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Hintergrund
der Erfindung
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Diese Erfindung bezieht sich im Allgemeinen auf
Drucksensoren und insbesondere auf druckempfindliche, variable,
kapazitive Parallelplatten-Wandler. Derartige Wandler sind z. B.
in dem auf den Anmelder der vorliegenden Erfindung übertragenen US-Patent
Nr. 4.716.492 gezeigt und beschrieben. In diesem Patent ist ein
kapazitiver Druckwandler mit einer dünnen Keramikmembran gezeigt,
die in einem eng angeordneten versiegelten Überlappungsverhältnis auf
einer Keramikbasis angebracht ist, wobei auf entsprechenden gegenüberliegenden
Oberflächen
der Membran und der Basis Metallschichten abgelagert sind, die als
Kondensatorplatten dienen, die in einem vorgegebenen eng angeordneten
Verhältnis zueinander
angebracht sind, so dass sie einen Kondensator bilden. Mit den Kondensatorplatten
verbundene Wandleranschlüsse
sind auf einer gegenüberliegenden
Oberfläche
der Wandlerbasis angeordnet, und eine mit den Wandleranschlüssen verbundene, elektrische
Signalaufbereitungsschaltung ist auf dem Wandler angebracht. Ein
kugelschalenförmiger
Anschlusskörper
aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff ist über der elektrischen Schaltung
angebracht und sicher an dem Wandler durch eine Gehäusehülse befestigt,
die eine Öffnung
besitzt, um die Wandlermembran einem ausgeübten Flüssigkeitsdruck auszusetzen.
Die Membran ist in Reaktion auf Änderungen
in dem Flüssigkeitsdruck,
der auf die Membran ausgeübt
wird, bewegbar, um die Kondensatorkapazität in Übereinstimmung mit den Änderungen
im ausgeübten
Druck zu verändern,
wobei die elektrische Schaltung ein dem ausgeübten Druck entsprechendes elektrisches
Ausgangssignal erzeugt.
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Um die Wirtschaftlichkeit der Massenherstellung
zur Senkung der Wandierkosten zu maximieren und auf diese Weise
derartige Wandler wirtschaftlich durchführbar für eine umfangreiche Anzahl
von Anwendungen herzustellen, die viele zuvor durch billige mechanische
Wandler abgedeckte umfasst, ist ein Gehäuse in Normgröße ausgewählt, das
klein genug ist, um in einer großen Anzahl von Anwendungen aufgenommen
zu werden, wobei es noch groß genug ist,
um ein zuverlässiges
Signal zu erzeugen. Die Gehäusegröße bestimmt
die maximale Größe der Kondensatorplatten,
die zusammen mit dem Spalt zwischen den Platten das kapazitive Signal
bestimmt. Dies führt
zur Begrenzung der Größe der Kondensatorplatten
auf eine kleinere Größe als diejenige,
die für
viele Anwendungen ideal ist, wobei sich darauf gestützt wird,
dass die elektrische Schaltung das Signal korrekt aufbereitet. Die
Schaltung erfordert andererseits eine minimale Höhe der Kapazität, um das Ausgangssignal
effizient aufzubereiten, wobei sich dies wiederum auf die erforderliche
Spaltgröße zwischen
den Kondensatorplatten zur Erzeugung der minimalen Höhen der
Kapazität
auswirkt. In den Wandlern des Typs, der in dem oben als Literaturhinweis
erwähnten
Patent offenbart ist, liegen die Spalte in der Größenordnung
von 10–17
Mikrometern, wobei in letzter Zeit effizient Spalte in der Größenordnung
von 10–30
Mikrometern verwendet worden sind.
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Wandler, die gemäß einer der beschriebenen Ausführungsformen
hergestellt werden, verwenden ein flaches Membranelement, das auf
einer flachen Basis in einem dazu wahlweise beabstandeten versiegelten
Verhältnis
durch Anordnen einer Schicht aus einen Gemisch einer Glasurmasse,
die Abstandselemente wie etwa Kugeln oder Stäbe eines ausgewählten Durchmessers
enthält,
zwischen der Membran und der Basis längs ihrer Ränder sicher befestigt ist.
Die Glasurmasse ist so ausgewählt,
dass sie bei einer ersten Temperatur schmilzt, bei der die Abstandselemente
nicht schmelzen, wobei das Gemisch dann auf die Schmelztemperatur
der Masse erwärmt
wird, um die Membran auf der Basis mit einem Abstand dazwischen,
der durch den Durchmesser der Abstandselemente bestimmt ist, sicher
zu befestigen.
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Die Membran und die Basis werden
typisch durch Verwendung eines herkömmlichen Werkstoffs wie etwa
Aluminiumoxid hergestellt, der in einer mit einem organischen Binder überzogenen
pulverisierten Form bereitgestellt ist, wobei der Werkstoff in einer
Pressform in im Allgemeinen zylindrische Konfigurationen einer entsprechenden
Dicke gepresst wird. Die Membranen und Basen müssen dann eine Reihe von Siebdruck-
und Einbrennarbeitsgängen durchlaufen,
um die Kondensatorplatten und die zugeordneten elektrisch leitenden
Spuren sowie die Abstands- und Versiegelungsglasmuster aufzubringen.
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Auch wenn die Membran- und Basiselemente
typisch in Stapeln von jeweils dreißig oder mehr verarbeitet werden,
müssen
die einzelnen Bauglieder während
der Verarbeitung verschiedene Male in Spannvorrichtungen eingelegt
und ausgerichtet werden. Dies führt
zu einem arbeitsintensiven und/oder kapitalintensiven Erzeugnis.
Um reproduzierbar wiederholbare Ergebnisse von einem Wandler zum
anderen zu erhalten, ist es ferner wichtig, dass die Membran und
die Basis einen hohen Ebenheitsgrad besitzen. Als eine Folge müssen die
Teile, insbesondere die Basen, einem Schleifarbeitsgang unterworfen
werden, der dem Fertigerzeugnis merkliche Kosten hinzufügt.
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JP-A-07 055 616 offenbart ein Verfahren
zur Herstellung eines kapazitiven Druckdetektors, das das Aufbringen
erster und zweiter Muster aus einem elektrisch leitenden Werkstoff
auf den Oberflächen entsprechender
erster und zweiter isolierender Platten, das Verbinden der beiden
Platten miteinander, so dass die ersten Muster in einer räumlich getrennten
Anordnung auf die zweiten Muster ausgerichtet sind, und das Schneiden
der verbunden Platten, um mehrere Druckdetektoren zu bilden, umfasst.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Es ist eine Aufgabe der vorliegenden
Erfindung, ein Verfahren zur Erzeugung eines druckempfindlichen
kapazitiven Wandlerelements zu schaffen, das insbesondere für die kostengünstige Herstellung förderlich
ist. Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines
Verfahrens zur Erzeugung eines druckempfindlichen kapazitiven Wandlers,
der einfach herzustellen und zusammenzusetzen ist, der aber dennoch
von einer Vorrichtung zur anderen reproduzierbar ist. Eine nochmals
weitere Aufgabe ist die Schaffung eines Verfahrens zur Erzeugung
eines druckempfindlichen kapazitiven Wandlers, der die angemerkten
Beschränkungen
des Standes der Technik überwindet.
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Kurz beschrieben sind gemäß der Erfindung eine
erste und eine zweite eingebrannte rechtwinklige Keramikplatte,
wobei die erste relativ dick und starr ist und vorzugsweise eine
Dicke zwischen etwa 40–60
Millizoll (1 bis 1,5 mm) besitzt und die zweite relativ dünn und flexibel
ist und vorzugsweise eine Dicke zwischen etwa 10–30 Millizoll (0,3 bis 0,8
mm) besitzt, in mehrere rechtwinklige Abschnitte unterteilt, die
durch schwache Grenzlinien, wie sie etwa durch Laser geritzt werden,
definiert werden. Die Muster aus einem elektrisch leitenden Metall
sind auf diesen Platten vorzugsweise durch Beschichten jedes Abschnitts
mit Werkstoffmustern, die ein elektrisch leitendes Metall enthalten,
und ferner durch Erwärmen,
um die Metalle einzubrennen, befestigt. Ein Gemisch aus einem Glaswerkstoff überzieht
begrenzend jeden Abschnitt auf wenigstens einer und vorzugsweise
auf beiden Platten. Der Glaswerkstoff ist ein Gemisch aus einer
Glasurmasse, die bei einer ersten ausgewählten Temperatur schmilzt,
und Abstandselementen wie etwa aus Glas gebildeten Stäben, die
bei einer zweiten, höheren
Temperatur schmelzen. Die Temperatur des Glases wird dann auf eine
Temperatur erhöht,
die ausreicht, um das Glas zu verglasen, die jedoch unter der zweiten
Temperatur liegt. Nachdem die Glasmuster aufgebracht und verglast
wurden, werden die erste Platte und die zweite Platte jeweils in
Gruppen von vorzugsweise 1, 2 oder 4 Abschnitten zerbrochen. Jede
Gruppe der ersten Platte wird dann mit einer entsprechenden Gruppe
derselben Anzahl von Abschnitten der zweiten Platte zusammengehalten,
wobei das leitende Muster jedes Abschnitts einer Platte auf ein
entsprechendes leitendes Muster der anderen Platte ausgerichtet
und diesem zugewandt ist. Die zusammengehaltenen Gruppen werden
dann auf einen Wert erwärmt,
der ausreicht, die einzelnen Paare zu versiegeln, die nach dem Abkühlen dann
auseinander gebrochen werden, um einzelne druckempfindliche kapazitive
Wandler zu bilden. In einem abgeänderten Verfahren
wird eine Platte, z. B. die Platte, die zur Verwendung als die Membranen
gedacht ist, in Gruppen gebrochen, wobei die Gruppen dann gegen
eine ungebrochene Platte oder gegen eine in größere Gruppen gebrochene Platte
gehalten werden, wobei die leitenden Muster jedes Abschnitts der
getrennten Gruppen auf entsprechende leitende Muster der anderen
Platte ausgerichtet und diesen zugewandt sind. Nach dem Erwärmen auf
einen Wert, der ausreicht, eine Versiegelung zu erzeugen, werden
dann die einzelnen Wandler abgebrochen. Gemäß einem Merkmal der Erfindung
kann die zweite Platte aus einem Keramikwerkstoff mit einem niedrigeren
Elastizitätskoeffizienten
als dem der ersten Platte gebildet werden, um zu erreichen, dass
die sich ergebenden Wandler auf niedrigere ausgeübte Druckspannen ansprechen,
während
sie noch dick genug sind, um sie im unversiegelten Zustand zu handhaben.
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Kurzbeschreibung
der Zeichnung
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Weitere Aufgaben, Vorteile und Einzelheiten des
neuartigen und verbesserten kapazitiven Druckwandlers der Erfindung
sowie des Herstellungsverfahrens erscheinen in der folgenden ausführlichen Beschreibung
bevorzugter Ausführungsformen
der Erfindung, wobei die ausführliche
Beschreibung auf die Zeichnung Bezug nimmt, in der:
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1 eine
perspektivische Ansicht einer eingebrannten Gussplatte aus Keramik
ist, die bei der Herstellung derartiger Wandler verwendet wird;
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2 ein
abgebrochener Abschnitt einer Platte des in 1 gezeigten Typs ist, der eine geeignete
Dicke besitzt, um als ein Substrat zu dienen, wobei er mit ausgewählten Mustern
eines auf einer Oberfläche
des Abschnitts abgelagerten elektrisch leitenden Werkstoffs gezeigt
ist;
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3 eine
Ansicht ähnlich 2 ist, die jedoch eine Platte
zeigt, die eine geeignete Dicke besitzt, um als eine flexible Membran
zu dienen;
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4 eine
perspektivische Ansicht eines zusammengesetzten Wandlers ist, der
gemäß einer Ausführungsform
der Erfindung hergestellt wurde;
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5 ein
vereinfachter Prozess-Ablaufplan zur Herstellung der Wandler aus 4 ist; und
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6 eine
perspektivische Ansicht ähnlich 4 ist, die eine Gruppe von
zwei Abschnitten zeigt, die vorausgehend zusammengesetzt und versiegelt
wurden, um voneinander getrennt zu werden.
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Beschreibung bevorzugter
Ausführungsformen
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Wie oben dargelegt ist, umfassen
druckempfindliche kapazitive Wandler herkömmlich ein zylindrisches Substrat
sowie eine zylindrische Membran, die durch Pressen eines beschichteten
Keramikpulverwerkstoffs in einzelnen Pressformen gebildet werden.
Nach dem Einbrennen dieser Keramikteile ist typisch ein Schleifschritt
erforderlich, um die notwendige Ebenheit zu schaffen, so dass ein
reproduzierbarer Spalt zwischen den Kondensatorplatten in der fertigen
Vorrichtung in der Größenordnung
von 10–30 Mikrometern
liegt. Gemäß der Erfindung
und wie in 1 gezeigt
ist, ist eine erste Folie oder Platte aus Keramik, die durch Gießen, Pulverwalzen
oder dergleichen gebildet wird, um ein großes Längen- oder Breitenverhältnis zur
Dicke zu schaffen, gezeigt, die mit dem Bezugszeichen 10/12 bezeichnet
ist. Derartige Platten sind zur Herstellung von Hyprid-Schaltungsplatinen
und dergleichen in einer Vielzahl von Dicken, die die in der unmittelbaren
Erfindung verwendeten Dicken umfasst, gut verfügbar, so dass sie relativ kostengünstig verfügbar sind.
Wenn die erste Platte, wie in 2 gezeigt
ist, für
die Substrate oder Basen des Wandlers verwendet werden soll, wird eine
geeignete Dicke der Platte 10 ausgewählt, die im Allgemeinen zwischen
40–60
Millizoll (1 bis 1,5 mm) beträgt.
Wenn die Platte, wie in 3 gezeigt ist,
für die
flexible Membran verwendet werden soll, wird eine geeignete Dicke
der Platte 12 in der Größenordnung
von 10–30
Millizoll (0,3 bis 0,8 mm) ausgewählt. Gegossene oder pulvergewalzte
Keramikplatten besitzen den Vorteil, dass sie bei den Einbrenntemperaturen
etwas biegsam werden und sich auf diese Weise an das Substrat anpassen,
auf dem die Platte während
des Einbrennens gehalten wird. Auf diese Weise kann durch die Schaffung
eines flachen Substrats während
des Einbrennprozesses eine Platte gemäß einer Industrienorm für eine konvexe
Krümmung
von 3 Millizoll pro Zoll (3 μm
pro mm) erzeugt werden.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung werden die Platten 10/12 entweder vor oder nach dem Einbrennen
durch geeignete Mittel, so durch Laseranreißen wie durch gestrichelte
Linien 14 angegeben ist, um schwache Grenzlinien zwischen
aneinander grenzenden Abschnitten zu schaffen, in mehrere im Wesentlichen
gleich große
rechtwinklige Abschnitte unterteilt.
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Ausgewählte Muster aus einem elektrisch leitenden
Werkstoff wie etwa Gold werden auf jeden Abschnitt wie durch Drucken
aufgebracht. Wie in 2 gezeigt
ist, besitzt jeder Substratabschnitt 16 eine Kondensatorplatte 1 mit
einer Spur 1a, die zu einer Anschlussfläche 1b führt. Ein
Schutzring 2 umgibt im Wesentlichen jede Kondensatorplatte 1 und ist
mit einer Spur 2a versehen, die zu einer Anschlussfläche 2b führt. Vorzugsweise
ist jeder Abschnitt 16 mit mehreren Bohrungen 3 versehen,
um darin elektrisch leitende Anschlussstifte (nicht gezeigt) in
einer herkömmlichen
Weise zur Herstellung einer elektrischen Verbindung mit entsprechenden Anschlussflächen aufzunehmen.
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Gleichfalls besitzt jeder Abschnitt 18 der Platte 12 ein
Muster, das darauf durch Drucken in derselben Weise wie oben für die Platte 10 beschrieben
ist, abgelagert wird, wobei es eine Kondensatorplatte 4 mit
einer Spur 4a umfasst, die zu einer Anschlussfläche 4b führt.
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Nach dem Drucken werden die Platten
10/12 in einem geeigneten Ofen erwärmt, um das Gold einzubrennen.
Wenn die Platten abgekühlt
sind, wird ein Glaswerkstoff wie durch das Drucken auf wenigstens einer
oder auf beiden Platten 10/12 längs
des äußeren Umfangs
jedes Abschnitts, der durch entsprechende gestrichelte Linien 5 und 6 angeben
ist, aufgebracht. Selbstverständlich
kann das Glasmuster jede gewünschte
Konfiguration aufweisen, z. B. eine im Allgemeinen kreisförmige im
Gegensatz zur gezeigten rechtwinkligen, vorausgesetzt, dass das Muster
das elektrisch leitende Muster begrenzt, um jeden Wandler effizient
zu versiegeln. Selbstverständlich
enthält
die Erfindung sowohl belüftete
Vorrichtungen als auch luftdicht verschlossene Vorrichtungen. Der
Glaswerkstoff ist ein Gemisch, das eine Glasurmasse, die bei einer
ersten ausgewählten Temperatur
schmilzt, und Abstandselemente wie etwa Stäbe mit einem ausgewählten Durchmesser, die
aus einem Glas geformt sind, das bei einer zweiten, höheren Temperatur
schmilzt, umfasst. Der Glaswerkstoff wird dann auf eine Temperatur
unter der zweiten Temperatur erwärmt,
um das Glas zu verglasen.
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Gemäß der ersten Ausführungsform
der Erfindung werden dann die Platten 10/12 in Gruppen von Abschnitten 16, 18 mit
vorzugsweise ein, zwei oder vier Abschnitten in jeder Gruppe zerbrochen und
es werden entsprechende Gruppen zusammengehalten, wobei die Muster
der Abschnitte 16 auf die Muster der Abschnitte 18 ausgerichtet
und diesen zugewandt sind, und erwärmt, um die einzelnen Membranabschnitte 18 auf
den entsprechenden Substratabschnitten 16 zu versiegeln,
um vollständige
Wandler 20 zu bilden, wie sie in 4 gezeigt sind. Wenn die Gruppe mehr
als ein Paar, wie mit 22 in 6 gezeigt
ist, umfasst, dann werden die einzelnen Wandler auseinander gebrochen.
Somit wird gemäß der Erfindung
eine große
Anzahl von Substraten und Membranen verarbeitet, bevor sie zerbrochen
werden, um auf diese Weise die Bearbeitungszeit stark zu verringern
und zugeordnete Anbringungsvorrichtungen zu vereinfachen. Zum Beispiel
kann eine einzelne Platte in eine Acht-mal-acht-Matrix aufgeteilt werden,
um 64 einzelne Abschnitte zu schaffen. Auch wenn jede rechtwinklige
Konfiguration für
die einzelnen Abschnitte verwendet werden kann, wird es bevorzugt,
diese als Quadrate auszubilden, um die Verwendung des Oberflächeninhalts
der Platten zu optimieren.
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Wie oben angemerkt ist, enthalten
die Gruppen einen oder mehr Abschnitte von jeder der Platten 10 und 12.
Zum Beispiel können
sie einen einzelnen Abschnitt, eine Ein-mal-zwei-Matrix oder eine Zwei-mal-zwei-Matrix
enthalten. 6 zeigt eine Gruppe 22 einer
Ein-mal-zwei-Matrix nach der Versiegelung. Nach dem Abkühlen kann
die Gruppe 22 auseinander gebrochen werden, um einzelne
Wandler 20 zu bilden. Vom Handhabungsstandpunkt aus ist
es wünschenswert,
die Anzahl der Abschnitte in einer Gruppe zu vergrößern, allerdings
dient die konvexe Eigenkrümmung
in der Platte von 2 bis 3 Millizoll pro Zoll (2 bis 3 μm pro mm)
als eine praktische Begrenzung, da ein Abstand in der Größenordnung von
einem Millizoll (0,025 mm) zwischen den Kondensatorplatten auf dem
Substrat und der Membran für
den kapazitiven Wandler aufrechterhalten werden muss, damit sie
wie beabsichtigt arbeitet.
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5 zeigt
in vereinfachter Form die an der Herstellung eines Wandlers 20 gemäß der Erfindung beteiligten
Prozesse. In Schritt 30 werden entsprechende eingebrannte, geritzte
Platten 10, 12 geeigneter Dicke ausgewählt. Ein
Metallisierungsmuster aus Gold oder dergleichen wird wie durch das
Drucken auf der Platte 10 für jeden definierten Abschnitt 16 in
Schritt 32 aufgebracht, wobei ein entsprechendes Metallisierungsmuster
wie durch das Drucken auf der Platte 12 für jeden
definierten Abschnitt 18 in Schritt 34 aufgebracht wird.
Die Platten 10 und 12 werden dann in Schritt 36
eingebrannt. Versiegelungs- und Abstandsglasmuster werden wie durch das
Drucken auf der Platte 10 in Schritt 38 und auf der Platte 12 in
Schritt 40 aufgebracht. Die Platten 10 und 12 werden
dann erwärmt,
um das Glas in Schritt 42 zu verglasen. In Schritt 44 werden Gruppen
von Substratabschnitten 16 und Membranabschnitten 18, vorzugsweise
ein, zwei oder vier für
jede Gruppe, von den Platten abgebrochen und in Schritt 46 werden dann
die Membranabschnitte 18 mit den Substratabschnitten versiegelt,
wobei dann für
diejenigen Gruppen, die mehr als einen enthalten, die einzelnen Wandler
von der Gruppe abgebrochen werden.
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Gemäß einer abgeänderten
Ausführungsform,
bei der vorgesehen ist, die Wandler für einen relativ niedrigen ausgeübten Flüssigkeitsdruck
zu verwenden, z. B. von einer ersten Höhe von etwa 150 psi (10 bar)
bis zu etwa 15 psi (1 bar), wird die Dicke der Platte 12 bei
oder nahe derselben Dicke wie derjenigen, die für Vorrichtungen für höheren Druck
verwendet werden, aufrechterhalten, um die Herstellung und die Handhabung
der Platte zu erleichtern; allerdings wird ein Werkstoff mit einem
niedrigeren Elastizitätsmodul,
d. h. ein Low-Temperature-Cofire-Ceramic-Werkstoff
(LTCC-Werkstoff), wie etwa das von ElectroScience Laboratory erhältliche
ESL D101, ein aus Glas und einem keramischen Füllstoff wie etwa Aluminiumoxid
hergestellter Verbundwerkstoff, verwendet. Der Substratwerkstoff
kann denselben oder einen anderen Elastizitätsmodul besitzen, vorausgesetzt,
dass er denselben Wärmeausdehnungskoeffizienten
wie der Membranwerkstoff besitzt.
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Gemäß einer alternativen Ausführungsform kann
eine der Platten 10/12, vorzugsweise die Membranplatte 12,
nach der Aufbringung der elektrisch leitenden Muster sowie der Versiegelungs-
und Abstandsmuster zerbrochen oder in eine oder mehr Gruppen unterteilt
werden, während
die andere Platte unzerbrochen bleibt oder in größere Gruppen zerbrochen wird.
Die Gruppen der zerbrochenen Platte werden gegen die andere Platte
gehalten, so dass die elektrisch leitenden Muster sowie die Versiegelungs-
und Abstandsmuster der Abschnitte einer Platte auf die entsprechenden
Muster der Abschnitte der anderen Platte ausgerichtet und diesen
zugewandt sind, wobei sie dann einer Erwärmung ausgesetzt werden, um
die Wandler zu versiegeln. Nach der Abkühlung werden dann die einzelnen
Wandler abgebrochen oder auseinander geschnitten. Auf diese Weise
wird, sogar mit einem bestimmten konvexen Krümmungsbetrag in der unzerbrochenen
Platte oder einer Platte mit größeren Gruppen,
die Handhabung durch die Versiegelung der Gruppen von Abschnitten
der zerbrochenen Platte mit der anderen Platte minimiert, ohne dass
die konvexe Krümmung bewirkt,
dass der Abstand zwischen den Kondensatorplatten aus dem zulässigen Bereich
fällt oder
dass die Versiegelung in den einzelnen Wandlern ungünstig beeinflusst
wird.
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Auch wenn die Erfindung unter Verwendung schwacher
Grenzlinien zwischen den Substrat- und den Membranabschnitten beschrieben
worden ist, ist klar, dass, falls es bevorzugt wird, die Abschnitte durch
Schnittverfahren voneinander getrennt werden können, um auf diese Weise die
Notwendigkeit derartiger schwacher Grenzlinien zu beseitigen.
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Während
die bevorzugten Ausführungsformen
der Erfindung über
die Veranschaulichung der Erfindung beschrieben worden sind, umfasst
die Erfindung selbstverständlich
alle Änderungen
und Entsprechungen der offenbarten Ausführungsformen, die in den Umfang
der angefügten
Ansprüche
fallen.