DE9110876U1

DE9110876U1 - Gaslaser

Info

Publication number: DE9110876U1
Application number: DE9110876U
Authority: DE
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1991-09-02
Filing date: 1991-09-02
Publication date: 1991-11-14
Anticipated expiration: 2001-09-03
Also published as: US5258993A

Description

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Siemens Aktiengesellschaft

Gaslaser
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Die vorliegende Erfindung betrifft einen Gaslaser nach dem Oberbegriff des Schutzanspruchs 1. Ein derartiger Gaslaser ist in der DE-Anmeldung P39 14 668.5 beschrieben.

Die Aufgabe, die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegt, besteht in einer Verbesserung der zeitlichen Konstanz der Intensität von Lasern und in einer vereinfachten Ausführungsform von Lasern nacn dem Oberbegriff des Schutzanspruchs 1. Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Schutzanspruchs 1 gelöst.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß Intensitätsschwankungen eines Gaslasers, insbesondere eines Argonlasers durch Bedämpfung von mechanischen Schwingungen des Lasergehäuses herabgesetzt oder beseitigt werden können. Die mechanischen Schwingungen des Lasers können zu einem rhytmischen Verkippen der Spiegel führen, welches zu einer unerwünschten Modulation des Laserstrahles führt.

Für Maßnahmen zur Bedämpfung der mechansichen Schwingungen sind durch die Forderungen des Marktes enge Grenzen gesetzt. Die Laserleistung, der Strahldurchmesser, die Lebensdauer und die Schwingung in nur einem Lasermode, dem Grundmode, sind vorgegeben. Die Dämpfungsglieder und Versteifungen gemäß der DE-Anmeldung P 39 IA 688.5 erhöhen das Gewicht des Lasers, insbesondere die zusätzlich angebrachten Versteifungen erhöhen darüber hinaus die schwingfähige Masse des Laseres. Von diesem Stand der Entwicklung ausgehend wird die Aufgabe bei einem Laser nach dem Oberbegriff durch die kennzeichnenden Merkmale des Schutzanspruchs 1 gelöst.

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Vorteilhaft weist die Innenwand des Flansches eine Durchmesserstufe auf, wobei das Laserrohr an dieser Durchmesserstufe anliegt, So läßt sich leicht eine präzise Positionierung des Laserrohres erreichen.
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Eine weitere Versteifung wird erreicht, indem der Endbereich des Anodenrohres eine flanschartige Aufweitung besitzt und indem das Laserrohr in die Aufweitung hineinreicht und mit dieser durch Umfangslötung verlötet ist. Dabei empfiehlt sich ein schräger Übergang von dem flanschartigen Teil zum eigentlichen Anodenrohr. Eine weitere Verringerung der Schwingungsneigung ist erreicht, indem die Kühlbleche so dünn ausgebildet sind, daß bei den zu erwartenden mechanischen Beanspruchungen die Gefahr einer Verbiegung der Kühlbleche besteht und indem Abstandshalter mit geringem Eigengewicht eine störende Verbiegung der Kühlbleche verhindern. Eine störende Verbiegung der Kühlbleche ist insbesondere dann gegeben, wenn benachbarte Kühlbleche aneinander anliegen und den Zugang von Kühlluft beeinträchtigen. Vorteilhaft dienen als Abstandshalter in die Kühlbleche eingeformte Laschen. Derartige Laschen können an beliebiger Stelle in das Kühlblech eingestanzt oder am Rand eines Kühlbleches angeformt und umgebogen sein. Am Rand des Kühlbleches angeordnete Abstandshalter sind vorteilhafterweise erheblich schmaler ausgebildet, als die Kühlbleche selbst, so daß Gewicht eingespart wird.

Vorteilhaft sind am Anodenrohr ebenfalls Kühlbleche angeordnet, wobei an diesen Kühlblechen ein Element zur Zufuhr der Anodenspannung angebracht ist, wobei außerhalb der Kühlbleche am Anodenrohr eine erste Halterung befestigt ist und wobei eine zweite Halterung am Vorratsgefäß angreift. Dabei besitzt die zweite Halterung vorteilhafterweise die Form steif ausgebildeter Klammern, wobei das Vorratsgefäß mittels duktilem und/oder gummielastischem Dämpfungsmaterial punktförmig an mehreren Stellen gegen die Halterung abgestützt ist.

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Die Erfindung wird nun anhand von zwei Figuren näher erläutert. Sie ist nicht auf die in den Figuren gezeigten Beispiele beschränkt.

FIG 1 zeigt einen erfindungsgemäßen Laser in teilweise geschnittener und gebrochener Ansicht.

Fig 2 zeigt einen Schnitt durch einen erfindungsgemäßen Laser.

Ein Vorratsgefäß 1 eines Lasers besitzt eine Metallkappe 16, an die ein Anschlußflansch 6 angeformt ist. Der Anschlußflansch 6 umfaßt ein Laserrohr 7 und ist mit diesem durch Umfangslötung vakuumdicht verbunden. Das Laserrohr 7 liegt an einer Durchmesserstufe 10 der Innenwand 9 des Anschlußflansches 6 an und ist somit in axialer Richtung gegenüber dem Vorratsgefäß 1 fixiert. Am anderen Ende des Laserrohres 7 schließt ein Anodenrohr 17 an, welches einen Endbereich 11 mit einem vergrößerten Durchmesser besitzt. Der Endbereich 11 umfaßt das Laserrohr 7 und ist mit diesem durch Umfangslötung vakuumdicht verbunden. Der Endbereich 11 enthält einen Anschlag 18, welcher die axiale Lage des Laserrohres 7 gegenüber dem Anodenrohr 17 fixiert.

Kühlbleche 8 grenzen an das Laserrohr 7 an und sind so dünn ausgeführt, daß sie bei der Handhabung des Lasers verbogen werden können. Die Kühlbleche 8 sind durch Abstandshalter 12 bzw. durch als Abstandshalter dienende Laschen 13, IA gegeneinander abgestützt. Die Abstandshalter 12 sind von außen angebrachte Teile, beispielsweise Kunststoffleisten mit entsprechenden Einschnitten. Die Lasche 13 ist an ein Kühlblech 8 angeformt und umgebogen. Die Laschen 14 sind aus dem Kühlblech herausgestanzt. Die Laschen 13 und 14 sind zweckmäßigerweise in Richtung senkrecht zur Zeichenebene wesentlich schmaler als die Kühlbleche 8. Dabei kann jedes Kühlblech 8 mehrere Laschen 13 oder 14 enthalten.

Kühlbleche 15 sind am Anodenrohr 17 angebracht und tragen einen elektrischen Anodenanschluß 20. Das Kühlblech 19 ist zweckmäßigerweise das äußerste Kühlblech des Lasers und somit für ein Befestigungswerkzeug leicht zugänglich.

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Der Laser ist an einer Montageplatte 5 mit zwei Halterungen 3 und 4 befestigt. Die Halterung 3 ist am Anodenrohr fixiert. Hierzu ist ein Ring 21 mit dem Anodenrohr 17 stoffschlüssig oder einstückig verbunden und die Halterung 3 an diesem Ring 21 angeschraubt. Die Halterung 3 enthält zweckmaQigerweise einen Isolierstoffring 27, um die Anodenspannung gegenüber der Montageplatte 5 zu isolieren. Ein Federblech 28 verbindet den Isolierstoffring 27 mit dem Rest der Halterung 3 in axialer Richtung elastisch.

An der Montageplatte 5 ist eine weitere Halterung 4 befestigt, welche das Vorratsgefäß 1 umklammert. Die Halterung 4 ist besonders steif ausgebildet. Sie weist beispielsweise Versteifungen 22 auf, zwischen denen ein Zylinderbereich 23 eingeschlossen ist.

im Zylinderbereich 23 sind Bohrungen 24 angebracht, durch die nach dem Einsetzen des Vorratsgefäßes 1 Dämpfungsmasse 25 eingespritzt ist, wobei die Dämpfungsmasse 25 nur punktförmig am Vorratsgefäß 1 anliegt. So ergibt sich eine stabile, scnwingungsdämpfende und schonende Halterung des Vorratsgefäßes 1, welches üblicherweise bei Argonlasern aus Glas besteht.

Die Gesamtheit der Merkmale wirkt zusammen, um an den Laserspiegeln 2 Schwingungen im störenden Frequenzbereich bis zu 2kHz zu vermeiden. Die Maßnahmen bewirken eine Versteifung des Lasers und eine Bedämpfung der Schwingfähigkeit im störenden Frequenzbereich.

Claims

6 H 3 8DE Schutzansprüche

1. Gaslaser mit integrierten, starr mit einem Vorratsgefäß des Lasers verbundenen Spiegeln, bei dem das Vorratsgefäß zumindest an einer Stelle über eine Halterung gegenüber einer Montageplatte fixiert ist, bei dem Versteifungen zur Bedämpfung von mechanischen Schwingungen mit einer Frequenz von lOHz bis lOOOHz vorhanden sind, wobei an das Vorratsgefäß ein Laserrohr und an dieses ein Anodenrohr angrenzt und wobei das Laserrohr mit Kühlblechen mechanisch fest verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Vorratsgefäß einen Anschlußflansch enthält, daß das Laserrohr in den Anschlußflansch hineinreicht und daß das Laserrohr mit dem Anschlußflansch durch Umfangslötung verlötet ist.

2. Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenwand des Flansches eine Durchmesserstufe aufweist und daß das Laserrohr an dieser Durchmesserstufe anliegt.

3. Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennze ichnet, daß ein Endbereich des Anodenrohres flanschartig aufgeweitet ist und daß das Laserrohr in den Endbereich des Anodenrohres hineinreicht und mit diesem durch Umfangslötung verlötet ist.

4. Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlbleche so dünn ausgebildet sind, daß bei zu erwartenden mechanischen Beanspruchungen die Gefahr einer Verbiegung der Kühlbleche besteht und daß Abstandshalter mit geringem Gewicht vorgesehen sind, die eine störende Verbiegung der Kühlbleche verhindern sollen.

5. Gaslaser nach Anspruch A, dadurch gekennzeichnet, daß als Abstandshalter in die Kühlbleche eingeformte Laschen dienen.

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6. Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß am Anodenrohr Kühlbleche angeordnet sind, daß an diesen Kühlblechen ein Anodenanschluß angebracht ist daß außerhalb der Kühlbleche am Anodenrohr eine erste Halterung befestigt ist und daß eine zweite Halterung am Vorratsgefäß angreift.

7. Gaslaser nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Halterung die Form steif ausgebildeter Klammern besitzt und daß das Vorratsgefäß mittels duktilem und/oder gummielastischem Dämpfungsmaterial punktförmig an mehreren Stellen gegen die Halterung abgestützt ist.