DE69803165D1 - Mikrometrische positionierungsvorrichtung einer halterung eines optischen elements mit sechs freiheitsgraden - Google Patents

Mikrometrische positionierungsvorrichtung einer halterung eines optischen elements mit sechs freiheitsgraden

Info

Publication number
DE69803165D1
DE69803165D1 DE69803165T DE69803165T DE69803165D1 DE 69803165 D1 DE69803165 D1 DE 69803165D1 DE 69803165 T DE69803165 T DE 69803165T DE 69803165 T DE69803165 T DE 69803165T DE 69803165 D1 DE69803165 D1 DE 69803165D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
freedom
holder
degree
optical element
positioning device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69803165T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69803165T2 (de
Inventor
Lionel Perret
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre National dEtudes Spatiales CNES
Original Assignee
Centre National dEtudes Spatiales CNES
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National dEtudes Spatiales CNES filed Critical Centre National dEtudes Spatiales CNES
Application granted granted Critical
Publication of DE69803165D1 publication Critical patent/DE69803165D1/de
Publication of DE69803165T2 publication Critical patent/DE69803165T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
    • G02B7/1827—Motorised alignment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
DE69803165T 1997-03-28 1998-03-20 Mikrometrische positionierungsvorrichtung einer halterung eines optischen elements mit sechs freiheitsgraden Expired - Lifetime DE69803165T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9704034A FR2761486B1 (fr) 1997-03-28 1997-03-28 Dispositif de positionnement micrometrique d'un support d'element optique spatial selon six degres de liberte
PCT/FR1998/000568 WO1998044373A1 (fr) 1997-03-28 1998-03-20 Dispositif de positionnement micrometrique d'un support d'element optique spatial selon six degres de liberte

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69803165D1 true DE69803165D1 (de) 2002-02-21
DE69803165T2 DE69803165T2 (de) 2002-08-22

Family

ID=9505453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69803165T Expired - Lifetime DE69803165T2 (de) 1997-03-28 1998-03-20 Mikrometrische positionierungsvorrichtung einer halterung eines optischen elements mit sechs freiheitsgraden

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6267348B1 (de)
EP (1) EP0968450B1 (de)
JP (1) JP4237266B2 (de)
DE (1) DE69803165T2 (de)
ES (1) ES2172128T3 (de)
FR (1) FR2761486B1 (de)
WO (1) WO1998044373A1 (de)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10042802C2 (de) * 2000-08-20 2002-08-01 Berliner Elektronenspeicher Vorrichtung zur mehrachsig feinjustierbaren Lagerung eines Bauteils
FR2822525B1 (fr) * 2001-03-21 2003-08-29 Sagem Dispositif de fixation et de reglage d'un organe a supporter
JP5041810B2 (ja) * 2003-09-12 2012-10-03 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー 光学素子操作装置
FR2904433B1 (fr) * 2006-07-25 2008-11-28 Alcatel Sa Dispositif de fixation d'un miroir vitroceramique ou ceramique sur une structure embarquee a bord d'un engin spatial fonctionnant a temperature cryogenique
FR2933782B1 (fr) * 2008-07-11 2010-08-13 Thales Sa Dispositif de correction des defauts optiques d'un miroir de telescope
WO2011072239A2 (en) * 2009-12-11 2011-06-16 Newport Corporation Ultra-stable optical mount and method of use
JP2015079221A (ja) * 2013-10-18 2015-04-23 三菱電機株式会社 光学素子支持装置及び光学素子支持装置の調整方法
DE102015101387B3 (de) * 2015-01-30 2015-12-17 Jenoptik Optical Systems Gmbh Optische Fassung mit wenigstens einer Klemmeinheit mit einer Membranfeder
CN111505791B (zh) * 2020-06-04 2023-08-15 江苏北方湖光光电有限公司 一种六自由度次镜调校装置
CN114527579B (zh) * 2022-03-16 2024-02-02 苏州凌云光工业智能技术有限公司 一种光机装调装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3989358A (en) * 1974-11-21 1976-11-02 Kms Fusion, Inc. Adjustable micrometer stage
NL7811599A (nl) * 1978-11-27 1980-05-29 Oce Nederland Bv Polygoonspiegel.
US4226507A (en) * 1979-07-09 1980-10-07 The Perkin-Elmer Corporation Three actuator deformable specimen
JPS5933412A (ja) * 1982-08-19 1984-02-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd ミラ−角度調整装置
FR2534663A1 (fr) * 1982-10-15 1984-04-20 Matra Structure de fixation d'une piece a un support
US4540251A (en) * 1983-12-01 1985-09-10 International Business Machines Corporation Thermo-mechanical overlay signature tuning for Perkin-Elmer mask aligner
US4763991A (en) * 1987-08-10 1988-08-16 Litton Systems, Inc. Adjustable six degree of freedom mount for optical components
FR2649540B1 (fr) * 1989-07-06 1991-10-18 Europ Agence Spatiale Mecanisme de reglage fin de l'orientation et/ou de la position d'une charge utile
FR2724236B1 (fr) * 1994-09-07 1996-12-06 Aerospatiale Mecanisme de montage isostatique d'un element fragile tel qu'un miroir, utilisable notamment sur un engin spatial

Also Published As

Publication number Publication date
WO1998044373A1 (fr) 1998-10-08
EP0968450A1 (de) 2000-01-05
US6267348B1 (en) 2001-07-31
FR2761486B1 (fr) 1999-05-21
JP2001516471A (ja) 2001-09-25
EP0968450B1 (de) 2002-01-16
JP4237266B2 (ja) 2009-03-11
DE69803165T2 (de) 2002-08-22
FR2761486A1 (fr) 1998-10-02
ES2172128T3 (es) 2002-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69527925D1 (de) Gehäuse einer Federklammersonde
DE69838410D1 (de) Herstellungsverfahren einer optischen Halbleitervorrichtung
DE69329562D1 (de) Vorrichtung zum Befestigen einer Kabelhalterung
DE69842181D1 (de) Prüfung einer telekommunikationsvorrichtung
DE69428373D1 (de) Fehlererkennungsgerät für gravierer
BR9602271A (pt) Selante aperfeiçoado para um porta-amostras
DE69818736D1 (de) Vorrichtung zur Positionierung einer Linse
NO943622D0 (no) Holder for patron-nål enhet
DE69616668D1 (de) Vorrichtung zur bearbeitung einer glassscheibe
DE69803165D1 (de) Mikrometrische positionierungsvorrichtung einer halterung eines optischen elements mit sechs freiheitsgraden
DK440889D0 (da) Holder til en lang boejlelaas
DE69808074D1 (de) Betrieb einer tröpfchen-niederschlag-vorrichtung
DE59402366D1 (de) Vorrichtung zum Beschichten einer optischen Faser
DE59706968D1 (de) Einrichtung zur positionierung einer messsonde
DE69502643D1 (de) Licht-detektierende Vorrichtung unter Verwendung eines Halbleiterlasers
DE69633879D1 (de) Vorrichtung zum Verschieben einer Linse entlang der optischen Achse
DE69316872D1 (de) Elektrostatische klemmvorrichtung zur halterung einer wafer
DE69731044D1 (de) Montieren von einer planaren optischen Komponente auf einer Aufbauplatte
DE59804126D1 (de) Spanneinrichtung zur Fixierung eines Einzugsnippels an einer Aufspannplatte
DE69317225D1 (de) Elektronische Vorrichtung zur Aufnahme einer Kassette
DE59804013D1 (de) Schutzgehäuse für optische Geräte mit einem Haltekörper zum Anbringen an einer Befestigungsfläche
DE69838446D1 (de) Justierbare Halterung für optische Bauteile
DE69525502D1 (de) Ausklappbare Kassettenhalterung zur Aufnahme und Zentrierung einer Filmkassette
DE59814130D1 (de) Vorrichtung zum Befestigen einer Deckeneinbauleuchte
IT1235550B (it) Dispositivo di sostegno e di fissaggio di un porta indici tubolare

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8328 Change in the person/name/address of the agent

Representative=s name: KEHL & ETTMAYR, PATENTANWAELTE, 81679 MUENCHEN