DE69828594T2 - Vorrichtung zum Entgasen von Flüssigkeiten - Google Patents

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Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Entgasen von Flüssigkeiten. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Entgasen von Flüssigkeiten in einem Flüssigkeitschromatographen.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • In der Flüssigkeitschromatographie werden Entgaser eingesetzt, um die Menge der in Lösungsmitteln gelösten Gase zu verringern. Die in der Flüssigkeitschromatographie verwendeten Lösungsmittel stehen während der Aufbewahrung üblicherweise mit der Umgebungsluft in Verbindung, sodass sie sich normalerweise mit Gas gesättigt sind. Diese gelösten Gase beeinflussen die chromatographischen Messungen negativ.
  • Bei Verwendung eines Flüssigkeitsgemisches, zum Beispiel von Alkohol/Wasser, kann die Löslichkeit der Gase im Gemisch geringer sein als in den einzelnen darin enthaltenen Flüssigkeiten. Das führt zur Bildung von Gasblasen, die sich nachteilig auf die Stabilität der Strömung im System und auf die Zusammensetzung der Lösungsmittel auswirken. Dieser Effekt ist bei Niederdruckmischsystemen von besonderer Bedeutung.
  • In einem Lösungsmittel gelöster Sauerstoff wirkt sich negativ auf die Nachweisempfindlichkeit aus. Bei der UV-Detektion macht sich die hohe Löslichkeit des Sauerstoffs in den Eluenten bemerkbar, und starke Schwankungen der Sauerstoffkonzentration können bei Wellenlängen unterhalb 260 nm zu starkem Signalrauschen führen. Das starke Absorptionsvermögen kann sogar zur Messung des Sauerstoffgehaltes genutzt werden.
  • Die Fluoreszenz wird durch die Anwesenheit von Sauerstoff gedämpft, sodass die Fluoreszenzdetektion unterdrückt werden kann. Aus diesem Grund können empfind liche Messungen mit einem Fluoreszenzdetektor nur unter Verwendung entgaster Lösungsmittel durchgeführt werden.
  • Außer der Beeinflussung der Detektion durch die gelösten Gase stellen chemische Reaktionen der gelösten Gase mit den Eluenten ein Problem dar. Das kann insbesondere bei biologischen Analysen die Analyseergebnisse negativ beeinflussen.
  • Wegen der oben erwähnten negativen Auswirkungen gelöster Gase auf die Analyseergebnisse müssen die verwendeten Flüssigkeiten unbedingt entgast werden. In der Technik sind verschiedene Entgasungsverfahren bekannt, zum Beispiel das Erhitzen, das Sieden, die Ultraschallentgasung, die Heliumentgasung und die Vakuumentgasung.
  • In der US-Patentschrift 4 469 495 wird ein Entgaser für die Flüssigkeitschromatographie zum Entfernen von Sauerstoff oder anderen gelösten Gasen aus Flüssigkeiten beschrieben, bei dem die zu entgasende Flüssigkeit durch ein spiralförmiges Rohr geleitet wird. Diese Rohr besteht aus einem Kunststoffmaterial wie beispielsweise Polytetrafluorethylen. In der US-Patentschrift 4 729 773 wird eine Vorrichtung zum Entgasen von Flüssigkeiten beschrieben, bei welcher die Flüssigkeit durch ein Rohr aus einem fluorhaltigen Kunststoff geleitet wird, welches für Gase durchlässig, für die Flüssigkeit aber undurchlässig ist. Aus der US-Patentschrift 3 751 879 und der US-Patentschrift 3 735 562 sind Entgaser bekannt, die ebene Membranen verwenden. Bekannte Entgaser sind of schwierig herzustellen und zu bedienen und somit kostenaufwändig, und ihre Entgasungswirkung kann je nach Art des zu entgasenden Lösungsmittels verschieden sein. Ein weiterer Entgaser, der eine ebene Membran verwendet, ist aus der Europäischen Patentschrift EP 718 016 bekannt.
  • ÜBERBLICK ÜBER DIE ERFINDUNG
  • Ausgehend vom Stand der Technik besteht eine Aufgabe der Erfindung darin, eine Vorrichtung zum Entgasen von Flüssigkeiten bereitzustellen, die bei gleicher oder besserer Entgasungswirkung wesentlich kleiner als bekannte Entgaser ist.
  • Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen Entgaser bereitzustellen, der in Miniaturausführung hergestellt und in einen Flüssigkeitschromatographen integriert werden kann und der nur ein sehr kleines Totvolumen aufweist.
  • Diese Aufgaben werden gemäß der Erfindung durch eine Vorrichtung nach Anspruch 1 gelöst.
  • Der Mikroentgaser der vorliegenden Erfindung, der vorzugsweise in Verbindung mit einem Flüssigkeitschromatographen verwendet werden kann, weist ein sehr kleines Totvolumen auf, wodurch sich die Wartezeit zwischen dem Einschalten des Chromatographen und der ersten Messung stark verkürzt. Bei einem praktischen Beispiel ist das Totvolumen zehnmal kleiner als bei herkömmlichen Entgasern mit vergleichbarer Entgasungswirkung. Der Mikroentgaser kann zwischen dem Lösungsmittelbehälter und der Hochdruckpumpe des Flüssigkeitschromatographen angeordnet oder direkt am Lösungsmittelbehälter wie beispielsweise einer Lösungsmittelflasche angebracht werden.
  • Außerdem ist die Herstellung eines Entgasers der Erfindung einfacher und billiger als bei herkömmlichen Entgasern.
  • Der Entgaser der Erfindung umfasst eine dünne Membran mit einer Dicke von weniger als 10 μm, die durch eine poröse Stützstruktur wie beispielsweise eine Fritte oder durch Wölbungen gestützt wird, die mikromechanisch oder durch Mikrospritzguss hergestellt werden. Vorzugsweise ist die Membran chemisch inert, sodass sie in Verbindung mit Lösungsmitteln verwendet werden kann, die üblicherweise in der Flüssigkeitschromatographie eingesetzt werden. Die Membran ist mittels eines thermischen Prozesses gasdicht mit dem den Entgaserhohlraum bildenden Gehäuse verbunden.
  • Um eine Beschädigung der Membran an den Berührungspunkten mit der Stützstruktur zu verhindern, wird vorzugsweise zwischen die Stützstruktur und die Membran eine zusätzliche Schicht gebracht.
  • Gemäß der Erfindung wird zwischen das Entgasergehäuse und die Membran eine dünne Schicht gebracht. Diese Schicht umfasst vorzugsweise ein überstehendes Teil, zum Beispiel in Form einer Wulst oder einer Nase, die beim Anlegen eines Unterdrucks an der Austrittsöffnung des Hohlraums diesen zumindest teilweise verschließt. Dadurch wird verhindert, dass an der Membran eine zu große Druckdifferenz entsteht, die zu einer Beschädigung der Membran führen könnte. Die Wulst übt somit eine Ventilfunktion aus. Außerdem wird durch die Bereitstellung der erwähnten Schicht sichergestellt, dass bei einem geringen Unterdruck im Hohlraum eine Flüssigkeitsverbindung zwischen dem Einlassöffnung und der Auslassöffnung des Hohlraums bestehen bleibt, sodass der Unterdruck im Hohlraum nicht weiter verstärkt werden kann.
  • Die oben erwähnte dünne Schicht dient auch zur Entlastung der Membran des Entgasers am Rand, was zu einer sicheren Betriebsweise und einer langen Lebensdauer des Entgasers führt.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Im Folgenden werden Ausführungsarten der Erfindung unter Bezug auf die Zeichnungen ausführlich erläutert.
  • 1 zeigt einen ersten Schritt zur Herstellung eines Entgasers gemäß einer Ausführungsart der Erfindung.
  • 2 zeigt einen zweiten Schritt zur Herstellung eines Entgasers gemäß einer Ausführungsart der Erfindung.
  • 3 zeigt einen dritten Schritt zur Herstellung eines Entgasers gemäß einer Ausführungsart der Erfindung.
  • 4 zeigt einen Entgaser gemäß einer ersten Ausführungsart der Erfindung, der durch die in 1 bis 3 dargestellten Herstellungsschritte produziert wurde.
  • 5 zeigt einen Entgaser gemäß einer zweiten Ausführungsart der Erfindung, der durch die in 1 bis 3 dargestellten Herstellungsschritte produziert wurde.
  • 6 ist eine Draufsicht auf den oberen Teil der in 1 gezeigten Anordnung von unten.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Gemäß 1 wird ein kreisrunder Gehäusekörper 1 so hergestellt, dass eine Vertiefung 7 und Öffnungen für eine Eintrittsöffnung 5 und eine Austrittsöffnung 6 entstehen. Über einen Rahmen 3 ist eine Membran 4 gespannt. Entsprechend dem Umriss der Vertiefung 7 ist ein Bauteil 2 so aus einer Folie ausgeschnitten, dass diese Bauteil 2 den Innenrand 7a der Vertiefung 7 vollkommen bedeckt und zwei zungenförmige Wülste 2a entstehen. Das Bauteil 2 mit den Wülsten 2a ist so auf dem Innenrand der Vertiefung 7 angebracht, dass die Wülste sich über der Eintrittsöffnung 5 bzw. der Austrittsöffnung 6 befinden. Die Lage der Wülste ist in 6 genauer dargestellt, in welcher der obere Teil von 1 von unten gezeigt wird. Die Eintrittsöffnung 5 und die Austrittsöffnung 6 sind gestrichelt dargestellt, da sie in dieser Ansicht unterhalb der Wülste 2a liegen.
  • Gemäß einer Ausführungsart der Erfindung bestehen der kreisrunde Gehäusekörper 1 und die Membran 4 aus Polytetrafluorethylen (PTFE) und das Bauteil 2 aus fluoriertem Ethylenpropylen (FEP). Bei einem praktischen Beispiel der Erfindung beträgt der Außendurchmesser des Gehäusekörpers 1 42 mm, die Größe der Vertiefung 7 300 μm, die Dicke der Membran 5 μm, der Innendurchmesser des Rahmens 3 42 mm und die Dicke des Bauteils 2 25 μm. In den Zeichnungen sind nicht alle Teile maßstabsgerecht dargestellt. Insbesondere sind die Membran 4 und die Teile 2 oder 2a etwas dicker als andere Teile dargestellt, um sie etwas hervorzuheben.
  • Die Membran 4 kann nach einem von mehreren Verfahren hergestellt werden. Ein bevorzugtes Verfahren benutzt eine PTFE-Dispersion, die auf einen Siliciumwafer aufgebracht wird, auf den eine dünne Goldschicht 14 abgeschieden wurde. Aus der aufgebrachten viskosen PTFE-Schicht wird durch Trocknen oder durch Polymerisation oder ein ähnliches Verfahren eine dünne Membran 4 erzeugt. Der Rahmen 3 wird dann mit der PTFE-Membran verbunden, üblicherweise durch Ankleben. Membranen mit einer Dicke zwischen ungefähr 3 und 10 μm haben eine homogene rissfreie Oberfläche. Die Membran ist lochfrei, sodass keine Flüssigkeit hindurchtreten kann. Es hat sich gezeigt, dass zum Erreichen einer guten Entgasungswirkung bei hinreichender mechanischer Stabilität der Membran eine Membrandicke von ungefähr 5 μm von Vorteil ist.
  • Die Membran 4 lässt sich somit frei über den Rahmen 3 spannen und kann eine geringfügige Vorspannung aufweisen. Dann wird die Membran zusammen mit dem Rahmen 3 so oberhalb des Gehäusekörpers 1 angebracht, dass sich die Membran 4 auf dem Bauteil 2 befindet. Dann wird die Membran 4 mittels einer Heizvorrichtung (Thermode) 8 gegen das Bauteil 2 gedrückt und so lange erhitzt, bis das Bauteil 2 zu schmelzen beginnt. Wenn das FEP-Bauteil 2 abgekühlt wird, besteht zwischen der Membran 4 und dem Gehäusekörper 1 eine dauerhafte Verbindung, die durch das wiedererhärtete FEP bewirkt wird. Dann wird die Membran 4 entlang der Verbindungslinie durchgeschnitten und der Rahmen 3 zusammen mit den Membranresten entfernt, sodass die Vertiefung 7 im Gehäusekörper 1 durch eine Membran 4a abgedichtet ist. Die Goldschicht wird von der Membran 4a entfernt. Das Ergebnis ist in 3 zu sehen. Ein brauchbares Verfahren zur Herstellung eines Entgasers der vorliegenden Erfindung, insbesondere zum Verbinden der Membran mit dem Gehäusekörper 1 ist Gegenstand der Europäischen Patentanmeldung EP 0 974 390 A1 mit dem Titel „A Method of Joining Two or More Parts", die am selben Tag und durch denselben Anmelder der vorliegenden Patentanmeldung angemeldet wurde.
  • Im Folgenden wird die 4 beschrieben. Auf der dem Gehäusekörper 1 gegenüberliegenden Seite der Membran 4a sind ein Teil einer gasdurchlässigen Schicht 12 und eine als Stützstruktur dienende Glasfritte 9 angeordnet und dann mittels einer Abdeckung 10 daran befestigt. Die Fritte 9 und die Schicht 12 reichen überall über den Rand 7a der Vertiefung 7 hinaus, sodass keine Gefahr besteht, dass die Membran 4a am Rand durch die Fritte 9 beschädigt wird. Ohne eine solche Maßnahme kann die dünne Membran (die normalerweise 5 μm dick ist) leicht beschädigt werden, da sich der üblicherweise aus PTFE bestehende Gehäusekörper 1 örtlich leicht verformen kann und die Fritte 9 die Membran 4a durchstoßen kann. Gemäß einem praktischen Beispiel weist die gasdurchlässige Schicht 12 eine Dicke von ungefähr 100 μm und einen Durchmesser von 40 mm, die Glasfritte 9 eine Porenweite von weniger als 25 μm, einen Durchmesser von 40 mm und eine Dicke von 4 mm auf. Die Schicht 12 kann zum Beispiel aus gestrecktem PTFE-Filtermaterial mit einer Dicke von ungefähr 100 μm bestehen.
  • Die Abdeckung 10 ist gasdicht durch eine Dichtung 13 mit dem Gehäusekörper 1 verbunden. In der Abdeckung ist eine Öffnung 11 vorgesehen, an die eine (nicht gezeigte) Vakuumpumpe zum Evakuieren des Volumens innerhalb der Abdeckung bis auf einen Restdruck von ungefähr 100 hPa angeschlossen werden kann. Infolge des Unterdrucks in dem durch die Abdeckung 10 und die Membran 4a gebildeten Volumen wird die Membran 4a an die Fritte 9 und die Schicht 12 angesaugt. Die Schicht 12 verhindert, dass die dünne Membran 4a durch die Poren der Fritte 9 beschädigt wird.
  • Zur Nutzung des Entgasers der Erfindung in Verbindung mit einem Flüssigkeitschromatographen wird die Eintrittsöffnung 5 mit dem Lösungsmittelbehälter und die Austrittsöffnung 6 mit der Pumpe des Flüssigkeitschromatographen verbunden. Bei einer praktischen Prüfung des Entgasers der Erfindung wurde Methanol mit gelöstem Luftsauerstoff mit einer Flussrate von 1 ml/min gepumpt. Mittels des Detektors des Flüssigkeitschromatographen lässt sich zeigen, dass der Sauerstoffgehalt des Methanols im Entgaser um 66 mAU verringert wurde. Gemäß einer praktischen Ausführungsart des Entgasers der Erfindung weist der Hohlraum 7, der die zu entgasende Flüssigkeit aufnimmt, ein mindestens 18 mal kleineres Volumen auf als ein Entgaser nach dem Stand der Technik mit parallelen Rohren. Infolgedessen ist ein mit einem Entgaser der Erfindung ausgestatteter Flüssigkeitschromatograph wesentlich (z. B. 18 mal) schneller betriebsbereit als ein Flüssigkeitschromatograph mit einem herkömmlichen Entgaser. Ein kleines Totvolumen verringert den Lösungsmittelverbrauch deutlich und führt ferner zu kurzen Spülzeiten. Durch die verkürzte Inbetriebnahmezeit erhöht sich die Produktivität bei entsprechenden Anwendungen, z. B. in Analyselabors.
  • Wenn die mit der Öffnung 11 verbundene Vakuumpumpe ausgeschaltet wird und sich der durch die Abdeckung 10 und die Membran 4a gebildete Hohlraum mit Luft unter Atmosphärendruck füllt, während die Pumpe des Flüssigkeitschromatographen weiterhin z. B. Methanol durch den Hohlraum 7 pumpt, entsteht ein Unterdruck bezüglich des durch die Abdeckung 10 und die Membran 4a gebildeten Hohlraums. Dieser Unterdruck: saugt die Membran 4a in Richtung der Austrittsöffnung 6 und würde zur Beschädigung der Membran 4a führen, wenn nicht die Wulst 2a des FEP-Bauteils 2 ebenfalls durch die Austrittsöffnung 6 angesaugt würde und diese verschlösse. Dadurch wird verhindert, dass an der Membran 4a eine größere Druckdifferenz entsteht, die zur Beschädigung der Membran führen könnte.
  • Zum Entstehen eines Unterdrucks im Hohlraum 7 kann es insbesondere dann kommen, wenn der Flüssigkeitschromatograph einschließlich der Vakuumpumpe ausgeschaltet wird und der Lösungsmittelbehälter tiefer als der Entgaser angeordnet ist. In diesem Falle verhindert die Wulst an der Eintrittsöffnung des Entgasers, dass die Membran 4a durch den Unterdruck beschädigt wird.
  • Im Folgenden wird unter Bezug auf 5 eine weitere Ausführungsart der Erfindung erläutert. Bei dieser Ausführungsart umfasst die Stützstruktur 9 für die Membran 4a eine mikrostrukturierte Abdeckung 10. Die Abdeckung 10 umfasst Säulen 15 mit der Form von Pyramidenstümpfen, welche die Schicht 12 und somit auch die Membran 4a stützen. Die Säulen weisen normalerweise eine Höhe von 200 μm und an den oberen Enden eine Breite von 85 μm auf. Der Vorteil solcher in die Abdeckung integrierter mikrostrukturierter Säulen besteht darin, dass bei der Herstellung eines Entgasers weniger Teile hergestellt und montiert werden müssen, wodurch sich der Herstellungsprozess vereinfacht und billiger wird. Anstatt eine in die Abdeckung integrierte Stützstruktur 14 vorzusehen, kann alternativ mittels Mikrostrukturierungsverfahren eine separate Stützstruktur hergestellt und als Einsatzteil in die Abdeckung eingefügt werden.
  • Gemäß einer Ausführungsart der Erfindung bestehen die Säulen 15 und die Abdeckung 10 aus PEEK (Polyether-Etherketon) und können zum Beispiel durch Mikrospritzguss hergestellt werden. Es können auch andere Materialien wie beispielsweise PPS (Polyphenylensulfid) oder fluorierte Copolymere wie beispielsweise PFA (Perfluoralkoxy) oder ETFE (Ethylentetrafuoroethylen) verwendet werden.
  • Es sind verschiedene Alternativen der oben beschriebenen Ausführungsarten möglich. Bei einer solchen alternativen Ausführungsart strömt die zu entgasende Flüssigkeit durch einen zylindrischen Hohlraum, der durch eine dünne Membran der oben beschriebenen Art begrenzt wird. Die Zylinderinnenfläche steht in Kontakt mit der zu entgasenden Flüssigkeit. An der Zylinderaußenfläche, d. h. in radialer Richtung nach außen, ist eine Stützstruktur für die Membran angeordnet, durch die der Unterdruck wirkt. Durch die Stützstruktur kann die Membran der Druckdifferenz zwischen der Innen- und der Außenfläche widerstehen, ohne beschädigt zu werden. Die Stützstruktur kann von ähnlicher Beschaffenheit sein wie in 4 oder 5 dargestellt und in Verbindung mit diesen beschrieben wurde. Zwischen der Stützstruktur und der Membran kann eine zusätzliche Stützschicht wie beispielsweise die Schicht 12 in 4 oder 5 bereitgestellt werden, um eine Beschädigung der Membran zu verhindern.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsart der Erfindung kann ein Entgaser unter Verwendung mehrerer einzelner Entgasungseinheiten gebaut werden, die oben unter Bezug auf 4 oder 5 beschrieben wurden. Zum Beispiel können mehrere Entgasungseinheiten übereinander gestapelt werden, die untereinander hydraulisch verbunden sind. Dadurch lässt sich die Entgasungsleistung weiter erhöhen.
  • Die in 3 gezeigte Anordnung, die den Gehäusekörper 1 und die daran befestigte Membran 4a umfasst, kann auch als Baustein für einen integrierten Entgaser mit mehreren Entgasungshohlräumen angesehen werden. Ein solcher integrierter Entgaser umfasst mehrere der in 3 gezeigten Anordnungen, die in geeigneter Weise hydraulisch miteinander verbunden sind. Die erforderlichen Stützstrukturen für diese Bausteine können auf einem gemeinsamen Chip bereitgestellt und durch ein Mikrostrukturierungsverfahren hergestellt werden. Durch die Verwendung einer dünnen Membran und das Verfahren zu deren Herstellung kann die Entgasungstechnik auf einem ebenen Fluid-Chip integriert werden. Die Erfindung kann auch auf einem Analyse-Chip (lab-on-a-chip, Labor-auf-Chip) eingesetzt werden, bei dem sich eine Vielzahl von Kapillarstrukturen zur Durchführung von Flüssigkeitsreaktionen, zum Beispiel bei chemischen Analysen, auf einem gemeinsamen Substrat befinden. Die Stützstruktur für die Entgasungsmembran wird ebenfalls in dem gemeinsamen Substrat bereitgestellt und die Membran am Substrat befestigt.

Claims (11)

  1. Vorrichtung zum Entgasen von Flüssigkeiten, in welcher: – eine Flüssigkeit durch einen Hohlraum geleitet wird, wobei dieser Hohlraum in einem Körper gebildet ist, – durch mindestens eine der den Hohlraum begrenzenden Flächen Gas aus der Flüssigkeit entfernt wird, indem auf eine von der begrenzenden Fläche des Hohlraums nach außen zeigende Seite ein Druck ausgeübt wird, der niedriger ist als der Druck innerhalb des Hohlraums, – diese mindestens eine begrenzende Fläche durch eine Membran gebildet wird und eine poröse Stützstruktur zum Stützen der Membran bereitgestellt wird, dadurch gekennzeichnet, dass – die Membran (4a) eine Dicke von weniger als ca. 10 μm aufweist, und – eine dünne Schicht (2) am Rand der Membran (4a) zwischen der Membran (4a) und dem Körper (1) angebracht ist, welcher zusammen mit der Membran den Hohlraum (7) begrenzt, wobei die dünne Schicht (2) eine geschlossene Linie bildet und eine Abdichtung zwischen der Membran (4a) und dem Körper (1) bewirkt, – wobei die dünne Schicht (2) eine Wulst (2a) umfasst, welche bei Einwirkung eines Drucks an einem Auslass (6) des Hohlraums (7) den Auslass (6) zumindest teilweise verschließt.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (4a) aus einem fluorhaltigen synthetischen Material besteht, zum Beispiel aus Polytetrafluorethylen.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die dünne Schicht (2) aus einem fluorhaltigen Material besteht.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die dünne Schicht (2) ein chemisch inertes Material umfasst, zum Beispiel fluorhaltiges Ethylenpropylen.
  5. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützstruktur durch eine Fritte (9) gebildet ist.
  6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützstruktur durch einen Körper (10, 15) gebildet ist, der zumindest an seiner der Membran (4a) gegenüberliegenden Oberfläche mikroskopisch strukturiert ist.
  7. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützstruktur (9, 15) an allen Stellen seitlich über den Rand einer Vertiefung im Körper (1) hinausragt, wobei die Vertiefung einen Teil des Hohlraums (7) bildet.
  8. Vorrichtung nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Membran (4a) und der Stützstruktur (9, 15) ein gasdurchlässiges Stützmaterial (12) angeordnet ist.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Stützmaterial (12) aus einer Schicht eines porösen Filtermaterials oder eines geschäumten Materials besteht.
  10. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, in welcher der Hohlraum (7) in einem Substrat wie beispielsweise einem Mikrochip gebildet und die Membran (4a) an ihrem Rand mit dem Substrat verbunden ist.
  11. Flüssigkeits-Chromatograph, welcher eine Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche umfasst.
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