DE915964C - Elektronenmikroskop zur Beobachtung von Oberflaechen in auffallender Elektronenstrahlung - Google Patents

Description

• Es ist schon ein Elektrollenmikroskop zur Beobachtung von Oberflächen in auffallender Elektronenstrahlung vorgeschlagen worden, wobei die langsameren, vom Objekt herkommenden Elektronen durch eine auf negativem Potential befindliche Bremsblende zurückgespiegelt werden. Auf diese Weise gelingt es, die Bildschärfe zu erhöhen. Erfindungsgemäß wird die gestellte Aufgabe in besonders einfacher und vorteilhafter Weise bei einem zweistufigen Elektronenmikroskop dadurch gelöst, daß als Objektiv eine magnetische Linse und als Projektiv eine elektrostatische Einzellinse dient. Da die magnetische Linse an sich einen kleineren chromatischen Fehler als eine elektrostatische Linse hat, ist ihre Anwendung als Objektiv vorteilhaft, da der Fehler des Objektivs entscheidend für den Endbildfehler ist. Die elektrostatische, als Projektiv verwendete Linse spiegelt langsame Elektronen an ihrem Sattelpotential zurück, so daß nur die schnellsten Elektronen ins Endbild kommen. Das elektrostatische Projektiv wirkt daher monochromatisierend, ohne daß sich der stärkere chromatische Fehler dieser Linsenart bei der neuen Anordnung im Endbild störend auswirkt. Die Erfindung kann bei zwei- oder mehrstufigen Korpuskularstrahlapparaten, insbesondere bei hoch auflösenden Elektronenmikroskopen, mit Vorteil angewendet werden.
• Die Zeichnung zeigt schematisch als Ausführungsbeispiel der Erfindung ein zur Oberflächenabbildung eingerichtetes zweistufiges Elektronentnikroskop. Mit i ist die Kathode, mit 2 die Steuerblende des Strahlerzeugungssystems bezeichnet. Der Elektronenstrahl wird durch eine Kondensorspule 3 gesammelt und fällt von der Seite her auf das Objekt4. Das Objekt ist so geneigt, daß der in der Pfeilrichtung vom Strahlerzeuger herkommende Elektronenstrahl seine Oberfläche trifft, Die an der Objektoberfläche reflektierten Strahlen gelangen in den wirksamen Linsenbereich der Objektivlinse 5. Die Objektivlinse ist als elektrornagnetische Polschuhlinse ausgebildet. Die Polschuhe 6 und 7 dieser Linse sind einander und dem Objektiv genähert, so daß man eine sehr kleine Entfernung zwischen Objekt und wirksamen Linsenbereich erhält. Mit 8 ist ein Zwischenbildleuchtschirm bezeichnet, der aus dem Strahlengang herausgeklappt werden kann. Dieser Leuchtschirm kann in an sich bekannter Weise mit einer mittleren Durchbohrung versehen sein, durch welche die das Endbild erzeugenden Elektronenstrahlen hindurchtreten. Als Projektionslinse ist eine elektrostatische Einzellinse 9 verwendet, die in an sich bekannter Weise aus zwei, vorzugsweise auf Erdpotential befindlichen Elektroden io, ii und einer dazwischen angeordneten, auf hohem negativem Potential befindlichen dritten Elektrode 12 besteht. Das Endbild kann auf dem Leuchtschirm 13 beobachtet und nach Fortklappen dieses Leuchtschirmes auf einer photographischen Platte 14 aufgenommen werden. Die als Projektiv verwendete elektrostatische Linse 9 spiegelt die langsamen, vom Objektiv herkommenden Elektronen an ihrem Sattelpotential zurück, so daß nur schnelle Elektronen zur Erzeugung des Endbildes dienen und infolgedessen die bisher auftretenden starken Bildfehler, welche durch die unter Geschwindigkeitsverlust gestreuten Elektronen hervorgerufen werden, vermieden sind.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH: Elektronenmikroskop zur Beobachtung von Oberflächen in auffallender Elektronenstrahlung, wobei die langsameren Elektronen durch eine auf negativem Potential befindliche Bremsblende zurückgespiegelt werden, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem zweistufigen Mikroskop als Objektiv eine magnetische Linse und als Projektiv eine elektrostatische Einzellinse dient.