DE69942682D1 - Ätzverfahren zur Behandlung eines Substrates, Trockenätzverfahren für eine polyetheramid-Harzschicht, Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahl-Druckkopf, Tintenstrahlkopf und Tintenstrahl-Druckgerät - Google Patents
Ätzverfahren zur Behandlung eines Substrates, Trockenätzverfahren für eine polyetheramid-Harzschicht, Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahl-Druckkopf, Tintenstrahlkopf und Tintenstrahl-DruckgerätInfo
- Publication number
- DE69942682D1 DE69942682D1 DE69942682T DE69942682T DE69942682D1 DE 69942682 D1 DE69942682 D1 DE 69942682D1 DE 69942682 T DE69942682 T DE 69942682T DE 69942682 T DE69942682 T DE 69942682T DE 69942682 D1 DE69942682 D1 DE 69942682D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- ink jet
- jet printing
- etching method
- treating
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 title 2
- 238000000034 method Methods 0.000 title 2
- 229920002614 Polyether block amide Polymers 0.000 title 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 title 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 title 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 title 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1604—Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16394098 | 1998-06-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69942682D1 true DE69942682D1 (de) | 2010-09-30 |
Family
ID=15783720
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69942682T Expired - Lifetime DE69942682D1 (de) | 1998-06-11 | 1999-06-11 | Ätzverfahren zur Behandlung eines Substrates, Trockenätzverfahren für eine polyetheramid-Harzschicht, Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahl-Druckkopf, Tintenstrahlkopf und Tintenstrahl-Druckgerät |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6379571B1 (de) |
EP (1) | EP0964440B8 (de) |
DE (1) | DE69942682D1 (de) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1109604C (zh) * | 2000-01-07 | 2003-05-28 | 威硕科技股份有限公司 | 喷墨列印装置的喷墨头的制造方法及其装置 |
CN1107592C (zh) * | 2000-01-12 | 2003-05-07 | 威硕科技股份有限公司 | 喷墨头的芯片制造方法 |
JP4054583B2 (ja) * | 2001-02-28 | 2008-02-27 | キヤノン株式会社 | インクジェットプリントヘッドの製造方法 |
JP3963456B2 (ja) * | 2003-06-16 | 2007-08-22 | キヤノン株式会社 | 感光性樹脂組成物およびこれを用いたインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
US7429335B2 (en) | 2004-04-29 | 2008-09-30 | Shen Buswell | Substrate passage formation |
JP4761498B2 (ja) * | 2004-06-28 | 2011-08-31 | キヤノン株式会社 | 感光性樹脂組成物、ならびにこれを用いた段差パターンの製造方法及びインクジェットヘッドの製造方法 |
US7106158B2 (en) * | 2004-11-05 | 2006-09-12 | G.T. Development Corporation | Solenoid-actuated air valve |
US7971964B2 (en) * | 2006-12-22 | 2011-07-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head and method for manufacturing the same |
JP2013028110A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
RU2672034C1 (ru) * | 2018-01-10 | 2018-11-08 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" | Способ получения рельефа в диэлектрической подложке |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3011919A1 (de) * | 1979-03-27 | 1980-10-09 | Canon Kk | Verfahren zur herstellung eines aufzeichnungskopfes |
JPS5643728A (en) * | 1979-09-18 | 1981-04-22 | Fujitsu Ltd | Formation of polyimide pattern |
JPS60131536A (ja) * | 1983-12-21 | 1985-07-13 | Toray Ind Inc | 水なし平版印刷版原板 |
US4688054A (en) * | 1985-07-09 | 1987-08-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording head |
JPS62117331A (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-28 | Hitachi Chem Co Ltd | 芳香族ポリエ−テルアミド樹脂のエツチング法 |
US5436650A (en) * | 1991-07-05 | 1995-07-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head, process for producing the head and ink jet recording apparatus |
JP3143307B2 (ja) | 1993-02-03 | 2001-03-07 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JP3018881B2 (ja) * | 1993-12-28 | 2000-03-13 | 日立電線株式会社 | リードフレームへのフィルム貼付け方法及びリードフレームへのチップ貼付け方法 |
JPH08267763A (ja) * | 1995-03-29 | 1996-10-15 | Fuji Electric Co Ltd | インクジェット記録ヘッドとこの製法 |
JPH091806A (ja) * | 1995-06-23 | 1997-01-07 | Canon Inc | インクジェットヘッド |
US6007877A (en) | 1996-08-29 | 1999-12-28 | Xerox Corporation | Aqueous developable high performance photosensitive curable aromatic ether polymers |
DE69730667T2 (de) | 1996-11-11 | 2005-09-22 | Canon K.K. | Verfahren zur Herstellung eines Durchgangslochs, Gebrauch dieses Verfahrens zur Herstellung eines Slikonsubstrates mit einem solchen Durchgangsloch oder eine Vorrichtung mit diesem Substrat, Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahl-Druckkopfes und Gebrauch dieses Verfahrens zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfes |
EP0962320B1 (de) | 1998-06-03 | 2005-01-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Tintenstrahlkopf, Tintenstrahlkopfträgerschicht, und Verfahren zur Herstellung des Kopfes |
-
1999
- 1999-06-10 US US09/329,357 patent/US6379571B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-06-11 DE DE69942682T patent/DE69942682D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-06-11 EP EP99111440A patent/EP0964440B8/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0964440A2 (de) | 1999-12-15 |
EP0964440B8 (de) | 2011-02-16 |
EP0964440B1 (de) | 2010-08-18 |
EP0964440A3 (de) | 2000-05-24 |
US6379571B1 (en) | 2002-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69515572T2 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Substrates eines Tintenstrahldruckkopfes, Tintenstrahldruckkopf und Tintenstrahlaufzeichnungsapparat | |
DE60010378D1 (de) | Tintenzusammensetzung für schmelzbare Tinte und Verfahren zum Drucken eines Substrates mit dieser Tintenzusammensetzung | |
DE69728336D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Tintenstrahldruckkopfes | |
DE69942682D1 (de) | Ätzverfahren zur Behandlung eines Substrates, Trockenätzverfahren für eine polyetheramid-Harzschicht, Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahl-Druckkopf, Tintenstrahlkopf und Tintenstrahl-Druckgerät | |
DE60033218D1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkeitsausstosskopfes, damit hergestellter Flüssigkeitsausstosskopf, Kopfkassette, Flüssigkeitsausstossvorrichtung, Verfahren zur Herstellung einer Siliziumplatte und damit hergestellte Siliziumplatte | |
DE60336203D1 (de) | Tintenstrahlaufzeichnungskopf, Verfahren zu dessen Herstellung, und Substrat zur Tintenstrahlaufzeichnungskopfherstellung | |
DE60221719D1 (de) | Verfahren und Gerät zur Verbesserung der Tintenstrahldruckqualität | |
DE60323017D1 (de) | Tintenstrahldruckgerät und Tintenstrahlverfahren mit Kompensation für defekte Düsen | |
DE60009771D1 (de) | Verfahren zur Oberflächenbehandlung, Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahl-Aufzeichnungsmaterials sowie durch dieses Verfahren hergestelltes Material | |
DE69529317D1 (de) | Farbstrahldruckkopf, Farbstrahldruckkopfpatrone, Farbstrahlauszeichnungsapparat und Verfahren zum Herstellen des Kopfes | |
DE60106185D1 (de) | Kontinuierliches Tintenstrahldruckverfahren und -vorrichtung | |
DE60003620D1 (de) | Substrat für Tintenstrahlkopf, Tintenstrahlkopf, und Tintenstrahlapparat | |
DE69506306T2 (de) | Tintenstrahlaufzeichungsgerät und Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfes | |
DE60035929D1 (de) | Tintenstrahldruckvorrichtung und Tintenstrahldruckverfahren | |
DE69722865D1 (de) | Tintenstrahlaufzeichnungskopf, Verfahren zur Herstellung des Kopfs und Tintenstrahlaufzeichnungsapparat mit diesem Kopf | |
DE69730667D1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Durchgangslochs, Gebrauch dieses Verfahrens zur Herstellung eines Slikonsubstrates mit einem solchen Durchgangsloch oder eine Vorrichtung mit diesem Substrat, Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahl-Druckkopfes und Gebrauch dieses Verfahrens zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfes | |
DE60029700D1 (de) | Flüssigkeitsausstossdruckkopf, damit versehene Druckvorrichtung, Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkeitsausstossdruckkopfes | |
DE60138990D1 (de) | Tintenstrahldruckapparat und Verfahren zum Vorausstossen | |
DE69917752D1 (de) | Verfahren zur herstellung eines pflanzenzuchtsubstrats aus mineralwolle, und damit erhaltenes substrat | |
DE60038931D1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Siliziumschicht und Tintenstrahlzusammensetzung für Tintenstrahldrucker | |
DE60044952D1 (de) | Tintensatz für Tintenstrahl-Aufzeichnung, Tintenstrahl-Aufzeichnungsverfahren, Aufzeichnungseinheit, Aufzeichnungsgerät und Verfahren zur Reduzierung der Farbvermischung | |
DE60226918D1 (de) | Tintenstrahldruckvorrichtung und Tintenstrahldruckverfahren | |
DE59902137D1 (de) | Drucksystem zum bedrucken eines aufzeichnungsträgers mit zwei druckern sowie verfahren zum betrieb eines derartigen drucksystems | |
DE69525669T2 (de) | Substrat für Tintenstrahlkopf, Tintenstrahlkopf, Tintenstrahlschreiber und Tintenstrahlgerät | |
DE69907525T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfes und Tintenstrahldruckkopf |