DE8328167U1 - Probenhalterung für Sekundärionen-Massenspektrometrie und andere empfindliche Teilchenstrahl-Analysenmethoden - Google Patents
Probenhalterung für Sekundärionen-Massenspektrometrie und andere empfindliche Teilchenstrahl-AnalysenmethodenInfo
- Publication number
- DE8328167U1 DE8328167U1 DE8328167U DE8328167U DE8328167U1 DE 8328167 U1 DE8328167 U1 DE 8328167U1 DE 8328167 U DE8328167 U DE 8328167U DE 8328167 U DE8328167 U DE 8328167U DE 8328167 U1 DE8328167 U1 DE 8328167U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sample holder
- sample
- holder according
- rotating part
- particle beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
- H01J49/0409—Sample holders or containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/14—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers
- H01J49/142—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers using a solid target which is not previously vapourised
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833335581 DE3335581A1 (de) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | Probenhalterung fuer sekundaerionen-massenspektrometrie und andere empfindliche teilchenstrahl-analysenmethoden und verfahren zu ihrem betrieb |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE8328167U1 true DE8328167U1 (de) | 1986-04-10 |
Family
ID=6210615
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE8328167U Expired DE8328167U1 (de) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | Probenhalterung für Sekundärionen-Massenspektrometrie und andere empfindliche Teilchenstrahl-Analysenmethoden |
DE19833335581 Withdrawn DE3335581A1 (de) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | Probenhalterung fuer sekundaerionen-massenspektrometrie und andere empfindliche teilchenstrahl-analysenmethoden und verfahren zu ihrem betrieb |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19833335581 Withdrawn DE3335581A1 (de) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | Probenhalterung fuer sekundaerionen-massenspektrometrie und andere empfindliche teilchenstrahl-analysenmethoden und verfahren zu ihrem betrieb |
Country Status (4)
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4719349A (en) * | 1986-05-27 | 1988-01-12 | The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services | Electrochemical sample probe for use in fast-atom bombardment mass spectrometry |
EP0268434B1 (en) * | 1986-11-15 | 1991-04-03 | The British Petroleum Company p.l.c. | Transport detector system |
DE10112387B4 (de) | 2001-03-15 | 2004-03-25 | Bruker Daltonik Gmbh | Massenspektrometrische Genotypisierung |
US20080035389A1 (en) * | 2006-08-11 | 2008-02-14 | Hall David R | Roof Mining Drill Bit |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1226228B (de) * | 1959-07-24 | 1966-10-06 | Max Planck Gesellschaft | Bewegbarer Praeparattisch fuer einen Korpus-kularstrahlapparat, insbesondere Elektronen-mikroskop oder Elektronenbeugungsgeraet |
DE1789019B1 (de) * | 1968-09-23 | 1972-04-27 | Siemens Ag | Verfahren zur erzeugung eines stereobildes mittels der elektronenstrahlmikroskopie |
US3911282A (en) * | 1973-11-01 | 1975-10-07 | Dresser Ind | Axial ion beam accelerator tube having a wobbled target |
US4110625A (en) * | 1976-12-20 | 1978-08-29 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for monitoring the dose of ion implanted into a target by counting emitted X-rays |
DE3128814A1 (de) * | 1981-07-21 | 1983-02-10 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Elektrisch leitende probenhalterung fuer die analysentechnik der sekundaerionen-massenspektrometrie |
US4405864A (en) * | 1981-09-08 | 1983-09-20 | Rca Corporation | Ion implanter end processing station |
FR2529383A1 (fr) * | 1982-06-24 | 1983-12-30 | Commissariat Energie Atomique | Porte-cible a balayage mecanique utilisable notamment pour l'implantation d'ioris |
-
1983
- 1983-09-30 DE DE8328167U patent/DE8328167U1/de not_active Expired
- 1983-09-30 DE DE19833335581 patent/DE3335581A1/de not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-08-20 US US06/642,396 patent/US4851672A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-09-14 EP EP84111011A patent/EP0136610A3/de not_active Ceased
- 1984-09-27 JP JP59202874A patent/JPS6093948A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3335581A1 (de) | 1985-04-18 |
US4851672A (en) | 1989-07-25 |
EP0136610A2 (de) | 1985-04-10 |
JPH0246893B2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) | 1990-10-17 |
EP0136610A3 (de) | 1986-08-13 |
JPS6093948A (ja) | 1985-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69026751T2 (de) | Ionenbündelfokussierungsvorrichtung | |
EP0218920B1 (de) | Elektronenenergiefilter vom Omega-Typ | |
DE2701841C3 (de) | Vorrichtung zum Nachweis ionisierbarer Gasteilchen | |
DE112013000852B4 (de) | Verfahren zum betrieb einer ladungsteilchenstrahlvorrichtung | |
DE69127957T2 (de) | Ionenstreuungsspektrometer | |
DE102016009643B4 (de) | Verbesserung des Dynamikbereichs für die Isotopenverhältnis-Massenspektrometrie | |
DE2921151A1 (de) | Vorrichtung zum nachweis von in einem elektronenstrahlmikroskop von einer probe ausgehenden rueckstreuelektronen | |
EP1063676B1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie | |
DE102020119770A1 (de) | Spektroskopie- und bildgebungssystem | |
EP0013876A1 (de) | Einrichtung zur berührungslosen Potentialmessung | |
DE69115589T2 (de) | Mehrkanal-Ladungsteilchen-Analysator | |
DE69410133T2 (de) | Mehrdetektorsystem für die Detektion geladener Partikel | |
DE19635645C2 (de) | Verfahren für die hochauflösende Spektrenaufnahme von Analytionen in einem linearen Flugzeitmassenspektrometer | |
DE2331091C3 (de) | Einrichtung zur Bestimmung der Energie geladener Teilchen | |
DE2929911C2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) | ||
DE4041297A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum waehlen der aufloesung eines ladungsteilchenstrahl-analysators | |
DE2705430C3 (de) | Elektrostatischer Analysator für geladene Teilchen | |
DE112018007343T5 (de) | Mit einem strahl geladener teilchen arbeitende vorrichtung | |
DE3915613C2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) | ||
EP0123860A2 (de) | Elektronenenergie-Analysator mit Vielkanaldetektor | |
EP0070351B1 (de) | Elektrisch leitende Probenhalterung für die Analysentechnik der Sekundärionen-Massenspektrometrie | |
DE8328167U1 (de) | Probenhalterung für Sekundärionen-Massenspektrometrie und andere empfindliche Teilchenstrahl-Analysenmethoden | |
DE69028647T2 (de) | Energieanalysator für geladene Teilchen | |
DE2105805C3 (de) | Gerät zur Elektronenspektroskopie | |
DE2329190A1 (de) | Roentgenspektrometer |