DE69828962D1 - Verfahren zur Herstellung eines Aktuators für eine Festplattenvorrichtung, mit einem Lese-/Schreibkopf, einem Microaktuator und einer Aufhängung und die so erhaltene Aktuatorvorrichtung - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Aktuators für eine Festplattenvorrichtung, mit einem Lese-/Schreibkopf, einem Microaktuator und einer Aufhängung und die so erhaltene Aktuatorvorrichtung

Info

Publication number
DE69828962D1
DE69828962D1 DE69828962T DE69828962T DE69828962D1 DE 69828962 D1 DE69828962 D1 DE 69828962D1 DE 69828962 T DE69828962 T DE 69828962T DE 69828962 T DE69828962 T DE 69828962T DE 69828962 D1 DE69828962 D1 DE 69828962D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
actuator
microactuator
suspension
read
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69828962T
Other languages
English (en)
Inventor
Simone Sassolini
Sarah Zerbini
Benedetto Vigna
Ubaldo Mastromatteo
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STMicroelectronics SRL
Original Assignee
STMicroelectronics SRL
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by STMicroelectronics SRL filed Critical STMicroelectronics SRL
Application granted granted Critical
Publication of DE69828962D1 publication Critical patent/DE69828962D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
    • G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
    • G11B5/5521—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
    • G11B5/5552—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks using fine positioning means for track acquisition separate from the coarse (e.g. track changing) positioning means
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
    • G11B5/11—Shielding of head against electric or magnetic fields
DE69828962T 1998-07-30 1998-07-30 Verfahren zur Herstellung eines Aktuators für eine Festplattenvorrichtung, mit einem Lese-/Schreibkopf, einem Microaktuator und einer Aufhängung und die so erhaltene Aktuatorvorrichtung Expired - Lifetime DE69828962D1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP98830465A EP0977180B1 (de) 1998-07-30 1998-07-30 Verfahren zur Herstellung eines Aktuators für eine Festplattenvorrichtung, mit einem Lese-/Schreibkopf, einem Microaktuator und einer Aufhängung und die so erhaltene Aktuatorvorrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE69828962D1 true DE69828962D1 (de) 2005-03-17

Family

ID=8236735

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69828962T Expired - Lifetime DE69828962D1 (de) 1998-07-30 1998-07-30 Verfahren zur Herstellung eines Aktuators für eine Festplattenvorrichtung, mit einem Lese-/Schreibkopf, einem Microaktuator und einer Aufhängung und die so erhaltene Aktuatorvorrichtung

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6501623B1 (de)
EP (1) EP0977180B1 (de)
JP (1) JP2000057551A (de)
DE (1) DE69828962D1 (de)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000030081A1 (fr) * 1998-11-13 2000-05-25 Tdk Corporation Mecanisme de support de tete d'enregistrement/lecture et appareil d'enregistrement/lecture
KR100580242B1 (ko) * 1999-10-21 2006-05-16 삼성전자주식회사 마이크로 액츄에이터
US6614627B1 (en) * 2000-02-14 2003-09-02 Hitachi, Ltd. Magnetic disk apparatus
US6683758B2 (en) * 2000-06-01 2004-01-27 Seagate Technology Llc Fabrication method for integrated microactuator coils
JP2004522239A (ja) 2000-06-22 2004-07-22 シーゲイト テクノロジー エルエルシー ヘッド・ピッチ調整を改善したディスク・ドライブ
US6765766B2 (en) * 2000-07-11 2004-07-20 Seagate Technology Llc Bonding tub improved electromagnetic microactuator in disc drives
US7248444B1 (en) * 2000-07-21 2007-07-24 Lauer Mark A Electromagnetic heads, flexures, gimbals and actuators formed on and from a wafer substrate
US6760196B1 (en) * 2001-12-12 2004-07-06 Western Digital, Inc. Microactuator with offsetting hinges and method for high-resolution positioning of magnetic read/write head
EP1312580B1 (de) * 2001-11-16 2007-01-24 STMicroelectronics S.r.l. Verfahren zur Versiegelung von Mikrostrukturen enthaltenden Bauelementen
EP1359569A1 (de) 2002-05-03 2003-11-05 STMicroelectronics S.r.l. Lese/Schreibvorrichtung für Magnetischefestplatten
US6859346B1 (en) 2002-11-07 2005-02-22 Dallas W. Meyer Integrated bidirectional Recording head micropositioner for magnetic storage devices
US6914746B1 (en) 2002-12-05 2005-07-05 Dallas W. Meyer High sustained data rate storage devices having microactuator
US7218471B2 (en) * 2002-12-05 2007-05-15 Meyer Dallas W Self-servo writing using recording head micropositioner
US7092194B2 (en) * 2003-02-07 2006-08-15 Meyer Dallas W Method of calibrating magnetic storage medium bi-directional recording head
US7248442B1 (en) 2003-03-05 2007-07-24 Meyer Dallas W Integrated recording head micropositioner using off-axis flexure bending
US7369369B1 (en) 2003-04-03 2008-05-06 Meyer Dallas W Bidirectional micropositioning recording head for a magnetic storage device
US7538983B1 (en) 2003-07-29 2009-05-26 Meyer Dallas W Micropositioner recording head for a magnetic storage device
US7606002B1 (en) 2005-05-26 2009-10-20 Hutchinson Technology Incorporated Offset dimple in a disk drive with head suspension flexure extending into load beam offset aperture
US7518830B1 (en) 2006-04-19 2009-04-14 Hutchinson Technology Incorporated Dual sided electrical traces for disk drive suspension flexures
US20080198511A1 (en) * 2007-02-20 2008-08-21 Toshiki Hirano Suspension for a hard disk drive microactuator
US8040639B2 (en) * 2007-03-28 2011-10-18 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. Integrated silicon micro-actuator slider
US7893534B2 (en) * 2007-08-10 2011-02-22 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands, B.V. Thermally insulating bonding pad structure for solder reflow connection
US8223461B2 (en) * 2007-09-28 2012-07-17 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. Pure rotary microactuator
US8279559B1 (en) 2009-01-02 2012-10-02 Meyer Dallas W Process for creating discrete track magnetic recording media including an apparatus having a stylus selectively applying stress to a surface of the recording media
JP6043613B2 (ja) * 2012-12-11 2016-12-14 日東電工株式会社 回路付サスペンション基板

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3789378A (en) * 1971-05-24 1974-01-29 Olivetti & Co Spa Transducer positioning mechanism
FR2296297A1 (fr) 1974-12-27 1976-07-23 Thomson Csf Dispositif commutateur a commande electrique de deplacement
KR0148748B1 (ko) * 1988-09-16 1998-08-17 장 크라메르, 한스 루돌프 하우스 사이클로스포린을 함유하는 약학조성물
US5025346A (en) 1989-02-17 1991-06-18 Regents Of The University Of California Laterally driven resonant microstructures
DE4000903C1 (de) 1990-01-15 1990-08-09 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De
US5428259A (en) 1990-02-02 1995-06-27 Nec Corporation Micromotion mechanical structure and a process for the production thereof
EP0482205B1 (de) 1990-04-16 1996-09-11 Fujitsu Limited Elektrostatischer betätiger
US5233213A (en) 1990-07-14 1993-08-03 Robert Bosch Gmbh Silicon-mass angular acceleration sensor
US5314572A (en) 1990-08-17 1994-05-24 Analog Devices, Inc. Method for fabricating microstructures
US5216631A (en) 1990-11-02 1993-06-01 Sliwa Jr John W Microvibratory memory device
DE69227660T2 (de) 1991-09-18 1999-04-22 Fujitsu Ltd Speicher mit hin- und herbewegendem Kopf
EP0556436B1 (de) * 1992-02-19 2001-09-05 Tandberg Data Asa Verfahren und Vorrichtung zur Positionierung eines Magnetkopfes
US6472794B1 (en) 1992-07-10 2002-10-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Microactuator
US5331489A (en) * 1992-11-12 1994-07-19 Seagate Technology, Inc. Gimbal for a flexure for top-terminated heads
US5485437A (en) 1993-02-05 1996-01-16 Discovision Associates Shock-resistant, electrostatically actuated pick-up for optical recording and playback
JP2700991B2 (ja) 1993-10-20 1998-01-21 日本メクトロン株式会社 静電マイクロアクチュエ−タ−
JPH07177773A (ja) 1993-12-22 1995-07-14 Zexel Corp マイクロモータ
US5631514A (en) 1994-06-09 1997-05-20 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Microfabricated microengine for use as a mechanical drive and power source in the microdomain and fabrication process
WO1995034943A1 (en) 1994-06-10 1995-12-21 Case Western Reserve University Micromotors with utilitarian features and methods of their fabrication
US5521778A (en) * 1994-08-30 1996-05-28 International Business Machines Corporation Disk drive with primary and secondary actuator drives
US5657188A (en) * 1995-06-01 1997-08-12 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension with tracking microactuator
JPH1049848A (ja) * 1996-07-30 1998-02-20 Mitsumi Electric Co Ltd 磁気ヘッドキャリッジ装置
JP3653602B2 (ja) * 1996-10-31 2005-06-02 株式会社日立製作所 磁気ディスク装置
US6246552B1 (en) * 1996-10-31 2001-06-12 Tdk Corporation Read/write head including displacement generating means that elongates and contracts by inverse piezoelectric effect of electrostrictive effect
USRE38340E1 (en) * 1996-11-04 2003-12-02 Seagate Technology Llc Multi-point bending of bars during fabrication of magnetic recording heads
US6349017B1 (en) * 1997-02-21 2002-02-19 Read-Rite Corporation Magnetic head suspension assembly using bonding pads of a slider to an attachment surface of a flexure
US6222706B1 (en) * 1997-03-31 2001-04-24 Seagate Technology Llc Flexure microactuator
US5850320A (en) * 1997-05-13 1998-12-15 Seagate Technology, Inc. Head-gimbal assembly with reduced vertical spacing envelope and alignment structures
US5867347A (en) * 1997-06-13 1999-02-02 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension with stacked coil microactuator for tracking axis adjustment of a read/write head
US6122149A (en) * 1997-06-24 2000-09-19 Seagate Technology, Inc. Magnetic microactuator and inductive sensor having shaped pole configuration
US5959808A (en) * 1997-12-30 1999-09-28 International Business Machines Corporation Shielded electrostatic microactuators for magnetic-head positioning such devices
US6215629B1 (en) * 1998-04-16 2001-04-10 Seagate Technology Llc Unitary synchronous flexure microactuator

Also Published As

Publication number Publication date
EP0977180A1 (de) 2000-02-02
JP2000057551A (ja) 2000-02-25
US6501623B1 (en) 2002-12-31
EP0977180B1 (de) 2005-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69828962D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Aktuators für eine Festplattenvorrichtung, mit einem Lese-/Schreibkopf, einem Microaktuator und einer Aufhängung und die so erhaltene Aktuatorvorrichtung
DE69735806D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiter Microantrieb, insbesondere für Lese-Schreibekopf einem Festplattengerät, und so hergestellter Microantrieb
DE60120858D1 (de) Informationsaufzeichnungsmedium und Verfahren zu dessen Herstellung, und Verfahren zur Informationsaufzeichnung/ -WIedergabe darauf
DE60139048D1 (de) Optisches Informationsmedium, Verfahren zur Herstellung, Aufzeichnungs-/Wiedergabeverfahren und Prüfungsverfahren
DE19681739T1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Magnetaufzeichnungsmediums mit Bikristallclustern
DE69535473D1 (de) Zerstäubungstarget, Verfahren zur Herstellung des Zerstäubungstargets, und Verfahren zur Herstellung des optischen Aufzeichnungsmediums
DE60131046D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Aperturblende, optischer Nahfeldkopf und Verfahren zu dessen Herstellung, Vorrichtung zum Aufnehmen und Wiedergeben von Informationen
DE69937002D1 (de) Optisches informationsaufzeichnungsmedium, verfahren zur herstellung, und verfahren zur aufzeichnung und wiedergabe
DE60105106D1 (de) Optisches Informationsaufzeichnungsmedium und Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums
DE69022826T2 (de) Magnetischer Aufzeichnungsträger und Verfahren zu seiner Herstellung.
DE69816073D1 (de) Verfahren zur herstellung eines optischen informationsaufzeichnungsmediums, und durch das verfahren hergestelltes optisches informationsaufzeichnungsmedium
DE60136115D1 (de) Aufzeichnungsmedium, optischer Nahfeldkopf, optische Aufzeichnungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung
DE69718584D1 (de) Magnetisches Aufzeichnungsmedium und Verfahren zur Herstellung des magnetischen Aufzeichnungsmediums
DE60202347D1 (de) Plattenaufnahme- oder Wiedergabevorrichtung und Montageverfahren für die Vorrichtung
DE60131211D1 (de) Informationsaufzeichnungsmedium und Verfahren zu dessen Herstellung
DE69028963D1 (de) Aufzeichnungsmedium, Verfahren zur Herstellung desselben, Aufzeichnungs- und Wiedergabeeinrichtung und Verfahren zur Aufzeichnung, Wiedergabe und zum Löschen mit einem solchen Aufzeichnungsmedium
DE60207676D1 (de) Informationsaufzeichnungsmedium und Verfahren zu dessen Herstellung
DE3581482D1 (de) Magnetisches aufzeichnungsmedium, verfahren zu dessen herstellung und verfahren zur aufzeichnung und wiedergabe mit demselben und einem magnetkopf.
DE69839909D1 (de) Verfahren zur herstellung eines phasenwechselbaren optischen aufzeichnungsmediums sowie verfahren zur informationsaufzeichnung darauf
DE69419868T2 (de) Magnetisches Aufzeichnungsmedium, Verfahren zur Herstellung desselben
DE60042947D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationaufzeichnungsmediums und optisches Informationsaufzeichnungsmedium
DE60220732D1 (de) Verfahren zur Suche einer Grenzposition zwischen einer aufgezeichneten Region und einer nicht aufgezeichneten Region einer Aufzeichnungsplatte, und Informationsaufzeichnungsgerät
DE19983378T1 (de) Dünnfilmmagnetkopf, Verfahren zur Herstellung desselben und Magnetaufzeichnungsvorrichtung
DE60038937D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Informationsaufzeichnungsmediums
DE69023835T2 (de) Träger für senkrechte magnetische Aufzeichnung und Verfahren zu seiner Herstellung.

Legal Events

Date Code Title Description
8332 No legal effect for de