DE869825C - Abdampfbehaelter fuer zu verdampfende Substanzen - Google Patents
Abdampfbehaelter fuer zu verdampfende SubstanzenInfo
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims description 8
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 title claims description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/06—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising selenium or tellurium in uncombined form other than as impurities in semiconductor bodies of other materials
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Description
- In vielen Zweigen der Technik werden aufzubringende dünne Schichten mit Vorteil aufgedampft. Das zum Aufdampfen benutzte Material, z. B. ein Metall oder ein Halbleiter; ist dabei -in einem insbesondere elektrisch, aüfheizbären Behälter _ _angeoxdnet,. der._vorzugsweise Schiffchenform aufweist und aus -einem Blechstreifen geformt ist. Bei' der Fertigung, insbesondere von Trockengleichrichtern, z. B. Selengleichrichtern, und Glimmerkondensatoren, tritt nun die große Schwierigkeit auf, die aufgedampfte Schicht immer in der vorbestimmten gleichmäßigen Dicke und Ausdehnung zu erhalten. Eine große Sicherheit der Fertigung wird nur dann erreicht, wenn die Gewähr gegeben ist, daß das gesamte zu verdampfende Material vollständig in den festgelegten Raum bzw. auf die vorgegebene Fläche verdampft, -da nur in -diesem Fall eine jederzeit reproduzierbare Schichtdicke erreicht wird. Die Verdampfung soll auch häufig in einer jederzeit reproduzierbaren Zeit erfolgen. Durch die Erfindung wird dies gewährleistet. Der Behälter bzw. Heizträger für irgendwelche verdampfbaren Substanzen, insbesondere für Metalle und Halbleiter, der durch Stromleitung aufgeheizt wird, ist gemäß der Erfindung gekennzeichnet durch eine solche geometrische Formgebung, daß die Mitte des aufgeheizten Behälters eine tiefere Temperatur als die Randteile . aufweist. Bei einer solchen Formgebung bleibt das- Abdämpfmittelimmer in Tropfenform mit einer t:eproduzierbaren, abdampfenden Oberfläche in der Mitte des Behälters, da dort die kälteste Stelle ist. Ein Abwandern des 'Abdampfmittels nach den höhere Temperaturen aufweisenden Enden ist unmöglich. Es kann also- eine vorbestimmte Menge des Abdampfmittels vollständig in reproduzierbarer Zeit -in den festgelegten Raum bzw. :auf die vorgegebene Fläche verdampft werden. Damit ist aber bei der Fertigung die Gleichmäßigkeit der aufgedampften Schicht sichergestellt: -Vorzugsweise ist der Querschnitt des z. B, zur Herstellung des Abdampfschiffchens benützten Blechstreifens an den Enden verringert. Man kanndie Querschnittsverringerung'hespielsweise-durch Einschneiden oder Einkerben des Blechstreifens an den Enden erreichen, wie es z. B. die Fig. r zeigt. Besser ist jedoch, den Querschnitt der Enden insgesamt zu verringern, wie es aus der Fig. ä ersichtlich ist. Man hat dann noch den besonderen Vor-,teil, daß die Wärmeableitung nach der Einspannstelle gering wird.
- Bei höheren Temperaturen, wie sie beispielsweise zum. Verdampfen von .Schwermetallen erforderlich sind, spielt auch die Wärmeabstrahlung eine große Rolle. Um die Abstrahlung an den Enden des Behälters klein zu halten, empfiehlt es sieh, dort die Oberfläche zu verkleinern. Auch auf diese Weise kann man. dazu beitragen, daß die Temperatur ' in der Schiffchenmitte am kleinsten ist.
- In der Fig. 3 ist beispielsweise ein Abdampfschiffchen gemäß der Erfindung in perspektivischer Ansicht dargestellt, bei dem die Enden des,Schiff-. chens einen entsprechend Fig. 2 verringerten Quer-:schnitt besitzen. Außerdem ist aber auch ihre Oberfläche durch Zusammenkneifen verringert. Man kann so durch die Formgebung jedes gewünschte Wärmegefälle am Schiffchen erzeugen. Dabei ist dann aber jeweils auch der Temperaturkoeffizient zu berücksichtigen.
- Statt der Schiffchenform können auch andere Formen Verwendung finden. So kann z.. B: mit Vorteil eine Bandform benutzt werden, die in der Mitte eine kleine Vertiefung zur Aufnahme einer geringen Menge der zu verdampfenden Substanz aufweist. Eine solche Form bringt den Vorteil, daß man in' den ganzen Halbraum hinein mit der gleichen Dampfstrahldichte verdampfen kann.
- Wenn es sich darum handelt, in den gesamten Kugelraum mit- gleichmäßiger Dampfstrahldichte zu verdampfen, ist es notwendig, das zu verdampfende Mittel als Kugel im freien Raum an der kältesfen Stelle des Heizträgers aufzuhängen. Ein Beispiel hierfür zeigt die Fig. q.. Als Heizträger i ist beispielsweise ein Wolframdraht in Haarnadelform. benutzt, der am Knickpunkt eine oder wenige Windungen eines Drahtes aus schwer verdampfbarem -Material, z. B. eines Platindrahtes 2, trägt, um die kälteste Stelle zu schaffen. Das beispielsweise zu verdampfende Silber wird z. B. in Drahtform um diesen Knickpunkt herum aufgewickelt. Beim Aufheizen bildet sich dann ein kegelförmiger Tropfen 3, der nach' allen Seiten gleichmäßig den Silberdampf abstrahlt.
Claims (3)
- PATENTANSPRÜCHE: i. Behälter bzw. Heizträger für irgendwelche verdämpfbaren--Substanzen, insbesondere für Metalle und Halbleiter; der durch Stromleitung aufgeheizt wird, gekennzeichnet durch eine solche geometrische Formgebung, daß die Mitte des' aufgeheizten -Behälters eine tiefere Temperatur als die Randteile aufweist.
- 2. Heizträger nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Leitungsquerschnitt an den Enden verringert ist;
- 3. Heizträger nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die abstrahlende Oberfläche an den Enden verkleinert ist. q.. Heizträger in Form eines Drahtes nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an der Abdampfstelle durch ein zusätzliches, schwer verdampfbares Material eine Querschnittsvergrößerung und damit die tiefere Temperatur erzeugt wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DES10370D DE869825C (de) | 1944-01-19 | 1944-01-20 | Abdampfbehaelter fuer zu verdampfende Substanzen |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DES0010370 | 1944-01-19 | ||
DES10370D DE869825C (de) | 1944-01-19 | 1944-01-20 | Abdampfbehaelter fuer zu verdampfende Substanzen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE869825C true DE869825C (de) | 1953-03-09 |
Family
ID=25994814
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DES10370D Expired DE869825C (de) | 1944-01-19 | 1944-01-20 | Abdampfbehaelter fuer zu verdampfende Substanzen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE869825C (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3187715A (en) * | 1963-10-23 | 1965-06-08 | American Components Inc | Mechanism for evaporation deposition |
US3598958A (en) * | 1969-11-26 | 1971-08-10 | Sylvania Electric Prod | Resistance heated evaporation boat |
US5261964A (en) * | 1991-12-03 | 1993-11-16 | Leybold Aktiengesellschaft | Evaporator boat for an apparatus for coating substrates |
-
1944
- 1944-01-20 DE DES10370D patent/DE869825C/de not_active Expired
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3187715A (en) * | 1963-10-23 | 1965-06-08 | American Components Inc | Mechanism for evaporation deposition |
US3598958A (en) * | 1969-11-26 | 1971-08-10 | Sylvania Electric Prod | Resistance heated evaporation boat |
US5261964A (en) * | 1991-12-03 | 1993-11-16 | Leybold Aktiengesellschaft | Evaporator boat for an apparatus for coating substrates |
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