DE814628C

DE814628C - Verfahren und Vorrichtung zum Auffinden von Undichtigkeiten in Vakuumgefaessen

Info

Publication number: DE814628C
Application number: DEN486A
Authority: DE
Inventors: Kornelis Nienhuis
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1949-03-29
Filing date: 1950-02-10
Publication date: 1951-09-24

Description

Verfahren und Vorrichtung zum Auffinden von Undichtigkeiten in Vakuumgefäßen Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Auffinden von Undichtigkeiten in Vakuumgefäßen, bei dem das zu prüfende Gefäß über eine erhitzte Palladiumtrennwand mit einem Manometer verbunden ist und von einer Gasatmosphäre umspült oder umgeben ist, die Wasserstoff enthält oder wenigstens teilweise aus einem Stoff besteht, der bei Berührung mit erhitztem Palladium Wasserstoff abgibt.
Beim bekannten. Verfahren vorgenannter Art wird das Manometer von einem Ionisationsmanometer gebildet. Ein Nachteil besteht darin, daß mit letzterem nicht schnell gearbeitet werden kann, da, wenn die Trennwand einmal Wasserstoff in das Manometer eingelassen hat, dieser Wasserstoff nur sehr langsam wegbrennt, so daß eine verhältnismäßig lange Zeit gewartet werden muß, bevor eine zweite Undichtigkeit festgestellt werden kann, weil der Wasserstoff erst durch die Palladiumwand wegdiffundieren muß.
Bei dem oben geschilderten Verfahren zum Auffinden von Undichtigkeiten in Vakuumgefäßen besteht gemäß der Erfindung das Manometer aus einer Glimmentladungsvorrichtung, die einen Magneten enthält, und in der die Kathode der Glimmentladungsstrecke zwei derart in bezug auf die Anode und den Magneten angeordnete Teile aufweist, daß diese Teile von einem Bündel magnetischer Kraftlinien geschnitten werden, das die Anode nicht schneidet.
Die erwähnten Glimmentladungsvorrichtungen sind bereits zur Bestimmung niedriger Gasdrücke bekannt. und der mit diesen beim Verfahren nach der Erfindung erzielte Vorteil besteht darin, daß das in das Manometer eingedrungene Gas sehr rasch wegbrennt, so daß schnell gearbeitet werden kann.
Zweckmäßig werden in dieser Vorrichtung die Anode und die Kathode derart gewählt, daß die beiden Kathodenplatten zusammen mit der zylindrischen Anode einen nahezu geschlossenen Raum bilden, da in diesem Fall die größte Empfindlichkeit erzielt wird.
Da bei einer bestimmten Elektrodenanordnung die größte Empfindlichkeit entsteht, wenn die Elektrodenoberfläche möglichst groß ist und im übrigen die Verwendung eines Dauermagneten zur Erzeugung des erforderlichen Magnetfeldes die Einrichtung sehr einfach macht, empfiehlt es sich, die im allgemeinen zylindrische Wand der Glimmentladungsvorrichtung in der Nähe der Elektroden an deren Gestalt anzupassen, so daß der Luftspalt im Magnetkreis möglichst klein ist.
Die Erfindung wird an Hand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels einer Vorrichtung näher erläutert.
Fig. I stellt eine Vorrichtung nach der Erfindung dar, und Fig. 2 ist ein Schnitt senkrecht zur Achse der Glimmentladungsvorrichtung.
In der Zeichnung ist mit I die Metallanode einer Senderöhre bezeichnet, die vakuumdicht mit dem oberen Glasteil 2 verschmolzen ist. Der Glasteil 2 ist durch ein Verbindungsrohr 3 mit der Glimmentladungsvorrichtung 6 verbunden, und im Verbindungsrohr befindet sich ein an einem Ende geschlossenes Palladiumrohr 4, das derart angeordnet ist, daß es eine vakuumdichte Trennwand in diesem Rohr bildet. Das Palladiumrohr ist mit zwei Anschlußklemmen 5 zur Erhitzung durch Stromdurchgang versehen. Gegenüber zwei abgeplatteten Teilen der Wand 7 der Glimmentladungsvorrichtung befinden sich die Pole 8 des weiter nicht dargestellten Dauermagneten. Die Kathode der Glimmentladungsröhre wird durch zwei kreisförmige Platten 9 und die Anode durch einen Zylinder I0 gebildet. Ein Rohr, mit dem z. B. Wasserstoff auf den zu prüfenden Teil der Senderöhre geleitet werden kann, ist mit ii bezeichnet. Sobald der Wasserstoffstrahl einer größeren oder kleineren Undichtigkeit der zu prüfenden Röhre begegnet, dringt Wasserstoff ein und dieser wird durch das erhitzte Palladiumrohr in das Manometer übergeführt, während gegebenenfalls eingedrungenes Gas oder eingedrungene Luft die Wand des Palladiumrohres nicht passieren kann.
Es hat sich gezeigt, daß bei einer normal bemessenen Glimmentladungsvorrichtung Undichtigkeiten feststellbar sind, die eine Druckzunahme von IO-5 mm je Minute im zu prüfenden Gerät herbeiführen. Zu diesem Zweck braucht die Undichtigkeit nur während 5 Sekunden mit Wasserstoff in Berührung gebracht zu werden.

Claims

PATENTANSPRUCHE I. Verfahren zum Auffinden von Undichtigkeiten in Vakuumgefäßen, bei dem das zu prüfende Gefäß über eine erhitzte Palladiumtrennwand mit einem Manometer verbunden ist und von einer Gasatmosphäre umspült oder umgeben ist, die Wasserstoff enthält oder wenigstens teilweise aus einem Stoff besteht, der bei Berührung mit erhitztem Palladium Wasserstoff abgibt, dadurch gekennzeichnet, daß als Manometer eine Glimmentladungsvorrichtung verwendet wird, die einen Magneten enthält, und in der die Kathode der Glimmentladungsstrecke zwei derart in bezug auf die Anode und den Magneten angeordnete Teile aufweist, daß diese Teile von einem Bündel magnetischer Kraftlinien geschnitten werden, das die Anode nicht schneidet.
2. Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach Anspruch I.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Kathodenteile zusammen mit der zylindrischen Anode einen nahezu geschlossenen Raum bilden.
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Wand der Entladungsvorrichtung in der Nähe der Elektroden deren Gestalt derart angepaßt ist, daß ein möglichst kleiner Luftspalt entsteht.