DE69909840T2 - Düsenplatten für tintenstrahldrucker und ähnliche geräte - Google Patents

Düsenplatten für tintenstrahldrucker und ähnliche geräte Download PDF

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Description

  • Diese Erfindung bezieht sich auf Düsenplatten für Vorrichtungen, derart wie Tintenstrahldrucker zum Ausstoßen von Flüssigkeiten in der Form von sehr kleinen Tröpfchen, auf ein Verfahren des Herstellens derartiger Düsenplatten und auf Köpfe für derartige Vorrichtungen, die mit derartigen Düsenplatten versehen sind.
  • Bei einem Tintenstrahldrucker wird Tinte in der Form von Tröpfchen durch eine Düse mit kleinem Durchmesser ausgestoßen, die an einem Druckkopf vorgesehen ist, und zwar auf eine aufnehmende Oberfläche. Wenn die Oberfläche des Druckkopfes, der die Düse umgibt, mit Tinte angefeuchtet bzw. benetzt wird, neigen die Tröpfchen jedoch dazu, von der richtigen Richtung des Weges abgelenkt zu werden oder in extremen Fällen können sie überhaupt nicht ausgestoßen werden.
  • Um dieses Problem zu überwinden, ist vorgeschlagen worden, eine Düsenplatte vorzusehen, die eine Platte aufweist, die mit einem oder mehreren Düsenlöchern versehen ist und eine tinteabstoßende Schicht hat, die üblicherweise aus einer fluorierten oder Silikonverbindung ausgebildet ist, wobei die Platte an der Oberfläche beschichtet ist, die einen Düsenlochauslass bzw. Düsenlochauslässe hat. Das Ziel der Schicht ist es, zu verhindern, das die Oberfläche der Platte durch die Tinte benetzt wird oder zumindest die Neigung dieser Oberfläche zu verringern, durch die Tinte benetzt zu werden, so dass die Zeitdauer, bevor die Düsenplatte zu reinigen oder zu ersetzen ist, verlängert wird. Die Platte weist eine Plattenplatine auf, welche im Allgemeinen aus Polysulfon oder Polyamid oder einem anderen laserabtragbaren Material ausgebildet ist, und nach dem Aufbringen der tinteabstoßenden Schicht auf ihre eine Oberfläche wird das Düsenloch eines geeigneten Durchmessers durch das Aussetzen der somit beschichteten Platine einem Laserstrahl, bevorzugt einem Excimer-Laserstrahl, ausgebildet. Die so ausgebildete Düsenplatte, die mit dem Düsenloch oder – löchern vollständig ist, wird dann an den Körper des Druckkopfes befestigt bzw. gebondet, und zwar mit dem oder jedem Düsenloch der Platte, die mit einem jeweiligen Tintenkanal ausgerichtet ist, der in dem Körper ausgebildet ist.
  • Eine Reihe von Materialien von geringer Oberflächenenergie ist für die tinteabstoßende Schicht vorgeschlagen worden, aber wegen ihrer vorteilhaften Kombination von geringer Oberflächenenergie und Verschleißfestigkeit ist diese Anwendung besonders mit der Verwendung fluorierten bzw. fluorinierten Ethylen-Propylen-Copoylmer (FEP) für diesen Zweck verbunden. Es wird angenommen, dass die gewünschte Verschleißfestigkeit dieses Copolymers wenigstens zum Teil wegen seiner Kristallinität besteht, und es in dieser Hinsicht wesentlich von den meisten anderen Verbindungen auf der Grundlage von Fluor abweicht, die vorgeschlagen worden sind, weil Beschichtungen der Letzteren leicht aus der Lösung erhalten werden, z. B. wie dies in der EP-A-0 576 007 beschrieben ist, ist FEP unlöslich oder im Wesentlichen in den meisten Lösungsmitteln so und deshalb wird es als eine Dispersion bzw. Verteilung der Polymerpartikel bzw. -teilchen angewendet. FEP-Beschichtungen unterscheiden sich folglich in der Art von jenen, die auf die Lösung zurückzuführen sind.
  • Die Beschichtung der Tintenstrahldruckkopfdüsenplatten mit FEP ist bereits in der US-A-5,646,657 und der US-A-5,653,901 vorgeschlagen worden. US-A-5,646,657 schlägt das Enthalten einer UV-Absorbiereinrichtung bei der Fluidbeschichtungsmischung vor, um die Rundheit des Loches zu verbessern, das in der Beschichtungsschicht durch den Excimer-Laser ausgebildet wird. Wir haben jedoch herausgefunden, dass die Einbeziehung der UV-Absorbiereinrichtung die Tintenabweisung der Schicht verringern kann. US-A-5,653,901 schlägt die Wärmebehandlung der Schicht derart vor, um Grate in der Schicht zu erweichen und abzuflachen, die bei dem Düsenlochausbildungsverfahren ausgebildet wird.
  • US 5,208,604 offenbart ein Verfahren des Herstellens einer Öffnungsplatte, das die Schritte des Anwendens eines flüssigkeitsabweisenden Mittels aufweist, wobei die Beschichtung durch das Verwenden der UV-Strahl-Bestrahlung aushärtet und Öffnungen durch das Verwenden eines Excimer-Lasers ausgebildet werden.
  • Die Veröffentlichungen US-A-5,646,657 und US-A-5,653,901 beschreiben beide das Ausbilden des Düsenloches an der Düsenplattenplatine durch das Aussetzen der hinteren Oberfläche der Platine (d. h. der unbeschichteten Oberfläche) einem Excimer-Laserstrahl und beide empfehlen eine FEP-Schichtdicke von etwa 1 μm (1000 nm). Wir haben jedoch heraus gefunden, dass es bevorzugt ist, das Düsenloch durch das Aussetzen der vorderen Oberfläche der Platte (d. h. der beschichteten Oberfläche) der Platine dem Laserstrahl auszubilden. Ein Grund dafür ist, dass die Form und die Qualität des Auslassendes des Düsenloches bedeutend für die genaue Richtung des Weges der Tintentröpfchen ist, und durch das Aussetzen der beschichteten Oberfläche der Platine dem Laser ist es möglich, zu sichern, dass die Oberfläche der Platte, an welcher der Auslaß auszubilden ist, in der fokalen Ebene eines fokussierenden bzw. Brennpunktsystems eines Laserstrahls auszubilden ist.
  • Mit diesem Verfahren jedoch wird es ersichtlich werden, das der Mechanismus, durch welchen das Loch an der FEP-Schicht ausgebildet wird, unterschiedlich von dem Verfahren sein wird, bei dem der Laserstrahl anfänglich auf die Rückseite der Platine gerichtet wird. Bei dem letzteren Fall wird das Loch in der Platte im wesentlichen durch Zerstörung des laserabtragbaren Materials der Platine, das dem Laserstrahl ausgesetzt ist, und das Loch wird anschließend vorwärts durch die FEP-Schicht in der Richtung des Laserstrahls ausgedehnt, und zwar durch Verdampfung der Schicht als ein Ergebnis der Wärme und der kinetischen Energie, die durch die Einwirkung des Lasers auf das Material der Platine freigegeben wird. Bei dem früheren Fall sind andererseits die Richtung des Laserstrahls und die Richtung der Ausbildung des Loches in der FEP-Schicht entgegengesetzt, bei welcher angenommen wird, durch den selben Mechanismus der Verdampfung zu bestehen, weil FEP selbst im allgemeinen transparent bzw. lichtdurchlässig für Laser ist. Durch irgendeinen Umstand haben wir herausgefunden, dass, wenn das Düsenloch durch das Richten des Laserstrahls auf die beschichtete Fläche der Platte ausgebildet wird und die Beschichtung geschmolzene FEP-Partikel aufweist, die allgemeinen Richtlinien für den Vorgang, wo der Laserstrahl auf die hintere (unbeschichtete) Seite der Platine gerichtet ist, nicht zutreffen; insbesondere ist es nicht möglich, Düsenauslasslöcher von akzeptabler Qualität bei der empfohlenen Schichtdicke von etwa 1 μm zu erhalten, und zwar insbesondere bei bevorzugten Düsengrößen von 50 μm und darunter.
  • Wir haben nun herausgefunden, dass, wenn der Laserstrahl auf die beschichtete Fläche der Platte gerichtet wird, die gleichmäßige Produktion der Düsenlochauslässe von akzeptabler Qualität von der Dicke der FEP-Schicht abhängig ist, die innerhalb eines kritischen Berei ches ist, welcher im wesentlichen unter 1000 nm ist, insbesondere bei den kleineren Düsenlochgrößen, derart wie 50 μm und darunter.
  • Folglich ist gemäß der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zum Ausbilden einer Düsenplatte für eine Einrichtung zum Ausstoßen einer Flüssigkeit in der Form von Tröpfchen durch eine Düse vorgesehen, wobei das Verfahren aufweist:
    eine Düsenplattenplatine wird zur Verfügung gestellt, die ein Material aufweist, das dazu in der Lage ist, einen Excimer-Laserstrahl zu absorbieren, wobei die Platine auf einer ihrer Oberflächen eine flüssigkeitsabweisende Schicht hat, die geschmolzene feste Partikel von fluoriniertem Ethylen-Propylen-Copolymer (FEP) aufweist, wobei die Schicht eine mittlere Dicke von zumindest 200 nm, aber nicht mehr als 600 nm hat, und es wird bzw. werden ein Düsenloch oder Düsenlöcher in der beschichteten Platine ausgebildet, indem die beschichtete Fläche der Platine einem Laserstrahl ausgesetzt wird.
  • Während das Verfahren des Abtragens durch den Excimer-Laser zu bevorzugen ist, wird bei der vorliegenden Erfindung nicht beabsichtigt, auf diesen Typ des Hochenergiestrahles beschränkt zu sein. Die Strahlung von anderen Typen von Laserquellen können als ein Hochenergiestrahl verwendet werden.
  • Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel wird die beschichtete Platte auf dem Druckkopf befestigt bzw. gebondet, bevor das Düsenloch oder die -löcher ausgebildet werden, um zu ermöglichen, dass jedes Düsenloch in direkter Ausrichtung mit einem entsprechendem Kanal in dem Druckkopf ausgebildet wird. Die Ausbildung des oder jeden Düsenloches vor dem Befestigen der Platine an dem Druckkopf ist nicht herausgefunden worden, um die funktionale Qualität der Düsen zu beeinflussen bzw. zu beeinträchtigen.
  • Die Erfindung sieht ebenfalls eine Düsenplatine für eine Einrichtung zum Ausstoßen einer Flüssigkeit in der Form von Tröpfchen durch eine Düse vor, wobei die Platine ein Material aufweist, das dazu in der Lage ist, einen Excimer-Laserstrahl zu absorbieren, wobei die Platine auf einer ihrer Oberflächen einer flüssigkeitsabstoßende Schicht hat, die geschmolzene feste Teilchen bzw. Festkörperteilchen von fluoriniertem Ethylen-Propylen-Copolymer (FEP) aufweist, wobei die Schicht eine mittlere Dicke von zumindest 200 nm aber nicht mehr als 600 nm hat.
  • Sehr gute Ergebnisse wurden im Einklang mit einer Schichtdicke in dem Bereich von etwa 200 nm bis 300 nm erreicht.
  • Die Erfindung wird nun ausführlicher unter Bezugnahme auf die bevorzugten Ausführungsbeispiele und mit Hilfe der beigefügten Zeichnungen beschrieben, in welchen:
  • 1 stellt in sehr vergrößerter Form eine beschichtete Düsenplattenplatine in Übereinstimmung mit der Erfindung dar.
  • 2A bis 2C stellen in weiter vergrößerter Form die Stufen des Ausbildens der Düsenplatte dar.
  • 3 ist eine schematische geschnittene Draufsicht der Anwendung eines Laserstrahls, um die Löcher in der Düsenplatte nach dem Befestigen derselben an einem Tintenstrahldrucker-Druckkopf auszubilden.
  • Bezugnehmend zuerst auf 1, weist die Düsenplattenplatine 2 eine Platine 4 auf, die an ihrer einen Fläche eine tinteabstoßende Schicht 6 aus geschmolzenen festen FEP-Teilchen hat.
  • Die Düsenplattenplatine 2 kann aus irgendeinem geeigneten laserabtragbaren Material ausgebildet sein. Im allgemeinen wird es ein Kunststoffmaterial aufweisen und kann aus derartigem Material durch irgendein geeignetes Verfahren, z. B. Formen, Extrusion oder Gießen ausgebildet werden. Das Material sollte von ausreichend hohem Schmelzpunkt sein, um den Temperaturen zu widerstehen, die erforderlich sind, um die FEP-Teilchen zu schmelzen, z. B. 300°C oder höher, und zwar für die Zeit, die es beansprucht, die gewünschte Oberflächenqualität zu erreichen. Nicht ausschließliche Beispiele von geeigneten Kunststoffmaterialien sind Polyamid, Polysulfon, Polyethersulfon und Polyetheretherketone (PEEK).
  • Die tinteabstoßende Schicht 6 wird bevorzugt durch das Anwenden einer Dispersion des FEP auf einer Oberfläche der Platine und im anschließenden Erwärmen vorgesehen, um zuerst das flüssige Medium zu verdampfen und anschließend die FEP-Teilchen zu schmelzen. Die Erwärmungen können in einem Schritt ausgeführt werden, aber dies ist nicht bevorzugt.
  • Die Teilchen können in irgendeiner geeigneten Flüssigkeit dispergiert werden, um die Dispersion auszubilden. Die Flüssigkeit kann organisch oder anorganisch oder eine Mischung sein. Es ist bevorzugt, eine einzige Stufe der Mischung von Lösungsmitteln zu verwenden, um die erforderliche Oberflächenqualität zu erreichen. Ethanol und/oder Wasser sind Beispiele von geeigneten Lösungsmitteln, wobei Ethanol bevorzugt ist.
  • Die Dispersion kann ein Dispersionsmittel enthalten, um bei der Stabilisation der Dispersion zu helfen. Irgendein geeignetes Dispersionsmittel kann verwendet werden, vorausgesetzt, das es nicht unerwünscht die Ausbildungen der Schicht aus der Dispersion, das Befestigen der Schicht an der Platine oder die tinteabstoßenden Eigenschaften der Schicht beeinträchtigt.
  • Oberflächenaktive Stoffe bzw. Tenside und/oder Benetzungswirkstoffe können ebenfalls bei der Dispersion vorgesehen werden, um die fertigbearbeitete Oberflächenqualität der Düsenplatte zu verbessern.
  • Die mittlere Partikelgröße der verwendeten Partikel, um die Dispersion auszubilden, ist bevorzugt in dem Bereich von etwa 50 bis 250 nm, derart wie 100 bis 250 nm. Bevorzugt sind die Partikel im wesentlichen gleich in der Größe, z. B. ± 100 nm oder kleiner als die mittlere Partikelgröße. Die mittlere Partikelgröße ist bevorzugter in dem Bereich von 150 bis 200 nm.
  • Irgendein geeignetes Verfahren kann für das Aufbringen der Dispersion auf die Fläche der Platine verwendet werden, vorausgesetzt, dass die Schicht von ihr nach dem Entfernen des flüssigen Mediums und der Verschmelzung der Partikel von 200 bis 600 nm bei mittlerer Dicke und von relativ gleicher Dicke erhalten wird. Geeignete Verfahren sind z. B. Strei fenbeschichten, Sprühbeschichten, Eintauchen oder Wirbelbeschichten bzw. Spin Coating. Mit „relativ gleich" ist gemeint, dass die Dicke der Schicht über dem Bereich der Platine nicht um mehr als etwa 50 nm abweicht, und bevorzugt nicht mehr als 20 nm, und zwar von der mittleren Dicke; jedoch sollte bevorzugt kein Teil der Schicht größer als 600 nm oder kleiner als 200 nm sein. Bevorzugt weicht die Dicke der Schicht nicht mehr als etwa 10% von der mittleren Dicke ab.
  • Falls gewünscht, kann die Fläche der Platine vor der Anwendung der Dispersion behandelt werden, um das Befestigen der Schicht an der Fläche zu verbessern. Beispiele von geeigneten Behandlungen sind Plasmaätzungen, Koronabehandlung, chemisches Ätzen, Anwendung eines Grundiermittels und Beschichten mit einem chemischen Haftförderungsmittel.
  • Nach der Anwendung der Dispersion wird die derart ausgebildete Beschichtung behandelt, um das flüssige Medium zu entfernen, z. B. durch Erwärmen, um das Medium zu verdampfen, und wird erwärmt, um die Partikel zu verschmelzen, um die gewünschte Schicht auszubilden. Die tinteabstoßenden Eigenschaften der Schicht scheinen zumindest in gewissem Grade durch die Temperatur und die Zeitdauer, die für den Erwärmungsschritt gewählt werden, gesteuert zu werden, um die Verschmelzung zu erreichen, und die optimalen Bedingungen können durch Versuch leicht eingerichtet werden.
  • Wenn die mittlere Dicke der Schicht 6 weniger als 200 nm beträgt, neigen ihre tinteabstoßenden Eigenschaften dazu, nicht gleich oder anderweitig unvollkommen zu sein. Bei einer mittleren Dicke oberhalb von 600 nm neigt jedoch die Qualität der Düsen, die in der Platte ausgebildet sind, dazu, sich zu verschlechtern; z. B. neigen die Ränder des Düsenauslasses dazu, rauh und/oder nicht kreisförmig zu werden. Die mittlere Dicke kann berechnet werden, z. B. aus der Kenntnis der Dichte des FEP und dem Gewicht der Plattenplatine vor und nach der Ausbildung der Schicht.
  • Bezug nehmend nun auf 2 werden das Düsenloch oder die -löcher 8 an der Düsenplatte durch das Richten eines Excimer-Laserstrahls 10 (2A) auf die Fläche der Platte, die die Schicht 6 trägt, ausgebildet, und zwar gewählt für seine Fähigkeit, das Material der Plattenplatine abzutragen, und von einem Durchmesser, der gewählt wird, um in der Platte ein Düsenloch des gewünschten Durchmessers auszubilden. Weil die Schicht 6 im Wesentlichen transparent bzw. lichtdurchlässig für Excimer-Laserlicht ist, das eine Wellenlänge in dem UV-Bereich hat, wird angenommen, dass der Strahl im Wesentlichen durch das Material der Platine absorbiert wird, was zur Zersetzung und Aufspaltung der Moleküle und der Zerstreuung der Atome (2B) und der Ausbildung des gewünschten Loches darin führt, und dass das Material der Beschichtungsschicht, die über dem Loch liegend ist, durch die Energie der aufgespalteten Moleküle und zerstreuten Atome aufgespaltet wird, wodurch die Ausbildung des Loches durch die beschichtete Platine (2C) hierdurch vervollständigt wird. Durch irgendeinen Umstand werden durch das Aussetzen der beschichteten Platine einem Excimer-Laserstrahl, wie dies beschrieben ist, Löcher von akzeptabler Form leicht an der beschichteten Platine ausgebildet, sogar bei Durchmessern so gering wie 50 μm oder niedriger, z. B. 25 μm oder niedriger. Dies ist von erheblichem Wert, indem die Größe der Düse einen direkten Einfluß auf die Größe des Tröpfchens hat, das ausgestoßen werden kann. Kleinere Düsen können deshalb kleinere Tröpfchen ausstoßen und sind somit in der Lage, Bilder mit größerer Punktdefinition und Bildqualität zu erzeugen.
  • Bei einem Ausführungsbeispiel, das in 3 dargestellt ist, wird nach der Ausbildung der tinteabstoßenden Schicht 6 darauf die Düsenplattenplatine 4 an einen Tintenstrahldruckkopf 12 befestigt, und zwar vor dem Aussetzen dem Excimer-Laserstrahl, um die Löcher darin auszubilden, wodurch die genaue Ausrichtung des Laserstrahls 10 mit dem Tintenkanal 14 in dem Druckkopf ermöglicht wird, in welchem das Loch zu öffnen ist. Die Art, in der die Platte mit dem Druckkopf verbunden wird, bildet keinen Teil der Erfindung, und irgendein geeignetes Verfahren kann verwendet werden. Die Ausrichtung kann z. B. durch Projizieren eines Strahles durch den Kanal 14 unterstützt werden, wobei dessen Strahlung an der Außenseite der beschichteten Düsenplatte erfaßt werden kann. Wo die beschichtete Düsenplatte lichtdurchlässig bzw. durchscheinend ist, kann dies zweckdienlich ein Strahl sichtbaren Lichtes sein.
  • Beispiel
  • Eine Reihe beschichteter Düsenplatten wurde mit FEP-Schichten von verschiedener Dicke vorbereitet, und zwar durch die Anwendung einer wäßrigen Dispersion von FEP und an schließendem Erwärmen der Dispersion, um das Wasser zu verdampfen und die Teilchen zu verschmelzen. Die tinteabstoßenden Eigenschaften der beschichteten Platten wurden durch Messen der ablaufenden Meniscus Velocity bzw. Receeding Meniscus Velocity (RMV) bestimmt, wie dies in der WO 97/15 633 beschrieben ist und durch Messen des Benetzungs-Koeffizienten bestimmt, wobei Propylencarbonat als das Lösungsmittel verwendet worden ist. Die Ergebnisse sind nachstehend tabellarisch angeordnet:
    Figure 00090001
  • Die Werte für RMV sind im Allgemeinen über den gesamten Bereich der Schichtdicke akzeptabel, aber während der Benetzungs-Koeffizient in dem Bereich 200 bis 500 nm akzeptabel ist, ist er unakzeptabel hoch bei 100 nm und bei 700 nm und oberhalb.
  • Düsenplatten wurden aus den beschichteten Platinen durch das Bohren von Löchern mit dem Durchmesser 50 μm ausgebildet und zwar in den beschichteten Platinen durch das Abgeben eines Excimer-Laserstrahls auf die beschichtete Fläche der Platine. Die Düsen waren von guter Rundheit und Regelmäßigkeit im Querschnitt.
  • Während die Erfindung vorstehend mit spezifischer Bezugnahme auf Tintenstrahldrucker beschrieben worden ist, kann sie breiter für irgendeine Vorrichtung angewendet werden, welche wie ein Tintenstrahldrucker für die Ausstoßung einer Flüssigkeit in der Form von sehr kleinen Tröpfchen durch eine kleine Düse vorhanden ist und wo eine flüssigkeitsabstoßende Beschichtung an der Düsenplatte erforderlich ist. Beispiele von derartigen Flüssigkeiten sind Lacke, Lösungsmittel, medizinische Fluidi und dergleichen.

Claims (14)

  1. Düsenplattenplatine (2) für eine Einrichtung zum Ausstoßen einer Flüssigkeit in der Form von Tröpfchen durch eine Düse, wobei die Platine ein Material (4) aufweist, das dazu in der Lage ist, einen Excimer-Laserstrahl zu absorbieren, wobei die Platine auf einer ihrer Oberflächen eine flüssigkeitsabstoßende Schicht (6) hat, die geschmolzene feste Teilchen bzw. Festkörperlteilchen von fluoriniertem Ethylen-Propylen-Copolymer (FEP) aufweist, wobei die Schicht eine mittlere Dicke von zumindest 200 nm aber nicht mehr als 600 nm hat.
  2. Düsenplattenplatine (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Schicht um nicht mehr als 10% von der mittleren Dicke abweicht.
  3. Düsenplattenplatine (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass kein Teil der Schicht mehr als 600 nm oder weniger als 200 nm dick ist.
  4. Düsenplatte, die eine Düsenplattenplatine aufweist, wie sie in einem der Ansprüche 1 bis 3 beansprucht ist, die ein Düsenloch oder Düsenlöcher hat, das oder die nicht größer als 50 μm im Durchmesser ist oder sind.
  5. Tintenstrahldrucker, der eine Düsenplatte nach Anspruch 4 enthält.
  6. Verfahren zum Ausbilden einer Düsenplatte für eine Einrichtung zum Ausstoßen einer Flüssigkeit in der Form von Tröpfchen durch eine Düse, wobei das Verfahren aufweist: eine Düsenplattenplatine (2) wird zur Verfügung gestellt, die ein Material (4) aufweist, das dazu in der Lage ist, einen Excimer-Laserstrahl zu absorbieren, wobei die Platine auf einer ihrer Oberflächen eine flüssigkeitsabweisende Schicht (6) hat, die geschmolze ne feste Partikel von fluoriniertem Ethylen-Propylen-Copolymer (FEP) aufweist, wobei die Schicht eine mittlere Dicke von zumindest 200 nm aber nicht mehr als 600 nm hat, und es wird bzw. werden ein Düsenloch oder Düsenlöcher in der beschichteten Platine ausgebildet, indem die beschichtete Fläche der Platine einem Laserstrahl ausgesetzt wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, wobei die Teilchen bzw. Partikel auf dem Material abgeschieden sind, dass dazu in der Lage ist, einen Excimer-Laserstrahl vor dem Schmelzen zu absorbieren und eine mittlere Partikelgröße in dem Bereich von 100 nm bis 250 nm hat.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die mittlere Partikel- bzw. Teilchengröße 150 bis 200 nm beträgt.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilchen bzw. Partikel vor dem Schmelzen eine im Wesentlichen gleiche Größe haben.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Schicht nicht mehr als 10% von der mittleren Dicke abweicht.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass kein Teil der Schicht mehr als 600 nm oder weniger als 200 nm dick ist.
  12. Verfahren nach Anspruch 9 oder Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Düsenloch oder die Düsenlöcher nicht größer als 50 nm ist bzw. sind.
  13. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung ein Tintenstrahldrucker ist.
  14. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die beschichtete Platine auf einem Tintenstrahldrucker befestigt bzw. gebondet ist, bevor das Düsenloch oder die – löcher ausgebildet werden.
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