JP4237266B2 - 宇宙光学部品設定台用の6自由度ミクロン単位位置決め装置 - Google Patents

宇宙光学部品設定台用の6自由度ミクロン単位位置決め装置 Download PDF

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Description

本発明は、スペースシステムすなわち例えば人工衛星、軌道ステーション、惑星探査用無人宇宙船などといった宇宙空間に打上げるためのシステムに組込まれた光学素子支持体のマイクロメータ位置決め装置に関するものである。
スペースシステムは往々にして、例えば画像の受信(惑星または天文観測)さらには光線または光信号等の送信のための光学システムを内蔵している。ところで、これらのシステムの効率および精度は、スペースシステムと一体化したフレームに対する、これらの光学システムを構成する光学素子の正しい立置決めと密接に関係している。
搭載される一部の光学システムは、宇宙空間で地表から調節することが可能である、いわゆる能動的な光学素子を有している。これらのシステムは精巧で、重くそして嵩張るもので、従って極めてコストが高いものであり、そしてその利用は作動中の可動性と調節が不可欠な分野(例えば天文観測)に限られている。
これに対して、スペースシステムに組込まれる数多くの光学システムは、いわゆる受動的な光学素子すなわち、地表においてフレームに対して調節そして固定され、飛行中にはその位置を調節することができない光学素子を有している。かかる光学システムにこの場合起こる問題は、地表での初期調節の精度および離陸の段階(この間システムは標準的に30g以上の強い加速度に耐えることができなくてはならない)の際そして宇宙空間における無重力状態でこの調節した位置を維持しなくてはならないということである。ところで、これらの調節を一つ、二つまたは三つの自由度に従って(例えば球面鏡の心出し(centrage)用)、または低い精度(10μm超)で容易に実施することができるとしても、かかる光学素子を地表で、ミクロン単位の精度で六自由度に従って位置決めしなくてはならないという問題が出てくる。この問題は特に、その位置決め欠陥を球面鏡(miroir spherique)を有する望遠鏡の場合のように偏心によって補償することができず、また、きわめて微細な解像度の獲得を可能にしなくてはならない惑星観測望遠鏡の非球面鏡(miroir aspherique)の位置決めにおいて発生する。
従って、本発明は、地表における高精度での調節、所定の位置でのロックならびに離陸時および宇宙空間で精度を保ったままでの所定の位置への維持を可能にする、スペースシステムのフレームに対する光学素子の六自由度に従ったマイクロメータ位置決め装置を提案することにより、これらの欠点を補正することを目的としている。
本発明は同様に、単純で低コストな手法で、そしてスペースシステムに組込まれる重量が軽くかつ嵩張らない部品を用いることによって、この位置決めを得ることをも目的としている。
本発明は、より詳細には、地球観測衛星に組込まれる非球面鏡望遠鏡の鏡のためのマイクロメータ位置決め装置を提案することを目的とする。
このため本発明は、スペースシステムに組込まれる光学素子の支持体の、フレームに対するマイクロメータ位置決め装置に関するものであり、該装置は、フレームと一体化した三つのマウントを含むものであり、各々のマウントは:
・マウントに対する支持体の第一の部分の、第一の方向に沿った第一の並進調節手段と、
・マウントに対する支持体の第二の部分の、第一の方向と少なくともほぼ直交する第二の方向に沿った第二の並進調節手段と、
・支持体の第三の部分とマウントの対応する部分を離隔する距離をマイクロメータ測定する手段を含む第三のマイクロメータ調節手段であり、
マウントの第一、第二および第三の調節手段は、支持体および光学素子をフレームに対する所定の場所で支持し、維持できるよう、そして六自由度に沿ってフレームに対する支持体の位置を調節することができるように適合されている、
マウントに対する支持体の第三の部分の、第一および第二の方向と少なくともほぼ直交する第三の方向に沿った第三の並進マイクロメータ調節手段と、
・フレームに対する支持体の調節された位置をロックする手段であり、
−マウントに対して支持体がとり得る、相対的位置および方向づけと相容性があるように適合されたリンク手段を介して、マウントおよび支持体に結びつけられ、マウントの調節手段のための調節振幅(amplitude de reglage)に許容された範囲を考慮に入れており、ロックネジとリンク手段は、締着の後にマウントと支持体を互いに対する位置にロックするように適合されている、少なくとも一本のロックネジと、
−その厚みが支持体の第三部分とマウントの対応する部分の間で測定された距離に応じて決定され、前記リンク手段を用いてロックネジの周囲の支持体からマウントを離隔する距離を完全に埋めるような形で設置されており、
それは、フレームに対する支持体の位置が六自由度に従って地表において高精度で調節され、そして、スペースシステムの打上げの際および宇宙空間で、調節されたこの位置を維持することを可能にするロックネジでロックされるようになっている少なくとも一つのシムとを有するロックする手段
とを備えている。
三つの全く異なるマウントの位置で、直交する三つの方向に従って調節することが可能であることから、支持体および光学素子について六自由度での調節が可能となる。
なお、ロックネジ、そしてマイクロメータ厚み測定によって決定される厚みをもつシムを用いてロックすることにより、光学素子が離陸段階および飛行段階に狂うことなく耐えることを可能にする。
本出願全体において、「少なくともほぼ一つの方向に沿って」という表現は、この方向と、調節手段のための調節振幅に許容された範囲において、この方向に対して支持体が許される角度変動以下の角度をこの方向と成している方向とを包含する。この点に関して、マイクロメータ位置決めを可能にする装置は、調節振幅(amplitude de reglage)は小さいという点で留意されるものであり、それは、空間における三つの方向が、装置の一般運動学の場合と同等のやり方で、つまり、支持体またはフレームを基準にして画定されるようにしてなされる。また、支持体は、(全ての部品および組立てが完璧である場合に理論的に画定されるようなフレームに対する支持体の位置に対応する)公称位置においてフレームの調節手段の基準面および支承面に対して平行である調節手段の基準面および支承面を画定するように適合される。
この測定において、前記第一、第二および第三の方向は、フレームに対して、または支持体に対して、画定および固定されていて良い。好ましくは、これら三つの方向はフレームに対して画定され、そして固定されている。
また、第一、第二および第三の方向は、三つのマウントに共通の幾何学的方向を示す。
第一、第二および第三の方向は、二つずつの少なくともほぼ直交する三つの方向であり、すなわち該方向は、通常、フレームに対する光学素子の公称位置において二つずつ直交している。
しかし、そのうちの一つまたは複数の方向が、少なくとも一つのある方向がフレームに対して画定および固定されている一方で、少なくとも一つのそれ以外の方向は支持体に対して画定および固定されているような変形形態においては、この厳密な直交の条件をある一定の位置で満たさない可能性がある。
かくして、これら三つの方向および調節手段が満たすべき主要な条件は、六自由度に従った最適な作動位置での光学素子のマイクロメータ位置決めを可能にする、少なくとも一つの一定の振幅範囲(plage d’amplitude)での相対的な変位(deplacement)を可能にすることにある。
有利には、そして本発明に従うと、第三のマイクロメータ調節手段は、少なくとも三つの全く異なる精度、すなわち粗精度、中精度および微精度に従った調節を可能にするように適合されている。有利には、そして本発明に従うと、微精度は1μm以下であり、そして前記粗精度および中精度はそれぞれおよそ100μmおよび10μmである。
有利には、そして本発明に従うと、第三のマイクロメータ調節手段は、粗精度に従った調節を可能にするように適合された粗調節装置、および中精度および微精度に沿った調節を可能にするように適合された全く異なる(distinct)微調節装置を含んでいる。
有利には、そして本発明に従うと、粗調節装置には、支持体の第三の部分とマウントの対応する部分の間の距離を測定する手段が備わっていない。これらの測定手段は、微調節装置に内蔵されるか形成されていてよく、あるいは、変形形態においては粗および微調節装置とは全く異なっていてもよく、個別に具備され得るものである。
有利には、そして本発明に従うと、粗調節装置は、
−マウントあるいは支持体と一体化している第一の部品において、拮抗する復元力を加えるように適合された二つの弾性復元機構と、
−(第一の部品がマウントと一体化している場合は)支持体あるいは(第一の部品が支持体と一体化している場合は)マウントにそれぞれ一体化した第二の部品と相補的部品との間の距離を調節するネジ/ナットシステムとを含むものであり、弾性復元機構のうちの一方は、前記相補的部品に支承されるが、もう一方の弾性復元機構はこの第二の部品に支承される。「一体化した」というのは、部品がマウントまたは支持体により担持されているかまたは形成されていることを意味する。
有利には、そして本発明に従うと、前記弾性復元機構は圧縮して機能する。
有利には、そして本発明に従うと、上記二つの弾性復元機構は、圧縮弾性合成材料のシリンダであり、ネジ/ナットシステムは、二本のシリンダが任意の調節位置において圧縮された状態となるように適合されている。
有利には、そして本発明に従うと、弾性復元機構の各々の剛性は、重力の作用下でフレームに対して支持体を所定の位置に維持することを可能にするように適合されているものの、第一および第二の調節手段および第三のマイクロメータ調節手段の微調節装置に作用することにより調節を可能にするように適合されている。
有利には、そして本発明に従うと、ネジ/ナットシステムは、前記第一の部品を横断して設けられた中ぐりを通過するロッドを含んでおり、そしてこの中ぐりの内径は、前記第一および第二の方向に沿った相対的変位と調節が可能になるよう、ロッドの外径よりも大きい。
有利には、そして本発明に従うと、静止摩擦係数の低い材料でできた座金が、第一および第二の調節手段の作用下で第一および第二の方向に沿った相対的変位を容易にするように、第一の部品の対応する支承面と弾性復元機構の各端部の間で、中ぐりの両側に介在させられている。
有利には、そして本発明に従うと、微調節装置は、粗調節装置の弾性復元機構に対抗して、前記第一および第二の部品を押し返すように適合されている。
有利には、そして本発明に従うと、微調節装置は、二つの全く異なる感度、すなわち中感度および微感度に従った、支持体の第三の部分とマウントの対応する部分を離隔する距離のマイクロメータ測定手段を含んでいる。有利には、そして本発明に従うと、中感度と微感度は前記中精度および微精度に対応しており、特にそれらの感度は、それぞれ約10μmおよび1μm以下である。
有利には、そして本発明に従うと、微調節装置は、マウントにより担持された本体および第三の方向に沿って可動なロッドを含んでおり、該ロッドの自由端部は、支持体の第三の部分の担持面に接触して(au contact)支承されるものである。有利には、そして本発明に従うと、微調節装置は、差動マイクロメータヘッドで構成されている。有利には、そして本発明に従うと、この差動マイクロメータヘッドは、一つの担持面に支承される自由端部を有する可動ロッドを含むものであり、そしてこの担持面は、少なくとも公称位置において、このヘッドの可動ロッドの変位軸方向(direction axiale de deplacement)に対して直角である。
有利には、そして本発明に従うと、各々のロックネジは、少なくともほぼ前記第三の方向に沿って延びている。
なお、有利には、そして本発明に従うと、リンク手段が各々のロックネジに接触する二対の球形担持座金(deux paires de rondelles a portees spheriques en contact)を含んでおり、これらの座金対は、逆方向に向けられた担持面にそれぞれ支承されるものであり、それは支持体およびマウントの相対的に異なる方向づけでのロックネジの締着を可能にするようになされる。変形形態においては、そして本発明に従うと、リンク手段は、各ロックネジに玉継手リンク(liaison rotule)を含んでいる。
有利には、そして本発明に従うと装置は、各々のロックネジにおいて、支持体がロックネジの一端部のための収容用タップを含み、そしてマウントがロックネジの頭の支承担持面ならびにロックネジが通過する中ぐりを含んでいることと、中ぐりの内径がロックネジ外径よりも大きいことを特徴とするものであり、該内径は、あらかじめ行われる調節行程での測定で、支持体が第一および第二の方向に沿って調節されたフレームに対してとりうるあらゆる位置においてタップの中にロックネジを締着するのに充分な値だけの大きさである。
有利には、そして本発明に従うと、リンク手段は、ロックネジの頭とマウントの支承担持面の間に介在する、一対の接触球形担持座金と、マウントと支持体の間でロックネジの周囲に設置された一対の接触球形担持座金を有している。より詳細には、有利には、そして本発明に従うと、一対の接触球形担持座金が、支持体の方に向けられたマウントの担持面と接触することになる。有利には、そして本発明に従うと、シムは、マウントの担持面と接触することになるこの一対の接触球形担持座金と、支持体の第三の部分の担持面の間に介在している座金である。
なお、有利には、そして本発明に従うと、第一の調節手段および/または第二の調節手段は、マウントまたは支持体により担持されたマイクロメータヘッドを有しており、このマイクロメータヘッドは、それぞれ支持体またはマウントの対応する担持面と接触する自由端部をもつロッドを有する。有利には、各々の担持面は、ヘッドのロッドの変位軸方向に対して直角な公称位置に少なくともある。
好ましくは、本発明に従うと、第一、第二および第三の調節手段のマイクロメータヘッドは、マウントにより担持され、その可動ロッドは支持体の対応する担持面に支承される。
有利には、そして本発明に従うと、三つのマウントは、前記第三の方向に対して少なくともほぼ垂直な同一の平面に沿って全体的に広がっており、第一および第二の方向に沿った調節手段は、マウントに対する光学素子の心出し手段である。三つのマウントは、好ましくは、第三の方向に対して少なくともほぼ平行な軸の周囲で互いに120度の分布に(装置および光学システムのその他の制約条件、特に光学素子の形状を考慮に入れて)可能なかぎり近い相対的角度分布(repartition angulaire relative)に従って、配置されている。
有利には、そして本発明に従うと、調節手段は、調節位置でのロック後にフレームおよび/または支持体から取外し可能かつ切離し可能なように適合された部品を有している。特に、有利には、そして本発明に従うと、第三のマイクロメータ調節手段の粗調節装置のネジ/ナットシステムと弾性復元機構、およびマイクロメータヘッドは、調節位置でのロック後に取外し可能な形で取付けられている。
有利には、そして本発明に従うと、ロック手段は、調節を修正することなくあらゆる方向において15g〜60gの間に含まれる最大加速に耐えることができるようにサイズ決定されている。
本発明は同様に、以上または以下で言及されている特徴の全てまたは一部分を組合せた形で含むことを特徴とする装置にも拡大される。
本発明は同様に、より詳細には、宇宙空間からの地球を観測する望遠鏡の非球面鏡のマイクロメータ位置決めのための、本発明に従った装置の応用にも関するものである。しかしながら本発明は、その他の光学システム(干渉計…)またはその他のスペースシステム(惑星探査用無人宇宙船、天文観測衛星、軌道ステーション…)のためのその他のあらゆる類似の光学素子(検出器、光源、レンズ…)のマイクロメータ位置決めをも可能にするものである。
本発明のその他の特徴、目的および利点は、添付図面を参考にして以下の記述を読むことで明らかになるものである。
図1は、調節コンフィギュレーションで表わされた非球面鏡のマイクロメータ位置決めのための本発明に従った装置の一つの実施形態を例示する斜視図である。
図2は、装置が飛行コンフィギュレーションで表わされている、図1と類似の図である。
図3は、調節コンフィギュレーションでの図1の装置の、一つのマウントのロックネジの平面に沿って切取った斜視断面図である。
図4は、装置が飛行コンフィギュレーションで表わされている、ロックネジの部分断面詳細図を伴う、図3と類似の図である。
図5は、調節コンフィギュレーションでの図1の装置の、一つのマウントの第三の調節手段を通過する第二の方向に沿った平面で切取った斜視断面図である。
図6は、装置が飛行コンフィギュレーションで表わされている、図5に類似した図である。
図1では、地球観測衛星に組込まれた非球面鏡望遠鏡の一部を成す非球面鏡3の支持体2のフレーム1に対するマイクロメータ位置決め装置を表わした。フレーム1は衛星の構造と一体化されている。望遠鏡の各々の鏡は本発明に従ったマイクロメータ位置決め装置によりフレーム1に連結された支持体上に取付けられているため、鏡は非常に高い精度で互いに対して位置決めされる。
図1では、マイクロメータ位置決め装置は、鏡3の主光学軸が少なくともほぼ水平である状態で、地表での調節コンフィギュレーション(configuration de reglage)で表わされている。
本発明に従った装置は、フレーム1と一体化され、支持体2を収容するためフレーム1を横断して設けられた開口部7を中心として配置されている三つのマウント4、5、6を含む。マウント4、5、6は開口部7の周囲で互いに120°の分布に可能なかぎり近い相対的角度分布に従って配置されている。マウント4、5、6は、開口部7内に挿入された支持体2に対応するように、開口部7の中心に向かって半径方向に突出して延びている部分を提示するような形で、全体的にブラケットの形をしている。
支持体2は、全体的に剛性の枠の形状を有し(図3および4)、そして鏡3はそれ自体既知の仕方で、均衡な取付けを実施するのに適切な固定用足状部8を介して、この支持体2に連結されている。
各マウント4、5、6は、第一の方向に沿って並進運動をする、調節のための少なくとも一つのマイクロメータヘッド9、10、11、12を含んでおり、該第一の方向は、支持体2の対応する第一の部分13、14、15、16の図示した実施形態においては垂直方向である。
各々のマイクロメータヘッド9、10、11、12は、マウント4、5、6により担持されるヘッド本体17と、ロッド18の軸方向(すなわち垂直方向)に対して少なくともほぼ直角であり、支持体2の前記第一の部分13、14、15、16と一体化した担持面19によって支承される作動ロッド18とを含む。好ましくは、担持面19は、硬度の高い特殊合金(例えばmarval鋼)でできた追加部品で形成される。
図示された実施形態においては、好ましくは本発明に従うと、装置は、右上のマウント4、右下のマウント5および中央高さに設置された左のマウント6を含む。
右上マウント4は、支持体2の対応する第一の部分13を下向きに押し返すように適合された垂直なマイクロメータヘッド9を含む。右下マウント5は、支持体2の対応する第一の部分14を上向きに押し返すように適合された垂直マイクロメータヘッド10を含む。左中央マウント6は、対応する支持体2の部分15を下向きに押し返す上部垂直マイクロメータヘッド11と、支持体2の対応する部分16を上向きに押し返す下部垂直マイクロメータヘッド12とを含む。かくして、異なるヘッド9〜12が、相対する方向に垂直方向に沿って作用するように適合されており、従って均衡な調節を可能にする。
支持体2は、二つのマイクロメータヘッド10、12により、垂直方向に担持されており、該マイクロメーターヘッドの作動ロッドは垂直に上方に向けられている。
各マウント4、5、6は同様に、第二の方向に沿って並進運動をする、調節のための少なくとも一つのマイクロメータヘッド20、21、22を含んでおり、該第二の方向は、支持体2の対応する第二の部分24、25の開口部7の平面に対して平行な横断水平方向である。この第二の方向は、第一の方向に直交している。
これらのマイクロメータヘッド20、21、22は、垂直のマイクロメータヘッド9、10、11、12と同じ仕方で構成されており、従って、マウント4、5、6により担持される本体17と、支持体2と一体化された対応する担持面26に支承される自由端部をもつ可動ロッド18とを含む。担持面26は、ヘッド20、21、22の可動ロッドの軸に対して少なくともほぼ直角に延びており、有利には硬度の高い合金でできた支持体2に追加された部品によって構成されている。
右上マウント4は、支持体2の対応する部分(図中には見えず)を左水平方向へと押し返す水平マイクロメータヘッド20を含む。右下マウント5は、支持体2の対応する第二の部分24を左水平方向へと押し返すマイクロメータヘッド21を含む。左中央マウント6は、支持体2の対応する第二の部分25を右水平方向へと押し返す水平マイクロメータヘッド22を含む。異なるヘッド20〜22は同様に、反対の向きで横断水平方向に従って作用するように適合されており、かくして均衡な調節を可能にする。このようにして、異なる垂直マイクロメータヘッド9、10、11、12および水平マイクロメータヘッド20、21、22は、それぞれ、三つのマウント4、5、6に対し、そしてフレーム1の開口部7に対し支持体2の心出しを可能にする垂直方向に沿った並進運動による第一の調節手段9〜12と、水平な並進運動による第二の調節手段20〜22を形成する。
支持体2は、各々のマウント4、5、6と対応する形で該支持体の平面に対し直角に延びる三つの延長部分27、28、29を含んでおり、それは、開口部7での支持体2の心出しのための異なる垂直および水平マイクロメータヘッド9〜12および20〜22と連動する支持体2の異なる部分を画定するためである。従って三つの延長部分27、28、29は、支持体2を形成する枠において互いにマウント4、5、6と同じ角度分布、すなわち少なくともほぼ120°で配置されている。
かくして、垂直マイクロメータヘッド9、10、11、12は、マウント4、5、6に対して支持体2の第一の部分13〜16の第一の垂直な方向に沿った並進運動による第一の調節手段9〜12を形成する。開口部7の平面に対して平行に延びる横断水平方向のマイクロメータヘッド20、21、22は、マウント4、5、6に対する支持体2の第二の部分の、第一の方向に直交する第二の方向に沿った並進運動による第二の調節手段20〜22を形成する。従って図示されたコンフィギュレーションにおいては、この第二の方向は、横断水平方向すなわち開口部7の平面に対して平行な水平方向に対応するものである。
本発明に従ったマイクロメータ位置決め装置はさらに、マウント4、5、6に対する支持体2の第三の部分36、37、38の、第一および第二の方向に直交する第三の方向に沿った並進運動による第三のマイクロメータ調節手段30〜35をも有している。この第三の方向は、好ましくは開口部7の水平軸方向、すなわち第一の垂直方向および第二の横断水平方向に直交する水平方向である。この第三の方向は同様に一般的に、望遠鏡の光学視軸および/または鏡3の主軸に対応するものであり、支持体2は(心出しされたまたは軸外れの)光学システムのコンフィギュレーションに従い、この第三の方向に対して僅かに傾斜しているかまたは傾斜していない。
より詳細には、平面枠の形をした支持体2がその完璧な調節位置にある場合、延長部分27、28、29は、開口部7の垂直平面に対して、つまりはマウント4、5、6によって画定される垂直平面に対して、僅かに傾斜しているかまたは傾斜していない垂直平面を画定しているという点に留意されたい。この傾斜は、特に、フレーム1を基準にしてとった第一、第二および第三の方向と、支持体2を基準にしてとった対応する垂直方向、横断水平方向および水平軸方向との間の相対的角度が、それぞれ第三の方向に沿った支持体2が許容する最大の調節行程に対応する約数十ミリラジアン(milliradian)の値を呈するのに、充分小さいものである。
三つのマウント4、5、6は、全体的に第三の方向に対して直角な同じ平面に沿って延びており、それぞれ第一の方向および第二の方向に沿った第一の調節手段9〜12および第二の調節手段20〜22は、マウント4、5、6に対する、そして開口部に対する支持体2および鏡3の心出し手段である。三つのマウント4、5、6は好ましくは、少なくとも第三の方向にほぼ平行である軸の周囲に互いに少なくともほぼ120°で配置されている。好ましくは、調節の際は、第三の方向は少なくともほぼ水平であり、第一の方向は少なくともほぼ垂直である。しかしながら、調節の際の装置の方向づけは、実際は重要なものではなく、その他の方向づけも可能である。特に、変形形態では、鏡の光学軸に対応する第三の方向は、地表での組込みの際には垂直方向において同一線上にあって良い。
本発明に従った装置のロケットの推力方向に対する発射時の方向づけも、あらゆる方向において離陸の加速度(30g以上)に耐えうるよう締着/ロックされたコンフィギュレーションにより寸法決定されていることから、同じく重要なものではない。
第三のマイクロメータ調節手段30〜35は、各々のマウント4、5、6について、粗精度に従った調節を可能にするように適合された粗調節装置30、31、32ならびに中精度および微精度に従った調節を可能にするように適合された微調節装置33、34、35を含む。
図3および5は、左中央マウント6の第三の調節手段32、35を断面図で表わしている。以下では、これらの第三の手段32、35のみが詳細に記述されるが、当然のことながら、他の二つの右上4および右下5のマウントについても同じ機構および装置が具備されている。
粗調節装置32は、一方の端部が支持体2の盲タップ41にネジ留めされているネジ切りロッド40を含んでいる。該ロッド40と該タップ41は、支持体2の水平軸方向に平行に、すなわちほぼ第三の方向に沿って延びており、これら二つの方向の間の傾斜は公称位置においてはゼロであり、そして調節の後は僅かなものである。ロッド40はマウント6の方向に延びており、該ロッド40は、ロッド40の外径よりも大きい内径をもつ中ぐり42を通って該マウントを通過している。マウント6に対応する支持体2の第三の部分38は、ロッド40が軸方向に通過している弾性合成材料のシリンダ44を収容する収納部43を含んでいる。従って、このシリンダ44は、支持体2とマウント6の間に介在させられ、ロッド40の周囲に延びている。例えばTEFLON製かまたはNUFLON(登録商標)でコーティングされた静止摩擦係数の低い材料でできた少なくとも一つの座金45が、支持体2の収納部43の底面とシリンダ44の対応する端部の間に介在させられている。同様にして、シリンダ44のもう一方の端部とマウント6の担持面52の間には、静止摩擦係数の低い材料でできた少なくとも一つの座金46が介在させられている。シリンダ44および座金45、46は、ロッド40の外径に対応する内径を有する。好ましくは、二つの座金45、46は、シリンダ44の両端部に具備されている。
ロッド40は、この中ぐり42およびマウント6のもう一方の側で、シリンダ44と類似の弾性合成材料のシリンダ47を収容できるよう、中ぐり42を越えて延長されている。ロッド40は軸方向にシリンダ47を通過し、そして、このロッド40の端部はナット48を収容する。静止摩擦係数の低い材料でできた少なくとも一つの座金50が、ナット48とシリンダ47の対応する端部の間に介在している。同様に、シリンダ47のもう一方の端部と中ぐり42の周囲に画定されたマウント6の対応する担持面との間に、静止摩擦係数の低い材料でできた少なくとも一つの座金51が介在させられている。好ましくは、二つの座金50、51がシリンダ47の両端部に具備されている。
このようにして、異なる座金45、46、50、51は、第一および第二の調節手段の作用下において、マウント6に対する支持体2の第一および第二の方向に沿った相対的変位を容易にし、かつ可能にする。
ロッド40の自由端部は、支持体2のタップ41に対するこのロッド40のネジ留めおよび緩めのための工具により、その連動が可能となるように適合されている。例えば、この自由端部49は正方形である。
ナット48は、二本のシリンダ44、47を軸方向に圧縮するためロッド40にネジ留めされる。これら二本のシリンダ44、47は各々、フレーム1に対する支持体2のあらゆる調節位置において、二本とも圧縮状態となるような長さを有している。
かくして、二本の弾性シリンダ44、47は、マウント6すなわちそれぞれ中ぐり42の両側に、拮抗する復元力を及ぼす弾性復元機構を構成する。ロッド40とナット48は、支持体2の第三の部分38とナット48の間の距離のネジ/ナット調節システムを構成し、シリンダ47は、シリンダ44が一つまたは複数の座金51を介して支持体2のこの第三の部分を支承としているのに対し、一つまたは複数の座金50を介してナット48に支承されている。
軸方向(第三の方向)における各シリンダ44、47の剛性は、重力の作用下でフレーム1に対して支持体2を所定の位置に維持できるように、ただし第一の調節手段9〜12および第二の調節手段20〜22、そして以下で記述する第三のマイクロメータ調節手段30〜35の微調節装置33〜35に作用することでの調節を可能にするように、適合される。
中ぐり42の内径とロッド40の外径の間の差は、第一および第一の方向に沿った相対的変位および調節を可能にするように適合されている。
見ればわかるように、この粗調節装置32は、(座金46を介してシリンダ44が支承される中ぐり42の周囲の担持面52により形成されている)マウント6の対応する部分から支持体2の第三の部分38を離隔する距離の測定手段を備えていない。粗調節の際の測定は、実際には、微調節装置35によって形成されたマイクロメータ測定手段によって実施される。
ネジ切りロッド40にナット48を締めることにより、二本のシリンダ44、47を圧縮し、第三の軸方向に沿ってマウント6と支持体2を接近させる。ネジ切りロッド40のピッチをpとし、ナット48とマウント6の間に介在させられたシリンダ47の軸方向の弾性剛性係数をK1とし、支持体2とマウント6の間に介在させられたシリンダ44の軸方向の剛性係数をK2とすると、この調節装置32の粗精度は、ナット48一周あたりp×K2/(K1+K2)に等しく、つまりはK1=K2の場合p/2となる。かくして、ネジ切りロッド40およびナット48のピッチpおよびK1/K2比を適切に選択することにより、この粗精度をK1およびK2について考えられる値の限界の範囲内で所望の値に適合させることができる。例えば、ピッチpが0.5mm/周に等しく、K1=K2である場合、約62.5μmという四分の一周についての粗精度が得られる。シリンダ44、47は、有利には、例えば約50N/mmの剛性をもつゴムといったようなエラストマ材料で構成される。変形形態では、シリンダ44、47の代わりに圧縮バネを利用することができる。
この粗調節装置30〜32の他の変形実施形態が可能であるという点に留意すべきである。例えば、ロッド40とナット48は、その頭がナット48に置き換わり、そしてその自由端部が、調節を目的とするそのネジの締着と緩めを可能にするのに充分な長さの支持体2のタップに挿入されるネジと置換することが可能である。もう一つの変形形態においては、ロッド40は支持体2を通過することができ、該支持体はこのとき、タップ41の代りに直径がさらに大きい中ぐりを備えており、ネジ切りロッドはこのときマウント6のタップの中にネジ留めされ、締着ナットは、支持体2のもう一方の側すなわち鏡3の側に配置される。この場合、弾性復元シリンダは、支持体2の両側に設置され、拮抗する復元力をマウントに対してではなく支持体2に及ぼす。運動学的観点から見ると、この後者の取付けは、ナットの締着がさらに二本のシリンダを圧縮し、支持体2とマウント6を接近させるという効果をもつかぎりにおいて、前者のものと等価である。
微調節装置35は、粗調節装置32の弾性復元シリンダ44、47に対抗して支持体2およびマウント6を押し返すように適合されている。この微調節装置35は、差動(diferentielle)マイクロメータヘッド、すなわち二つの異なる精度に従った二つの調節用ノブ(molette)、つまりは中精度に従った調節用ツマミと微精度に従った調節用ツマミとを含む、マイクロメータヘッドで構成されている。微精度は、第三の方向に沿ってミクロン単位で調節できるように、1μm以下である。中精度は例えば約10μmである。差動マイクロメータヘッド35は、マウント6が担持する本体53および、支持体2の第三の部分38の対応する担持面55に支承され接触することになる自由端部をもつ、第三の方向に沿った可動ロッド54を含む(図5)。ヘッド35の調節用ツマミを回転させることにより、ロッド54は展開し、そしてこの担持面55を押し返し、結果、マウント6から支持体2を遠ざけ、ひいてはシリンダ47を圧縮しながらシリンダ44を圧縮解除することになる。
三つの差動マイクロメータヘッド33〜35は、三つ共同じ向きで水平軸方向に沿って支持体2を押し戻し、もう一方の向きへの復元(rappel)は粗調節装置30〜32の弾性シリンダ44、47により確保されている、という点に留意されたい。従って、フレーム1に対する支持体2のこの第三の方向に従った均衡調節も可能となる。
この差動マイクロメータヘッド35は同様に、支持体2の第三の部分38とマウント6の対応する部分を離隔する距離をマイクロメータ測定できるようにする手段をも構成しており、それは、二つの全く異なる感度に従って、つまり約10μmの中感度と1μm以下の微感度に従って行われる。差動マイクロメータヘッド35は、第三の方向に沿ったマウント6に対する支持体2の位置のマイクロメータの調節として用いられるのと同時にマウント6と支持体2の離隔距離のマイクロメータ測定にも用いられることから、中感度および微感度は中および微精度に対応するものである。ただし、変形形態においては、律調節装置と全く異なるマイクロメータ測定手段を具備することが可能であるという点に留意されたい。
この距離を測定するためには、調節された位置から、ヘッド35のロッド54の周囲に標準的な厚みを有するシムを挿入し、支持体2の担持面55およびマウント6の対応する担持面51が標準的な厚みを有するシムと接触することになるまで、このヘッドを緩める(すなわちツマミに作用することでロッド54を引込める)だけでよい。このシムの厚みはわかっていることから、支持体の担持面55とマウント6の担持面52の間の初期距離を決定することが可能である。さらに、差動マイクロメータヘッド35には副尺が備わっていることから、この調節位置に、それも1μmという希望の精度で復帰することは容易である。
従って、本発明に従ったマイクロメータ位置決め装置は、全て上述の装置32に類似している三つの粗調節装置30、31、32と、上述のヘッド35と類似している三つの差動マイクロメータヘッド33、34、35とを含む。かくして、第三の方向に従った第三のマイクロメータ調節手段30〜35は、二段式の調節手段、つまり、ネジ/ナット式の粗段階と差動マイクロメータヘッドを用いた微段階である。
三つの直交する方向に沿った本発明に従った装置の異なる調節手段9〜12、20〜22、および30〜35は、支持体2とフレーム1との間にリンクのための均衡アセンブリを構成する。従って、一つの方向に沿って実施された支持体2の相対的変位が、直交するその他の二つの方向において、支持体2の位置の調節に影響を及ぼさないことから、調節は大幅に容易になる。
ここで、支持体2の延長部分27、28、29が、対応するマイクロメータヘッド9〜12、20〜22、33〜35の推力方向に直角に延びる平坦な担持面19、26、55を画定する、という点に留意されたい。粗調節装置30〜32のタップ41およびネジ切りロッド40の軸に対して直角である、シリンダ44、47が支承される各マウント4、5、6の各々の担持面についても、同様のことが言える。
宇宙空間の三つの方向に沿って、そして三つのマウント4、5、6について、つまり六自由度に従い、上述の調節手段によって作動最適位置の調節がひとたび行なわれると、図2、4および6に図示されている装置のロック手段56〜76、79〜82により、フレーム1に対する位置での支持体2のロックが行われる。調節された位置へのロック手段も、以下で左中央マウント6に関してのみ記述されているが、当然のことながら、それらはその他の二つのマウント4、5についても類似している。
ロック手段は、ネジ切りされた自由端部をもつ平行な二本のネジ56、57を有しており、該自由端部は、支持体2の第三の部分38において第三の軸方向に沿って設けられた盲タップ58、59に係合されている。各々のロックネジ56、57について、マウント6は、収容用収納部60、61と、マウント6に対する支持体2の調節された位置に関係なく盲タップ58、59にネジ56、57が係合されるよう、ネジ56、57の外径よりも大きい内径をもつ中ぐり63、64とを含んでいる。収納部60、61はネジ56、57のヘッド65、66を収容する。各ロックネジについて、接触球形担持面をもつ一対の座金67、68が、ネジのヘッド65、66とマウント6の収納部60、61の底面の間に介在させられており、それは、この収納部底面に対して、そして中ぐり63、64の軸に対してロックネジの軸が呈し得る傾斜の如何に関わらず、ロックネジ56、57がこの収納部底面、ひいてはマウント6に支承されるようになされている。
中ぐり63、64のもう一方の側では、接触球形担持面をもつもう一対の座金69、70がネジ56、57の周囲に設置され、マウント6の担持面71、72と接触している。さらに、接触球形担持面をもつこの一対の座金69、70と、支持体2の第三の部分38と対応する担持面75、76との間に、座金73、74が介在させられる。従って、二本のロックネジ56、57は、それぞれ反対向きに方向づけされたマウント6の担持面に支承される、接触球形担持面をもつ二対の座金67、68および69、70を含むリンク手段によって、マウント6に結びつけられる。従って、第一対の座金67、68はネジ56、57のヘッドに向かって方向づけされた収納部60、61の底面に支承され、そして第二対の座金69、70は、支持体2に向かって方向づけされた担持面71、72に支承される。これらの担持面(収納部60、61の底面および担持面71、72)は、マウント6の中ぐり63、64の開通端部の周囲の第三の軸方向に対して直角な平坦面によって画定される。マウント6の担持面71、72は、座金対67、68を介したロックネジ56、57のヘッド65、66の支承担持面である。
接触球形担持面をもつ一対の座金69、70と支持体2の第三の部分38の前記担持面75、76との間に介在する座金73、74は、差動マイクロメータヘッド35により支持体2の第三の部分38とマウント6の対応する部分の間で測定された距離に応じて(例えば研削により)調節の際に適合される厚みをもつシムの代りを果たす。かくして、この座金73、74は、球形担持面をもつ座金対69、70と共に、ロックネジ56、57の周囲のマウント6および支持体2の離隔距離を完全にふさぐ。
従ってロックネジ56、57の締着に際して、この距離は保たれる。さらに、マウント6の対応する担持面と、接触球形担持面をもつ座金対67、68および69、70の表面は、ロックネジ56、57の締着が、第一および第二の方向に沿った相対的変位を妨げながらマウント6に対して支持体2もロックするよう、可能なかぎり高い静止摩擦係数を呈するようなものである。
図示されている実施形態においては、各々のマウント4、5、6について、装置は少なくとも有利には二本のロックネジ56、57;79、80;81、82を含んでおり、互いに平行な該ロックネジは、粗調節装置30〜32の両側に、そしてこの粗調節装置30〜32に可能なかぎり近いところに配置されている。具備されるロックネジの数は、(特に離陸時の)利用状況において、これらのネジが耐えなくてはならない機械的応力に応じて適合される。粗調節装置30〜32、微調節装置33〜35そして二本のロックネジ56、57;79、80;81、82は、支持体2の第三の方向に沿って軸方向の延長部分27、28、29と連動するように、そして、可能なかぎり互いに近づくように配置される。
接触球形担持面をもつ座金と、中ぐり63、64とロックネジの間の直径の差のおかげで、これらのロックネジ56、57;79、80;81、82を、異なるマウントの異なる調節手段の調節振幅の許容範囲を考慮したうえで、マウント4、5、6に対して支持体2がとることのできる異なる相対的位置および方向づけで、支持体2の盲タップ58、59に締着することが可能である。ロックネジおよび支持体2およびマウント6に対するそれらのリンク手段58、59、67〜70は、締着後にマウント6および支持体2を所定の位置にロックするように適合されており、ロックネジは少なくともほぼ第三の軸方向に沿って延びている。好ましくは、ロックネジは全て軸方向に方向づけされ、同じ方向に締着されている。
図示されていない変形形態において、各々のロックネジは、接触球形担持面をもつ二対の座金を玉継手リンクに置き換えることができる。
また、異なる調節手段は、調節された位置でのロックの後に、フレーム1および/または支持体2から取外しおよび切離しされるように適合された部品を提示している。特に、弾性シリンダ44、47、そのナット48およびその座金45、46、50、51を伴うネジ切りロッド40、すなわち第三のマイクロメータ調節手段の粗調節装置32全体、そして垂直方向、横断水平方向および水平軸方向の異なるマイクロメータヘッド9〜12、20〜22、33〜35は、調節された位置でのロックの後に取外し可能であり、マウント6および支持体2から切離すことができる。
差動マイクロメータヘッド35のロッド54を支承する支持体2の第三の部分38の担持面55は、ネジによって支持体2の対応する延長部分27、28、29に対して取外し可能な形で取付けられている部品77により形成される。この取外し可能な部品77は、弾性シリンダ44を収容するため支持体2の第三の部分38に設けられた溝の形をした収納部43を閉じるように配置されている。かくして、担持面55を画定するこの部品77が取り除かれると、収納部43は支持体2の中心に向かって開放され、シリンダ44を横方向に引き抜くことができる。従って、粗調節装置32を分解するには、その正方形の端部49に作用してネジ切りロッド40を緩め、担持面55を形成する部品77を取り除き、収納部43のこのように解放された開口部からシリンダ44を引き抜くだけでよい。
第一および第二の方向に沿った調節マイクロメータヘッド9〜12および20〜22は有利には、ネジにより各マウントに固定された個々の支持体78によって担持されている。個々の支持体78を分解することにより、同時に対応するマイクロメータヘッドが分解される。変形形態においては、いくつかのマイクロメータヘッドについて、例えばマウント6の横断水平方向のマイクロメータヘッド22、そして軸方向の差動マイクロメータヘッド33、34、35については、これらのマイクロメータヘッドの本体は、マウントのタップにネジ留めにより直接固定される。
全てのロックネジ56、57;79、80;81、82が締着され、調節手段の異なる部品が分解されると、位置決め装置は、図2、4、6に表わされている通りの飛行コンフィギュレーション(configuration de vol)となる。
図4では、垂直マイクロメータヘッド9〜12のための接触担持面19が表されているが、これらの担持面を離陸の前に分解することも可能である。図3および4では、明確さを期してフレーム1は表わされておらず、マウント4、5、6のみが表わされている。
同様に、(真空状態でのゴムの脱ガスを考慮すると)スペースシステムに組込むことはできないと思われるエラストマ材料製のシリンダ44、47は、調節された位置にある支持体2のロックの後に分解されるという点に留意されたい。
異なるマイクロメータヘッドおよびそれらが支承される担持面19、26および55は、かくして懸垂される(suspendue)総質量を考慮して地表での調節の際の支持体2および鏡3の調節および支持を可能にするように適合された材料で作られている。さらに、差動マイクロメータヘッド33、34、35の可動ロッドの支承担持面55そしてこれらのヘッド自体は、弾性シリンダ47に対抗して支持体2をマウントから離隔させることができるように選択される。これらのヘッドおよびそれに対応する担持面のアセンブリは、極めて硬質の材料で作られ、最大で15kgとなる総質量を有する支持体2および鏡3では特におよそ50N〜150Nである大きい軸方向の応力に耐えうるように適合されている。異なるマイクロメータヘッド9〜12、20〜22および33〜35は例えば、MICRO−CONTROLE社(Evry、FRANCE)から市販されているようなヘッドである。
同様にして、異なるマウント4、5、6は、ロックネジ56、57の締着の際、そして離陸の際に、鏡3の位置の調節のあらゆる変更を回避するべく、きわめて丈夫で剛性の高い材料で形成される。
本発明に従った装置は、以下の仕方で機能する。
まず最初に、マウント4、5、6の中ぐり42を通して支持体2に予め固定されたネジ切りロッド40を係合することにより、そして座金45、46とシリンダ44を挿入した後に、開口部7に支持体2を設置する。マウント4、5、6は、調節マイクロメータヘッド9〜12、20〜22、33〜35を備えている。これに対し、調節の際には、ロックネジは設置されない。
この初期の心出しを容易にするため、後にロックネジのために用意されたタップ58、59にそれぞれ取付けられている、少なくとも二つの心出しスタッドを具備することができる。これらのスタッドは、かくしてマウント4、5、6の対応する中ぐり63、64において半径方向で支承されている。
その後、異なる粗調節装置30、31、32のナット48を締着する。
その後、七本の垂直方向のヘッド9〜12と横断水平方向のヘッド20〜22を、そのそれぞれの担持面と接触させることにより、支持体2と鏡3の心出しを実施する。
その後、まずは粗調節装置30〜32のナット48によって、次にミクロン単位の差で、最初に中精度に従い、次に微精度に従い、差動マイクロメータヘッド33〜35によって、ティルト(tilt)およびフォーカス(focus)で、すなわち開口部7の軸に対する傾斜および軸方向の位置で支持体2の位置を調節する。これらの調節は、光学的測定および連続的な反復(interation)によって、得られた画像の質を制御しながら実施される。最適な位置の調節が得られると、上述のように異なる差動マイクロメータヘッド33〜35により、第三の軸方向でのマウント4、5、6の担持面52と支持体2の担持面55とを隔離する軸方向の距離を測定する。次に、この距離測定に応じて決定された厚みの座金73、74(シム)の各々を選択し、その後、異なるロックネジ56、57;79、80;81、82を据えつけ、公称締着トルク(couple de serrage nominale)で締着する。得られた画質の光学的制御を改めて実施する。画質が満足のいくものでない場合には、座金73、74(シム)に加えるべき修正を算定するために、新たにマイクロメータ測定を実施する。その後、ロックネジおよびシム座金を緩め、そして取り除き、先行の測定に従ってシム座金の厚みを修正し、ロックネジを再度取付け、そして新たな光学的制御に着手する。公称トルクでのロックネジの締着後に得られた画像が満足のいくものとみなされるまで、連続的な反復により、このように作業を進める。その後、上述の通りの調節に用いた取外し可能な部品全体を分解する。
本発明に従った装置は、フレーム1に対する支持体2の均衡調節とそれに続く均衡ロックを可能にする。かくして、フレーム1に対する鏡3の位置決めのきわめて微細なマイクロメータ調節と、離陸時に装置が受ける加速度(標準的には30g以上)と相容性のある、このようにして調節された鏡3の位置のロックが得られる。
図に表わされている装置は、宇宙空間から地球を観測するための望遠鏡の非球面鏡のマイクロメータ位置決めに適用することが可能である。しかしながら、本発明は、スペースシステムに組込まれる光学システムにおける、他のあらゆる光学素子の六自由度にしたがったマイクロメータ位置決めにも適用することができる。
なお、記述され図中に示された実施形態は数多くの変形形態の対象となり得る。特に、運動学および力学的観点から見て同等な、異なる調節およびロック手段のその他の実施形態を想定することができる。例えば、マイクロメータヘッド9〜12、20〜22、および33〜35は、マウント4、5、6ではなく支持体2により担持され得る。同様に、粗調節装置30〜32は、支持体2ではなくマウント4、5、6により固定担持され得る。同様に、ロックネジ56、57;79、80;81、82は、マウントに直接支承させること、および/またはマウントのタップにネジ留めすることが可能であり、ロックネジが通過する中ぐりを備えた支持体2と連動するために、球形担持面をもつ座金または玉継手リンクが具備される。また、考慮される光学素子の幾何形状に従うと、三つのマウント4、5、6の相対的位置は、図示され記述されたものとは異なるものであり得る。

Claims (29)

  1. スペースシステムに組込まれる光学素子(3)の支持体(2)のフレーム(1)に対するマイクロメータ位置決め装置であり、該装置は、フレーム(1)と一体化した三つのマウント(4、5、6)を含むものであり、各々のマウント(4、5、6)は:
    ・マウント(4、5、6)に対する支持体(2)の第一の部分(13〜15)の、第一の方向に沿った第一の並進調節手段(9〜12)と、
    ・マウント(4、5、6)に対する支持体(2)の第二の部分(24、25)の、第一の方向と少なくともほぼ直交する第二の方向に沿った第二の並進調節手段(20〜22)と、
    ・支持体(2)の第三の部分(36〜38)とマウント(4、5、6)の対応する部分を離隔する距離をマイクロメータ測定する手段を含む第三の並進マイクロメータ調節手段であり、
    マウント(4、5、6)の第一、第二および第三の調節手段(9〜12、20〜22、30〜35)は、支持体(2)および光学素子(3)をフレーム(1)に対する所定の場所で支持し、維持できるよう、そして六自由度に沿って、独立してフレーム(1)に対する支持体(2)の位置を均衡に調節することができるように適合されている、
    マウント(4、5、6)に対する支持体(2)の第三の部分(36〜38)の、第一および第二の方向と少なくともほぼ直交する第三の方向に沿った第三の並進(en translation)マイクロメータ調節手段(30〜35)と、
    ・フレーム(1)に対する支持体の調節された位置をロックする手段であり、
    −マウント(4、5、6)に対して支持体(2)がとり得る、相対的位置および方向づけと相容性があるように適合されたリンク手段を介して、マウント(4、5、6)および支持体(2)に結びつけられ、マウントの調節手段のための調節振幅(amplitude de reglage)に許容された範囲を考慮に入れており、ロックネジ(56、57、79〜82)とリンク手段は、締着の後にマウント(4、5、6)と支持体(2)を互いに対する位置にロックするように適合されている、少なくとも一本のロックネジ(56、57、79〜82)と、
    −厚みが支持体(2)の第三部分(36〜38)とマウントの対応する部分の間で測定された距離に応じて決定され、前記リンク手段を用いてロックネジ(56、57、79〜82)の周囲の支持体(2)からマウント(4、5、6)を離隔する距離を完全に埋めるような形で設置されており、
    フレーム(1)に対する支持体(2)の位置が六自由度に従って、独立して地表において調節され、そして、スペースシステムの打上げの際および宇宙空間で、調節されたこの位置を維持することを可能にするロックネジ(56、57、79〜82)でロックされるようになっている少なくとも一つのシム(73、74)とを有する、ロック手段
    を備えていることを特徴とする、マイクロメータ位置決め装置。
  2. 第三のマイクロメータ調節手段(30〜35)は、少なくとも三つの全く異なる精度、すなわち粗精度、中精度および微精度に従った調節を可能にするように適合されていることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
  3. 微精度は1μm以下であることを特徴とする、請求項2に記載の装置。
  4. 前記粗精度および中精度はそれぞれおよそ100μmおよび10μmであることを特徴とする、請求項2または3に記載の装置。
  5. 第三のマイクロメータ調節手段(30〜35)は、粗精度に従った調節を可能にするように適合された粗調節装置(30〜32)、および中精度および微精度に沿った調節を可能にするように適合された全く異なる微調節装置(33〜35)を含んでいることを特徴とする、請求項2〜4のいずれか一つに記載の装置。
  6. 粗調節装置(30〜32)には、支持体(2)の第三の部分(38)とマウント(4、5、6)の対応する部分の間の距離を測定する手段が備わっていないことを特徴とする、請求項5に記載の装置。
  7. 粗調節装置(30〜32)は、
    −マウント(4、5、6)あるいは支持体(2)と一体化している第一の部品において、拮抗する復元力を加えるように適合された二つの弾性復元機構(44、47)と、
    −支持体(2)あるいはマウント(4、5、6)にそれぞれ一体化した第二の部品と相補的部品(48)との間の距離を調節するネジ/ナットシステムとを含むものであり、弾性復元機構のうちの一方(47)は、前記相補的部品(48)に支承されるが、もう一方の弾性復元機構(44)はこの第二の部品に支承されることを特徴とする、請求項5または6に記載の装置。
  8. 二つの弾性復元機構(44、47)は、圧縮弾性合成材料のシリンダであり、ネジ/ナットシステム(40、48)は、二本のシリンダ(44、47)があらゆる調節位置において圧縮された状態となるように適合されていることを特徴とする、請求項7に記載の装置。
  9. 弾性復元機構(44、47)の各々の剛性は、重力の作用下でフレーム(1)に対して支持体(2)を所定の位置に維持することを可能にするように適合されているものの、第一および第二の調節手段および第三のマイクロメータ調節手段の微調節装置(33〜35)に作用することにより調節を可能にするように適合されていることを特徴とする、請求項7または8に記載の装置。
  10. ネジ/ナットシステム(40、48)は、前記第一の部品を横断して設けられた中ぐり(42)を通過するロッド(40)を含んでおり、そしてこの中ぐり(42)の内径は、前記第一および第二の方向に沿った相対的変位と調節が可能になるよう、ロッド(40)の外径よりも大きいことを特徴とする、請求項7〜9のいずれか一つに記載の装置。
  11. 静止摩擦係数の低い材料でできた座金(45、46、50、51)は、第一および第二の調節手段の作用下で第一および第二の方向に沿った相対的変位を容易にするように、第一の部品の対応する支承面と弾性復元機構(44、47)の各端部の間で、中ぐり(42)の両側に介在させられていることを特徴とする、請求項7〜10のいずれか一つに記載の装置。
  12. 微調節装置(33〜35)は、粗調節装置(30〜32)の弾性復元機構(44、47)に対抗して、前記第一および第二の部品を押し返すように適合されていることを特徴とする、請求項7〜11のいずれか一つに記載の装置。
  13. 微調節装置(33〜35)は、二つの全く異なる感度、すなわち中感度および微感度に従った支持体の第三の部分とマウントの対応する部分を離隔する距離のマイクロメータ測定手段を含んでいることを特徴とする、請求項5〜12のいずれか一つに記載の装置。
  14. 中感度と微感度は前記中精度および微精度に対応することを特徴とする、請求項5および13に記載の装置。
  15. 微調節装置(33〜35)は、マウント(4、5、6)により担持された本体(53)および第三の方向に沿って可動なロッド(54)を含んでおり、該ロッドの自由端部は、支持体(2)の第三の部分(36〜38)の担持面(55)に支承されることによって接触するものであることを特徴とする、請求項5〜14のいずれか一つに記載の装置。
  16. 微調節装置(33〜35)は差動マイクロメータヘッドで構成されていることを特徴とする、請求項5〜15のいずれか一つに記載の装置。
  17. 各々のロックネジ(56、57、79〜82)が少なくともほぼ前記第三の方向に沿って延びていることを特徴とする、請求項1〜16のいずれか一つに記載の装置。
  18. リンク手段は各々のロックネジ(56、57、79〜82)に接触する二対の(67〜70)球形担持座金を含んでおり、該座金対は、逆方向に向けられた担持面(60、61、71、72)に支承されるものであり、それは支持体(2)とマウント(4、5、6)の相対的に異なる方向づけでのロックネジ(56、57、79〜82)の締着を可能にするようになされることを特徴とする、請求項1〜17のいずれか一つに記載の装置。
  19. リンク手段が各ロックネジ(56、57、79〜82)に玉継手リンクを含んでいることを特徴とする、請求項1〜17のいずれか一つに記載の装置。
  20. 各々のロックネジ(56、57、79〜82)において、支持体(2)がロックネジの一端部のための収容用タップ(58、59)を含み、そしてマウント(4、5、6)がロックネジの頭(65、66)の支承担持面(60、61)ならびにロックネジが通過する中ぐり(63、64)を含んでいることと、中ぐり(63、64)の内径がロックネジの外径よりも大きいことを特徴とするものであり、該内径は、支持体(2)が第一および第二の方向に沿って調節されたフレーム(1)に対してとりうるあらゆる位置においてタップ(58、59)の中にロックネジを締着するのに充分な値だけの大きさであることを特徴とする、請求項1〜19のいずれか一つに記載の装置。
  21. リンク手段は、ロックネジ(56、57、79〜82)の頭(65、66)とマウント(4、5、6)の支承担持面(60、61)の間に介在する、一対の接触球形担持座金(67、68)と、マウント(4、5、6)と支持体(2)の間でロックネジの周囲に設置された一対の接触球形担持座金(69、70)を有していることを特徴とする、請求項1〜20のいずれか一つに記載の装置。
  22. 一対の接触球形担持座金(69、70)が、支持体(2)の方に向けられたマウント(4、5、6)の担持面(71、72)と接触することになることを特徴とする、請求項21に記載の装置。
  23. シム(73、74)は、マウントの担持面(71、72)と接触することになる一対の接触球形担持座金(69、70)と、支持体(2)の第三の部分(36〜38)の担持面(75、76)の間に介在している座金であることを特徴とする、請求項22に記載の装置。
  24. 第一の調節手段(9〜12)および第二の調節手段(20〜22)は、マウント(4、5、6)または支持体(2)により担持されたマイクロメータヘッドを有しており、このマイクロメータヘッドは、それぞれ支持体(2)またはマウント(4、5、6)の対応する担持面(19、26)と接触する自由端部をもつロッド(18)を有することを特徴とする、請求項1〜23のいずれか一つに記載の装置。
  25. 三つのマウント(4、5、6)は、前記第三の方向に対して少なくともほぼ直角な同一の平面に沿って全体的に広がっており、第一および第二の方向に沿った調節手段は、マウント(4、5、6)に対する光学素子(3)の心出し手段であることを特徴とする、請求項項1〜24のいずれか一つに記載の装置。
  26. 調節手段(9〜12、20〜22、30〜35)は、調節位置でのロック後にフレーム(1)および/または支持体(2)から取外し可能かつ切離し可能なように適合された部品を有していることを特徴とする、請求項1〜25のいずれか一つに記載の装置。
  27. 第三のマイクロメータ調節手段(30〜35)の粗調節装置(30〜32)のネジ/ナットシステム(40、48)と弾性復元機構(44、47)、およびマイクロメータヘッド(9〜12、20〜22、33〜35)は、調節位置でのロック後に取外し可能な形で取付けられていることを特徴とする、請求項7、24および26に記載の装置。
  28. ロック手段(56〜76、79〜82)は、調節を修正することなくあらゆる方向で15g〜60gの間に含まれる最大加速に耐えることができるような形でサイズ決定されていることを特徴とする、請求項1〜27のいずれか一つに記載の装置。
  29. 宇宙空間から地球を観測する三枚鏡(trois miroirs)を有する望遠鏡の非球面鏡(3)のマイクロメータ位置決めのための、請求項1〜28のいずれか一つに記載の装置の応用。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10042802C2 (de) * 2000-08-20 2002-08-01 Berliner Elektronenspeicher Vorrichtung zur mehrachsig feinjustierbaren Lagerung eines Bauteils
FR2822525B1 (fr) 2001-03-21 2003-08-29 Sagem Dispositif de fixation et de reglage d'un organe a supporter
US20070052301A1 (en) * 2003-09-12 2007-03-08 Michael Muehlbeyer Apparatus for manipulation of an optical element
FR2904433B1 (fr) * 2006-07-25 2008-11-28 Alcatel Sa Dispositif de fixation d'un miroir vitroceramique ou ceramique sur une structure embarquee a bord d'un engin spatial fonctionnant a temperature cryogenique
FR2933782B1 (fr) * 2008-07-11 2010-08-13 Thales Sa Dispositif de correction des defauts optiques d'un miroir de telescope
WO2011072239A2 (en) * 2009-12-11 2011-06-16 Newport Corporation Ultra-stable optical mount and method of use
JP2015079221A (ja) * 2013-10-18 2015-04-23 三菱電機株式会社 光学素子支持装置及び光学素子支持装置の調整方法
DE102015101387B3 (de) * 2015-01-30 2015-12-17 Jenoptik Optical Systems Gmbh Optische Fassung mit wenigstens einer Klemmeinheit mit einer Membranfeder
CN110434815B (zh) * 2019-09-03 2024-09-24 苏州日和科技有限公司 一种手动多维精定位装置
CN111505791B (zh) * 2020-06-04 2023-08-15 江苏北方湖光光电有限公司 一种六自由度次镜调校装置
CN114527579B (zh) * 2022-03-16 2024-02-02 苏州凌云光工业智能技术有限公司 一种光机装调装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3989358A (en) * 1974-11-21 1976-11-02 Kms Fusion, Inc. Adjustable micrometer stage
NL7811599A (nl) * 1978-11-27 1980-05-29 Oce Nederland Bv Polygoonspiegel.
US4226507A (en) * 1979-07-09 1980-10-07 The Perkin-Elmer Corporation Three actuator deformable specimen
JPS5933412A (ja) * 1982-08-19 1984-02-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd ミラ−角度調整装置
FR2534663A1 (fr) * 1982-10-15 1984-04-20 Matra Structure de fixation d'une piece a un support
US4540251A (en) * 1983-12-01 1985-09-10 International Business Machines Corporation Thermo-mechanical overlay signature tuning for Perkin-Elmer mask aligner
US4763991A (en) * 1987-08-10 1988-08-16 Litton Systems, Inc. Adjustable six degree of freedom mount for optical components
FR2649540B1 (fr) * 1989-07-06 1991-10-18 Europ Agence Spatiale Mecanisme de reglage fin de l'orientation et/ou de la position d'une charge utile
FR2724236B1 (fr) * 1994-09-07 1996-12-06 Aerospatiale Mecanisme de montage isostatique d'un element fragile tel qu'un miroir, utilisable notamment sur un engin spatial

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