DE8619005U1

DE8619005U1 - Kapazitiver Annäherungssensor

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Publication number: DE8619005U1
Application number: DE19868619005
Authority: DE
Original assignee: Sie Sensorik Industrie-Elektronik 6806 Viernheim De GmbH
Current assignee: Sie Sensorik Industrie-Elektronik 6806 Viernheim De GmbH
Priority date: 1986-07-16
Filing date: 1986-07-16
Publication date: 1986-08-28

Description

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Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Annäherüngssensof mit einem Sensorkopf, der drei partiell in einer Ebene liegende, einander in koaxialer Anordnung umschließende, gegeneinander isolierte Elektroden hat.

Ein solcher kapazitiver Annäherungssensor ist in Form eines berührungslosen Schalters aus der DE-PS 16 73 841 bekannt. Bei einer in Fig. 3 und Fig. 4 dieser Patentschrift dargestellten Ausführungsform liegen die Elektroden des Sensorkopfes insgesamt in einer Ebene. Diese plane Anordnung der Sensorkopfelektroden hat zur Folge, daß die Nutzelektrode auf der Rückseite, d.h. auf der vom Meßobjekt abgewandten Seite, kapazitiv nach Masse belastet wird. Infolge der dadurch entstehenden größeren Grundkapazität zwischen Nutzelektrode und Masse ergibt sich eine geringere Ansprechempfindlichkeit des kapazitiven Sensors.

Gemäß Fig. 1 und 2 der DE-PS 16 73 841 wurde auch bereits vorgeschlagen, die Nutzelektrode eines kapazitiven Annäherungssensors mit einer becherförmigen Abschirmelektrode zu versehen. Die kapazitive Belastung der Nützelektföde kann so verringert werden, doch geht mit der praktischen Realisierung dieses Konzepts nach im Stand der Technik ein hoher apparativer Aufwand einher. Dasselbe gilt für aus der Praxis bekannte kapazitive Sensorköpfe der namhaften Hersteller, bei denen durchweg ein großer mechanischer

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Aufwand getrieben wird, um die rückwärtige kapazitive BeIastüng des Sensörkopfes zu verringern * Teilweise sind diese Sensorköpfe auch nicht vergossen, um die rückwärtige kapazitive Belastung der Sensor-Nützelektrode nicht noch mehr durch die Dielektrizitätskonstante des Gießharzes zu eirhö-Ren.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein konstruktiv unaufwendigen,

' insbesondere nur aus einem einzigen mechanischen Teil beste-

henden Sensorkopf der genannten Aift anzugeben, bei dem die

, rückwärtige kapazitive Belastung der Sensor-Nutzelektrode

auf ein Minimum reduziert ist, um eine erhöhte Ansprechem-

p pfindlichkeit des Sensorkopfes zu erreichen, und mit dem

(" sich je nach der Potentialverteilung auf den Sensörkopfelek-

^> troden ein elektrisches Feld im wesentlichen in Form einer

j Kugel bzw. einer Keule erzeugen läßt.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird vorgeschlagen, daß der Sensorkopf aus einer beidseits mit elektrischen Leiterflächen beschichteten Platine besteht, wobei das leitende Material entlang die Elektroden abteilender Isolationsstrecken unter brochen ist, derart, daß auf der Vorderseite der Platine eine zentrale Flächenelektrode, eine diese umgebende mittlere Ringelektrode und eine diese umgebende äußere Ringelek trode, und auf der Rückseite der Platine eine zentrale Flä-

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chenelektrode und eine diese umgebende äußere Ringelektrode ausgebildet sind, und daß die vorderseitige mittlere Ringelektrode mit der rückseitigen Flächenelektrode elektrisch verbunden und die äußeren Ringelektroden miteinander elektrisch verbunden sind.

Beim Betrieb des kapazitiven Annäherungssensors dient die
vorderseitige Flächenelektrode als Nutζelektrode. Die rückseitige Flächenelektrode bildet zusammen mit der vorderseitigen mittleren Ringelektrode eine die Nutzelektrode
becherähnlich umgebende Abschirmelektrode. Die miteinander verbundenen äußeren Ringelektroden können auf Masse gelegt sein und so als das elektrische Feld bündelnde Masseelektrode wirken. Man erreicht dann ein nach vorn gerichtetes, im wesentlichen keulenförmiges elektrisches Feld. Die äusseren Ringelektroden können aber auch auf dem Potential
der Nutzelektrode liegen, wodurch eine im wesentlichen
sphärische elektrische Feldverteilung mit einer Rückwärtskomponente erreicht wird.

Der mechanische Aufbau des Sensorkopfes ist höchst einfach. Die Platine kann aus einem herkömmlichen Trägermaterial,
beispielsweise Epoxydharzglasseid^rKjewebe, Hartpapier, PoIytetraflüoräthylen usw. bestehen und in herkömmlicher Leiterplattenteöhnik beidseits mit einer elektrischen Leitfläche

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insbesondere aus Kupfer oder Silber versehen sein. Die Unterbrechung der Leitfläche an den Isolationsstrecken erfolgt beispielsweise durch Ätzen. Die Feldverteilung kann durch geeignete Anordnung der Isolationsstrecken beeinflußt und für die verschiedenen Anwendungen optimal gestaltet werden.

Zur elektrischen Verbindung der vorderseitigen mittleren Ringelektrode und der rückseitigen Flächenelektrode kann die Platine über einen Lochkranz durchkontaktiert sein. Diese Form der Durchkontaktierung ist herstellungstechnisch besonders günstig. Außerdem bildet man mit einem Lochkranz auch die periphere Feldverteilung einer Becherelektrode in guter Annäherung nach.

Die äußeren Ringelektroden können über eine Hochkontaktierung am Mantel der Platine miteinander verbunden sein. Diese Hochkontaktierung ist herstellungstechnisch unaufwendig, und sie schafft eine einen großen Leiterquerschnitt aufweisende elektrische Verbindung zwischen den äußeren Ringelektroden, wie das bei einer Masseelektrode zur Verhinderung niedriger Störpotentiale wünschenswert ist.

Innerhalb der rückseitigen Flächenelektrode kann ein durch eine IsölätiönSstreeke dagegen isoliertes Kontaktfeld ab-

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geteilt sein, das mit der vorderseitigen Flächenelektrode über ein Loch durchkontaktiert ist. Diese Anordnung ermöglicht einen konstruktiv einfachen elektrischen Anschluß der als Nutzelektrode dienenden vorderseitigen Flächenelektrode an der Rückseite der Platine. Das Kontaktfeld ist dabei vorzugsweise klein bezüglich der Oberfläche der rückwärtigen Flächenelektrode, so daß die Feldverteilung der Abschirmelektrode nicht nennenswert beeinflußt wird. In diesem Sinn ist es aus Symmetriegründen besonders günstig, das Kontaktfeld im Zentrum der rückseitigen Flächenelektrode vorzugsehen, die dann eine Ringelektrode mit beträchtlicher radialer Erstreckur-g darstellt.

In einer alternativen Ausführungsform liegt das Kontaktfeld nahe der Peripherie des Sensorkopfes. Die vorderseitige mittlere Ringelektrode weist zwei benachbarte, radial nach innen sich erstreckende Flächenerweiterungen auf, und das Kontaktfeld liegt in Umfangsrichtung gesehen zwischen den Flächenerweiterungen.

Die Flächenerweitungen können im wesentlichen dreieckigen Grundriß haben und am Scheitel ein Loch mit durchkontaktierung aufweisen.

Das Kontaktfeld kann den Gründriß eines schräg geschnittenen

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Halbovals haben.

Die äußere rückseitige Ringelektrode hat vorzugsweise eine in Richtung hin auf das Kontaktfeld weisende Ausbuchtung, an deren Fuß ein Loch mit Durchkontaktierung zur äußeren vorder se it igen Ringelektrode vorgesehen sein kann. Ii-. Umfangsrichtung versetzt kann ein zweites Loch mit Durchkontaktierung zur elektrisch leitenden Verbindung der äußeren Ringelektroden vorhanden sein. Vorzugsweise liegen die beiden Löcher der äußeren Ringelektroden, die beiden Löchex* auf den Flächenerweiterungen der vorderseitigen mittleren Ringelektrode und das Loch auf dem Kontaktfeld zur vorderseitigen Flächenelektrode im wesentlichen auf einem Dreieck mit letzterem Loch an der Spitze. Diese Ausführungsform ermöglicht eine einfache elektrische Anschlußverbindung des Sensorkopfes, der sich durch eine gleichförmige elektrische Feldverteilung auszeichnet.

Die Platine kann eine Kreisscheibe sein. Die Flächenelektroden sind dann vorzugsweise im wesentlichen kreisrund, und die Ringelektroden im wesentlichen kreisringförmig. Man erreicht so eine zentralsymmetrische Feldverteilung, wie sie für viele Anwendungszwecke wünschenswert ist.

Nach erfolgtem elektrischem Anschluß insbesondere durch

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Verlöten von Kabelenden kann der Sensorkopf zusammen mit dem Kabel in eine Kunststoffhülle eingeschlossen Werden* Diese gewährleistet einen mechanischen Schütz, eine Zugentlastung für das Kabel und gegebenenfalls die für einen Flüssigkeitssensor erforderliche Dichtigkeit.

Die Erfindung wird im folgenden anhand zweier in den Zeichnungen dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:

Fig* 1 eine Draufsicht auf die Vorderseite eines ersten Sensorkopfes,

Fig. 2 eine Draufsicht auf die Rückseite dieses Sensor- >;

kopfes,

Fig. 3 eine perspektivische Schnittansicht des Sensorkopfes,

Fig. 4 eine Draufsicht auf die Vorderseite eines zweiten Sensorkopfes,

Fig. 5 eine Draufsicht auf die Rückseite dieses Sensorkopfes ,

Fig. 6 einen Sensorkopf mit im wesentlichen keulenförmigem elektrischem Feld,

Fig. 7 einen Sensorköpf mit im wesentlichen sphärischem elektrischem Feld.

Die in den Abbildungen dargestellten Sensorköpfe bestehen aus einer kreisscheibenförmigeh Platine 10» Die Platine 10 besteht aus einem elektrisch nicht leitenden Trägermaterial für Leiterbahnen, beispielsweise Epoxydharzglasseidengewebe, Hartpapier, Polytetrafluoräthylen usw. Die Platine 10 ist in üblicher Leiterplattentechnik beidseits flächig mit elektrisch leitendem Material, insbesondere Kupfer oder Silber, beschichtet. Dabei sind mehrere Elektroden ausgebildet, die durch Isolationsstrecken voneinander getrennt sind, an denen sich kein elektrisch leitendes Beschichtungsmaterial befindet.

Bei einer in den Abbildungen Fig. 1 bis Fig. 3 dargestellten ersten Ausführungsform ist auf der Vorderseite der Platine (Fig_s 1) eine mittige Flächenelektrode 12 mit kreisförmigen Grundriß ausgebildet. Diese Flächenelektrode 12 ist die Nutzelektrode des Sensorkopfes. Sie wird von einer mittleren Ringelektrode 14 umschlossen, die kreisringförmigen Grundriß hat. Die Flächenelektrode 12 und die mittlere Ringelektrode 14 sind dabei durch eine kreisringförmige Isolationsstrecke 16 getrennt. Radial außen von der mittleren Ringelektrode 14 befindet sich am Rand der Platine 10 eine äußere Ringelektrode 18 von ebenfalls kreisringförmigem Grundriß. Die Ringelektroden 14, 18 sind durch eine kreisringförmige Isolationsstrecke 20 getrennt.

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Im Zentrum der Platine 10 ist eine axiale Bohrung 24 vorgesehen i Diese dient zur Durchkontaktierüng der Flächenelektrode 12 mit einem kleinen Kontaktfeld 26 auf der Rückseite der Platine 10 (Fig. 2). Das Köntäktfeld 26 Umgibt die in seiner Mitte liegende Bohrung 24 kreisringförniig. Es bildet eine Aussparung einer rückseitigen Flächenelektrode 28, die als Ringelektrode mit beträchtlicher radialer Erstreckung ausgebildet ist. Kontaktfeld 26 und Flächenelektrode 28 sind durch eine kreisringförmige Isolationsstrecke 30 voneinander getrennt * Am Rand der Platine 10 befindet sich auf deren Rückseite eine kreisringförmige äußere Ringelektrode 32, die mittels einer kreisringförmigen Isolationsstrecke 34 gegen die Flächenelektrode 28 isoliert ist.

Die vorderseitige mittlere Ringelektrode 14 ist über einen Kranz axialer Bohrungen 3 6 mit der rückseitigen Flächenelektrode 28 durchkontaktiert. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind acht unter gleichem Winkelabstand angeordnete Bohrungen 36 vorgesehen. Die Bohrungen kommen am äußeren Rand der rückseitigen Flächenelektrode 28 zu liegen.

Die äußeren Ringelektroden 18, 32 auf Vorder- und Rückseite der Platine 10 sind über eine Hochkontaktierung 38 am Mantel der Platine 10 elektrisch miteinander verbunden.

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Die vorderseitige mittlere Ringelektrode 14 und die rückseitige Flächenelektrode 28 bilden aufgrund der Durchkontaktierung an den Bohrungen 3 6 eine Äbschirmelektröde, die die als Nutzelektrode dienende vorderseitige Flächenelektrode 12 annähernd becherförmig umgibt. Die Abschirmwirkung iiommt der einer Becherelektrode nahe. Die über die periphere Hochkontaktierung 38 verbundenen äußeren Ringelektroden 18, 32 können als Masseelektrode dienen. Der Sensorkopf hat dann ein gebündeltes, im wesentlichen keulenförmiges elektrisches Feld, das in Fig. 6 dargestellt ist. Es ist aber auch möglich, die äußeren Ringelektroden 18, 32 auf dasselbe Potential wie die Nutzelektrode zu legen. Es ergibt sich dann eine näherungsweise sphärische Feldverteilung mit einer nach rückwärts gerichteten Feldkomponente, \ wie sie in Fig. 7 dargestellt ist.

|i In Fig. 4 und 5 ist eine alternative Ausfuhrungsform des Γ erfindungsgemäßen Sensorkopfes mit einer abgewandelten Flächenaufteilung der Elektroden gezeigt. Auf der Vorderseite {Fig. 4) der kreisscheibenförmigen Platine 40 befindet sich wiederum eine zentrale Flächenelektrode 42, die von einer mittleren Ringelektrode 44 und einer äußeren Ringelektrode 46 umgeben ist. Auf der Rückseite der Platine 40 (Fig. 5) erkennt man eine zentrale Flächenelektrode 48 und eine diese umgebende äußere Ringelektrode 50. Die Flächenelektroden

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42, 48 haben wenigstens der Grundform nach einen kreisförmigen Grundriß, und die Ringelektroden 44, 46, 50 sind im wesentlichen kreisringförmig im Grundriß. Die Elektroden werden durch Isolationsstrecken 52, 54, 56 voneinander getrennt, an denen die leitende Beschichtung der Platine unterbrochen ist.

Auf der Rückseite der Platine 40 (Fig. 5) ist in außermittiger Anordnung ein Kontaktfeld 58 vorgesehen, das über eine Bohrung 60 mit der vorderseitigen Flächenelektrode 42 durchkontaktiert ist. Das Kontaktfeld 58 stellt wiederum eine kleine Aussparung der rückseitigen Flächenelektrode 48 dar, von der es durch eine Isolationsstrecke 61 getrennt ist. Das Kontaktfeld 58 hat den Grundriß eines schräg abgeschnittenen Halbovals, und die Bohrung 60 liegt im Zentrum seines im Grundriß halbkreisförmigen Endes.

Die vorderseitige mittlere Ringelektrode ist über einen Kranz axialer Bohrungen 62 mit der rückseitigen Flächenelektrode 48 durchkontaktiert. Sie hat in Umfangsrichtung auf Höhe des Kontaktfelds 58 zwei vorderseitige Flächenerweiterungen 64 von im wesentlichen dreieckigem Grundriß. An der radial innenliegenden Spitze der Flächenerweiterungen 64 befindet sich je eine Bohrung 66, Die Bohrungen

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dienen ebenso wie die Bohrungen 62 zur Durchkontaktierung der vorderseitigen mittleren Ringelektrode 44 mit der rückseitigen Flächenelektrode 48. Insgesamt sind dazu zwölf Bohrungen 62, 66 vorgesehen, die unter im wesentlichen gleichem Winkelabstand über den Umfang der Platine 4 0 verteile sind. Die Isolationsstrecke 52, die die vorderseitige Flächenelektrode 42 von der mittleren Ringelektrode 44 trennt, weicht um jede Bohrung 62, 66 in einem Kreisbogen radial etwas nach innen zurück.

Die äußere rückseitige Ringelektrode 50 hat eine radial nach innen gerichtete Ausbuchtung 68, die in Richtung hin auf das Kontaktfeld 58 weist. Der Grundriß dieser Ausbuchtung 68 ist annähernd rautenförmig. Am Fuß der Ausbuchtung 68 befindet sich eine Bohrung 70, über die die. äußeren Ringelektroden 46, 50 durchkontaktiert sind. Eine zweite derartige Bohrung 72 ist in Umfangsrichtung versetzt angeordnet. Die beiden Bohrungen 70, 72 der äußeren Ringelektroden, die beiden Bohrungen 66 auf den Flächenerweiterungen eier vorderseitigen mittleren Ringelektrode 44 und das Loch auf dem Kontaktfeld 58 liegen im wesentlichen auf einem Dreieck. Die Bohrung 60 auf dem Kontaktfeld 58 bildet dabei die Spitze des Dreiecks. Die Ausbuchtung 68 der rückseitigen äußeren Kingelektrode 50 kommt Somit auf der Höhe einer

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Flächenerweiterungen 64 der vorderseitigen mittleren Ringelektrode 44 zu liegen, und das Kontaktfeld 5 8 befindet sich in Umfangsrichtung zwischen den Flächenerweiterungen 64.

Abgesehen von der Durchkontaktierung an den Bohrungen 70, 72, sind die äußeren Ringelektroden 46, 50 über eine periphere Hochkontaktierung der Platine 40 elektrisch miteinander verbunden. Die Bohrungen 70, 72 bilden bevorzugte Anschlußstellen der äußeren Ringelektroden 46, 50. Der Anschluß der vorderseitigen mittleren Ringelektrode 44 kann an der Flächenelektrode? 48 bzw. an den Bohrungen 66. erfolgen, und zum Anschluß der vorderseitigen Flächenelektrode 42 ist das Kontaktfeld 58 gedacht. Form und Zuordnung aller Anschlußstellen ist so gewählt, daß sich nur sehr geringe Inhomogenitäten im elektrischen Feld des Sensorkopfes ergeben.

ι Elektrische Anschlußverbindungen werden vorzugsweise dadurch

ί hergestellt, daß man Kabelenden an den Anschlußstellen verj lötet. Anschließend kann die Platine 10, 40 zusammen mit

j dem Kabel in ein nicht näher dargestelltes Kunststoffgehäu-

se eingeschlossen werden.

Im Betrieb wird der Sensorkopf gemäß Fig. 4 und 5 ähnlich geschaltet, wie das vorbehändeIte Ausführungsbeispiel. Die

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vorderseitige Flächenelektrode 42 dient als Nutzelektrode. Die vorderseitige mittlere Ringelektrode 44 und die rückseitige Flächenelektrode 48, die miteinander durchkontaktiert sind, bilden eine die Nutzelektrode becherartig einschließende Abschirmelektrode, und die elekrisch verbundenen äußeren Ringelektroden 46, 50 können wahlweise als Masseelektrode verwendet werden oder mit der Nutzelektrode auf gleichem Potential liegen, um eine elektrische Feldverteilung 74 gemäß Fig. 6 bzw. Fig. 7 zu erhalten. Die Nutzel ektrode bildet jeweils zusammen mit dem Meßobjekt die Meßkapazität des Annäherungssensors.

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Liste der Bezügszeichen

10 Platine

12 Flächenelektrode 14 fnittlere Ringelektrode 16 Isolationsstrecke 16 äußere Ringelektrode 20 Isölätionsstrecke 24 Bohrung

26 Kontaktfeld 2 8 Flächenelektrode 30 Isolationsstrecke 32 äußere Ringelektrode 34 Isolationsstrecke 36 Bohrung

38 Hochkontaktierung 40 Platine

42 Flächenelektrode 44 mittlere Ringelektrode 46 äußere Ringelektrode 4 8 Flächenelektrode 50 äußere Ringelektrode 52 Isolationsstrecke 54 Isolationsstrecke 56 Isolationsstrecke 58 Kontaktfeld 60 Bohrung

6? Isolationsstrecke

62 Bohrung 64 Flächenerweiterung 66 Bohrung 68 Ausbuchtung 70 Bohrung 72 Bohrung 74 elektrisches Feld

Claims

Kapazitiver Annäherungssensor

Ansprüche

jj 1. Kapazitiver Annäherungssensor mit einem Sensorkopf, der drei partiell in einer Ebene liegende, einander in koji axialer Anordnung umschließende, gegeneinander isolierte Elektroden hat, dadurch gekennzeichent, daß der Sensorkopf

aus einer beidseits mit elektrischen Leiterflächen beschichteten Platine (10, 40) besteht, wobei das leitende Material I

j entlang die Elektroden abteilender Isolationsstrecken unter-

brochen ist, derart, daß auf der Vorderseite der Platine

\ eine zentrale Flächenelektrode (12, 42), eine diese umgebende mittlere Ringelektrode (14, 44) und eine diese umgebende äußere Ringelektrode (18, 46), und auf der Rückseite der Platine (10, 40) eine zentrale Flächenelektrode (28,

,j 48) und eine diese umgebende äußere Ringelektrode (32, 50) ausgebildet sind, und daß die vorderseitige mittlere Ringelektrode (14, 44) mit der rückseitigen Flächenelektrode (28, 48) elektrisch verbunden und die äußeren R~iflgelektroden (18, 32; 46, SO) miteinander elektrisch verbunden sind.

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2. Annäherungssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur elektrischen Verbindung der vorderseitigen mittleren Ringelektrode (14, 44) und rückseitigen Flächenelektrode (28, 48) die Platine (10, 40) über einen Lochkranz (36; 62, 66) durchkontaktiert ist.

3. Annäherungssensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die äußeren Ringelektroden (18, 32; 46, 50) über eine Hochkontaktierung (38) am Mantel der Platine (10, 40) miteinander verbunden sind.

4. Annäherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb der rückseitigen Flächenelektrode (28, 48) ein durch eine Isolationsstrecke (30, 61) dagegen isoliertes Kontaktfeld (26, 58) abgeteilt ist, das mit der vorderseitigen Flächenelektrode (12, 42) über ein Loch (24., 60) durchkontaktiert ist.

5. Annäherungssensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Kontaktfeld {26) im Zentrum der rückseitigen Flächenelektrode (28) liegt.

6. Annäherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5,

dadurch gekennzeichnet, daß die vorderseitige mittlere Ringelektrode (44) wenigstens eine, vorzugsweise zwei benach-

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bafte, radial nach innen sich erstreckende Flächenerweite·^ rungen (64) hat.

7. Ännäherungssensör nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Flachenerweiterüngen (64) im wesentlichen dreieckigen Grundriß haben und am Scheitel ein Loch (66) mit Durchkontaktierung aufweisen.

8. Annäherühgssensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Kontaktfeld (58) den Grundriß eines schräg geschnittenen Halbovals hat.

9. Ännäherungssensör nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die äußere rückseitige Ringelektrode (46) eine in Richtung hin auf das Kontaktfeld (58) weisende Ausbuchtung (68) hat.

10. Ännäherungssensör nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß sich am Fuß der Ausbuchtung (68) ein Loch (70) mit Durchkontaktierung zur vorderseitigen äußeren Ringelektrode (46) vorgesehen ist.

11. Annäherungssensor nach Anspruch 10, dadurch gekenn^ zeichnet, daß in Umfangsrichtung versetzt ein zweites Loch

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(72) mit Dürchköntaktierüng der äußeren Ringelektroden (46, 50) vorhanden ist *

124 Annäherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 11^ dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Löcher (70, 72) der äußeren Ringelektroden (46, 50), die beiden Löcher (66) auf den Flächenerweiterungen (64) der Vörderseitigen mittleren Ringelektrode (44) und das Loch (60) auf dem Kontaktfeld (58) im wesentlichen auf einem Dreieck mit letzerem Loch (60) an der Spitze liegen *

13. Annäherungssenor nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Platine (10, 40) eine Kreisscheibe, die Flächenelektroden (12, 28; 42, 48) im wesentlichen kreisrund und die Ringelektroden (14, 18, 32; 44, 46, 50) im wesentlichen kreisringförmig sind.

14. Annäherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensorkopf mit einem daran insbesondere durch Verlöten angeschlossenen Kabel in ein Kunststoffgehäuse eingeschlossen ist*