DE69712597D1 - Scheibe mit opto-elektronischen Schaltkreisen und Testschaltkreisen, und Verfahren zum Testen der Scheibe - Google Patents

Scheibe mit opto-elektronischen Schaltkreisen und Testschaltkreisen, und Verfahren zum Testen der Scheibe

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Andre Grandjean
Pascal Kunz
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
    • H01L22/34—Circuits for electrically characterising or monitoring manufacturing processes, e. g. whole test die, wafers filled with test structures, on-board-devices incorporated on each die, process control monitors or pad structures thereof, devices in scribe line

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