuchtenden Auffangschirmes 11 in der Größe der Meßfläche mittels eines optischen Systems, beispielsweise einer Linse 25 (Fig. 3), auf einen Schlitz 26 projiziert wird, hinter dem die Photokathode 22 des Elektronenvervielfachers 23 angeordnet ist. Hierbei braucht die Abbildung durch das optische System 25 nicht scharf zu sein. Dieses Verfahren ist besonders vorteilhaft bei Elektronenmikroskopen mit einem Durchsichtsschirm, weil hierbei das Meßsystem als Ganzes außer- halb des Mikroskops am Auffangschirm angeordnet werden kann und das vorliegende Mikroskop nicht geändert zu werden braucht.

Die Frequenz, mit der das Elektronenbündel schwingt, und somit auch die Frequenz des zu messenden Wechselstromes können beliebig bemessen werden. Infolgedessen kann die Verstärkung auch durch einen selektiven und somit sehr empfindlichen Verstärker erfolgen.
Dem gemessenen Wechselstrom können Angaben hinsichtlich des Astigmatismus des verwendeten Objektivs entnommen werden. Infolgedessen eignet sich das Verfahren nach der Erfindung zum Prüfen von Linsen und Linsensystemen. Dies kann bei der Herstellung von Elektronenmikroskopen Anwendung finden, um die Linsen zu kontrollieren, bevor sie im Mikroskop angebracht werden. Durch die Entfernung oder den Ausgleich einer etwaigen Asymmetrie, die durch die Messung nach der Erfindung entdeckten Astigmatismus bewirkt, kann in manchen Fällen eine anfangs untaugliche Linse korrigiert werden.

Astigmatismus einer Linse heißt, daß die Linse

nicht auf beiden Seiten einen einzigen Brennpunkt in der optischen Achse, sondern zwei Brennpunkte besitzt, die je einer von zwei sich in der optischen Achse senkrecht treffenden Ebenen zugehören. Ein Punkt der optischen Achse bildet sich dann in zwei Ebenen senkrecht zur Achse als eine Linie ab, und die so erzeugten zweiBildlinien kreuzen sich senkrecht. In anderen Ebenen senkrecht zur Achse bildet derselbe Punkt der Achse sich als eine ellipsenförmige Fläche ab. Bei einer astigmatischen Linse ergibt sich von keinem einzigen Punkt des Gegenstandes ein scharfes Bild.

Wenn man von einem Punkt der optischen Achse aus einen Strahl einen Kegelmantel beschreiben läßt, d. h. wenn dem Strahl zwei gleichzeitige Schwingungen in zwei zueinander senkrechten Richtungen mit der gleichen Amplitude, aber mit 90⁰ Phasenunterschied erteilt werden, beschreibt, wenn die Linse keinen Astigmatismus aufweist, der Strahl an der Linse vorbei einen Kreis auf einer zur Achse senkrechten Ebene, der in der Bildebene in einen Punkt übergeht. Bei einer astigmatischen Linse jedoch beschreibt der aus der Linse austretende Strahl keinen Kreis, sondern eine Ellipse. Diese geht in zwei Auffangflächen in eine Gerade über.

Durch Drehung der Meßfläche, bis der gefundene Ausschlag einen äußersten Wert aufweist, kann die Richtung des Astigmatismus ermittelt werden. Durch Verschiebung der Meßfläche in Richtung der Achse kann darauf die Stelle gesucht werden, an der die Schwingung in einer der Richtungen verschwindet. Auf diese Weise kann somit die Lage der Bildlinien und, bei parallel zur Achse einfallendem Strahl, die Lage der Brennlinien gefunden werden.

Beim Durchführen dieser Messungen können bestimmte Wege verfolgt werden, um die Messung zu beschleunigen. Die schlitzförmige Meßfläche kann z. B. durch zwei Meßflächen ersetzt werden, die einen bestimmten Winkel miteinander einschließen. Wenn dieser Winkel 90° beträgt, kann das verstärkte Signal zwei Detektoren zugeführt werden, deren einer nur für die Phase der der einen Meßfläche entnommenen Wechselspannung empfindlich ist, während der andere nur für die Phase der der anderen Meßfläche entnommenen Wechselspannung empfindlich ist. Auf diese Weise werden gleichzeitig zwei Schwingungen in zueinander senkrechten Richtungen gemessen.

Wenn sich während der Messung die Linsenstärke oder die Elektronengeschwindigkeit ändert, hat dies einen ungünstigen Einfluß auf die Genauigkeit des Ergebnisses. Ein Verfahren, bei dem dieser Einfluß beseitigt werden kann, wird an Hand der Fig. 4, 5 und 6 erläutert.

In Fig. 4 bezeichnet 27 eine Richtlinie durch die optische Achse in einer zu dieser Achse senkrechten Ebene. Über dieser Linie bewegt sich periodisch ein aus einem Punkt der Achse kommender Strahl, welcher Punkt unendlich weit entfernt sein kann. Die Schwingung dieses Strahles kann in zwei zueinander senkrechte Komponenten 28 und 29 in den Richtungen des Astigmatismus zerlegt werden. Zur Schwingung 28 gehört der Bildpunkt (gegebenenfalls Brennpunkt) 30, zur Schwingung 29 der Bildpunkt (gegebenenfalls Brennpunkt) 31. Bequemlichkeitshalber wird angenommen, daß die Schwingung 28 senkrecht und die Schwingung 29 waagerecht ist. Die flachen Figuren, die von dem senkrecht bzw. waagerecht schwingenden Strahl überstrichen werden, sind in der Figur schraffiert. In der Auffangfläche ergibt die Schwingung 28 eine senkrechte Schwingung 32 des Schnittpunktes des Strahles mit dieser Fläche und die Schwingung 29 dementsprechend eine waagerechte Schwingung 33. Die Schwingungen 32 und 33 setzen sich zu einer Schwingung 34 zusammen, die infolge des Astigmatismus einen Winkel mit der Richtung 35 der ursprünglichen Schwingung 27 bildet. Es kann bewiesen werden, daß die Komponente 36 der Schwingung 34 senkrecht zur Richtung 35 in erheblich geringerem Maße als die Komponente der Schwingung 34 in der Richtung 35 von der Linsenstärke abhängig ist. Dies kommt daher, weil der Abstand zwischen den Punkten 30 und 31 in Prozenten der mittleren Brennweite konstant ist. Ändert sich diese letztere infolge von Änderung der das Brechungsvermögen der Linse bestimmenden elektrischen Größen, so verschiebt

sich das Ende des Vektors 34 über einer Linie 37, 38, die nahezu parallel zur Richtung 35 ist.

Fig. 5 zeigt einen Kreis 39, den der Schnittpunkt des Strahles auf der Auffangfläche beschreiben würde, wenn der in die Linse einfallende Strahl eine kreisförmige Bewegung um die Achse ausführen würde und der Punkt 30 nach dem Punkt 31 hin verschoben sein würde (kein Astigmatismus). Die Schwingung 27 würde dann eine Schwingung 40 in der ursprünglichen Richtung herbeiführen. Infolge des Astigmatismus ändert sich jedoch der Kreis 39 in eine Ellipse 41, und die Schwingung 27 bewirkt auf der Auffangfläche eine durch 42 dargestellte Schwingung. Die Komponente 43 dieser Schwingung senkrecht zu 40 ist in geringem Maße, die Komponente 44 im hohen Maße von der Einstellung der Linse abhängig. Bei senkrechter Schwingung wird die Komponente 43 Null, bei waagerechter Schwingung gleichfalls. Eine ursprüngliche Schwingung senkrecht zu 27 würde für

ao die hierzu senkrechte Komponente den gleichen Wert ergeben. Wenn jedoch eine zweite Messung mit einer Schwingung in der Richtung 45 durchgeführt wird, welche Schwingung mit 40 (27) einen Winkel von 45° einschließt und auf der Auffangfläche die Schwingung

as 46 herbeiführt, so ergibt sich die Komponente 47 der Schwingung 46 senkrecht zur Richtung 45, die sich gleichfalls mit dem Brechungsvermögen der Linse wenig ändert. Mit Hilfe von den zwei Komponenten 43 und 47, die durch zwei Messungen mit zwei Schwingungen unter einem Winkel von 45° erhalten werden, und mit der Meßfläche jeweils in der Richtung dieser Schwingungen können die Größe und die Richtung des Astigmatismus wie folgt ermittelt werden:

Der Vektor 36 in Fig. 4 beschreibt bei Drehung von 27 um 360⁰ eine Figur mit vier in sich geschlossenen Kurven. Er ist nämlich dem Produkt aus dem Sinus und dem Kosinus des Winkels zwischen 27 und 29 proportional. Eine der Kurven dieser Figur ist in Fig. 6 dargestellt.

Es sei angenommen, daß durch die Messung die Vektoren OA und OB ermittelt sind, die einen Winkel von 45 ° miteinander einschließen. Die zugehörigen Richtungen des Vektors 27 sind mit PF₁ und TFn bezeichnet. Diese schließen somit gleichfalls einen Winkel von 45° ein. Auf Tf₁ ist ein Stück OC abgesetzt, das gleich OB ist. OA und OC sind anliegende Seiten des Rechtecks OADC. Der Winkel zwischen OA und der Waagerechten X sei φ, so ist der Winkel, den W₁ mit der Senkrechten Y" macht, auch φ. Wenn der Winkel DOC ermittelt werden kann, ist die Lage des Achsenkreuzes bekannt;

tg DOC — -^q- = -jjjr · Es ist OA = K sin φ cos ψ und OB = K sin (ψ + 45°) cos (φ + 45°). Hierbei ist K eine Konstante, die von der Länge des Vektors 27 und den axialen Abständen in Fig. 4 abhängig ist.

Daraus folgt

tg DOC=-;

sin φ cos φ

sin (99 + 45°) cos (φ + 45°) sin φ cos φ

(sin φ cos 45° + ^cos Ψ ^sm 45°) (^cos Ψ ^cos 45° — ^siⁿ Ψ ^s™ 45°) 2 sin ψ cos φ

sin² φ

(sin φ + cos φ) (cos φ — sin φ) (cos² φ — sin² φ) cos² φ

Der Winkel DOC = 2 φ, die Y-Achse ist somit die Winkelhalbierende des Winkels COD, und das Achsenkreuz ist bestimmt.

Aus der Figur ist ersichtlich, daß OD = DG = DA +AG = OC +AG = OB +OA tg φ. Somit ist OD = K sin (φ + 45°) cos (φ + 45°) + ctg ψ sin φ cos (P = ¹IzK (cos² φ — sin² φ) +K sin² φ = ¹I₂K (1 — 2 sin² φ) + K sin² φ = ¹I₂K- K sin² φ + Ks^₉ = ¹I₂K.

Dies ist der Höchstwert OiIi, den der Vektor 36 bei Drehung um den Punkt 0 annimmt, nämlich K sin 45° cos 45°. Die Diagonale OD stellt somit den Wert des gesamten Astigmatismus dar.

Ohne daß hohe Anforderungen an die Stabilität des Mikroskops gestellt werden müssen, ist ausreichende Zeit verfügbar, um die Messung durchzuführen. Eine Meßzeit von beispielsweise 1 Minute steht einer großen Empfindlichkeit der Schaltung nicht im Wege. Bei einer geeigneten Ausführungsform hat die Meßfläche eine Länge von 20 mm und zum Prüfen der Bildschärfe eine Breite von 1,5 bis 2 mm. Zum Bestimmen des Astigmatismus mit zwei Schwingungsrichtungen unter einem Winkel von 45° ist ein engerer Schlitz, beispielsweise unter 0,5 min, vorzuziehen. Wenn als Gegenstand ein Präparat Verwendung findet, das eine stärkere Bestrahlung verträgt, kann ein Astigmatismus von 50 Ä (Abstand zwischen den Brennlinien) noch gemessen werden. Folglich ist das Meßverfahren nach der Erfindung um mehr als das Zehnfache empfindlicher als die bestehenden Verfahren. Als Ablenksystem können alle üblichen Systeme, elektromagnetische und elektrostatische, Anwendung finden, beispielsweise das in der deutschen Patentschrift 926 267 erwähnte System.

Claims (11)

PATENTANSPRÜCHE:

1. Verfahren zum Prüfen der Güte eines elektronenoptischen Bildes, bei dem der von einem Gegen-Standspunkt ausgehende Strahlenkegel durch rasche periodische Änderung seiner Richtung anscheinend erweitert wird, dadurch gekennzeichnet, daß die wechselnde Komponente des Elektronenstromes gemessen wird, der auf einen kleinen Teil der Auffangfläche (Meßfläche) auftrifft, die den Rand einer Bildeinzelheit enthält, der einen Winkel mit der Richtung bildet, in der das Strahlenbündel verschoben wird.

2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfläche langgestreckt ist

und daß der Rand der Bildeinzelheit in der Längsrichtung der Meßfläche erstreckt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 2 zum Prüfen der Bildschärfe, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlenkegel in einer Ebene schwingt, die senkrecht zur Längsrichtung der Meßfläche ist.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem Strahlenkegel eine Schwingung in zwei zueinander senkrechten Richtungen mit gleicher Amplitude und 90° Phasenunterschied erteilt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 2 zum Bestimmen des Astigmatismus eines elektronenoptischen Systems, dadurch gekennzeichnet, daß dem in das System einfallenden Strahlenkegel eine Schwingung in einer Ebene erteilt wird, welche die Längsrichtung der Meßfläche enthält, und zwei Messungen durchgeführt werden, wobei für die zweite Messung eine Schwingungsebene und eine Längsrichtung der

■20 Meßfläche Verwendung finden, die einen Winkel von 45° mit der Schwingungsebene bzw. der Längsrichtung der Meßfläche für die erste Messung bilden.

6. Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach einem oder mehreren der vorstehenden An-Sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen Elektronenvervielfacher mit einer Photokathode enthält, der die Lumineszenz abfängt, die von den auf die Meßfläche auftreffenden Elektronen erzeugt wird.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfläche aus einer Öffnung im leuchtenden Bildschirm eines Elektronenmikroskops besteht und hinter dieser Öffnung ein Leuchtschirm angeordnet ist, dessen Lumineszenz, die von den durch die Meßfläche hindurchtretenden und auf diesen Schirm auftreffenden Elektronen angeregt wird, von der Photokathode des Elektronenvervielfachers abgefangen wird.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Leuchtschirm auf der Seite, aus der die Elektronen kommen, mit einer lichtabsorbierenden und reflektierenden Schicht überzogen ist, beispielsweise einer Aluminiumschicht, welche die Elektronen in ausreichendem Maße hindurchläßt.

9. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Photokathode eine Blende angeordnet ist, auf die mittels eines optischen Systems ein Teil des leuchtenden Auffangschirmes als Meßfläche projiziert wird.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei Meßflächen, deren Längsrichtungen einen bestimmten Winkel miteinander einschließen, die Photokathode anregen und die Wechselstromkomponente des Stromes, der dem Ausgang des Elektronenvervielfachers entnommen wird, gegebenenfalls nach weiterer Verstärkung zwei Demodulatoren zugeführt wird, deren einer nur für die Phase der 'der einen Meßfläche entnommenen Wechselspannung empfindlich ist, während der andere nur für die Phase der der anderen Meßfläche entnommenen Wechselspannung empfindlich ist.

11. Elektronenoptische Vorrichtung, beispielsweise Elektronenmikroskop, zum Durchführen des 6g Verfahrens nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß sie mit einem Ablenksystem versehen ist, mittels dessen dem in das elektronenoptische System einfallenden Strahlenkegel beliebig eine Schwingung in je einer von zwei Ebenen erteilt werden kann, die einen Winkel von 45° miteinander einschließen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

! 609 6S9/398 10.56 (609 873 4.57)