DE69826454T2 - Verfahren zum Verbinden zweier oder mehrer Teile - Google Patents

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Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbinden zweier oder mehrerer fester Teile gemäß Anspruch 1. Ein solches Verfahren kann zum Beispiel für die Herstellung eines Entgasers für einen Flüssigchromatographen angewendet werden, um eine gasdurchlässige Membran mit einem Formkörper zu verbinden, der die zu entgasende Flüssigkeit aufnimmt.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • In der Flüssigchromatographie werden Entgaser verwendet, um die in den benutzten Lösungsmitteln gelöste Gasmenge zu reduzieren. Die in der Flüssigchromatographie benutzten Lösungsmittel werden normalerweise in Kontakt zur umgebenden Luft gelagert, so dass sie sich normalerweise in einem gasgesättigten Zustand befinden. Diese gelösten Gase beeinflussen die chromatographischen Messungen nachteilig.
  • US-Patent No. 4,469,495 beschreibt einen Flüssigchromatographie-Entgaser zur Entfernung von Sauerstoff oder anderer gelöster Gase aus einer in der Flüssigchromatographie benutzten Flüssigkeit, wobei die Flüssigkeit, die entgast wird, durch ein spiralförmiges Rohr geführt wird. Dieses Rohr besteht aus einem Kunstharzmaterial wie zum Beispiel Tetrafluorethylen. US-Patent No. 4,729,773 beschreibt eine Vorrichtung zum Entgasen von Flüssigkeiten, in der die Flüssigkeit durch ein aus einem Fluorharz hergestelltes Rohr geführt wird, das Gasen den Durchtritt erlaubt, während die Flüssigkeit daran gehindert wird. Entgaser, die flache Membranen benutzen, sind bekannt aus US-Patent No. 3,751,879 und US-Patent No. 3,735,562. Ein anderer Entgaser, der eine Membran benutzt, ist bekannt aus EP 718016 . US-Patent No. 3,619,323 beschreibt ein Verfahren zum Verbinden gehärteter Silikonmaterialien mit gehärteten Silikonmaterialien, die für die Implantation in einen menschlichen Körper geeignet sind, um eine Hülle oder eine Membran für ein künstliches menschliches Organ herzustellen. US-Patent No. 4,238,207 beschreibt ein Verfahren zum Befestigen einer Filtermembran.
  • Entgaser, die Membranen benutzen, enthalten typischerweise einen in einem Gehäuse gebildeten Hohlraum, durch den die zu entgasende Flüssigkeit fließt. Auf der von dem Hohlraum entfernten Seite der Membran wird ein Vakuum angelegt, das somit die in der Flüssigkeit gelösten Gase durch die Membran nach außen zwingt. Die Membran muss so an dem Gehäuse befestigt werden, dass durch die Verbindung zwischen der Membran und dem Gehäuse keine Flüssigkeit aus dem Hohlraum nach außen austreten kann. Eine typische, kostengünstige Methode zum Verbinden der Membran mit dem Gehäuse ist Verkleben.
  • Verkleben hat jedoch mehrere Nachteile. Erstens kann der Klebstoff oder das Bindemittel durch bestimmte, in der Chromatographie benutzte Lösungsmittel gelöst werden und somit zu undichten Stellen oder vollständiger Zerstörung der Verbindung führen. Zweitens kann das Klebematerial unerwünschte Substanzen freisetzen, die durch den Lösungsmittelstrom in einem Flüssigchromatographen zum Detektor transportiert werden können, wo sie den Nachweis der Probesubstanzen beeinflussen. Drittens kann eines der Teile zerstört werden, wenn ein Unterdruck auf den Hohlraum angewandt wird.
  • Die in Verbindung mit einem Entgaser erwähnten Probleme können ebenso bei anderen Teilen in einem Flüssigchromatographen auftreten, die eine Verbindung zweier Teile enthalten, die mit Flüssigkeit in Kontakt kommen, zum Beispiel mit Lösungsmittel.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Aus Sicht des Standes der Technik ist es eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zum permanenten Verbinden fester Teile in solch einer Weise zur Verfügung zu stellen, dass der Bereich, in dem die zwei Teile verbunden werden, keine unerwünschten Substanzen freisetzt, wenn Flüssigkeit in Kontakt mit dem Bereich kommt, und dass die Verbindung nicht lose wird. Die Teile bilden einen Hohlraum mit mindestens einer Öffnung, die geeignet ist, in einer ventilartigen Funktion geschlossen zu werden.
  • Es ist ebenfalls eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zum Verbinden fester Teile in einer Komponente eines Flüssigchromatographen zur Verfügung zu stellen, die in Kontakt mit Flüssigkeiten kommt.
  • Es ist eine weitere Aufgabe, solch ein Verfahren zur Herstellung eines Flüssigchromatographie-Entgasers zur Verfügung zu stellen, das in einem Prozess durchgeführt werden kann, der sowohl wirtschaftlich als auch effizient ist.
  • Es ist außerdem eine weitere Aufgabe, ein Verfahren zum Verbinden fester Teile zur Verfügung zu stellen, das kostengünstig ist.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung werden diese Aufgaben erreicht durch ein Verfahren zum Verbinden zweier oder mehrerer fester Teile, anwendbar bei der Herstellung eines Flüssigchromatographie-Entgasers, mit den folgenden Schritten:
    • a) Bereitstellen einer Folie zwischen den zwei oder mehreren Teilen, wobei die Teile einen Hohlraum (7) mit mindestens einer Öffnung (6) bilden;
    • b) Erhitzen der Folie auf eine erhöhte Temperatur, so dass sie weich wird;
    • c) Durchführen eines Kühlschrittes zum Herunterkühlen der Folie auf eine Temperatur unterhalb der erhöhten Temperatur aus Schritt b);
    • d) wobei die Folie (2) in solch einer Weise geschnitten ist, dass sie eine Zunge (2a) umfasst, die in den Hohlraum (7) hineinragt und dafür geeignet ist, eine der mindestens eine Öffnungen (6) des Hohlraums (7) in einer ventilartigen Funktion zu schließen.
  • Die zwischen den zwei zu verbindenden Teilen angeordnete Folie fungiert als eine Schweißfolie, die erhitzt wird, und dann, nach dem Herunterkühlen, für eine permanente Verbindung zwischen den zwei Teilen sorgt. Vorzugsweise wird die Folie lokal auf eine Temperatur oberhalb des Schmelzpunktes erhitzt. Vorzugsweise wird mindestens eines der zu verbindenden Teile während der Hitzebehandlung an der Wärmeausdehnung gehindert, zum Beispiel durch Benutzen eines Rahmenbauteils, das das Teil umschließt.
  • Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist einer der zwei Verbindungspartner eine dünne Membran, die 10 Mikrometer oder dünner sein kann. Dies ist im besonderen nützlich für die Herstellung eines Flüssigchromatographie-Entgasers mit einer dünnen gasdurchlässigen Membran. Ein Entgaser, der vorzugsweise nach dem der Erfindung zugrundeliegenden Verfahren hergestellt wird, wird in der Europäischen Patentanmeldung EP-0973 mit dem Titel „Apparatus for Degassing Liquids" beschrieben, die zum selben Datum durch denselben Anmelder wie die vorliegende Anmeldung eingereicht wurde. Die Membran kann aus einem fluorierten Kunststoffmaterial hergestellt sein. In einer Ausführungsform der Erfindung wird die Membran über einen Rahmen gespannt und dann durch entsprechende Bewegung des Rahmens auf der Folie platziert. Der Rahmen kann auch die Funktion übernehmen, eine Wärmeausdehnung des Formkörpers zu verhindern, mit dem die Membran verbunden wird. Diese Ausführungsform stellt somit ein Verfahren zum Verbinden einer dünnen Membran mit einem Formkörper durch thermisches Schweißen zur Verfügung, obwohl das Material des Formkörpers bei den angewendeten Temperaturen instabil wäre.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der Erfindung hat einer der Verbindungspartner an mindestens einer seiner Ränder eine Kante, die mit einer Thermode in Kontakt gebracht und gegen den anderen Verbindungspartner gepresst wird. Auf diese Weise können zum Beispiel die Gehäuse von Druckwandlern miteinander verbunden werden. Das der Erfindung zugrundeliegende Verfahren kann in einer Vielzahl von Anwendungen benutzt werden. Zum Beispiel kann es zur Herstellung von „Lab-on-a-chip"-Vorrichtungen benutzt werden, wobei Kapillarstrukturen in einem Trägersubstrat erzeugt werden und mit dem der Erfindung zugrundeliegenden Verfahren eine Folie an dem Trägersubstrat befestigt wird. Die so in dem Substrat, das vorzugsweise aus einem lösungsmittelbeständigen Material hergestellt ist, ausgebildeten Kanalstrukturen können für die chemische Analyse von Fluiden in den Kanälen benutzt werden. Des Weiteren kann das der Erfindung zugrundeliegende Verfahren zum Verbinden von Folien benutzt werden, zum Beispiel einer Polyetheretherketon (PEEK)-Folie mit einer anderen PEEK-Folie. Außerdem kann das der Erfindung zugrundeliegende Verfahren benutzt werden, um Ventilmembranen mit einem zugehörigen Ventilgehäuse oder Ventilsitz zu verbinden.
  • Beispiele für mögliche Materialien für die Membran sind Polyetheretherketon (PEEK) oder Polytetrafluorethylen (PTFE), und das Material des Gehäuses kann PEEK oder Perfluoralkoxy (PFA) oder Fluorethylenpropylen (FEP) umfassen.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Im folgenden werden Ausführungsformen der Erfindung detailliert mit Bezug auf die Zeichnungen erklärt.
  • 1 zeigt einen ersten Verfahrensschritt einer Ausführungsform der Erfindung.
  • 2 zeigt einen zweiten Verfahrensschritt einer Ausführungsform der Erfindung.
  • 3 zeigt das Ergebnis der Verfahrensschritte gemäß 1 und 2.
  • 4 zeigt schematisch einen Entgaser für einen Flüssigchromatographen, hergestellt durch Anwendung des der Erfindung zugrundeliegenden Verfahrens.
  • 5 zeigt den Gebrauch einer Hohlthermode und einer Halterung.
  • 6 zeigt den Gebrauch eines zweiten Formkörpers anstelle einer Membran und den Gebrauch einer Thermode, die Teile mit einem vorspringenden Profil enthält.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • In den folgenden drei Ausführungsformen der Erfindung, die mit Bezug zu den 14, 5 und 6 beschrieben werden, werden für Teile, die dieselbe Funktion haben, dieselben Bezugszahlen benutzt, z.B. werden die Mittel zur Anwendung von Hitze auf die Teile (Thermode) in allen Ausführungsformen mit derselben Bezugszahl versehen, ebenso wie die zum Verbinden der zwei Teile benutzte Folie usw.
  • In der ersten Ausführungsform wird das Verbinden eines Formkörpers mit einer Membran beschrieben. Solch eine Anordnung wird zum Beispiel zur Herstellung von Entgasern für Flüssigchromatographen benutzt. 1 und 2 zeigen verschiedene Stufen des Herstellungsprozesses in schematischen Querschnitten.
  • Gemäß 1 wird ein kreisförmiger Formkörper 1 so bearbeitet, dass eine Vertiefung 7 und Öffnungen für einen Einlass 5 und einen Auslass 6 erzeugt werden. Eine Membran 4 wird über einen Rahmen 3 gespannt. Ein Teil 2 wird aus einer Folie entsprechend der Kontur der Vertiefung 7 ausgeschnitten, so dass das Teil 2 die Innenkante 7a der Vertiefung 7 vollständig bedeckt und so, dass an einer Stelle 2a eine Ausbauchung in Form einer Zunge erzeugt wird. Das Teil 2 wird so über der Innenkante der Vertiefung 7 platziert, dass die Ausbauchung 2a über der Auslassöffnung 6 positioniert ist. Die Vertiefung 7 und die Öffnungen 5 und 6 werden typischerweise durch Präzisions-Bearbeitungsmethoden wie CNC-Fräsen, CNC-Drehen oder Mikrobearbeitung erzeugt, oder der gesamte Formkörper zusammen mit der Vertiefung 7 wird in einem Schritt durch Spritzgießen hergestellt. Zur Herstellung der Membran 4 wird bevorzugterweise ein wie in DE 3920788 beschriebenes Verfahren angewendet. Zum Beispiel wird eine Siliciumscheibe mit einem Durchmesser von 100 mm mit einer Trennschicht 14 aus Gold überzogen, und eine Polytetrafluorethylen(PTFE)-Schicht 4 wird aufgeschleudert. Der Rahmen 3 wird mit dem PTFE verklebt, und die PTFE-Membran wird mechanisch vom Silicium getrennt. Die Goldschicht 14 haftet am PTFE.
  • Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung bestehen der kreisförmige Formkörper 1 und die Membran 4 aus Polytetrafluorethylen (PTFE), und das Teil 2 besteht aus Fluorethylenpropylen (FEP). In einem praktischen Ausführungsbeispiel der Erfindung beträgt der äußere Durchmesser des Formkörpers 1 42 mm, die Vertiefung 7 hat eine Tiefe von 300 Mikrometern, die Membran hat eine Dicke von 5 Mikrometern, der innere Durchmesser des Rahmens 3 beträgt 42 mm, und die Dicke des Teils 2 beträgt 25 Mikrometer. In den Zeichnungen sind nicht alle Teile maßstabsgetreu ge zeichnet. Insbesondere sind die Membran 4 und die Teile 2 oder 2a etwas dicker gezeichnet als andere Teile, um sie deutlicher zu zeigen.
  • Die Membran 4 wird zusammen mit dem Rahmen 3 so über dem Formkörper 1 positioniert, dass sich die Membran 4 auf dem Teil 2 befindet. Der Rahmen 3 liegt dicht am äußeren Umfang des Formkörpers 1. Die Membran 4 wird dann durch eine Heizvorrichtung (Thermode) 8 auf das Teil 2 gepresst und für eine so lange Zeitspanne erhitzt, dass das Teil 2 zu schmelzen beginnt.
  • Wenn das FEP-Teil 2 lokal erhitzt wird, werden der Formkörper 1 und die Membran 4 ebenfalls warm. Jedoch verhindert der geringe Abstand zwischen dem Rahmen 3 und dem Teil des Formkörpers 1, der ebenfalls erhitzt wurde, eine Ausdehnung des Formkörpers 1. Wenn die Wärmeausdehnung des Formkörpers 1 nicht verhindert wird, werden nach dem Verbinden und Abkühlen Deformationen und Verwindungen resultieren, hervorgerufen durch Unterschiede in den Wärmeausdehnungskoeffizienten.
  • Gemäß einem praktischen Ausführungsbeispiel, insbesondere wenn das Material eines der Verbindungspartner PTFE ist und das Teil 2 aus FEP hergestellt ist, beträgt die Temperatur während des lokalen Erhitzens 352 Grad Celsius.
  • Wenn das FEP-Teil 2 sich abgekühlt hat, resultiert eine permanente Verbindung zwischen der Membran 4 und dem Formkörper 1, die durch das FEP bewirkt wird, das sich wieder verfestigt hat. Die Membran 4 wird dann entlang der Verbindungslinie durchgeschnitten, und der Rahmen 3 zusammen mit dem Rest der Membran werden entfernt, so dass die Vertiefung im Formkörper 1 durch eine Membran 4a versiegelt ist. Das Ergebnis wird in 3 gezeigt. Auf diese Weise wird eine stabile Verbindung zwischen dem Formkörper 1 und der Membran 4 hergestellt, die gasundurchlässig ist. Das Material der Folie 2 kann so gewählt werden, dass es gegen die benutzten Flüssigkeiten, zum Beispiel die typischerweise bei der Flüssigchromatographie benutzten Lösungsmittel, chemisch resistent ist.
  • Die Membran 4 wird mit der Seite mit dem Formkörper 1 in Kontakt gebracht, die von der Trennschicht 14 aus Gold entfernt ist. Die Trennschicht 14 erleichtert das Entfer nen der Thermode 8 von der Membran nach dem Verbinden. Nach dem Verbinden wird die Trennschicht 14 von der Membran durch Ätzen in einer geeigneten Lösung entfernt.
  • Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung wird die Membran 4 mit dem Formkörper 1 verbunden, während die Membran auf einem Rahmen 3 befestigt ist. Eine solche Anordnung wird bevorzugt, weil eine dünne Membran dazu neigt, zu knicken und sich aufzurollen, was verhindert, dass die Membran 4a gestreckt mit dem Formkörper 1 verbunden wird. Wenn die Membran 4 dicker als etwa 100 Mikrometer ist, ist es möglich, sie ohne Verwendung eines Rahmens mit dem Formkörper 1 zu verbinden (siehe 5). Außerdem muss sich die Membran 4 nicht über den gesamten Formkörper 1 erstrecken, sondern es ist möglich, sie mit einem Teil des Formkörpers zu verbinden, und es ist möglich, die Membran 4 mit einem Teil des Formkörpers 1 zu verbinden, wo es keine Vertiefung 7 gibt.
  • 5 und 6 dienen zur Illustration der Verbindungsschritte a) bis c) der Erfindung unter Verwendung spezieller Verbindungsteile.
  • 6 zeigt, wie es möglich ist, einen zweiten Formkörper 4 anstatt einer Membran mit dem Formkörper 1 zu verbinden. Der Formkörper 4 hat einen dünnen Rand 4b, an dem die Thermode 8 den Formkörper 4 gegen den Formkörper 1 presst, und wo die Verbindung stattfindet. Die Dicke des Randes 4b liegt im Bereich von wenigen Mikrometern bis 1 mm. Vorzugsweise beträgt die Dicke weniger als 100 Mikrometer.
  • In einer Ausführungsform der Erfindung wird das Teil 2 entsprechend der Form des Klebebereichs zugeschnitten, es ist jedoch auch möglich, das Teil 2 über diesen Bereich hinaus zu erweitern, wie in 6 beispielhaft durch Teil 2b und in den 1 bis 4 beispielhaft durch Teil 2a gezeigt.
  • Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist die Thermode 8 aus Kupfer hergestellt, das elektrisch erhitzt wird. Die Kupferoberfläche der Thermode kann nickelüberzogen sein, um Korrosion und ein Festhaften der Membran zu verhindern. Vorzugsweise ist die Temperatur der Thermode so optimiert, dass eine stabile Verbindung zwischen der Membran 4 und dem Formkörper 1 erreicht wird, dass aber die Zeit, während der Wärme angewandt wird, kurz gehalten wird. Auf diese Weise wird eine Deformation des Formkörpers 1 im Wesentlichen vermieden. Die Heizzeit kann zum Beispiel nur 15 Sekunden betragen. Die Teile der Thermode, die in Kontakt mit der Membran kommen, ragen von der Oberfläche der Thermode hervor und haben eine Form, die an den Bereich angepasst ist, an dem die Verbindung tatsächlich hergestellt werden soll.
  • Es ist möglich, eine Thermode 8 zu verwenden, die hohl ist, z.B. einen Hohlzylinder, zum Verbinden einer Membran 4 mit einem Formkörper entlang einer Kreislinie, wie in 5 gezeigt. Wie in 6 gezeigt, können die Teile 8a der Thermode 8, die in Kontakt mit der Membran 4 oder dem Formkörper 1 kommen, als vorspringendes Profil ausgestaltet werden, mit einer an die Linie, entlang der die Verbindung stattfinden soll, angepassten Form. Das vorspringende Profil wird vorzugsweise durch Fräsen und Bohren oder durch Mikrobearbeitung der Thermode 8 hergestellt.
  • 5 zeigt auch, dass der Formkörper 1 an der Ausdehnung während des Erhitzens des Teils 2 durch eine Halterung 15 gehindert werden kann, die von dem Rahmen 3 getrennt ist, und die vorspringende Teile 15a haben kann, die in Vertiefungen im Formkörper 1 eingesetzt sind.
  • 4 zeigt zusätzliche Schritte zur Herstellung des endgültigen Entgasers. Auf der Seite der Membran 4a gegenüber dem Formkörper 1 werden ein Stück einer gasdurchlässigen Schicht 12 und eine Glasfritte 9, die als unterstützende Struktur fungiert, angeordnet und dann unter Verwendung einer Abdeckung 10 montiert. Die Fritte 9 reicht überall über den Rand 7a der Vertiefung 7 hinweg, so dass keine Gefahr besteht, dass die Membran 4a an ihrem Rand durch die Fritte 9 beschädigt wird. Ohne solch eine Maßnahme kann die dünne Membran (typischerweise 5 Mikrometer dick) leicht beschädigt werden, weil der Formkörper 1, der typischerweise aus PTFE hergestellt ist, sich leicht lokal verformen kann, und die Fritte 9 durch die Membran 4a gedrückt werden kann.
  • Die Abdeckung 10 ist über eine Dichtung 13 gasundurchlässig mit dem Formkörper 1 verbunden. Eine Öffnung 11 ist vorgesehen, an die eine Vakuumpumpe (nicht gezeigt) angeschlossen werden kann, um das Volumen innerhalb der Abdeckung auf einen Restdruck von etwa 100 hPa zu evakuieren. Durch den Unterdruck innerhalb des durch die Abdeckung 10 und die Membran 4a gebildeten Raumes wird die Membran 4a gegen die Fritte 9 gesaugt.
  • Die gasdurchlässige Schicht 12 verhindert, dass die dünne Membran 4a durch die Poren der Fritte 9 beschädigt wird.
  • Um den Entgaser der Erfindung in Verbindung mit einem Flüssigchromatographen zu verwenden, wird der Einlass 5 mit einem Lösungsmittelvorrat verbunden, und der Auslass 6 wird mit der Hochdruckpumpe des Chromatographen verbunden.
  • Wenn die an die Öffnung 11 angeschlossene Vakuumpumpe ausgeschaltet und der durch die Abdeckung 10 und die Membran 4a gebildete Raum belüftet wird, während die Flüssigchromatographie-Pumpe weiterhin z.B. Methanol durch den Raum 7 pumpt, wird relativ zu dem durch die Abdeckung 10 und die Membran 4a gebildeten Raum ein Unterdruck erzeugt. Dieser Unterdruck saugt die Membran 4a in die Richtung des Auslasses 6 und würde zu einem Schaden der Membran 4a führen, wenn die Ausbauchung 2a des FEP-Teils 2 nicht ebenso zum Auslass 6 gesaugt und den Auslass schließen würde. Auf diesem Weg wird vermieden, dass ein größeres Druckgefälle über die Membran 4a erzeugt wird, das sonst zu Schaden der Membran führen würde.
  • Es ist sogar noch wahrscheinlicher, dass ein Unterdruck im Raum 7 erzeugt wird, wenn der Chromatograph inklusive der Vakuumpumpe ausgeschaltet wird und der Lösungsmittelvorrat auf einer niedrigeren Höhe als der Entgaser gelagert wird. In diesem Fall wird die Ausbauchung 2a am Einlass des Entgasers verhindern, dass die Membran 4a durch den Unterdruck beschädigt wird.
  • Es ist möglich, für die zu verbindenden Teile 1 und 4 sowie für das Teil 2 andere Materialien als die oben erwähnten zu verwenden. Die Materialien werden so ausgewählt, dass nach dem hier beschriebenen Verbindungsvorgang eine Verklebung erreicht wird. Zum Beispiel kann Teil 2 aus einem anderen fluorierten Material hergestellt sein, das unter Temperaturerhöhung weich wird, so wie Perfluoralkoxy (PFA), oder der Formkörper 1 und die Membran 4 können aus FEP oder PFA hergestellt sein.

Claims (15)

  1. Verfahren zum Verbinden zweier oder mehrerer fester Teile, anwendbar bei der Herstellung eines Flüssigchromatographie-Entgasers, mit den folgenden Schritten: a) Bereitstellen einer Folie (2) zwischen den zwei oder mehreren Teilen (1 und 4), wobei die Teile einen Hohlraum (7) mit mindestens einer Öffnung (6) bilden; b) Erhitzen der Folie (2) auf eine erhöhte Temperatur, so dass sie weich wird, wodurch eine Verbindung zwischen den zwei oder mehreren Teilen in einem gewünschten Verbindungsbereich gebildet wird; c) Durchführen eines Kühlschrittes zum Herunterkühlen der Folie (2) auf eine Temperatur unterhalb der erhöhten Temperatur aus Schritt b); wobei die Folie (2) in solch einer Weise geschnitten ist, dass sie eine Zunge (2a) umfasst, die in den Hohlraum (7) hineinragt und dafür geeignet ist, eine der mindestens eine Öffnungen (6) des Hohlraums (7) nach den Verbindungsschritten a) bis c) in einer ventilartigen Funktion zu schließen.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei vor Schritt a) die Folie (2) entsprechend einem gewünschten Verbindungsbereich zwischen den zwei festen Teilen (1 und 4) geformt wird.
  3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei Schritt b) das nur lokale Erhitzen der zwei Teile (1, 4) umfasst.
  4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei mindestens eines der zwei Teile eine Membran (4) ist.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, wobei die Membran (4) an einem Rahmen (3) befestigt ist, und dann, vor Schritt b), zusammen mit dem anderen Teil (1), mit dem es verbunden werden soll, durch die Thermode (8) auf die Folie (2) ge presst wird, und wobei die Thermode (8) die Wärme für die Durchführung von Schritt b) liefert.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, wobei die Thermode (8) entsprechend einem gewünschten Verbindungsbereich zwischen den zwei festen Teilen (1 und 4) geformt ist.
  7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, wobei die Membran (4) auf der der Folie (2) gegenüberliegenden Seite mit einer Trennschicht (14) bedeckt ist.
  8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das erste Teil (1) und/oder das zweite Teil (4) während des Erhitzens der Folie (2) an der Wärmeausdehnung gehindert werden.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei die Verhinderung einer Wärmeausdehnung des ersten Teils (1) und/oder des zweiten Teils (4) dadurch erfolgt, dass ein Rahmenbauteil um die Teile herum angeordnet wird.
  10. Verfahren nach den Ansprüchen 5 und 9, wobei das Rahmenbauteil der Rahmen (3) ist, auf dem die Membran (4) befestigt ist.
  11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Folie (2) eine Dicke von weniger als 1.000 Mikrometern, vorzugsweise weniger als 25 Mikrometern, hat.
  12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Folie (2) aus einem fluorierten Kunststoffmaterial hergestellt ist.
  13. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 10, wobei die Membran (4) eine Dicke von weniger als 10 Mikrometern hat.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 11, wobei die Membran (4) aus einem fluorierten Kunststoffmaterial hergestellt ist.
  15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, angewandt bei der Herstellung eines Flüssigchromatographie-Entgasers.
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