DE955080C - Halbleitersystem mit nichtlinearer Strom-Spannungs-Charakteristik - Google Patents

Halbleitersystem mit nichtlinearer Strom-Spannungs-Charakteristik

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DE955080C
DE955080C DES35957A DES0035957A DE955080C DE 955080 C DE955080 C DE 955080C DE S35957 A DES35957 A DE S35957A DE S0035957 A DES0035957 A DE S0035957A DE 955080 C DE955080 C DE 955080C
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semiconductor
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electron
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Dr Hans Pfister
Dipl-Phys Erich Weisshaar
Dr Habil Heinrich Welker
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Description

  • Halbleitersystem mit nichtlinearer Strom-Sp annungs-Charakteristik Zusatz zunt Patent 949 246 Gegenstana der Erfindung ist ein Halbleitersystem mit nichtlinearer Strom-Spannungs-Charakteristik, das aus einem kristallinen Halbleiter, insbesondere einem elektronischen Eigenhalbleiter, besteht und eine magnetische Sperrschicht aufweist, d. h. eine an Elektron-Loch-Paaren verarmte Zone, die durch ein elektrisches Feld und durch ein vorzugsweise senkrecht zum elektrischen Feld stehendes, magnetisches Feld hervorgerufen und durch beide Felder steuerbar ist. Ausgehend von der bei der Anmelderin gefundenen Strahlungsempfindlichkeit der magnetischen Sperrschicht besteht die Erfindung darin, daß eine Strahlungsquelle, insbesondere mit einer elektromagnetischen oder korpuskularen Strahlung vorgesehen ist, die die magnetische Sperrschicht zusätzlich steuert. Dies bedeutet, daß zur Beeinflussung des steuerbaren Widerstandes drei Einflußgrößen zur Verfügung stehen, das äußere elektrische Feld, das magnetische Feld und die Strahlung. Im Rahmen der Erfindung können alle drei oder nur zwei oder kann nur eine Einflußgröße zur Durchführung der Steuerung geändert oder in sonstiger Weise benutzt werden.
  • Bevor die Strahlungsempflndlichkeit der magnetischen Sperrschicht hinsichtlich ihres physikalischen Mechanismus und hinsichtlich ihrer Anwendungen im einzelnen beschrieben wird, sei zunächst noch die Erscheinung der magnetischen Sperrschicht näher erläutert.
  • Es ist schon erwähnt, daß beim neuen steuerbaren Widerstand insbesondere ein elektronischer Eigenhalbleiter verwendet wird. Darunter wird ein Halbleiter verstanden, bei dem die Elektronenkonzentration und die Defektelektronenkonzentra- tion im thermischen Gleichgewicht größenordnungsmäßig einander gleich sind. Die Begriffe Elektronenkonzentration und Defektelektronenkonzentration bedeuten die Anzahl der Elektronen bzw. der Defektelektronen, die sich in der zugrunde gelegten Raumeinheit der betrachteten Halbleiterstelle befinden. Wenn gesagt ist, die Elektronenkonzentration und die Defektelektronenkonzentration seien im thermischen Gleichgewicht größenordnungsmäßig einander gleich, so soll das zahlenmäßig so festgelegt werden, daß die Elektronenkonzentration höchstens zehnmal so groß wie die Defektelektronenkonzentration sein soll, oder umgekehrt.
  • Unter einem elektronischen Eigenhalbleiter wird im Rahmen der Erfindung auch noch ein Halbleiter verstanden, bei dem neben einer stark überwiegenden Elektronenkonzentration (Konzentration negativer Ladungsträger) noch eine merkbare Defektelektronenkonzentration (Konzentration positiver Ladungsträger) vorhanden ist, oder umgekehrt.
  • Elektronische Eigenhalbleiter, bei denen die Elektronenkonzentration und die Defektelektronenkonzentration gleich sind oder sich nur wenig unterscheiden (etwa um eine Zehnerpotenz), werden für die Zwecke der Erfindung bevorzugt.
  • Zur weiteren Erläuterung sei auf die Zeichnung Bezug genommen.
  • Wird gemäß Fig. I ein elektronischer Eigenhalbleiter I (in der X-Richtung) von einem Strom durchflossen und senkrecht dazu (in der Z-Richtung) einem Magnetfeld 2 ausgesetzt, so werden sowohl die Elektronen als auch die Defektelektronen nach derselben Seite des Kristalls abgelenkt, und zwar auf den schräg verlaufenden gestrichelten Bahnen innerhalb des Magnetfeldes. Es findet somit auf der einen Seite des Halbleiterkörpers I eine Verarmung an Elektronen und an Defektelektronen statt, auf der anderen Seite hingegen eine Anreicherung. Dies ist in der Zeichnung dadurch angedeutet, daß die schräg verlaufenden Bahnen im einen Seitenbereich (Anreicherungsseite) stärker ausgezogen sind als im anderen Seitenbereich (Verarmungsseite). An sich findet ein derartiger Effekt auch in einem reinen Elektronenleiter ohne Defektelektronen statt. Die Anhäufung von Elektronen auf einer Seite ist jedoch mit der Entstehung von Oberflächenladungen verbunden, die zu einem elektrischen Gegenfeld (Hallfeld) führen, so daß der Anhäufungseffekt sehr bald zum Stillstand kommt.
  • Anders jedoch bei einem Eigenhalbleiter. Da hier gleichzeitig Elektronen und Defektelektronen oder, in anderer Bezeichnung, »Löcher« auf die gleiche Seite des Halbleiters transportiert werden, ist ein Anreicherungseffekt möglich, ohne daß hierbei eine nennenswerte Raumladung entsteht. Die Anhäufung von Elektron-Loch-Paaren auf einer Seite des Halbleiters wird nicht durch elektrische Gegenfelder beschränkt, sondern kommt erst zum Stillstand, wenn die Gradienten in der Elektronendichte so groß geworden sind, daß die magnetischen Kräfte durch die Gegenkräfte der Elektronen- (bzw. Löcher-) Diffusion kompensiert werden.
  • Sowohl auf der Anreicherungsseite als auch auf der Verarmungsseite befinden sich die Elektronen und Defektelektronen nicht im thermischen Gleichgewicht. Bezeichnen wir die Gleichgewichts-Elektronenkonzentration des idealen Eigenhalbleiters, welche gleich der Defektelektronenkonzentration ist, mit ni, die tatsächliche Elektronenkonzentration mit n, die Defektelektronenkonzentration mit p, so gilt auf der Anreicherungsseite np > ni2J auf der Verarmungsseite np < t2, während im Gleichgewichtnp = nlz sein müßte. Ferner muß wegen der elektrischen Neutralität n ~ p sein. Daher versucht die Verarmungsseite das Defizit an Elektron-Loch-Paaren durch thermische Erzeugung von Elektron-Loch-Paaren zu ergänzen, während die Anreicherungsseite ihren Überschuß an Elektron-Loch-Paaren durch Rekombination zu vernichten sucht.
  • Eine quantitative Untersuchung bei gewissen Metallen, welche gleichzeitig sowohl Elektronenals auch Defektelektronenleitung zeigen (z. B. die Ubergangsmetalle, wie Platin, Palladium usw.), zeigt, daß bei den in Metallen anwendbaren elektrischen Feldstärken, die auf Elektronen und Defektelektronen ausgeübten magnetischen Kräfte so gering sind, daß die durch sie bewirkten Veränderungen der Elektronen- und Defektelektronendichte durch thermische Erzeugung oder Rekombination sofort zunichte gemacht werden. Aus diesen Gründen ist in den genannten Metallen sowohl die Elektronen- als auch die Löcherkonzentration räumlich konstant und überall gleich ihrem Gleichgewichtswert und praktisch unbeeinflußbar durch äußere-elektrische und magnetische Felder.
  • Anders bei Eigenhalbleitern, wo es infolge der halbleitenden Eigenschaft (d. h. schlecht leitend gegenüber den Metallen) möglich ist, elektrische Felder anzulegen, die um viele Größenordnungen stärker sind als die bei Metallen experimentell realisierbaren Feldstärken. Eine einfache Zahlenrechnung mit eigenhalbleitendem, gut kristallisiertem Germanium zeigt uns, daß ein Elektron-Loch-Paar senkrecht zu einem äußeren elektrischen Feld von 10 Volt/cm, welches in derartigem Germanium leicht realisierbar ist, und senkrecht zu einem dazu senkrecht stehenden Magnetfeld von I0000 Gauß einen Weg von 10 cm zurücklegen kann, bevor es rekombiniert.
  • Sehen wir vorläufig von der Erzeugung von Elektron-Loch-Paaren von seiten der Eigenhalbleiteroberfläche auf der Verarmungsseite ab, so erkennen wir, daß die Dicke der Verarmungsschicht ihrerseits dadurch definiert, daß in ihr die Paarkonzentration < n ist - mit Leichtigkeit I bis IO cm betragen kann. Diese Werte von I bis IO cm stellen weder eine untere noch eine obere Grenze dar. Die Verarmungsschicht werden wir von nun an magnetische Sperrschicht nennen, da sie ihre Existenz einem Magnetfeld verdankt und da sie die für magnetische Phänomene charakteristischeelektrische Neutralität besitzt, im Gegensatz zu den durch elektrische Raumladung gekennzeichneten Schottkyschen Sperrschichten. Ihr Vorteil gegenüber den Schottkyschen Sperrschichten einerseits und den Shockleyschen Diffusionsschichten andererseits ist die verhältnismäßig ungeheure Größe ihrer Dickenabmessungen, was für die praktische Anwendung von größter Bedeutung ist, insbesondere bei höheren Spannungen oder stärkeren Strömen. Die Begriffe »hohe Spannung« und »starker Strom« werden dabei bezogen auf die beim Selengleichrichter erzielbare maximale Sperrspannung bzw. auf die im Transistor maximal zulässigen Ströme.
  • In Fig. 2 ist der Verlauf der Elektronen- bzw.
  • Löcherdichte in der y-Richtung senkrecht zum Primärstrom (Richtung x in Fig. I) dargestellt.
  • Die Dicke der an Elektron-Loch-Paaren verarmten Schicht ist die magnetische Sperrschichtdicke flmagn.
  • Sie ist um so größer, je kleiner die Rekombination, genauer gesagt Volumenrekombination, von Elektron-Loch-Paaren ist. Letztere ist um so kleiner, je vollkommener die kristalline Struktur des Halbleiterkörpers I ausgebildet ist., An inneren Grenzflächen, Korngrenzen, findet im allgemeinen eine starke Rekombination statt. Deshalb wird gemäß weiterer Erfindung als elektronischer Eigenhalbleiter ein Einkristall verwendet; mit diesem erzielt man die besten Ergebnisse.
  • Weiterhin hängt der Verlauf der Elektronen-bzw. Lochdichte in der y-Richtung noch von den Eigenschaften der Oberfläche des Eigenhalbleiters bei y = + b/2 und y = - b/2 (Fig. I bis 3) ab. Es ist hier noch nachzuholen, daß, wie auch in Fig. I angedeutet ist, der Halbleiter I in der y-Richtung die Gesamtausdehnung b hat, von der Mitte aus gerechnet die Ausdehnung b/2. Ist eine von Null verschiedene Oberflächenrekombination vorhanden, jedoch die Beschaffenheit der Oberfläche auf den gegenüberliegenden Seiten dieselbe, so erhalten wir bei geringer Volumenrekombination den in Fig. 3 dargestellten Dichteverlauf. In diesem Fall kann auf der Anreicherungsseite die maximale Dichte den Wert 1/2 ni nicht überschreiten, hingegen kann auf der Verarmungsseite der Wert n < ni werden.
  • In diesem Fall wird der Mittelwert n < n, und die Bildung einer magnetischen Sperrschicht ist mit einer Widerstandserhöhung des Halbleiters auch in Richtung des elektrischen Primärstromes verbunden. Eine sehr große Oberflächenrekombination würde auch bei vollständigem Fehlen einer Volumenrekombination die Ausbildung einer magnetischen Sperrschicht verhindern. Da nämlich im thermischen Gleichgewicht die Rekombination gleich der thermischen Erzeugung ist, würde eine Oberfläche mit großer Oberflächenrekombination in der Lage sein, auf der Verarmungsseite beliebig Elektron-Loch-Paare nachzuliefern, und damit würde die Randdichte bei y= + bl2 praktisch wieder gleich ni. Um die Oberflächenrekombination zu beeinflussen, wird gemäß einer weiteren Ausbildung der Erfindung laut Hauptpatent die Oberfläche des Eigenhalbleiters einer Oberflächenbehandlung unterzogen, z. B. dadurch, daß der Halbleiter als Anode in einem elektrolytischen Bad behandelt wird.
  • Um zu erreichen, daß der Mittelwert der Elektron-Loch-Konzentration in der y-Richtung wesentlich kleiner als der Gleichgewichtswert ni wird, ist es zweckmäßig, auf der Verarmungsseite eine geringe Oberflächenrekombination, hingegen auf der Anreicherungsseite eine starke Oberflächenrekombination zu haben. Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß erstere eine Oberflächenbehandlung zur Herabsetzung der Oberflächenrekombination, z. B. durch Elektrolyse, erfährt, während letztere eine Oberflächenbehandlung zur Vergrößerung der Oberflächenrekombination erfährt, z. B. durch Schleifen und Polieren.
  • Außer den eben genannten Einflüssen auf die Ausbildung einer magnetischen Sperrschicht ist natürlich die spezielle Wahl des Eigenhalbleiters, z. B. des eigenhalbleitenden Kristalls, von größter Bedeutung. Da die Größe der auf Elektronen bzw.
  • Defektelektronen ausgeübten magnetischen Kräfte proportional der Geschwindigkeit derselben ist, und letztere bei vorgegebenem elektrischem Feld proportional der Beweglichkeit der Elektronen bzw.
  • Defektelektronen ist, empfiehlt es sich, zur Erzielung der Effekte magnetischer Sperrschichten Eigenhalbleiter mit großer Elektronen- bzw. Defektelektronenbeweglichkeit zu verwenden. Erfindungsgemäß werden homöopolare Kristalle mit Beweglichkeiten r 100 cm2/Volt sec verwendet, z. B. die Elemente Si, r, grales Sn oder die Verbindungen vom Typus AIIIBv, wie InSb, GaSb, AlSb, InAs usw. Bei Germanium mit einer Elektronenbeweglichkeit von etwa 3000 cm2/Volt sec wird bei einem Magnetfeld von I0000 Gauß das Verhältnis von magnetischer Kraft auf die Elektronen zu elektrischer Kraft auf die Elektronen gleich 3000 10000 . IO-8 = 0,3. Bei InSb mit einer Elektronenbeweglichkeit von 6o 000 cm2/Volt sec wird dieses Verhältnis = 6.
  • Die Strahlungsempfindlichkeit der magnetischen Sperrschicht beruht darauf, daß unter der Wirkung der Strahlung unmittelbar oder mittelbarElektron-Loch-Paare erzeugt werden und dadurch die Elektron-Loch-Paardichte in der magnetischen Sperrschicht erhöht wird, so daß die magnetische Sperrschicht teilweise oder auch ganz aufgehoben wird.
  • Dies macht sich elektrisch durch eine Vergrößerung des spezifischen Leitwertes in der Sperrschicht und mittelbar in der Vergrößerung des Leitwertes des Gesamthalbleiters bemerkbar. Die Vergrößerung des spezifischen Leitwertes ist vergleichbar dem bereits bekannten inneren Fotoeffekt. Die Anordnung gemäß der Erfindung hat jedoch den grundsätzlichen Vorteil großer geometrischer Abmessungen der magnetischen Sperrschicht, mit der Folge, daß sie mit großen Spannungen bzw. großen Strömen betrieben werden kann. Da der magnetische Sperrschichteffekt in der Herabsetzung der Elektronen- und Defektelektronenkonzentration gegenüber der Normalkonzentration t in einem großen Raumgebiet des Halbleiterkristalls besteht, ist ferner der Dunkelstrom wesentlich schwächer als beim gewöhnlichen inneren Fotoeffekt.
  • Handelt es sich um eine Strahlung mit großem Durchdringungsvermögen, mit anderen Worten, mit großer Reichweite, so erfolgt die Erzeugung von Elektron-Loch-Paaren in der gesamten Dickenausdehnung der magnetischen Sperrschicht. Da diese Dickenausdehnung von makroskopischer Größenordnung ist - bei Germanium, wie vorher erwähnt, z. B. I bis 10 cm-, ist es möglich, mit Hilfe des neuen Strahlungseffektes auch Strahlungen nachzuweisen, welche in festen Körpern nur schwach absorbiert werden, z. B. harte Rv tgenstrahlung, Gammastrahlung, sehr schnelle Korpuskularstrahlung oder Neutronenstrahlung.
  • Aber auch dann, wenn es sich um eine Strahlung mit starker Absorption, also kurzer Reichweite im Kristall handelt, z. B. um Lichtstrahlung, weiche Röntgenstrahlung, nicht zu schnelle Korpuskularstrahlung usw., ist der magnetische Sperrschichteffekt dem gewöhnlichen inneren Fotoeffekt überlegen. In diesem Falle ist die Anordnung so zu treffen, daß die Strahlung auf die Oberfläche des Kristalls fällt, welche infolge ihrer schwachen Oberflächenrekombination für das Zustandekommen der magnetischen Sperrschicht verantwortlich ist.
  • Fällt, wie dies in Fig. 6 dargestellt ist, die Strahlung auf eine derartige Oberfläche, so wird sie praktisch in dieser Oberfläche unter Erzeugung von Elektron-Loch-Paaren absorbiert. Dabei wird eine der Intensität der Strahlung entsprechende zusätzliche Anzahl von Elektron-Loch-Paaren pro cm2 und pro Sekunde frei und die Randdichte auf den in der Figur angegebenen Wert vergrößert.
  • Die vergrößerte Randdichte macht sich längs der gesamten Dickenausdehnung der magnetischen Sperrschicht als Erhöhung der Paarkonzentration bemerkbar. Der magnetische Sperrschichteffekt ermöglicht es also, mit Hilfe von in einer Oberflächenschicht erzeugten Elektron-Loch-Paaren ein tiefes Gebiet des Halbleiterkristalls auszusteuern.
  • Dies führt naturgemäß zu einer besonders großen Verstärkung, d. h. zu einem großen Verhältnis von verfügbarer elektrischer Ausgangsleistung zu einfallender Strahlungsleistung.
  • Die grundsätzlichen Absorptionsverhältnisse für elektromagnetische Strahlung sind in Fig. 7 in einer in dieser Zusammenfassung bisher nicht veröffentlichten Darstellung gezeigt, und zwar über einen über viele Zehnerpotenzen ausgedehnten Wellenbereich.
  • In der Fig. 7 ist als Abszisse in einem logarithmischen Maßstab die Wellenlänge 2 aufgetragen.
  • Der Gesamtbereich umfaßt die Wellenlängen von 5 . Ioq Ä bis 5011; unter u wird hier o,ooI mm verstanden. Als Ordinate ist, ebenfalls im logarithmischen Maßstab, die Eindringtiefe, d. h. der Abfall der Intensität auf I aufgetragen; e ist die Basis der natürlichen Logarithmen. In Fig. 7 sind in zwei Kurvenzügen die Absorptionsverhältnisse für Germanium und für Indiumantimonid dargestellt. Die Zuordnung ergibt sich aus den in Fig. 7 eingetragenen chemischen Symbolen Ge und InSb.
  • Die gewählten Stoffe Germanium und Indiumantimonid sind nur als Beispiele aus dem großen Gebiet der hier in Betracht kommenden Halbleiter gewählt.
  • Wie aus Fig. 7 zu ersehen ist, ist im Bereich der sichtbaren Strahlung die Eindringtiefe klein und demgemäß die Absorption sehr stark. Die Eindringtiefe ist z. B. bei Germanium kleiner als io-5 cm.
  • Wie schon vorher erörtert wurde, kann also sichtbare Strahlung mit Hilfe des magnetischen Sperrschicht-Fotoeffektes infolge der Erzeugung von Elektron-Loch-Paaren in einer dünnen Oberflächenschicht besonders starke elektrische Wirkungen hervorrufen.
  • Geht man vom Bereich der sichtbaren Strahlung nach links, also zu kleineren Wellenlängen über, sc wächst die Eindringtiefe, die Absorption nimmt ab.
  • Die Eindringtiefe erreicht bei Gammastrahlen der Größenordnung nach Werte von etwa 10 cm. Trotz der großen Eindringtiefe von kurzwelliger Strahlung tritt innerhalb der magnetischen Sperrschicht eine hinreichende Absorption ein, da die magnetische Sperrschicht im Gegensatz zu den bisher verwendeten Sperrschichten, z. B. p-n-Ubergängen u. dgl., die vorher angegebenen makroskopischen Abmessungen hat. Die Dicke der magnetischen Sperrschicht, die naturgemäß auch weniger als I cm, z. B. nur I mm, betragen kann, läßt sich durch entsprechende Wahl des äußeren elektrischen Feldes und des Magnetfeldes den jeweils gewünschten Verhältnissen anpassen. Die Absorption von kurzwelliger Strahlung in der magnetischen Sperrschicht führt im Endergebnis wieder zur Erzeugung von Elektron-Loch-Paaren und ergibt damit die gleiche Wirkung wie sichtbare Strahlung.
  • Der physikalische Mechanismus bei der kurzwelligen Strahlung läßt sich summarisch folgendermaßen deuten: Durch die Absorption der Strahlung werden jeweils im Endergebnis,Ladungsträger frei gemacht. Im Bereich der weichen und mittleren Röntgenstrahlung handelt es sich dabei im wesentlichen um Fotoelektronen, welche aus den inneren Schalen (z. B. der K- oder L-Schale) der den Halbleiter aufbauenden Atome herausgeschlagen werden und dem Leitungsband zur Verfügung stehen.
  • Durch das hiermit verknüpfteAuffüllen der inneren Schalen werden letzten Endes Defektelektronen im Leitfähigkeitsband erzeugt, mit der Folge, daß mittelbar durch die Strahlung Elektron-Loch-Paare entstehen mit den schon erwähnten elektrischen Wirkungen.
  • Bei noch kürzerer Wellenlänge, d. h. bei harter Röntgenstrahlung, setzt die Erzeugung von Leitungselektronen durch den Compton-Effekt ein und bei noch härterer Strahlung (y-Strahlung) die Erzeugung von Elektronen - Positronen - Paaren.
  • Auch diese Prozesse führen mittelbar zur Erzeugung von Elektron-Loch-Paaren und bringen dadurch die Strahlungen elektrisch zur Wirkung innerhalb der magnetischen Sperrschicht.
  • Wie aus obigem hervorgeht, lassen sich zur Steuerung der magnetischen Sperrschicht Strahlungen der verschiedensten Wellenlänge verwenden.
  • Der Ausdruck »Steuerung« ist im allgemeinen Sinne zu verstehen, er erfaßt unter anderem Beeinflussung, Gleichrichtung, Begrenzung, Aus- und Einschalten, Messung und Anzeige usw. So ist z. B. bereits im Hauptpatent dargelegt worden, wie eine magnetische Sperrschicht zur Herstellung eines Gleichrichters verwendet werden kann. Da es möglich ist, den magnetischen Sperrschichteffekt durch Bestrahlungen aufzuheben, kann auch der durch eine magnetische Sperrschicht hervorgerufene Gleichrichtereffekt durch Bestrahlung aufgehoben -werden. Es ist also möglich, einen magnetischen Sperrschichtgleichrichter durch Bestrahlung in einen ohmschen Widerstand umzuwandeln.
  • Wird die neue Anordnung zur Messung der Strahlung benutzt, so ist darunter sowohl der Fall zu verstehen, daß die Strahlung nur qualitativ nachgewiesen oder auch quantitativ gemessen wird, z. B. hinsichtlich ihrer Intensität oder hinsichtlich der Energie oder der Zählung der einzelnen Strahlungsquanten. Die neue Anordnung hat hierbei den Vorteil der Zuverlässigkeit und Betriebssicherheit.
  • Aus der gegebenen Deutung des physikalischen Mechanismus läßt sich ferner der Schluß ziehen, daß es sich empfiehlt, gegebenenfalls bei Strahlungen bestimmter Wellenlängen auch bestimmte Halbleiter zu benutzen, also eine Anpassung vorzunehmen.
  • Um die charakteristische Strahlung eines Stoffes nachzuweisen, ist es günstig, einen Halbleiter zu benutzen, von dem - mindestens hinsichtlich einer Verbindungskomponente - die Röntgen-Absorptionskante bei etwas größeren Wellenlängen liegt als die der nachzuweisenden charakteristischen Strahlung. Handelt es sich z. B. darum, die Kupfer-Ka-Strahlung (2,= I,54Å) nachzuweisen, so empfiehlt es sich, hierfür als Halbleiter ein Fes,-Kristall zu verwenden, denn die Röntgen-Absorptionskante von Fe liegt bei I,74Ä. In dem an das sichtbare Gebiet nach längeren Wellen hin anschließenden Ultrarotbereich herrschen bezüglich der Eindringtiefe dieselben Verhältnisse wie im sichtbaren Bereich, solange die Wellenlänge noch diesseits der Absorptionskante liegt. Die Absorptionskante selbst liegt bei den verschiedenen Halbleitern bei verschiedenen Wellenlängen, z. B. liegt sie bei Germanium bei etwa 2Wu, während sie bei Indiumantimonid bei etwa 7,u liegt. Es ist nun allgemein bekannt, daß man zum Nachweis von Ultrarotstrahlung Halbleiterkörper verwenden muß, deren Absorptionskante so weit im Ultraroten liegt, daß die nachzuweisende Wellenlänge noch in den Bereich starker Absorption fällt. Solche Halbleiterkörper haben immer den Nachteil, daß sie eine sehr große Eigenleitfähigkeit besitzen, so daß der Dunkelstrom der mit ihrer Hilfe hergestellten Fotozellen sehr groß ist. Dadurch wird die Verwendung von Halbleiterkörpern mit besonders weit im Ultrarot liegender Absorptionskante. eingeschränkt. Da durch den magnetischen Sperrschichteffekt jedoch die Elektron-Loch-Paar-Konzentration stark herabgesetzt wird, ist es möglich, auch bei weit im Ultrarot liegender Absorptionskante einen kleinen Dunkelstrom zu erhalten. Damit kann der Wellenlängenbereich für Ultrarotempfänger weiter ins Ultrarote verschoben werden. Als Halbleiter für diese Zwecke kommt z. B. Indiumantimonid in Betracht, dessen Absorptionskante bei 7,u liegt. Im allgemeinen würde Indiumantimonid wegen seines zu großen Dunkelstromes nicht verwendbar sein. Im Rahmen der Erfindung jedoch, bei der es sich darum handelt, in dem verwendeten Halbleiterkörper eine magnetische Sperrschicht zu erzeugen und durch Strahlung, im Beispiel durch Ultrarotstrahlung, zu beeinflussen, ergibt Indiumantimonid einen hervorragenden Empfänger für Ultrarotstrahlung.
  • An Stelle der elektromagnetischen Strahlung kann auch eine Korpuskularstrahlung, z. B. eine a- oder ß-Strahlung (Elektronenstrahlung) verwendet werden. Im allgemeinen erfolgt die Veränderung der elektrischen Eigenschaften bei geringeren Energien durch die von diesen ausgelösten Ionisationsprozesse.
  • Dasselbe trifft auch zu, wenn die Korpuskularstrahlung eine Neutronenstrahlung ist. Im Gegensatz zu den vorgenannten Strahlungen ruft letztere in der Elektronenhülle keinerlei Prozesse hervor.
  • Wenn aber die Neutronenstrahlung Kernprozesse auslöst, welche ihrerseits zur Emission, z. B. von Gammaquanten, Betastrahlen usw., führen, erzeugen diese wiederum Leitungselektronen, so daß die Neutronenstrahlung dadurch nachgewiesen werden kann. Die Vorteile, welche sich im Falle der Korpuskularstrahlung durch Verwendung magnetischer Sperrschichten bieten, sind der Art nach dieselben wie bei der elektromagnetischen Strahlung.
  • In den Fig. 4 bis 6 ist schematisch die Änderung der magnetischen Sperrschicht unter dem Einfluß einer Strahlung veranschaulicht. Sie zeigen den Dichteverlauf der Elektron-Loch-Paare innerhalb des Halbleiterkristalls, so daß durch den Linienzug n, p der Dichteverlauf in der magnetischen Sperrschicht dargestellt wird. Fig. 4 veranschaulicht den idealisierten Fall, daß die einfallende Strahlung von der magnetischen Sperrschicht überhaupt nicht absorbiert wird, Fig. 5 die oben beschriebene Erscheinung, daß die Eindringtiefe der Strahlung etwa gleich ist der Dickenabmessung der magnetischen Sperrschicht. In diesem Fall wird b unter Erhaltung der Randdichte bei y = + odie 2 magnetische Sperrschichtdicke verkleinert und dadurch der elektrische Leitwert des Kristalls vergrößert. Fig. 6 veranschaulicht schließlich den Fall geringer Eindringtiefe bzw. starker Absorption der auf den Halbleiter fallenden Strahlung mit dem Ergebnis, daß unter Beibehaltung der magnetischen Sperrschichtdicke wie in Fig. 4 die Randdichte bei = 2 erhöht wird. Auch dies hat eine Vergrößerung des elektrischen Leitwertes des Halbleiterkristalls zur Folge.
  • In den Fig. 8 bis 10 werden drei Anwendungsmöglichkeiten schematisch dargestellt. Fig. 8 zeigt im Prinzip eine Strahlungsanordnung für einen Gleichstrommotor. Durch Bestrahlung der an Elektron-Loch-Paaren verarmten Seiten der Kristalle, wird je nach der Intensität des Lichtes die Gleichrichtung mehr oder weniger aufgehoben und somit die Geschwindigkeit des Motors gesteuert. Die Prinzipschaltung einer magnetischen Sperrschicht als Fotozelle zeigt Fig. 9. Die Probe ist in Sperrrichtung gepolt. Schließlich wird in Fig. 10 eine Prinzipschaltung einer magnetischen Sperrschicht als Zähler veranschaulicht. Die Anordnung, bestehend aus Röhre und den Widerständen, entspricht der bei Zählerschaltungen üblichen Verstärkeranordnung.
  • Versuche haben in Übereinstimmung mit theoretischen Überlegungen ergeben, daß der magnetische Sperrschichteffekt viel weniger temperaturabhängig ist als der p-n-Sperrschichteffekt. Dies äußert sich z. B. darin, daß bei Germanium bei einer Temperatur von 600 C der magnetische Sperrschichteffekt noch sehr gut ausgebildet ist, während der p-n-Sperrschichteffekt bereits wesentlich schlechter ist als bei Zimmertemperatur. Dies ist für die praktischen Anwendungen von großer Bedeutung.

Claims (14)

  1. PATENTANSPRÜCHE: I. Halbleitersystem mit nichtlinearer Strom-Spannungs-Charakteristik, das aus einem Halb-, leiter, insbesondere einem elektronischen Eigenhalbleiter, besteht und eine magnetische Sperrschicht aufweist, d. h. eine. an Elektron-Loch-Paaren verarmteZone, die durch ein elektrisches Feld und durch ein vorzugsweise senkrecht zum elektrischen Feld stehendes magnetisches Feld hervorgerufen und durch beide Felder steuerbar ist, nach Patent 949 246, dadurch gekennzeicllnet, daß eine StrahlungsqueLle, insbesondere mit einer elektromagnetischen oder korpusklaren Strahlung, vorgesehen ist, die die magnetische Sperrschicht zusätzlich steuert.
  2. 2. Halbleitersystem nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß - insbesondere bei starker Absorption der Strahlung im Halbleiter - die Halbleiterfläche mit der kleineren Oberflächenrekombination der zur Steuerung dienenden Strahlung ausgesetzt ist.
  3. 3. Halbleitersystem nach Anspruch I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Steuerung eine Strahlung aus dem sichtbaren Bereich des elektromagnetischen Spektrums verwendet ist.
  4. 4. Halbleitersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Steuerung eine Strahlung solcher Wellenlänge verwendet ist, daß sie unmittelbar Elektronen-Loch-Paare, insbesondere beimAuftreffen auf eine Oberflächenschicht mit kleiner Oberflächenrekombination, erzeugt und dadurch die Steuerung bewirkt.
  5. 5. Halbleitersystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Steuerung Ultrarotstrahlung, insbesondere Ultrarotstrahlung mit einer Wellenlänge größer als 3,u verwendet ist, vorzugsweise unter Benutzung des Effektes der starken Herabsetzung des Dunkelstromes durch die magnetische Sperrschicht.
  6. 6. Halbleitersystem nach Anspruch I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Steuerung eine Röntgenstrahlung verwendet ist.
  7. 7. Halbleitersystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Wellenlänge der Röntgenstrahlung so gewählt ist, daß t:lektronen aus inneren Schalen der den Halbleiter aufbauenden Atome in das Leitfähigkeitsband angeregt werden und hierdurch die Steuerung erfolgt.
  8. 8. Halbleitersystem nach Anspruch I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Steuerung eine Gammastrahlung verwendet ist.
  9. 9. Halbleitersystem nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Wellenlänge der Gammastrahlung so gewählt ist, daß sie erst in der Tiefe der magnetischen Sperrschicht absorbiert wird und die Steuerung durch Compton-Elektronen bewirkt.
  10. 10. Halbleitersystem nach Anspruch I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Steuerung eine korpuskulare a-Strahlung oder jB-Strahlung verwendet ist.
  11. 11. Halbleitersystem nach Anspruch I0, dadurch gekennzeichnet, daß die Geschwindigkeit der Korpuskularstrahlung so gewählt ist,, daß die Steuerung durch die von ihr ausgelöste Sekundärstrahlung erfolgt.
  12. 12. Halbleitersystem nach Anspruch I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Steuerung eine Kernprozesse auslösende Strahlung, z. B. eine Neutronenstrahlung, verwendet ist und demgemäß die Steuerung durch die mittelbar durch die Kernprozesse erzeugten Elektronen oder Defektelektronen erfolgt.
  13. 13. Halbleitersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß - durch Wahl der Bedingungen - die Strahlung dazu benutzt ist, die für die magnetische Sperrschicht charakteristische Nichtlinearität der Strom-Spannungs-Kennlinie zu ändern, z. B. zu vermindern oder aufzuheben, und dadurch die elektrischen Eigenschaften des Widerstandes zu ändern, z. B. ihn von der Wirkungsweise eines Gleichrichters in die eines gewöhnlichen ohmschen Widerstandes umzuwandeln.
  14. 14. Halbleitersystem nach einem der vorher-, gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Steuerung von Starkstrom und/oder Hochspannung verwendet ist.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE1025061B (de) * 1954-09-10 1958-02-27 Siemens Ag Einrichtung zur Regelung der Gitteraussteuerung bei Hochfrequenzroehrengeneratoren

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