DE913085C

DE913085C - Verfahren zur Herstellung von feinmaschigen isolierenden oder halbleitenden Netzfolien

Info

Publication number: DE913085C
Application number: DEF4637D
Authority: DE
Inventors: Werner Fanselau
Original assignee: Fernseh GmbH
Current assignee: Robert Bosch Fernsehanlagen GmbH
Priority date: 1942-03-26
Filing date: 1942-03-26
Publication date: 1954-06-08

Description

Verfahren zur Herstellung von feinmaschigen isolierenden oder halbleitenden Netzfolien Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstell:ung von feinmaschigen isolierenden oder halbleitenden Netzfolien. Derartige Folien finden Verwend,ung z. B. in, einem vorgeschlagenen Bildverstärker mit bildmäßiger Sekundärelektronenverstärku.ng, bei dem die Elektronenemission zwischen den einzelnen Elektroden nicht elektronenoptisch abgebildet wird, sondern die Elektronenstreuung dadurch vermieden wird, daß die Verstärkernetze in sehr engem Abstand voneinander angeordnet sind. Zur Isolation und zur,Abstützung dieser sehr engmaschigen Verstärkernetze gegeneinander dienen dabei weitermaschige isolierende Netze. Insbesondere können diese Netze halbleitend ausgebildet sein, um so von Verstärkerstufe zu Verstärkerstufe einen solchen Spannungsabfall zu erzeugen, daß sich die für die einzelnen Stufen benötigten Betriebsspannungen ergeben.
Feinmaschige metallische Verstärkernetze werden nach einem ?bekannten Verfahren in der Weise hergestellt, daß man zunächst von der zu erzeugenden Netzelektrode .ein Negativ herstellt und dieses auf die mit einer lichtempfindlichen Lackschicht überzogene Blechfolie kopiert. Die belichtete Schicht wird dann einem Entwickl.ungsprozeß unterzogen, bei welchem nur an: den belichteten Stellen, d. h. dort wo die Stege übrigbleiiben sollen, die Überzugsmasse stehenbleiibt. Dann werden die öfffnungen durchgeätzt.
Dieses Verfahren wurde inzwischen durch verschiedene Maßnahmen so ausgestaltet, daß die Herstellung außerordentlich engmaschiger Netze ermöglicht wird. Folien, deren Maschen etwa 25 bis 30,u Durchmesser haben und bei denen die Steg!breite ebenso groß ist, können heute ohne Schwierigkeiten. hergestellt werden. Die Herstellung von Folien, mit 5,u Maschendurchmesser und ebensolcher Stegbreite dürfte auch im Bereich der Möglichkeit liegen. Bisher war es nun nicht möglich, auch isolierende oder halbleitende Netzfolien in derselben Weise herzustellen und: :damit isolierende Netze von der gleichen Rasterfeinheit zu erhalten. Die Erfindung ;gibt nun ein Verfahren an, das alle Vorteile des oben angegebenen Verfahrens aufweist und sich gerade für isolierende oder halbleitende Stoffe anwenden läßt.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung von feinmaschigen isolierenden oder halbleitenden Netzfolien besteht darin, daß: eine Metallfolie mit einer lichtempfindlichen Lackschicht, der Füllstoffe mit hohem elektrischem Widerstand zugesetzt sind, überzogen wird, d:aß auf diese in bekannter Weise die Form .der Netzstege aufkopiert, die nicht belichtete Schicht abgelöst und schließlich die Metallfolie an den unbedeckten Stellen durchgeätzt oder auf chemischem Wege völlig weggelöst wird. Der grundsätzliche Unterschied gegenüber der Herstellung metallischer Netzfolien besteht also darin, daß als lichtempfindliche Schicht kein gewöhnlicher Kopierlack, also eine mit Bichromaten versetzte wäßrige Schellackemulsion, verwendet wird, sondern ein Kopierlack, dem Füllstoffe zugesetzt sind, die im Vakuum weitgehend temperaturbeständig sein müssen und einen hohen elektrischen Widerstand aufweisen. Hierzu eignen sich beispielsweise Aluminiumoxyd, Chromoxyd, Fluoride od. ä. Stoffe. Nach dem Durchätzen der nicht bedeckten Stellen der Metall=folie wird also ein isoliertes Metallnetz erhalten, das als isolierendes Netz Verwendung finden kann. Sollte die Metallunterlage des Netzes stören, so kann man, statt die Metallfolie durchzuätzen., diese auf ehemischem Wege völlig weglösen.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann noch dadurch vorteilhafter ausgestaltet werden, daß die Lackbestandteile der lichtempfindlichen Schicht durch .Erhitzen der Netzfolie weggebrannt u=nd die Übrigble'ibenden Füllstoffe auf der Unterlage festgebrannt oder -gesintert werden. Ins=besondere ist es zweckmäßi=g, das Brennen bei Temperaturen über 300° C z. B. an Luft vorzunehmen.
Soll das: erfindungsgemäße Verfahren auf die Herstellung von isolierenden oder halbleitenden Netzen für die bildmäßige Sekundärverstärkung ohne elektronenoptische Abbil=dung zwischen den Verstärkernetzen angewandt werden, so verwendet man vorteilhaft d=ie feinmaschige Verstärkernetzfolie .als Unterlage, auf die der mit Füllstoffen versetzte Kopierlack aufgebracht wird. Man kann auch so vorgehen; daß man zunächst auf einer entsprechenden Metallfolie .das Lackbild für die feinmaschige Netzfolie aufkopiert. Nach dem Entwickeln dieses Bildes bringt man eine neue Lackschicht auf; dieses Mal jedoch eine, der Füllstoffe zugesetzt :sind. In üblicher Weise wird nun augf dieser Lackschicht das Bild eines weitermaschigen Netzes erzeugt und entwickelt. Wird jetzt die Folie in üblicher Weise geätzt; so entsteht eine sehr feinmaschige Metallfolie, auf die ein gröbermaschiges, mit Füllstoffen versetztes Lackraster aufgebracht ist. Nach dem Herausbrennen des feinmaschigen Lackbildes und der Lackbestandteile des gröberen Netzes erhält man also eine Metallfolie, ,auf der sich ein isolierendes bmv. halbleitendes Netzraster befindet. Selbstverständlich ist es auch möglich, umgekehrt vorzugehen., :d. h. .also in der Weise; daß man zunächst das gröber gerasterte mit Füllstoffen versehene Lackbild erzeugt und hierauf erst das feinmaschige. Durch ggeeignete Wahl der Füllstoffe und ihrer Verteilung im Bindemittel ist es möglich, verschiedene Leitwerte für das Netzmaterial zu. erzielen.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: r. Verfahren zur Herstellung von feinmaschigen isolierenden oder halbleitenden Netzfolien, dadurch gekennzeichnet, daß eine Metallfolie mit einer lichtempfindlichen Lackschicht, der Füllstoffe mit hohem elektrischem Widerstand zugesetzt sind, überzogen wird, daß auf diese in bekannter Weise die Form der Netzstege aufkopiert, die nicht .belichtete Schicht abgelöst und schl'leB'lich die Metallfolie -an den unbedeckten Stellen durchgeätzt oder auf chemischem Wege völlig weggelöst wird.
2. Verfahren nach Anspruch r, dadurch gekennzeichnet, daß durch Erhitzen der Netzfolie die Lackbestandteile weggebrannt und die übrigbleiibenden Füllstoffe auf der Unterlage festgebrannt oder -gesintert werden.
3. Verfahren :nach Anspruch z, dadurch gekennzeichnet, daß das Brennen bei Temperaturen Über 300° C vorgenommen wird. q..
Verfahren nach Anspruch r, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Füllstoffe Aluminiumoxyd., Chromoxyd oder Fluoride verwendet werden.
5. Verfahren. nach einem der vorhergehenden Ansprüche zu=r Herstellung von isolierenden oder halbleitenden Netzfolien für die bildmäßige Sekundäremssionsverstärkung ohne elektronenoptische Abbildung zwischen den Verstärkungsnetzen, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstärkernetze als Metallunterlage für das Aufbringen des weitmaschigen Isoliernetzes dienen.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß auf eine Metallfolie erst ein Lackbild, z. B. das des Verstärkernetzes, erzeugt wird und darauf eine zweite Lackschicht, z. B. die mit Füllstoffen versetzte, aufgebracht, belichtet und entwickelt wird, und daß hierauf erst die Metallfolie geätzt wird.