DE69707801D1 - Verfahren und Apparat zur Bestimmung der Dicke eines Mehrschichtfilms unter Anwendung einer teilreflektierenden Walze und der Niedrigkohärenzreflektometrie - Google Patents

Verfahren und Apparat zur Bestimmung der Dicke eines Mehrschichtfilms unter Anwendung einer teilreflektierenden Walze und der Niedrigkohärenzreflektometrie

Info

Publication number
DE69707801D1
DE69707801D1 DE69707801T DE69707801T DE69707801D1 DE 69707801 D1 DE69707801 D1 DE 69707801D1 DE 69707801 T DE69707801 T DE 69707801T DE 69707801 T DE69707801 T DE 69707801T DE 69707801 D1 DE69707801 D1 DE 69707801D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
determining
thickness
low
multilayer film
partially reflective
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69707801T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69707801T2 (de
Inventor
Brian L Heffner
Shalini Venkatesh
Wayne V Sorin
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Agilent Technologies Inc
Original Assignee
Agilent Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agilent Technologies Inc filed Critical Agilent Technologies Inc
Publication of DE69707801D1 publication Critical patent/DE69707801D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69707801T2 publication Critical patent/DE69707801T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0675—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating using interferometry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE69707801T 1996-09-17 1997-08-21 Verfahren und Apparat zur Bestimmung der Dicke eines Mehrschichtfilms unter Anwendung einer teilreflektierenden Walze und der Niedrigkohärenzreflektometrie Expired - Fee Related DE69707801T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/718,077 US5731876A (en) 1996-09-17 1996-09-17 Method and apparatus for on-line determination of the thickness of a multilayer film using a partially reflecting roller and low coherence reflectometry

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69707801D1 true DE69707801D1 (de) 2001-12-06
DE69707801T2 DE69707801T2 (de) 2002-06-20

Family

ID=24884738

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69707801T Expired - Fee Related DE69707801T2 (de) 1996-09-17 1997-08-21 Verfahren und Apparat zur Bestimmung der Dicke eines Mehrschichtfilms unter Anwendung einer teilreflektierenden Walze und der Niedrigkohärenzreflektometrie

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5731876A (de)
EP (1) EP0829700B1 (de)
DE (1) DE69707801T2 (de)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5850287A (en) * 1997-07-11 1998-12-15 Hewlett-Packard Company Roller assembly having pre-aligned for on-line thickness measurements
US6038027A (en) * 1998-10-29 2000-03-14 Eastman Kodak Company Method for measuring material thickness profiles
US6067161A (en) * 1998-10-29 2000-05-23 Eastman Kodak Company Apparatus for measuring material thickness profiles
US6034772A (en) * 1998-10-29 2000-03-07 Eastman Kodak Company Method for processing interferometric measurement data
DE10057540A1 (de) † 2000-11-20 2002-06-06 Bosch Gmbh Robert Interferometrische Messvorrichtung
US6570659B2 (en) * 2001-03-16 2003-05-27 Lightlab Imaging, Llc Broadband light source system and method and light source combiner
US6806969B2 (en) * 2001-10-19 2004-10-19 Agilent Technologies, Inc. Optical measurement for measuring a small space through a transparent surface
US7271916B2 (en) * 2002-11-14 2007-09-18 Fitel Usa Corp Characterization of optical fiber using Fourier domain optical coherence tomography
US7474407B2 (en) * 2003-02-20 2009-01-06 Applied Science Innovations Optical coherence tomography with 3d coherence scanning
US8691323B2 (en) * 2006-03-06 2014-04-08 Nalco Company Method and apparatus for monitoring and controlling the application of performance enhancing materials to creping cylinders
JP2011210853A (ja) * 2010-03-29 2011-10-20 Tokyo Electron Ltd 消耗量測定方法
US10914037B2 (en) 2012-10-09 2021-02-09 Michael Gorden Yankee dryer profiler and control
EP3816573B1 (de) * 2019-11-04 2023-07-26 Hch. Kündig & Cie. AG Vorrichtung und verfahren zur analyse einer mehrschichtfolie
CN111571885A (zh) * 2020-04-22 2020-08-25 江苏康普印刷科技有限公司 一种油墨转移介质的硫化设备及其硫化方法和用途
JP2023012630A (ja) * 2021-07-14 2023-01-26 住友電気工業株式会社 光ファイバ、および光ファイバの製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3982816A (en) * 1974-06-21 1976-09-28 Western Electric Company, Inc. Method for measuring the parameters of optical fibers
DE3113674A1 (de) * 1981-04-04 1982-10-14 Grapho-Metronic Meß- und Regeltechnik GmbH & Co, KG, 8000 München Vorrichtung zum messen der feuchtmittelmenge auf der druckplatte einer offset-druckmaschine
US5341205A (en) * 1991-01-15 1994-08-23 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method for characterization of optical waveguide devices using partial coherence interferometry
US5473432A (en) * 1994-09-12 1995-12-05 Hewlett-Packard Company Apparatus for measuring the thickness of a moving film utilizing an adjustable numerical aperture lens

Also Published As

Publication number Publication date
EP0829700A3 (de) 1998-06-17
EP0829700B1 (de) 2001-10-31
DE69707801T2 (de) 2002-06-20
EP0829700A2 (de) 1998-03-18
US5731876A (en) 1998-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69707801D1 (de) Verfahren und Apparat zur Bestimmung der Dicke eines Mehrschichtfilms unter Anwendung einer teilreflektierenden Walze und der Niedrigkohärenzreflektometrie
DE69316275D1 (de) Apparat und Verfahren zur Durchführung von Dickenmessungen einer Dünnfilmschicht mit Verformungen und örtlichen Neigungsveränderungen
DE69533688D1 (de) Verfahren und Fernsprechapparat zur Feststellung der zugeteilten Merkmale eines Fernsprechteilnehmers
DE69524298D1 (de) Apparat und Verfahren zum Messen einer Verschiebung
DE69714915T2 (de) Verfahren zur Messung der Dicke und Brechungsindices der Schichtbauteile einer laminierten Struktur und Messgerät zu dessen Durchführung
DE60040706D1 (de) Verfahren und Apparat zur Blattdicken- und Schwellungsmessung
DE69716516D1 (de) Verfahren zur Regelung der Schichtdicke eines Farbfilms für eine Farbzuführeinrichtung
DE69738335D1 (de) Verfahren zur Detektion einer Oberflächenlage und Abtastbelichtungsverfahren unter Verwendung derselbe
FI100409B (fi) Menetelmä ja laitteisto ohutkalvojen valmistamiseksi
FI945612A (fi) Menetelmä ja laite ohutkalvojen valmistamiseksi
DE69837033D1 (de) Gerät und Verfahren zur Messung der Tiefe einer vertieften Grenzschicht
DE69621739T2 (de) Verfahren, vorrichtung und system zur bestimmung der änderungen eines prüfkörpers
DE69622526T2 (de) Walzlager und verfahren zum aufbau eines schmierfilms
DE69409815T2 (de) Optisches Zeitbereichreflektometer und Verfahren zur optischen Zeitbereichreflektometrie
DE59700829D1 (de) Verfahren und messeinrichtung zur bestimmung der lage eines objekts
DE69533916D1 (de) Masken mit Mehrschichtfilmen niedriger Spannung und Verfahren zur Kontrolle von Spannungen in Mehrschichtfilmen
DE59702062D1 (de) Beschichtungsvorrichtung und verfahren zur beschichtung eines bauteils mit einer wärmedämmschicht
EE9900209A (et) Dielektrokineetilist efekti kasutav seade ja meetod objekti asukoha määramiseks
DE69703081D1 (de) Flüssigkristallanzeigevorrichtung, kompensatorschicht und verfahren zur herstellung eines verzögerungsfilmes
DE69720817D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Rollneigung einer Bahn, Verfahren und Vorrichtung zum Ausgleichen der Rollneigung einer Bahn, und Bahntrennvorrichtung
DE69120210D1 (de) Verfahren und Gerät zum Feststellen der Tonerrestmenge in einer Bilderzeugungsvorrichtung
ATE215287T1 (de) Verfahren und apparat zur bestimmung der kennwerte von komponenten eines kommunikationskanals unter last
HK1001025A1 (en) Method and apparatus for measuring thickness of birefringence layer
NO983549D0 (no) Fremgangsmåte og apparat til måling av tykkelse av flerlagstrukturer
DE69619163D1 (de) Verfahren und Apparat zur Charakterisierung eines Systems von mehrschichtigem Dünnfilm und zum Messen der Entfernung zwischen zwei Oberflächen in Anwesenheit von Dünnfilmen

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: AGILENT TECHNOLOGIES, INC. (N.D.GES.D. STAATES, US

8339 Ceased/non-payment of the annual fee