Getterungsverfahren und Verfahren zur Herstellung der Gettersubstanz
Die bisher üblichen Ge@ttersubstanzenkönnen nach ihrer Wirkungsweise in zwei große
Hauptgruppen eingeteilt werden. Die erste bindet :die .im Ent= ladungsgefäß vorhandenen
Restgase beim Verdampfen;, Mg, bzw. in. genügend feinverteiltem Zustand (als Getterspiegel).
Die zweite Kategorie macht hingegen von ider Eigenschaft des Zrkons Gebrauch, im
:heißen Zustand Gase zu binden. Hierzu. wird @au,s Zirkon in Pulverform zumeist
mit einem geeigneten Bindemittel in einer Suspenisionsflüssigkeit eine Paste bereitet
und idiese auf im Betrieb des Entladun@gsroihres auf hohe Temperatur kommende Elektroden.,
zumeist odie Anode, aufgebracht. Diesem Verfahren haftet jedoch eineReihe von Nachteilen
an. So wird beim Herstellung.sprozeß, d. h. beim Glühen ÜerElektrode@n, die Anode
zumeist ,durch HF-Glühen auf eine Temperatur gebracht, bei der alle Hilfssubstanzen,
Bindemittel uAgl. verdampfen. Gleichzeitig aber befindet sich das. Zirkonpulver
naturgemäß auf einer für seine Getterwirkung sehr geeigneten Temperatur. Dieser
HF _gusglishproz,eß fällt zeitlich und zum Teil auch ursächlich mit dem Austreiben
von großen Gasmengen aus Oden Elektroden ,des betreffenden Entladurngsgefäß,es zusammen.
Dadurch herrscht im Entladungsgefäß während einer beträchtlichen Zeitspanne ein
Gasdruck, wie er im späteren Betrieb nicht wieder auftritt. Bei einer großen Anzahl
von Röhrentypen erreichen darüber hinaus die Elektroden, auch die,das Zirkon tragenden,
im Normal betrieb nur wesentlich niedrigere Temperaturen als während odies@es Prozesses.Gettering process and process for producing the getter substance
According to their mode of action, the previously customary yeast substances can be divided into two major ones
Main groups are divided. The first binds: those in the discharge vessel
Residual gases during evaporation;, Mg, or in a sufficiently finely divided state (as a getter mirror).
The second category, on the other hand, makes use of the property of the Zrkon, im
: hot state to bind gases. For this. @ au, s zircon in powder form is mostly used
Prepare a paste with a suitable binding agent in a suspension liquid
and these on electrodes that come to a high temperature when the discharge tube is in operation.,
mostly or the anode. However, there are a number of disadvantages to this method
at. So is in the manufacturing process, i. H. when glowing over electrode @ n, the anode
mostly brought to a temperature by HF annealing at which all auxiliary substances
Binders etc. evaporate. But at the same time there is zircon powder
naturally at a temperature that is very suitable for its getter effect. This
HF _gusglishproz, eß coincides with the time and partly also causally with the expulsion
from large amounts of gas from oden electrodes, the discharge vessel in question, it together.
This prevails in the discharge vessel for a considerable period of time
Gas pressure that will not occur again in later operation. With a large number
of tube types also reach the electrodes, including those carrying the zirconium,
in normal operation only significantly lower temperatures than during this process.
Das Zirkongetter befindet sich demnach im Zeitpunkt eines hohen Gasangebotes
im Zustand, "einer hohen Getterfä,h:igkeit. Es wird daher bereits zu diesem Zeitpunkteine
große Menge Gasbinden und demnach im Beginn,der Normalbetriebsidauer eine beträchtliche
Gasbeladung aufweisen. Damit wird
naturgemäß seine Wirksamkeit als
Arbeitsgetter beeinträchtigt. Die zu lösende Aufgabe bestand demnachdarin, beim
Ausglühen der Systemteile, vor allem,der das Heißgetter tragenden Elektroden, das
teils aus diesen, teils aus,dem Heißgetter, teils aus anderen Quellen stammende
Gas möglichst daran zu hindern, von dem an sich gleichzeitig aktiven Hei.ßgetter
aufgenommen zu werden.The zirconium getter is therefore at the time of a high gas supply
in the state "of a high getter capacity
large amount of gas binding and therefore a considerable amount of normal operating time at the beginning
Have gas loading. So that will
naturally its effectiveness as
Work getter impaired. The task to be solved consisted in the
Annealing of the system parts, especially the electrodes carrying the hot getter, the
partly from these, partly from the hot getter, partly from other sources
To prevent gas as much as possible from the at the same time active hot getter
to be included.
Die Erfindung löst diese Aufgabe dadurch, daß eine Kombination verwendet
wird" die aus einem in heißen Zustand, wirkenden Getter und aus einem als Verdampfungs.getter
wirkenden Fangstoff besteht: Verdampfungsgetter besitzen im Verlauf ihrer Verdampfung
eine wesentlich stärkere Getterwrkung .als. Heißgetter und übernehmen, daher unter
sonst gleichen Bedingungen den. Hauptanteil des zur Bindung gelangenden Gases. iU`m
diesen Prozeß möglichst wirkungsvoll 'zu gestalten, ist es gemäß der Erfindung wesentlich."daß
das Heiß- und das: Verdampfungsgetter möglichst innig vermischt sind.The invention solves this problem by using a combination
is made up of a getter that is in a hot state and a getter that acts as a vaporization getter
active trapping material consists: Evaporation getters possess in the course of their evaporation
a much stronger getter effect than. Hot getter and take over, hence under
otherwise the same conditions. Main part of the binding gas. iU`m
To make this process as effective as possible, it is essential according to the invention that
the hot and the: evaporation getter are mixed as intimately as possible.
So können ausgezeichnete Ergebnisse erzielt wer-,den, wenn das Kombinationsgetter
beispielsweise in ;der folgenden Weise hergestellt wird: Ausgehend von Zirkono xyd
wird dieses mittels Magnesnumpulvers außerhalb, des Entladungsrohres zu Zirkon umgesetzt.
Die derart entstandene Substanz enthält neben diesem und Mabgnesiumoxyd das hierbei.
als Verdampfungsgetter wirkende Magnesium in feinster Verteilung. Das Kom@binationsgetterpulver
wird in üblicher Weise zu einer Paste angerührt und aufgetragen. Im Verlauf (des
Pumpprozesses verdampft das Verdampfungsgetter, wenn die Elektroden auf eine entsprechende
Temperatur kommen. Naturgemäß ist es nicht erforderlich, das Kombinationsgetter
in der angegebenen Weise herzustellen. Es kann dies au-oh -aus den angegebenen oder
anderen geeigneten Komponenten ,durch mechanisches Vermischen oder aus geeigneten
Substanzen durch entsprechende chemischeVorgänge hergestellt werden. Eine Beimengung
von Mg0 od. -dgl. im fertigen Kombinationsgetter hat sich, als für die Haftfähigkeit
günstig erwiesen, und soll daher, falls es beim Zubereitungsprozeß nicht entsteht,
:dem fertigen Produktzugegeben werden..Excellent results can thus be achieved if the combination getter
for example in the following way: Starting from zirconium oxide
this is converted into zirconium by means of magnesia powder outside the discharge tube.
In addition to this and magnesium oxide, the substance produced in this way also contains this.
Magnesium, which acts as an evaporation getter, is finely divided. The combination getter powder
is mixed in the usual way to a paste and applied. In the course (des
The pumping process vaporizes the evaporation getter when the electrodes are on a corresponding
Temperature come. Naturally, it is not necessary to use the combination getter
to be prepared in the manner indicated. It can be this au-oh -from the specified or
other suitable components, by mechanical mixing or from suitable
Substances are produced by appropriate chemical processes. An addition
of Mg0 or the like. in the finished combination getter has proven itself as for the adhesiveness
proven to be beneficial, and should therefore, if it does not occur during the preparation process,
: to be added to the finished product ..