JPS5933412A - ミラ−角度調整装置 - Google Patents
ミラ−角度調整装置Info
- Publication number
- JPS5933412A JPS5933412A JP14425682A JP14425682A JPS5933412A JP S5933412 A JPS5933412 A JP S5933412A JP 14425682 A JP14425682 A JP 14425682A JP 14425682 A JP14425682 A JP 14425682A JP S5933412 A JPS5933412 A JP S5933412A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- plate
- angle adjustment
- bolt
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 210000003800 pharynx Anatomy 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1824—Manual alignment
- G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明はレーザざ（）撮器等のミラー角度調整装置に
関するものである。
関するものである。
従来例の構成とその問題点
レーザ発振器において、全反射鏡および半透過鏡の各ミ
ラー角度がレーザ出力に及ぼす影響は、第１図に示すよ
うに大なるものがあり、ミラー角度調整は精密さを要求
される。
ラー角度がレーザ出力に及ぼす影響は、第１図に示すよ
うに大なるものがあり、ミラー角度調整は精密さを要求
される。
従来のミラー角度調整機構は、第２図ｔａ＋および（ｂ
ｌに示すように、レーザ発振器（図承せず）の両端部に
位置する基準板１に全反射鏡および半透過鏡であるミラ
ー２を固定した角度調整板３をそれぞれ対向しかつ離隔
して配置するとともに、この角度調整板３の一端に固定
部４を、また他端にマイクロメータヘッド５．６を取付
け、さらに引っばりばね７で基準板１方向に付勢するこ
とにより、前記マイクロメータヘッド５．６を回転させ
、前記固定部４を支点として角度調整板３を基準板１に
対して変位させ、これによってミツ−２の角度をに１整
していた。
ｌに示すように、レーザ発振器（図承せず）の両端部に
位置する基準板１に全反射鏡および半透過鏡であるミラ
ー２を固定した角度調整板３をそれぞれ対向しかつ離隔
して配置するとともに、この角度調整板３の一端に固定
部４を、また他端にマイクロメータヘッド５．６を取付
け、さらに引っばりばね７で基準板１方向に付勢するこ
とにより、前記マイクロメータヘッド５．６を回転させ
、前記固定部４を支点として角度調整板３を基準板１に
対して変位させ、これによってミツ−２の角度をに１整
していた。
ところが、ミラー角度の調整はマイクロメータヘッド５
．６のピッチに依存しているために、ミラー角度の微調
整が困難であり、たとえば第１図においてマイクロメー
タヘッド５．６の１ピツチの送りによシ出力がａからＣ
に変化してしまい、ｂに合わせるのが困難であった。
．６のピッチに依存しているために、ミラー角度の微調
整が困難であり、たとえば第１図においてマイクロメー
タヘッド５．６の１ピツチの送りによシ出力がａからＣ
に変化してしまい、ｂに合わせるのが困難であった。
発明の目的
この発明の目的は、ミラー角度の微調整を容易に行なう
ことができるミラー角度調整装置を提供することである
。
ことができるミラー角度調整装置を提供することである
。
発明の構成
この発明のミラー角度調整装置は、ミラーを保持した角
度調整板に貫通孔を穿設し、この貫通孔に基準板より立
上ったボルトを挿通するとともに、このボルトに前記角
度調整板を挾んで２つのばね部材を外装し角度調整板を
両面から押圧保持し、さらにこれらのばね部材のボルト
の長さ方向に沿った伸縮を規制するためのナツトを前記
ボルトに螺合したものである。
度調整板に貫通孔を穿設し、この貫通孔に基準板より立
上ったボルトを挿通するとともに、このボルトに前記角
度調整板を挾んで２つのばね部材を外装し角度調整板を
両面から押圧保持し、さらにこれらのばね部材のボルト
の長さ方向に沿った伸縮を規制するためのナツトを前記
ボルトに螺合したものである。
ここで、前記２つのばね部材は必らずしも同じものを使
用する必要はなく、一定の抑圧下において異なる圧縮度
合を承すものであって、たとえば互いに異なるばね長を
有するか、あるいは互すに異なるばね定数を有するばね
を使用してもよい。
用する必要はなく、一定の抑圧下において異なる圧縮度
合を承すものであって、たとえば互いに異なるばね長を
有するか、あるいは互すに異なるばね定数を有するばね
を使用してもよい。
このように構成したため、ナツトを回転すると、２つの
ばね部材はそれらの間に押圧保持した角度調整板をわず
かに変位させることができ、それによってミラー角度の
微調整を行なうことができるのである。
ばね部材はそれらの間に押圧保持した角度調整板をわず
かに変位させることができ、それによってミラー角度の
微調整を行なうことができるのである。
実施例の説明
この発明の一実施例を第３図および第４図に基づいて説
明する。なお、第３図および第４図、さらに第５図にお
いて、第２図ｆａｔおよび（ｂ）に示したのと同じ構成
部分のものは同符号を付し、説明を省略する。すなわち
、このミラー角度調整装置は、第３図および第４図に示
すように、基準板１よりボルト８を立上らせ、このボル
ト８を角度調整板３に穿設したそれよりも内径が大きい
貫通孔９に挿通するとともに、角度調整板３を介して互
いにばね長の異なる皿ばね１０．１１をボルト８に外装
し、さらにこれらの皿ばね１０．１１の両端をナラ）１
２．１３によって保持したものである。
明する。なお、第３図および第４図、さらに第５図にお
いて、第２図ｆａｔおよび（ｂ）に示したのと同じ構成
部分のものは同符号を付し、説明を省略する。すなわち
、このミラー角度調整装置は、第３図および第４図に示
すように、基準板１よりボルト８を立上らせ、このボル
ト８を角度調整板３に穿設したそれよりも内径が大きい
貫通孔９に挿通するとともに、角度調整板３を介して互
いにばね長の異なる皿ばね１０．１１をボルト８に外装
し、さらにこれらの皿ばね１０．１１の両端をナラ）１
２．１３によって保持したものである。
このようにしたため、ナツト１２を角度調整板３の方向
へ１回転させると、ボルト８のピッチ分だけナツト１２
は移動し、ピッチが０．５ ｔｒｒｒｎのときは０，５
問だけ動く。このとき、ナツト１２側の皿ばね１０は６
板でナツト１．１１１の皿ばね１１は４板（同じ皿ばね
）であるから、それらの非圧縮状縣でのばね長に応じて
皿ばね１０．１１が圧縮される。すなわち、両側の皿ば
ね１０゜１１の長さの比は３：２であるから３：２の割
合で皿ばね１０゜１１が圧縮され、これによって角度調
整板３は、基準板１方向へ０．２咽だけわずかに移動す
る。つまり１ （Ｆｌの送りにより第１図に示すａから
ｂへ出力を変化させることが容易となるのである。
へ１回転させると、ボルト８のピッチ分だけナツト１２
は移動し、ピッチが０．５ ｔｒｒｒｎのときは０，５
問だけ動く。このとき、ナツト１２側の皿ばね１０は６
板でナツト１．１１１の皿ばね１１は４板（同じ皿ばね
）であるから、それらの非圧縮状縣でのばね長に応じて
皿ばね１０．１１が圧縮される。すなわち、両側の皿ば
ね１０゜１１の長さの比は３：２であるから３：２の割
合で皿ばね１０゜１１が圧縮され、これによって角度調
整板３は、基準板１方向へ０．２咽だけわずかに移動す
る。つまり１ （Ｆｌの送りにより第１図に示すａから
ｂへ出力を変化させることが容易となるのである。
この発明の他の実施例を第５図に基づいて説明する。す
なわち、このミラー角度調整装置は、前述の実施例にお
けるばね長の異なる皿ばね１０゜１１に代えてばね定数
の異なるコイルばね１０′。
なわち、このミラー角度調整装置は、前述の実施例にお
けるばね長の異なる皿ばね１０゜１１に代えてばね定数
の異なるコイルばね１０′。
１１′を用いたものである。
２つのコイルげね１０’、１１’を自然長が同じでかつ
それらのばね定数をそれぞれ２．ＯＫ９／ｃｍおよび１
．０Ｋｇ／ｃｍとすると、ナツト１２を角度ＭＩＡＩ整
板３の方向へ１回転させると、角度調整板３はボルト８
のピッチ０．５門に列して式：０．５ Ｘ １．（”／
（２，０＋ １．０ ）により約０．１７ｗｍだけ移動
することになる。その他は前述の実施例と同様である。
それらのばね定数をそれぞれ２．ＯＫ９／ｃｍおよび１
．０Ｋｇ／ｃｍとすると、ナツト１２を角度ＭＩＡＩ整
板３の方向へ１回転させると、角度調整板３はボルト８
のピッチ０．５門に列して式：０．５ Ｘ １．（”／
（２，０＋ １．０ ）により約０．１７ｗｍだけ移動
することになる。その他は前述の実施例と同様である。
したがって、これらの実施例に基づいて任意のばねを用
いて任意の差動ピッチを得ることができ、ミラー角度の
微調整を簡単にかつ安価に行なうことができるのである
。
いて任意の差動ピッチを得ることができ、ミラー角度の
微調整を簡単にかつ安価に行なうことができるのである
。
発明の効果
この発明のミラー角度調整装置は、ミラー角１■の微調
整を容易に行なうことができるという効果がある。
整を容易に行なうことができるという効果がある。
第１図はレーザ発振器におけるミラー角度の変化と出力
との関係を示す説明図、第２図（ａｌおよび（１）］は
それぞれ従来のミラー角度調整機構を示す止面図および
そのト」線断面図、第３図はこの発明の一実施例を丞す
断面図、第４図はその要部拡大断面図、第５ ｖ＜＋は
この発明の缶りの実施例を示す要部拡大断面図である。 １・・・基準板、２・・・ミラー、３・・・角度Ｕ１・
１整板、８・・・ボルト、９・・・貫通孔、ｉｏ、ｉｌ
・・・皿ばね（ばね部材）、 Ｉ Ｏ’、 １１’・・
・コイルばね（ばね部トオ）、１２・・・ナツト ミ カーβ１乃ｉｔ イＶ」 第１図 ｎ（ａ） （ｂ） 第２図 ＼ １． １２′ 第４図 第５図
との関係を示す説明図、第２図（ａｌおよび（１）］は
それぞれ従来のミラー角度調整機構を示す止面図および
そのト」線断面図、第３図はこの発明の一実施例を丞す
断面図、第４図はその要部拡大断面図、第５ ｖ＜＋は
この発明の缶りの実施例を示す要部拡大断面図である。 １・・・基準板、２・・・ミラー、３・・・角度Ｕ１・
１整板、８・・・ボルト、９・・・貫通孔、ｉｏ、ｉｌ
・・・皿ばね（ばね部材）、 Ｉ Ｏ’、 １１’・・
・コイルばね（ばね部トオ）、１２・・・ナツト ミ カーβ１乃ｉｔ イＶ」 第１図 ｎ（ａ） （ｂ） 第２図 ＼ １． １２′ 第４図 第５図
Claims (3)
- （１）基準板と、この基準板に対向しかつ離隔して配置
された角度調整板と、この角度調整板に保持されたミラ
ーと、前記基準板より立上シ前記角度調整板に貸設した
貫通孔を挿通するボルトと、このボルトに前記角度調整
板を挾んで外装され角度調整板を両面から押圧保持する
２つの−ばね部材と、前記ボルトに螺合さればね部材の
ボルトの長さ方向に沿った伸縮を規制し前記角度調整板
の基準板に対する変位を調整するためのナツトとを備え
たミラー角度調整装置。 - （２） 前記２つのばね部材が互いに異なるばねを有
する特許請求の範囲第（１）項記載のミラー角度調整装
置。 - （３） 前記２つのばね部材が互いに異なるばね定数
を有する特許請求の範囲第（１）項ｉｒ＋３戦のミラー
角度調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14425682A JPS5933412A (ja) | 1982-08-19 | 1982-08-19 | ミラ−角度調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14425682A JPS5933412A (ja) | 1982-08-19 | 1982-08-19 | ミラ−角度調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5933412A true JPS5933412A (ja) | 1984-02-23 |
Family
ID=15357863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14425682A Pending JPS5933412A (ja) | 1982-08-19 | 1982-08-19 | ミラ−角度調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5933412A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61203261A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-09 | Tipton Mfg Corp | 被加工物供給容器付振動バレル加工機 |
| FR2761486A1 (fr) * | 1997-03-28 | 1998-10-02 | Centre Nat Etd Spatiales | Dispositif de positionnement micrometrique d'un support d'element optique spatial selon six degres de liberte |
-
1982
- 1982-08-19 JP JP14425682A patent/JPS5933412A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61203261A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-09 | Tipton Mfg Corp | 被加工物供給容器付振動バレル加工機 |
| FR2761486A1 (fr) * | 1997-03-28 | 1998-10-02 | Centre Nat Etd Spatiales | Dispositif de positionnement micrometrique d'un support d'element optique spatial selon six degres de liberte |
| WO1998044373A1 (fr) * | 1997-03-28 | 1998-10-08 | Centre National D'etudes Spatiales (Cnes) | Dispositif de positionnement micrometrique d'un support d'element optique spatial selon six degres de liberte |
| US6267348B1 (en) | 1997-03-28 | 2001-07-31 | Centre National D'etudes Spatiales (C.N.E.S.) | Device for micrometric positioning of a space optical support element along six degrees of freedom |
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