DE8714847U1

DE8714847U1 - Greifer für einen Reinraum-Handhabungsapparat

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Publication number: DE8714847U1
Application number: DE8714847U
Authority: DE
Original assignee: Prettl Laminar Flow and Prozesstechnik 7445 Bempflingen De GmbH
Current assignee: Prettl Laminar Flow and Prozesstechnik 7445 Bempflingen De GmbH
Priority date: 1987-11-07
Filing date: 1987-11-07
Publication date: 1988-03-17

Description

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Anmelderin; 4. November 1987

Prettl 400GG1OO AW/Lö

Laminarflow + Prozeßtechnik GmbH Neckartenzlinger Straße 744S Bempflingen

Vertreter: Witte & Weller Patentanwälte Schickhardtstraße 7000 Stuttgart 1

Greifer für einen Reinraum-Handhabunqsapparat

Die Erfindung betrifft einen Greifer für einen Reinraum-Handhabungsapparat, mit einem gekapselten Gehäuse, das einen Antrieb für aufeinander zu und voneinander weg bewegbare Greiferelemente zum Ergreifen und Transportieren von Gegenständen aufweist.

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Ein ösreifer der votstehend genannten Art ist bekannt/ z.B. aus einem Prospekt "Unimate Puma Reinraüm^Roboter" der Firma Unimation.

Greifer der vorstehend genannten Art werden bei Handhabungsapparaten oder Robotern eingesetzt, um in Reinräumen Transportjj Montage- oder Fügearbeiten auszuführen. Ein typisches Anwendungsbeispiel für diese Greifer ist der Transport von Wafern, d.h. kreisscheibenförmigen Substratplatten, wie sie in der Kältleitertechnölögie zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen und dgl. Verwendung finden.

•ei Greifern der vorstehend genannten Art muß besonderer Wert auf die Reinraumtauglichkeit gelegt werden, d.h., daß der Greifer mit seinen bewegten Elementen nur ein Mindestmaß von Partikeln abgeben darf. Der bekannte Greifer ist daher hinsichtlich seiner Antriebselemente gekapselt, infolge eines aufwendigen Betätigungsmechanismus für die Greiferelemente ist jedoch ein entsprechend hoher Kapselungsaufwand erforderlich.

Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, einen Greifer der eingangs genannten Art dahingehend weiterzubilden, daß bei einem extrem vereinfachten Betätigungsmechanismus ein •bensö einfacher Aufbau entsteht, bei dem der Aufwand für die Kapselung in vertretbaren Grenzen bleibt und trotzdem die Reinraumtauglichkeit bis in hohe Reinraumklassen hinein gewährleistet ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß im Gehäuse zwei parallele Arme geführt sind, die im Gehäuse in

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Zahnstangen auslaufen und daß die Zahnstangen auf diametral Gegenüberliegenden Seiten mit einem motorisdh anttfeibbaren Ritzel kämmen.

Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird auf diese
Weise vollkommen gelöst, weil lediglich zwei parallele Arme durch entsprechende Öffnungen im Gehäuse geführt werden müssen, wobei die erforderliche Kapselung durch übliche Dichtungen gewährleistet werden kann. Zum Betätigen der Greifelemente

ist lediglich ein einziges Betätigungselement, nämlich das [ &lgr;

sich drehende Ritzel erforderlich, das von selbst bei seiner

• Drehung die gewünschte gegenläufige Bewegung der Greifelemente

verursacht.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sitzt das Ritzel auf einer motorisch angetriebenen Hohlwelle.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß bei der ohnehin erforder-

liehen dichten Führung der Hohlwelle der Innenraum der Hohlwelle für zusätzliche Aufgaben genutzt werden kann.

So kann bei einer Variante dieses Ausführungsbeispiels dir

f. &ngr; Hohlraum der Hohlwelle sich in den Innenraum des Gehäuses
öffnen.

Dies hat zum einen den Vorteil, daß an den Hohlraum der Hohl-

f welle eine Vakuumpumpe angeschlossen werden kann, um im Gehäuse

einen Unterdruck zu erzeugen, durch den Partikel, die sich

ggf. beim Betätigen des Antriebes bilden, sofort abgesaugt

%. werden, ehe sie über die Durchführungen der Arme in die Umgebung

des Reinraumes gelangen.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die Zahnstangen einerseits und das Gehäuse andererseits mit einer justierbaren Lage-Sensoranordnung versehen.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß die Bewegung der Greifelemente elektronisch überwacht und geregelt werden kann, sei es durch, kontinuierliche Erfassung der axialen Position der Zahnstangen, sei es hinsichtlich eines Erreichens von Endlagen. So ist es beispielsweise möglich, durch entsprechende Programmierung der Steuereinrichtung für den Antrieb mit der Lage-Sensoranordnung Endlagen zu definieren, die so bemessen sind, daß in diesen Endlagen die Greiferelemente den Gegenstand entweder sicher greifen oder sicher von diesem gelost sind.

Bei diesem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist ebenfalls besonders vorteilhaft, wenn das Ritzel auf einer motorisch angetriebenen Hohlwelle sitzt, deren Hohlraum sich in das Gehäuse öffnet, weil dann nämlich die Verbindungskabel der Lage-Sensoranordnung durch den Hohlraum geführt werden können. Dies kann alternativ oder zusätzlich zu der bereits geschilder ten Vakuumabsaugung geschehen.

Bei weiteren Ausführungsformen der Erfindung sind die Arme mit den Zahnstangen lösbar verbunden.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß für unterschiedliche Greiferaufgaben unterschiedlicher Arme mit jeweils dem Einsatzfall angepaßten Greiferelementen angesetzt werden können. Auch im Falle einer Beschädigung oder sonstigen Wartung der Arme oder der Greiferelemente können die Arme mit wenigen Handgriffen ausgetauscht werden.

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Bevorzugt sind die Arme hierzu als Rohre ausgebildet und die Zahnstangen laufen in Zapfen aus, die in die Rohre gesteckt sind. In diesem Falle können die Zapfen vorzugsweise mittels radialer Stiftschrauben in den Rohren fixiert werden.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß die Arme mit wenigen Handgriffen durch Umstecken ausgetauscht werden können, wobei die Profile der Zapfen und die Innenprofile der Rohre ferner so ausgebildet sein können, daß die Arme in definierter Drehstellung auf die Zapfen aufschiebbar sind und daher die Greiferelemente bereits vorjustiert sind.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind die Arme über Knie abgewinkelt und tragen die Greiferelemente über weitere Arme.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß infolge der abgeknickten Anordnung der Arme eine Anordnung entsteht, bei der das Gehäuse mit dem Antrieb sich weit seitlich neben dem eigentlichen Handhabungsbereich befinden kann, wenn die Arme zunächst horizontal und dann abgeknickt vertikal nach unten verlaufen. Da Greifer der hier interessierenden Art üblicherweise in Reinräumen verwendet werden, bei denen die Reinraumqualität durch eine laminare Luftströmung aufrecht erhalten w.'rd, die den Raum vertikal durchströmt, hat eine Anordnung des Gehäuses mit dem Antrieb im seitlichen Abstand vom eigentlichen Handhabungsbereich den Vorteil, daß selbst dann, wenn Partikel aus dem Gehäuse austreten, diese durch den laminaren Luftstrom vertikal nach unten mitgenommen werden und mithin nicht in den eigentlichen Handhabungsbereich, d.h. den Bereich gelangen

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können, in dem die Greiferelemente am unteren Ende der vertikalen weiteren Arme die Gegenstände ergreifen und handhaben.

Besonders bevorzugt ist, wenn die Greifelemente aus Kunststoff bestehen. Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß durch geeignete Materialwahl Greiferelemente eingesetzt werden können, deren Partikelabschaltungsquote extrem niedrig ist.

Entsprechendes gilt für weitere Ausführungsbeispiele der Erfindung, bei denen die Arme aus einem Kern aus Metall bestehen, der mit einer Hülle aus Kunststoff ummantelt ist oder bei denen das Gehäuse auf einer Säule angeordnet ist und die Säule einen Kern aus Metall aufweist, der mit einer Hülle aus Kunststoff ummantelt ist.

In den beiden vorgenannten Fällen ergibt sich der Vorteil, daß die mechanische Stabilität der Anordnung durch den jeweiligen metallischen Kern gewährleistet wird, während die Reinraumtauglichkeit durch die Kunststoffumhüllung gewährleistet bleibt.

Bevorzugt ist in den vorgenannten Fällen der Kunststoff ein Polyvinylidenfluorid (PVDF). Dieser Kunststoff hat sich in der Reinraumtechnik infolge seiner extrem niedrigen Partikelabscheidungsquote als besonders vorteilhaft erwiesen.

Bei den vorstehend genannten Ausführungsbeispielen ist das Metall vorzugsweise Aluminium, weil dies ein geringes Gewicht mit hoher mechanischer Stabilität verbindet. Ein geringes Gewicht bedeutet jedoch auch geringe Betätigungskräfte des Antriebes und damit einen kleinen Antrieb mit entsprechend geringer Partikelabscheidung.

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Schließlich sind noch Ausführungsbeispiele der Erfindung bevorzugt, bei denen das Gehäuse und die Arme eine strömungsgünstige Kontur für einen rechtwinklig zu den Armen fließenden Luftstrom aufweisen.

Diese Maßnahme, die beispielsweise dadurch realisiert werden ; kann, daß die Arme als zylindrische Rohre und das Gehäuse

Jj ebenfalls als Zylinder oder Halbzylinder ausgebildet sind,

hat den Vorteil, da£ bei der bereits weiter oben erwähnten

S laminaren vertikalen Luftströmung in Reinräumen nur sehr geringe

si ' Verwirbelungen entstehen, so daß die Reinraumqualität auch durch diese aerodynamisch günstige Kontur nur minimal beeinflußt werden.

Weitere Vorteile ergeben sich aus der Beschreibung und der beigefügten Zeichnung.

Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nachstehend noch erläuterten Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen4 So versteht sich beispiels- -₍ weise, daß der vorzugsweise verwendete Antrieb der Arme mit Ritzel und Zahnstangs prinzipiell unabhängig davon ist, wie die Arme im einzelnen ausgestaltet und angeordnet sind und welche Materialien verwendet werden, welche Lageregelung eingesetzt wird und auf welche Weise die Arme an den Antriebselemsnten befestigt werden. All diese Elemente sind jeweils auch für sich alleine einsetzbar, ohne daß dies den Rahmen der vorliegenden Erfindung sprengt.

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Ein Äüsführüngsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird in def nadhfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Seitenansicht» teilweise aufgebrochen» eines Ausfuhrungsbeispieis eines erfindungsgemäßen

Fig* 2 eine Draufsicht auf den Greifer gemäß Fig. 1;

^ Fig. 3 eine Ansicht der erfindungsgemäß verwendeten

Greiferelemente, jeweils von rechts in der Perspektive der Fig. 1 und 2.

In den Fig. 1 bis 3 bezeichnet 10 als Ganzes einen Greifer, wie er für Handhabungsapparate unter ReLnraumbedingungen eingesetzt werden soll.

Der Greifer 10 ist auf einer Säule 11 angeordnet, die ihrerseits vorzugsweise vertikal verfahrbar ist, aber auch in horizontaler Koordinatenrichtung verfahrbar oder um eine Hochachse drehbar ausgebildet sein kann.

Die Säule 11 besteht im wesentlichen aus einem rohrförmigen Kern 12 aus einem Metall, vorzugsweise Aluminium sowie aus einer ebenfalls rohrförmigen Hülle 13, die aus einem Kunststd/ff, verzugsweise einem Polyvinylidenfluorid (PVDF) besteht*

Durch die Säula 11 führt axial eine Hohlwelle 14, die mit einem Hohlraum 15 versehen ist. Am oberen freien Ende der Hohlwelle 14 ist ein Ritzel 16 drehstarr mit der Hohlwelle

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verbunden* Das Ritzel 16 kämmt, wie deütlieh aus Fig* 2 zu erkennen ist, auf seihen beiden gegenüberliegenden Seiten mit Zähnstangen 17, die mittels in den Fig. nicht näher dargestellter Lager axial in einem Gehäuse 18 geführt sind. Das Gehäuse 18 ist allseits gekapselt« Das Gehäuse 18 kann ebenso wie dies zuvor für die Säule 11 erläutert wurde, aus einem metallischen Kern und einem Kunststoff-überzug bestehen, wenn dies im Einzelfall gewünscht ist. »

Im Innenraum des Gehäuses 18 befindet sich an jeder Zahnstange 17, 17a eine Marke 19, die mit einem gehäusefesten Sensor 20 in Wirkverbindung steht. Die auf diese Weise gebildete Lage-Sensoranordnung, die auf induktivem, kapazitivem, optischem oder sonstigem Prinzip beruhen kann, gestattet es, die axiale Lage der Zahnstangen 17, 17a zu erfassen, sei es kontinuierlich, sei es hinsichtlich des Erreichens von Endstellungen. Im letzteren Fall ist es besonders zweckmäßig, wenn entweder die Marke 19 oder der Sensor 20 in axialer Richtung justierbar ist, wie in Fig. 1 mit einem Pfeil 21 angedeutet. Durch diese Justagemöglichkeit können axiale Verfahrwege der Zahnstangen 17, 17a zwischen zwei Endstellungen vorgegeben werden.

Ein Anschlußkabel 22 für die Sensoranordnung 19, 20 ist durch den Hohlraum 15 der Hohlwelle 14 nach außen geführt.

Das Gehäuse 18 ist mit einer Außenkontur 23 von beispielsweise halbzylindrischer oder vollzylindrischer Gestalt versehen» während dis Säule 11 sine Kontur 24 von vorzugsweise kreiszylindrischer Gestalt aufweist.

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Die Zahnstangen 17, 17a laufen an ihrem in den Fig. 1 und 2 ! rechten Ende in Zapfen 30, 30a aus. Die Zapfen 30, 3Öa sind

j in linke freie Enden von horizontal verlaufenden Armen 31,

\ 31a eingesteckt. Die Arme 31, 31a sind ebenfalls so aufgebaut,

daß ein Kern 32 aus Metall, vorzugsweise Aluminium von einer Hülle 33 aus Kunststoff, vorzugsweise PolyvinyÜdenfiuorid (PVDF) unveben ist; Mittels Stiftsshf&Uben 34 sind, die Arsie

31, 31a mit den Zapfen 30, 30a axial fest verbunden. Es versteht I
eich* daß durch geeignete Formgebung der Zapfen 30, 30a und der Innenräume der hohlen Arme 31, 31a auch ein* Verdrehsiche- \ rung bzw. eine Justierung in Verdrehrichtung erzielt werden kann.

Die Arme 31, 31a sind mit einer Kontur 35 von beispielsweise ebenfalls kreiszylindrischer Gestalt versehen.

Die Konturen 23, 24 und 35 sind insgesamt so gestaltet, daß eine besonders stromungsgunstige Anordnung in Bezug auf eine j Luftströmung 36 entsteht, die den Reinraum, in dem sich der

Greifer 10 befindet, in vertikaler Richtung von oben nach unten durchsetzt. Die Konturen 23, 24 und 35 können dabei kreiszylindrisch, halb-kreiszylindrisch, tropfenförmig oder

j >. sonstwie gestaltet sein, damit nur minimale Luftwirbel infolge der Luftströmung 36 auftreten.

Die Arme 31, 31a verlaufen in horizontaler Richtung. An ihren rechten freien Enden in den Fig. 1 und 2 knicken sie dann S über Knie 38, 38a vertikal nsch unten ab und Verläufen dort

in vertikalen weiteren Armen 39, 39a weiter, die ebenfalls kreiszylindrisch ausgebildet sein können und einen Aufbau haben, wie er bereits weiter oben geschildert wurde.

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An den Unteren freien Enden der vertikalen Arme 39/ 39a sind Greiferelemente 40, 40a angeordnet/ deren Gestalt sich vor allem auch aus Fig. 3 ergibt. Die Greiferelemente 40, 40a Bind in der Ansicht der Fig. 3 asymmetrisch ausgestaltet, weil die Arme 31, 31a bzw. 3Ö, 39a in axialem Abstand zueinander angeordnet sind, die Greiferelemente 40, 40ä jedoch miteinander

I fluchtende Rasten zum Ergreifen der Gegenstände aufweisen

I sollten.

&bgr; So weisen beide Greiferelemente 40, 40a an einer unteren

&iacgr; ) waagerechten Kante eine seitliche Raste 41, eine Breite,

I mittlere Raste 42 sowie am anderen Ende eine weitere seitliche

I Raste 43 auf. Diese Rasten 41 bis 43 sind so gestaltet, daß

I ein vorgegebener Gegenstand 44 an zu den Rasten 41 bis 43

I entsprechenden Ausnehmungen 45, 45a ergriffen werden kann.

·; Der Gegenstand 44 kann insbesondere ein Halter für eine Vielzahl

• parallel angeordneter Wafer sein, wie sie in Naßprozeßanlagen i der Halbleiterherstellung eingesetzt werden · Bei diesem Ein-

satzfall wird der Greifer 10 durch horizontalachsiges Verfahret \ der Säule 11 in einer Richtung senkrecht zur Zeicsienebene der

Fig. 1 in eine Position verfahren, in der auf eine Ablagestation verschiedene Halter angeordnet sind, die noch unbearbeitete Wafer enthalten. Die Greiferelemente 40 befinden sich zunächst &iacgr; oberhalb dieser Halter und werden dann durch vertikales Ver-

\ fahren der Säule 11 in eine Positio.* gefahren, wie sie in

^? Fig. 1 mit dem gestrichelten Gegenstand 44 angedeutet ist.

f. Die Greif erelemente 40 befinden sich dabei zunächst in eine

I in Fig, I nicht dargestellten auseinandergefahrenen Position.

* in der die Rasten 41 bis 43 bzw. 41a bis 43a sich außerhalb der Ausnehmungen 45 bzw. 45a befinden. Durch Verdt&h^ ar

Hohlwelle 14 und damit des Ritzels 16 in Gegenuhrzeigerrichtung werden nun die Greiferelemente 40, 40a aufeinander zu gefahren, bis der Gegenstand 44 formschlüssig ergriffen wird, weil die Rasten 41 bis 43 bzw. 41a bis 43a in die Ausnehmungen 45 bzw. 45a greifen. Dies ist in Fig. 2 mit Pfeilen 50 bis 52 veranschaulicht. Durch vertikales Ausfahren der Säule 11 nach oben wird nun der Halter (Gegenstand 44) mit den Wafern angehoben und durch horizontalachsxges Verfahren der Säule 11 in einer Richtung senkrecht zur Ebene der Fig. 1 in eine Position |

verfahren, in der sich der Halter mit den Wafern nun oberhalb ^ eines Behandlungsbades befindet. Durch vertikales Einziehen der ] Säule 11 kann nun der Halter mit den Wafern in das Behandlungsbad abgesenkt werden und dort eine bestimmte Zeitdauer verbleiben. Durch nachfolgendes Anheben und Weiterverfahren des Greifers 10 kann der Halter mit den Wafern nun nachfolgend weiteren Behandlungsbädern zugeführt und schließlich auf einer Lagestation für bearbeitete Wafer abgelegt werden.

In Fig. 1 ist mit 55 noch eine Vakuumpumpe bezeichnet, die über eine Leitung 56 an den Hohlraum 15 der Hohlwelle 14 angeschlossen ist. Auf diese Weise wird im Hohlraum 14 ein mit einem Pfeil 57 in Fig. 1 angedeuteter Luftstrom erzeugt, der beständig einen Unterdruck int Innenraum des Gehäuses 18 bewirkt. Mit Pfeilen 59 ist angedeutet, daß dies auch eine Saugwirkung im Bereich der Durchführung der Arme 31, 31a im Gehäuse 18 erzeugt, die mit einer Dichtung 60 versehen ist. Sofern infolge der axialen Bewegung der Arme 31, 31a im Bereich der Dichtungen 60 Partikel abgeschieden werden, so werden diese, wie mit den Pfeilen 59 angedeutet, unmittelbar abgesaugt und über den Hohlraum 15 und die Vakuumpumpe 55 in einen Bereich außerhalb des Reinraums gefördert.

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Claims

Schutzansprüche

1. Greifer für einen Reinraum-Handhabungsapparat, mit einem gekapselten Gehäuse (18), das einen Antrieb (16, 17) für aufeinander zu und voneinander weg bewegbare Greiferelemente (40, 40a) zum Ergreifen und Transportieren von Gegenständen (40) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß im Gehäuse (18) zwei parallele Arme (31, 31a) geführt sind, die im Gehäuse (18) in Zahnstangen (17, 17&egr;./ auslaufen und daß die Zahnstangen (17, 17a) auf diametral gegenüberliegenden Seiten mit einem motorisch antreibbaren Ritzel (16) kämmen.

2. Greifer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ritzel (16) auf einer motorisch angetriebenen Hohlwelle (14) sitzt.

3. Greifer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Hohlraum (15) der Hohlwelle (14) sich in einen Innenraum des Gehäuses (18) öffnet.

4. Greifer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß an den Hohlraum (15) der Hohlwelle (14) eine Vakuumpumpe (55) angeschlossen ist.

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5. Greifer nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch

gekennzeichnet, daß die Zahnstangen (17, 17a) einerseits und das Gehäuse (18) andererseits mit einer justierbaren Lage-Sensoranordnung (19, 20) versehen sind.

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6. Greifer nach Anspruch 3 und 5, dadurch gekennzeichnet,

; daß ein Verbindungskabel der Lage-Sensoranordnung (19,

20) durch den Hohlraum (15) geführt ist.

7. Greifer nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch

' ) gekennzeichnet, daß die Arme (31, 31a) mit den Zahn-

Stangen (17, 17a) lösbar verbunden sind.

8. Greifer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Arme (31, 31a) als Rohre ausgebildet sind und daß die Zahnstangen (17, 17a) ir. Zapfen (30, 30a) auslaufen, die in die Rohre gesteckt sind.

9. Greifer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, ciaß die Zapfen (30, 30a) mittels radialer St'"ft schrauben (34) in den Rohren fixiert sind.

10. Greifer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, da£> die Arme (31, 31a) über Knie (38, 3öa) abgewinkelt sind und über weitere Arme (39, 39a) die Greiferelemente (40, 40a) tragen.

11. Greifer nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiferelemente (40, 40a) aus Kunststoff bestehen.

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12. Greifer nach einem der Ansprüche i bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Arme (31, 31a, 39, 39a) aus einem Kern (32, 32a) aus Metall bestehen, der'mit einer Hülle (33, 33a) aus Kunststoff ummantelt ist.

13. Greifer nach einem der Ansprüehe 1 bis 12, dadufch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (18) auf einer Säule (11) angeordnet ist, und daß die Säule einen Kern (12) aus Metall aufweist, der mit einer Hülle (13) aus Kunststoff ummantelt ist.

14. Greifer nach einem der Ansprache 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Kunststoff Polyvinylidenfluorid (PVDF) ist.

15i Greifer nach einem der Ansprüehe 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall Aluminium ist.

16. Greifer nach einem der Ansprüehe 1 bis 15, dadurch

gekennzeichnet, daß das Gehäuse (18) Und die Arme (31, 31a) eine strömungsgünstige Kontur (23, 35) für einen rechtwinklig zu den Armen (31, 31a) fließenden Luftstrom , (36) aufweisen.