Belichtungsmesser für Korpuskularstrahlapparate Bei Korpuskularstrahlapparaten,
beispielsweise Elektronenmikroskopen, die mit Einrichtungen zur Herstellung von
Innenaufnahmen ausgerüstet sind, ist es bekannt, einen Belichtungsmesser anzuwenden,
bei dem die Leuchtschirmhelligkeit mit der Helligkeit einer Faribglasscheibe verglichen
wird, die von einer kontinuierlich regelbaren Lichtquelle beleuchtet wird. Bei diesen
Anordnungen ist die Farbglasscheibe in der Nähe des Leuchtschirmes angeordnet, so
daß sie vom Beobachter gleichzeitig mit dem Leuchtschirm betrachtet werden kann.
Die Farbglasscheibe selbst ist von hinten mit einer Glühlampe beleuchtbar, deren
durch einen Regelwiderstand veränderbarer Strom zur Ermittlung der Belichtungszeit
dient. Um einen guten Vergleich zwischen der Helligkeit der Farbglasscheibe und
dem Leuchtschirm selbst zu ermöglichen, wird bei den bekannten Einrichtungen dafür
gesorgt, daß sich die Farbglasscheibe in unmittelbarer Nähe des Leuchtschirmes befindet.Exposure meter for corpuscular beam devices For corpuscular beam devices,
for example electron microscopes, which are equipped with facilities for the production of
Indoor shots are equipped, it is known to use a light meter,
in which the brightness of the luminescent screen is compared with the brightness of a colored glass pane
which is illuminated by a continuously adjustable light source. With these
Arrangements, the colored glass pane is arranged in the vicinity of the luminescent screen, see above
that it can be viewed by the observer at the same time as the fluorescent screen.
The colored glass pane itself can be illuminated from behind with an incandescent lamp
Current that can be changed by a rheostat to determine the exposure time
serves. To make a good comparison between the brightness of the colored glass panel and
To enable the luminescent screen itself, is in the known devices for this
made sure that the colored glass pane is in the immediate vicinity of the fluorescent screen.
Die Erfindung betrifft einen Belichtungsmesser für Korpuskularstrahlapparate,
bei dem ebenfalls die Leuchtschirmhelligkeit mit der Helligkeit einer Farbglasscheibe
verglichen wird. Erfindungsgemäß ist die Farbglasscheibe so angeordnet, daß sie
beim Beobachten neben einem Oberflächenspiegel erscheint, der relativ zum Leuchtschirm
so angeordnet ist, daß der Beobachter die Leuchtschirmhelligkeit in diesem Spiegel
kontrollieren kann. Auf diese Weise ist es möglich, die Farbglasscheibe zu.samtuen.
mit
.ihrer Beleuchtungseinrichtung unter Umständen-auch räumlich entfernter vom Leuchtschirm
anzuordnen; da ja nunmehr für den Vergleich der Helligkeiten der Leuchtschirm nicht
mehr unmittelbar beobachtet werden muß._Für die Messung der Belichtungszeit werden
bei Anwendung der Erfindung zwei dicht beieinanderliegende Flächen verglichen, so
daß eine sehr feinfühlige Einstellung des Lampenreglers möglich ist. Man wird die
Anordnüng vorzugsweise so durchbilden, ,daß der Spiegel und die Farbglasscheibe
parallel zueinander liegen. Das kann beispielsweise in der Weise geschehen, daß
die Spiegelfläche einen Schlitz besitzt, durch den hindurch die dahinter befindliche,
von einer regelbaren Glühlampe beleuchtete Farbglasscheibe beobachtet wird. Man
kann aber die Farbglasscheibe auch dicht am Rande des Oberflächenspiegels anordnen.
Eine besonders einfache konstruktive Lösung des Erfindungsgedankens ergibt sich,
wenn man die regelbare G'lü'hlampe in einer vorzugsweise zylindrischen Kapsel anordnet,
deren denn Leuchtschirm zugewendete Abschlußvvand den Beobachtungsspiegel trägt
und mit einer Öffnung, vorzugsweise einem Schlitz, zur Beobachtung der dahinterliegenden
Farbglasscheibe versehen ist. Besonders einfach wird die Anordnung, wenn man die
dem Leuchtschirm zugewendete Seite der Abschlußwand, die durch die Farbglasscheibe
gebildet wird; für die Herstellung der Oberflächenspiegel metallisiert. .The invention relates to an exposure meter for particle beam apparatus,
in which likewise the luminous screen brightness with the brightness of a colored glass pane
is compared. According to the invention, the colored glass pane is arranged so that it
when observing, appears next to a surface mirror that is relative to the luminescent screen
is arranged so that the observer can see the luminous screen brightness in this mirror
can control. In this way it is possible to velvet the colored glass.
with
.your lighting device under certain circumstances - also spatially further away from the fluorescent screen
to order; since now the luminescent screen is not used to compare the brightnesses
must be observed more directly._For the measurement of the exposure time
when using the invention compared two closely spaced surfaces, so
that a very sensitive setting of the lamp regulator is possible. One becomes the
Form the arrangement preferably in such a way that the mirror and the colored glass pane
lie parallel to each other. This can be done, for example, in such a way that
the mirror surface has a slot through which the
is observed by a controllable light bulb illuminated colored glass. Man
but can also arrange the colored glass pane close to the edge of the surface mirror.
A particularly simple constructive solution to the inventive idea results,
if the adjustable glow lamp is arranged in a preferably cylindrical capsule,
whose closing wall, facing the luminescent screen, carries the observation mirror
and with an opening, preferably a slit, for observing the ones behind it
Colored glass pane is provided. The arrangement is particularly simple if you use the
The side of the end wall facing the luminescent screen, through the colored glass pane
is formed; Metallized for the production of the surface mirror. .
In der Fig. z ist schematisch als Ausführungsbeispiel der Erfindung
ein Belichtungsmesser dar-.gestellt, der in ein Elektronenmikroskop eingebaut ist.
Mit r ist die den unteren Teil des Elektronenmikroskopes bildende Vakuumwand bezeichnet,
in der sich der *Klappleuchtschirm 2 und die dahinter befindliche fotografische
Platte 3 befinden. Mit ¢ ist ein' in der Vakuumwand vorgesehenes Beobachtungsfenster
vorgesehen, durch das hindurch der Leuchtschirm betrachtet wird: Der Belichtungsmesser
besteht aus einer zylindrischen; Kapsel 5, in die eine Glühlampe 6 eingebaut ist,
deren Helligkeit mit Hilfe eines Reglers 7 kontinuierlich geregelt werden kann.
In .der Kapsel 5 ist vor der Glühlampe ein Farbglas 8 angeordnet, und den vorderen
Abschluß bildet die Wand g, welche einen Schlitz ro besitzt, durch den hindurch
die Helligkeit des Farbglases kontrolliert werden kann.In Fig. Z is a schematic embodiment of the invention
an exposure meter, which is built into an electron microscope.
The vacuum wall that forms the lower part of the electron microscope is denoted by r,
in which the * folding lampshade 2 and the photographic one behind it are
Plate 3 are located. With ¢ there is an observation window provided in the vacuum wall
provided through which the luminescent screen is viewed: The light meter
consists of a cylindrical; Capsule 5, in which an incandescent lamp 6 is built,
the brightness of which can be continuously regulated with the aid of a controller 7.
In .der capsule 5 a colored glass 8 is arranged in front of the incandescent lamp, and the front
The wall g, which has a slot ro through it, forms the end
the brightness of the colored glass can be controlled.
Die vordere dem Leuchtschirm 2 zugewendete Seite z z der Wand g ist
metallisiert und bildet auf diese Weise einen Oberflächenspiegel, so daß der Beobachter
beim Betrachten ,dieser Vorderseite die Leuchtschirmhelligkeit im Spiegelbild kontrollieren
kann: Der Beobachter vergleicht so bei Benutzung des Belichtungsmessers die auf
diesem Oberflächenspiegel kontrollierbare Leuchtschirmhelligkeit mit der Helligkeit
der von der Glühlampe 6 beleuchteten Farbglasscheibe. Durch Einstellen auf gleiche
Helligkeit mit Hilfe des Reglers 7 findet man am Amperemeter 12 den der notwendigen
Belichtungszeit zugeordneten Stromwert. Aus einer durch Versuch ermittelten Tabelle
kann man die den jeweiligen Stromwerten entsprechenden Belichtungszelten unmittelbar
entnehmen. Man kann die Anordnung auch so durchbilden, .daß der Strommesser 12 gleich
in Belichtungszeiten geeicht isst.The front side z z of the wall g facing the luminescent screen 2 is
metallized and in this way forms a surface mirror so that the observer
when looking at this front, check the brightness of the luminescent screen in the mirror image
can: The observer compares the on when using the light meter
This surface mirror controllable luminous screen brightness with the brightness
the colored glass panel illuminated by the incandescent lamp 6. By setting on same
Brightness with the help of the controller 7 can be found on the ammeter 12 that of the necessary
Current value assigned to exposure time. From a table determined by experiment
one can immediately see the exposure tents corresponding to the respective current values
remove. The arrangement can also be designed in such a way that the ammeter 12 is the same
eats calibrated in exposure times.
Um zu verhüten, daß von der die Farbglasscheibe beleuchtenden Lichtquelle
aus direktes Licht auf den Leuchtschirm fällt, wird man gemäß der weiteren Erfindung
eine geeignet .gestaltete Maske zwischen dem Oberflächenspiegel und der Lichtquelle
anordnen. Ein Ausführungsbeispiel hierfür ist in Fig.2 schematisch dargestellt.
Soweit die Einzelteile mit denen in Fig. r dargestellten übereinstimmen, sind die
gleichen Bezugszeichen verwendet. An der Stelle, wo sich der Belichtungsmesser befindet,
ist in ,diesem Falle der Abschluß der Vakuumwand durch eine Glasscheibe 21 ,gebildet,
die mit Hilfe der Mutter 22 gegen die Gummiringdichtung 23 gepreßt wird. Die Glasscheibe
21 ist auf der .dem Leuchtschirm z zugewendeten Seite bei 24 metallisiert, so daß
sie den zur indirekten Beobachtung des Leuchtschirmes bildenden Spiegel bildet.
In der Mitte dieser Metallisierung ist der Schlitz 25 ausgespart, durch den hindurch
der Beobachter die dahinter befindliche von der Lampe 6 beleuchtete Farbglasscheibe
8 beobachten kann. Diese Farbglasscheibe erscheint also dem Beobachter unmittelbar
neben der Spiegelfläche 24 im Bereich des Schlitzes 25. Um zu verhüten, daß direktes
Licht von der Lampe 6 auf den Leuchtschirm 2 fallen kann, ist vor die Farbglasscheiben
eine Maske 26 .gesetzt, die das direkte Licht der Lampe 6 so abschattet, daß es
nicht durch den Schlitz 25 auf den Schirm 2 fallen kann.To prevent the light source illuminating the colored glass
from direct light falls on the luminescent screen, one becomes according to the further invention
a suitably designed mask between the surface mirror and the light source
arrange. An exemplary embodiment for this is shown schematically in FIG.
As far as the items match those shown in Fig. R, the
the same reference numerals are used. At the point where the light meter is located,
in this case the closure of the vacuum wall is formed by a pane of glass 21,
which is pressed against the rubber ring seal 23 with the aid of the nut 22. The pane of glass
21 is metallized on the side facing the luminescent screen z at 24, so that
it forms the mirror for indirect observation of the fluorescent screen.
In the middle of this metallization, the slot 25 is cut out through which
the observer the colored glass pane located behind it, illuminated by the lamp 6
8 can watch. This colored glass pane appears immediately to the observer
next to the mirror surface 24 in the area of the slot 25. To prevent that direct
Light from the lamp 6 can fall on the luminescent screen 2 is in front of the colored glass panes
a mask 26. Set that shades the direct light of the lamp 6 so that it
cannot fall through the slot 25 onto the screen 2.