DE69920998D1 - System für die Ermittlung und Quantifizierung einer Ausrichtung von einem Objekt mit einer Kopplungsoptik und eine Bildaufnahmevorrichtung - Google Patents

System für die Ermittlung und Quantifizierung einer Ausrichtung von einem Objekt mit einer Kopplungsoptik und eine Bildaufnahmevorrichtung

Info

Publication number
DE69920998D1
DE69920998D1 DE1999620998 DE69920998T DE69920998D1 DE 69920998 D1 DE69920998 D1 DE 69920998D1 DE 1999620998 DE1999620998 DE 1999620998 DE 69920998 T DE69920998 T DE 69920998T DE 69920998 D1 DE69920998 D1 DE 69920998D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
quantifying
alignment
determining
image capture
capture device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE1999620998
Other languages
English (en)
Other versions
DE69920998T2 (de
Inventor
Regis Guillemaud
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Application granted granted Critical
Publication of DE69920998D1 publication Critical patent/DE69920998D1/de
Publication of DE69920998T2 publication Critical patent/DE69920998T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/28Systems for automatic generation of focusing signals

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Eye Examination Apparatus (AREA)
DE69920998T 1998-03-16 1999-03-12 System für die Ermittlung und Quantifizierung einer Ausrichtung von einem Objekt mit einer Kopplungsoptik und eine Bildaufnahmevorrichtung Expired - Lifetime DE69920998T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9803184 1998-03-16
FR9803184A FR2776067B1 (fr) 1998-03-16 1998-03-16 Systeme de determination et de quantification de l'alignement d'un objet avec une optique de couplage et un dispositif de prise de vues

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69920998D1 true DE69920998D1 (de) 2004-11-18
DE69920998T2 DE69920998T2 (de) 2006-02-02

Family

ID=9524078

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69920998T Expired - Lifetime DE69920998T2 (de) 1998-03-16 1999-03-12 System für die Ermittlung und Quantifizierung einer Ausrichtung von einem Objekt mit einer Kopplungsoptik und eine Bildaufnahmevorrichtung

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6201254B1 (de)
EP (1) EP0943949B1 (de)
DE (1) DE69920998T2 (de)
FR (1) FR2776067B1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6815659B2 (en) * 2002-01-14 2004-11-09 Palantyr Research, Llc Optical system and method of making same
CN102183221B (zh) * 2011-03-25 2012-06-27 天津大学 显微系统光轴垂直度的测量方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1854665A (en) * 1930-11-01 1932-04-19 Parker Frank Claveloux Focusing device
US4201456A (en) * 1976-04-22 1980-05-06 Wolbarsht Myron L Method and apparatus for detecting the focusing condition of an optical system
JPS5915208A (ja) * 1982-06-17 1984-01-26 Olympus Optical Co Ltd 合焦検出装置
JPS5962809A (ja) * 1982-10-04 1984-04-10 Olympus Optical Co Ltd 焦点検出装置
US4754334A (en) * 1987-01-08 1988-06-28 Management Graphics, Inc. Image recorder having automatic alignment method and apparatus
CA1319188C (en) * 1989-08-24 1993-06-15 Marc Rioux Three dimensional imaging device
JPH03214133A (ja) * 1990-01-18 1991-09-19 Nikon Corp 焦点検出装置
JPH03289293A (ja) * 1990-04-04 1991-12-19 Mitsubishi Electric Corp 撮像装置
US5488230A (en) * 1992-07-15 1996-01-30 Nikon Corporation Double-beam light source apparatus, position detecting apparatus and aligning apparatus
US5563413A (en) * 1995-03-14 1996-10-08 Hughes Electronics Focus test method for staring and undersampled sensors
US5973771A (en) * 1997-03-26 1999-10-26 International Business Machines Corporation Pupil imaging reticle for photo steppers

Also Published As

Publication number Publication date
EP0943949A1 (de) 1999-09-22
FR2776067B1 (fr) 2000-06-23
DE69920998T2 (de) 2006-02-02
EP0943949B1 (de) 2004-10-13
FR2776067A1 (fr) 1999-09-17
US6201254B1 (en) 2001-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69808864T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur mehrmaligen Unterscheidung von Bildfeldern einer Vorlage
DE69407628T2 (de) Wellenleiter-Bildübertragungsvorrichtung und Vorrichtung zur Identifikation von Fingerabdrücken
DE69531515D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Fluoreszenz-Resonanz-Energie-Übertragung
DE69422116D1 (de) Vorrichtung zur Prüfung einer Kupplung von Steckverbinder
DE60237505D1 (de) Vorrichtung zur optischen abbildung und verfahren zur erfassung einer optischen abbildung
DE69319504T2 (de) Vorrichtung zur Inspektion einer Komponente
ATE310993T1 (de) Echtzeit-verarbeitungseinrichtung und -verfahren fuer bilder hoher auflösung
FR2749077B1 (fr) Procede et dispositif de mesure de la couleur
DE69804142T2 (de) Gerät zur optischen detektion einer vielzahl von objekten auf einer plattform
DE69412203T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ausrichtung mehrerer Bilder in einem xerographischen System
DE69717141D1 (de) Videosignalverarbeitungsgerät zur veränderung unabhängiger bilder in einer mehrfachbildanzeige
DE69523439D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bildsignalkodierung mit einer Klassifizieranlage
DE59605570D1 (de) Vorrichtung zur Bildinspektion
DE69520818T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bildabtastung mit einer Sensoranordnung
DE69728894D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur signalverarbeitung der photodetektoranordnung einer gammakamera
DE69513550D1 (de) Vorrichtung zur optischen Messung von Kryogentemperaturen
DE69914391D1 (de) Messsensor mit wenigstens einem optischen Fiber, Messvorrichtung und Messsystem mit wenigstens so einem Sensor
DE59604624D1 (de) Optisches messverfahren und optische messanordnung zum messen einer wechselgrösse mit intensitätsnormierung
DE69920998D1 (de) System für die Ermittlung und Quantifizierung einer Ausrichtung von einem Objekt mit einer Kopplungsoptik und eine Bildaufnahmevorrichtung
DE59611358D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bildung einer abbildung mit kernspinresonanz
DE69710649D1 (de) Abtastverfahren und -vorrichtung für eine Streakkamera
DE69738762D1 (de) Optische prüfvorrichtung und mit einer solchen versehene lithographische vorrichtung
DE59701422D1 (de) Messvorrichtung zur ermittlung einer borkonzentration
DE69902475T2 (de) Verfahren zur automatischen ermittlung der konfiguration eines mehrfachen eingangsbildverarbeitungsgerätes
DE69630657D1 (de) Linsentubus und Kamera mit einer solchen Vorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition