DE69630176T2 - Herstellungsverfahren für eine Düsenplatte - Google Patents

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Description

  • Diese Erfindung bezieht sich allgemein auf Flüssigtintendruckköpfe und im Besonderen auf ein Verfahren zur Herstellung einer Düsenplatte für thermische Tintenstrahldruckköpfe durch Elektroabscheiden und thermische Kunststoffpresstechnik.
  • Ein typischer Tintenstrahl-Druckkopf zur Verwendung in einem Tintenstrahldrucker schließt eine Tintenflusssteuerungskomponente oder Düsenplatte ein, wie etwa ein geätztes Siliziumsubstrat, welches eine lineare Anordnung von einseitig offenen Kanälen aufweist, die in Verbindung mit einem gemeinsamen Tintenvorrat und einer Logik und einer thermischen Wandlerkomponente stehen, ebenso bekannt als eine Erhitzerplatte, welche beispielsweise einschließt eine lineare Anordnung von individuellen Heizelementen, im Allgemeinen Widerständen, monolithisch integrierten Logiktreibern und Steuerschaltung. Die Düsenplatte ist ausgerichtet mit und angepasst an die Heizplatte, wobei ein Widerstand mit jedem Kanal ausgerichtet ist und von dem offenen Ende des Kanals mit einem vorbestimmten Abstand angeordnet ist. Die offenen Kanalenden dienen als Tropfenejektoren, Auswurtkanäle oder Düsen. Leistungs-MOS-Treiber, welche nahe bei und auf demselben Substrat integriert sind, wie die Anordnung der Widerstände, werden durch eine ebenso auf demselben Substrat integrierte Steuerschaltung betrieben, welche wahlweise die Treiber aktiviert, welche Strompulse auf die Widerstände anwenden.
  • Ein bekanntes Verfahren zur Herstellung von thermischen Tintenstrahldruckköpfen besteht darin, eine Vielzahl von Tintenflusssteuerungskomponenten und eine Vielzahl von Logik, Treiber, und Termalwandlerkomponenten auf jeweiligen Siliziumplatten auszubilden und darauffolgend die Platten zueinander auszurichten und zu kleben, gefolgt von einem Prozess zur Trennung der Platten in eine Vielzahl von individuellen Druckköpfen, wie etwa durch Zertrennen. Die individuellen Druckköpfe werden in einem gemeinsamen Entwurf von Drucker verwendet, in welchem der Druckkopf periodisch über ein Blatt Papier bewegt wird, um ein Druckbild auszubilden, ähnlich wie bei einer Schreibmaschine. Einzelne Druckköpfe können auch Seite an Seite zusammengefügt werden, auf einem Stützsubstrat angeordnet, ausgerichtet und dauerhaft in der Lage fixiert werden, um einen großen, feldartigen thermischen Tintenstrahldruckkopf oder einen feldartigen Druckkopf für Seitenbreite auszubilden.
  • Obwohl Düsenplatten aus Siliziumplatten eine gute Druckdichte und genaues Drucken von Bildern bereitstellen, ist Silizium ein teueres Material und muss geätzt werden, um tintentragende Merkmale, wie etwa Kanäle und Tintenbehälter, zu schaffen. Der Ätzprozess ist ein ziemlich langwieriger Prozess und ist ziemlich teuer, wenn in Betracht gezogen wird, dass die Kanalplatte keine aktiven Komponenten aufweist, sondern nur eine physische Struktur bereitstellt, um Tinte an dem Heizer vorbei zu bewegen, zum Ausstoßen aus den Kanälen. Weiterhin ist das Ätzen von Siliziumplatten ein komplizierter Prozess, welcher einschließt, sich auf die Einbeziehung von Chemikalien zu verlassen, um die tintentragenden Merkmale auszubilden. Demzufolge sind, obwohl Siliziumdüsenplatten die Anforderung der Auslegung erfüllen, preiswertere und zuverlässig reproduzierbare Düsenplatten wünschenswert.
  • JP-A-62,244,653 offenbart einen Druckkopf für Tintenstrahldrucker und dessen Herstellung. Dieser Druckkopf verwendet eine Düsenplatte, welche Düsenöffnungen und eine Vielzahl von Trennwänden aufweist, welche die Düsenöffnungen trennen. Als Basismaterial für die Düsenplatte wird eine mit dünne Metallplatte verwendet. Die Trennwände werden ausgebildet durch Stanzen der dünnen Metallplatte, und die Öffnungen werden durch Bohren der dünnen Metallplatte in den Düsen zwischen den Trennwänden ausgebildet.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung einer Düsenplatte für einen Tintenstrahldrucker bereitgestellt. Das Verfahren zur Herstellung schließt die Schritte des Pressens eines pressbaren Materials ein, um eine gepresste Düsenplatte bereitzustellen und Entfernen eines Abschnitts der gepressten Düsenplatte, um tintentragende Merkmale derselben zu freizulegen.
  • Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend in der Art eines Beispiels beschrieben mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen, in welchen:
  • 1 eine schematische Schrägansicht eines herkömmlichen Tintenstrahldruckkopfelements zur Verwendung in einem Tintenstrahldrucker ist.
  • 2 eine schematische, ausschnittsweise perspektivische Ansicht eines einzigen Kanalelementes zur Verwendung in einem Druckkopf ist.
  • 3 eine schematische Querschnittsansicht eines Kanalelements entlang der Linie 3-3 der 2 ist, wobei das Elektroanscheiden einer ersten Form gezeigt ist.
  • 4 eine schematische Seitenansicht einer im Wesentlichen planaren zweiten Form ist, welcher durch einen Elektroabscheidungsprozess auf einer Siliziumplatte ausgebildet ist.
  • 5 ein ebenes Thermoplast verdeutlicht, welches zwischen der ersten Form und der zweiten Form fertig zum Pressen angeordnet ist.
  • 6 eine schematische Darstellung der Struktur der Thermoplastplatte während des Pressens zwischen der ersten Form und der zweiten Form verdeutlicht.
  • 7 eine Vielzahl von thermoplastischen Düsenplattenelementen verdeutlicht, welche auf einer großen thermoplastischen Platte nach dem Pressen angeordnet sind und eine vergrößerte Explosionsansicht von einem der Düsenplattenelemente.
  • 8 eine schematische Seitenansicht eines Entfernungsprozesses zum Entfernen einer vorbestimmten Materialmenge von einer der Oberflächen der Düsenplatte verdeutlicht.
  • 9 eine schematische Querschnittsansicht eines Abschnitts eines Heißtintenstrahldruckkopfes verdeutlicht, wobei ein Kunststoffkanalelement zusammengepasst mit einem Heizelement verdeutlicht wird.
  • Im Falle eines Druckkopfelementes, welches ein Kanalelement aus Silizium aufweist, werden die tintentragenden Merkmale, etwa wie die Tintenkanäle und Tintenreservoire, typischerweise auf der Oberfläche einer Siliziumplatte mit orientierungsabhängigen Ätzen oder anisotropen Ätzen erzeugt. Ein derartiges bekanntes Heißtintenstrahldruck kopfelement ist in 1 verdeutlicht, in dem ein Tintenstrahldruckkopfelement 10 ein Kanalelement 12 einschließt, welches eine Vielzahl von Tintenejektoren oder Kanälen 16, die in Düsen 18 enden, aufweist, welche Seite an Seite entlang der Frontfläche 14 angeordnet sind. Das Kanalelement 12 schließt ebenso ein Tintenreservoir oder Tintenfüllloch 20 ein, welches ermöglicht, dass Tinte in die Kanäle 16 sich durch Kapillarwirkung füllt zur späteren Ablage auf ein Aufzeichnungsmedium, wie etwa ein Blatt Papier oder ein Transparent. Zusätzlich kann das Kanalelement 12 eine Anschlagante 22 aufweisen, welche die Vorderseite schneidet. In einer Seitenbreitenanordnung würde die Anschlagkante eine Anschlagkante eines benachbarten Druckkopfelements berühren.
  • Benachbart an und unterhalb dem Kanalelement 12 ist ein unteres elektrisches Substrat oder Heizerelement 24 angeordnet, welches eine zweite Vorderseite 26 aufweist, die eine Anschlagkante 28 schneidet. Das Heizelement 24 schließt eine Vielzahl von einzelnen Heizern (nicht gezeigt) ein, welche auf dem Siliziumsubstrat Seite an Seite derartig gemustert sind, dass jeder einzelne Heizer von der Lage her mit einem der Kanäle 26 in Beziehung steht, wenn das Heizerelement 24 mit dem Kanalelement 12 zusammengepasst wird. Das Heizerelement 24 schließt eine elektronische Schaltung zum Betrieb der einzelnen Heizer ein, welche beispielsweise aus Halbleitertreibern besteht, die durch eine logische Schaltung gesteuert werden. Die logische Schaltung ist ihrerseits mit einer Vielzahl von Elektrodenanschlüssen 32 verbunden, welche Signale von dem elektronischen Untersystem eines Tintenstrahldruckers empfangen. Eine Dickfilmisolationsschicht 32 ist auf der Oberseite der Schaltung des Heizerelements 24 aufgebracht. Die Dickfilmisolationsschicht 32 ist eine Passivierungsschicht, welche zwischen dem unteren und oberen Substrat eingebracht ist. Die Passivierungsschicht 32 stellt einen Schutz für die elektronische Schaltung gegenüber mobilen Ionen und jedwelchen verschlechternden Wirkungen der Tinten bereit.
  • Das Kanalelement 12 ist eines von vielen Kanalelementen, welche beispielsweise auf einer Siliziumplatte ausgebildet werden. Die tintentragenden Merkmale des Kanalelements 12, welches die Kanäle 16 und das Tintenreservoir 20 einschließt, können auf einer zweiseitigen (100) Siliziumplatte 39 ausgebildet werden, von dem ein Ausschnitt in 2 verdeutlicht ist. Nachdem die Siliziumplatte chemisch gereinigt wurde, wird eine Siliziumnitritschicht auf beiden Seiten derselben abgelagert. Daraufhin wird die Kanalplatte fotolithografisch mit einem Muster versehen, um eine Vielzahl von Kanalvertiefun gen 40 und ein oder mehrere Fülllöcher 42 auszubilden. Das einzelne Kanalelement der Siliziumplatte wird nachfolgend von angrenzenden Kanalelementen getrennt, um das Druckkopfelement 10, wie in 1 verdeutlicht, auszubilden.
  • Nachdem die Siliziumplatte geeignet geätzt wurde, wird jedes der individuellen Kanalelemente von einem angrenzenden Kanalelement entlang der Trennlinien 44 getrennt. Es ist ebenso möglich, einen Trennungsschnitt entlang der Linie 46 in dieser Phase des Prozesses zu machen, oder in einer späteren Phase des Prozesses, um dadurch die Kanäle zu öffnen, und tintenausstoßende Öffnungen oder Düsen des Kanalelements 12 auszubilden.
  • Obwohl das Ätzen einer Anzahl von Kanalelementen auf einer Siliziumplatte eine Großserienproduktion von Kanalelementen zur Schaffung von Druckkopfelementen liefert, schließt der Prozess zur Herstellung der Kanalplatten die Verwendung von Chemikalien und eines Zeitabschnitts für die Chemikalien ein, um die individuellen Kanäle und die Tintenreservoire ausreichend auszubilden. Dieser Prozess ist kein einfacher und es besteht die Möglichkeit von Fehlern, da der Ätzprozess übereinstimmend und genau auf die gesamte Siliziumplatte angewandt werden muss. Die vorliegende Erfindung jedoch ist darauf gerichtet, eine der geätzten Siliziumkanalplatten zu verwenden, um Kunststoffkanalelemente herzustellen, welche schneller hergestellt werden können als die individuell geätzten Siliziumplatten und welche auch mit erheblich reduzierten Kosten hergestellt werden können.
  • Um das Kunststoffkanalelement der vorliegenden Erfindung herzustellen, wird eine Meisterform verwendet, welche durch einen Elektroabscheidungsprozess ausgebildet ist, um eine Meisterform zu erzeugen. Die Meisterform wird nachfolgend in einem thermischen Kunststoffpressprozess verwendet, um eine Plastikkanalplatte herzustellen. Die Plastikkanalplatte ist, nach weiterer Bearbeitung ein direkter Ersatz für die geätzte Siliziumkanalplatte, welche derzeit verwendet wird. Durch das Elektroabscheiden einer Pressform und durch die Verwendung von thermischen Kunststoftpresstechniken wird die Herstellung einer Kanalplatte vereinfacht, wodurch Kosten reduziert werden aufgrund nicht nur der reduzierten Herstellzeit, sondern auch aufgrund der Tatsache, dass thermal formbare Kunststoffe ein erheblich billigeres Material sind, als Silizium.
  • Die Herstellung des Kunststoffkanalelements der vorliegenden Erfindung schließt die Verwendung der vorstehend beschriebenen gemusterten und mit Kanälen und Tintenreservoiren geätzten Siliziumplatten, wie in 2 verdeutlicht, ein. Sobald die geätzte Siliziumplatte geeignet ausgebildet wurde, wird die Oberfläche der Siliziumplatte, welche die tintentragenden Merkmale beinhaltet, mit einem Metall beschichtet oder besprüht, wie etwa Gold oder Silber, bis zu einer Dicke von 100 bis 300 Angström. Auf die beschichtete Siliziumplatte wird nachfolgend Nickel oder andere bekannte geeignete Metallen elektroabgeschieden.
  • Ein Abschnitt 50 der Siliziumplatte 39, welche den Kanal 40 und das Tintenreservoir 42 trägt, ist in 3 verdeutlicht, und zwar entlang einer Linie 3-3 der 2. Das Elektroabscheiden auf das Siliziumsubstrats 50, um eine elektroabgeschiedene Schicht 52 auszubilden, kann durch jedes bekannte Verfahren ausgeführt werden. Jedes passende Metall, welches durch Elektroabscheidung aufgebracht werden kann, kann in dem Prozess der Erfindung verwendet werden. Obwohl Nickel bevorzugt ist, schließen andere Metalle, welche elektroabgeschieden werden können, Kupfer, Kobalt, Eisen, Silber, Gold, Blei, Zink, Aluminium, Zinn, Rubidium, Uran, Pladium und Ähnliche ein, und Legierungen derselben, wie etwa Messing und Bronze. Wenn derartige Metalle angewandt werden, kann die Trennung der Siliziumplatte von der Form durch Erhitzen der Form oder Kühlen der Siliziumplatte erreicht werden. Das Elektroabscheiden unter Bedingungen, welche Zugspannung an der elektroabgeschiedenen Form erzeugen, können ebenso die Trennung unterstützen. Vor dem Elektroabscheiden kann die Siliziumplatte 50 jedoch mit einer Trennsubstanz derart behandelt werden, dass sobald die elektroabgeschiedene Schicht oder Form 52 ausgebildet worden ist, die elektroabgeschiedene Schicht 52 ebenso leicht von der Siliziumplatte 50 entfernt werden kann. Wenn eine elektroabgeschiedene Form aus Nickel hergestellt ist, sollte deren Dicke ungefähr von 250 bis 375 um (10 bis 15 mils) betragen und ist vorzugsweise ungefähr 300 um (12 mils).
  • Zusätzlich zu der Ausbildung der elektroabgeschiedenen Form 52 aus Nickel wird eine zweite Form 54 (siehe 4) auf einer nicht gemusterten Siliziumplatte 56 ausgebildet unter Verwendung des vorstehend beschriebenen Verfahrens. Die dadurch ausgebildete zweite Form 54 schließt mindestens eine im Wesentlichen ebene oder flache Fläche 58 ein. Andere Verfahren können ebenso verwendet werden, um die zweite Nickelform 54 auszubilden, wie etwa Maschinenbearbeitung zu einer im Wesentlichen ebenen Fläche auf einem blanken Metall. Jedes Verfahren, welches eine im Wesentlichen ebene Oberfläche bereitstellt, ohne jede geometrische Formationen oder Strukturen kann Verwendung finden.
  • Nach der Ausbildung von jeder der elektroabgeschiedenen Formen 52 und 54 aus Nickel werden die Formen 52 und 54 von den jeweiligen Siliziumplatten, welche zu deren Herstellung verwendet wurden, entfernt. Nach Entfernung kann eine Kunststoffkanal/Reservoirplatte erzeugt werden, wie in 5, 6 und 7 verdeutlicht. In 5 wird ein pressbares Material 60, wie etwa eine Platte von thermisch verformbarem Harz, zwischen der Form 52 und der Form 54 zum Pressen angeordnet. Die thermisch verformbare Harzplatte 60 ist vorzugsweise hergestellt aus einem thermoplastischen Kunststoff und aus einem wärmeaushärtenden Harz, welches Materialien, wie Polyurethan, Polyvinylacetat und Mylar einschließen kann. Die thermisch verformbare Harzplatte wird zwischen der Form 52 und der Form 54 gepresst unter Verwendung eines Pressdruckes und einer Presstemperatur, welche geeignet ist für das bestimmte thermoplastische Material, welches Verwendung findet. In einem repräsentativen Pressprozess wurde ein Pressdruck von 1,38 × 106 N/m2 oder Pa (2000 pounds per square inch) angewendet. Die Wärme wurde zugeführt durch Verwendung von geheizten ersten und zweiten Formeln. Selbstverständlich ist es möglich, eine Anzahl von Kombinationen von Druck und Wärme zu verwenden, wobei die Größe von Hitze und Druck ausgewählt wird auf Basis des verwendeten Materialtyps, der Dicke des Rohmaterials, und anderer Faktoren, die dem Fachmann bekannt sind. In der vorliegenden Erfindung wurde herausgefunden, dass, wenn eine Form aus Nickel ausgebildet ist, Geometrien oder tintentragende Merkmale mit einer Toleranz von ein bis drei Mikrometer erreicht werden können.
  • Wie in 6 und 7 verdeutlicht, liefert die Weiterführung des Pressprozesses eine Kunststoffkanalplatte 62, welche zwischen den beiden Formen ausgebildet wurde, und die notwendigen tintentragenden Merkmale aufweist. Die Dicke T der Kunststoffkanalplatte 62 ist vorzugsweise etwa 750 um (30 mils).
  • Ein einzelnes Kanalelement 64 der Kunststoffkanalplatte 62 ist in 7 verdeutlicht. Das einzelne Kanalelement 64 legt eine Vielzahl von tintentragenden Merkmalen fest, welche eine Vielzahl von Kanälen 66 und ein Tintenreservoir 68 einschließen, welche den Kanälen 18 und den Tintenreservoir 20 des Druckkopfs 10 entsprechen. Das einzelne Kanalelement funktioniert nach weiterer Bearbeitung wie das Siliziumkanalelement 12 mit Kanälen 18 und dem Tintenreservoir 20 der 1. Wie aus 7 ersichtlich, verhindert ein oberer Abschnitt 70 der Kunststoffkanalplatte 62 das tintentragende Reservoir 68 daran, Tinte zu erhalten, weil das tintentragende Reservoir 68 keine Tintenöffnung einschließt. Um eine Tintenöffnung zu schaffen, damit Tinte zu den Kanälen gelangen kann, wird ein Abtragprozess verwendet, um einen Tintenversorgungsschacht durch Entfernen des oberen Abschnitts 70 bis zu einer durch die Linie 72 angegebenen Linie freizulegen.
  • Der Abtragprozess, beispielsweise ein Schleifprozess schließt, wie in 8 verdeutlicht, die Verwendung einer Schleif- oder eine Poliervorrichtung 74 ein, welche in Richtung der Pfeile 76 bewegt wird, bis ein Kontakt mit der Kunststoffkanalplatte 62 hergestellt ist. Die Schleifvorrichtung 74 schließt ein Schleifrad 78 ein, welches in der Richtung 80 rotiert und ein zum Abtragen von Kunststoff geeignetes Schleifmittel auf der Berühroberfläche 82 derselben einschließt. Die Schleifvorrichtung 74 senkt sich auf die Kunststoff kanalplatte 62 ab und entfernt den Oberseitenabschnitt 70 bis zu einer Linie 72, wodurch Tintenversorgungsschächte freigelegt werden für jedes Tintenreservoir, welches in jedem der Kanalelemente in der Plastikkanalplatte 62 vorhanden ist. Es ist vorzuziehen, dass ungefähr ein Drittel der gesamten Dicke T der Kunststoffkanalplatte derart entfernt wird, dass für die vorliegende Ausführungsform eine fertige Kunststoffkanalplatte eine Dicke von ungefähr 500 um (zwanzig mils) aufweisen wird.
  • Die fertiggestellte Kunststoffkanalplatte 62 ist nun im Wesentlichen ähnlich in Funktion zu der Siliziumkanalplatte nach dem Stand der Technik. An diesem Punkt der Herstellung können bekannte Verfahren zum Zerschneiden von Siliziumplatten, um individuelle Kanalelemente zu schaffen, angewandt werden, um individuelle Kunststoffkanalelemente auszubilden. Sobald das individuelle Kunststoffkanalelement ausgebildet worden ist, wird ein Druckkopfelement 84, welches ein Kunststoffkanalelement 86 aufweist mit einem der vorstehend beschriebenen Heizerelemente 24, wie in 9 verdeutlicht, zusammengepasst.
  • In der schematischen Querschnittsansicht des Druckkopfs 84 in 9 ist der Tintenfluss durch das Druckkopfelement 9 zu sehen. Tinte wird durch einen Tintenversorgungs schacht 90 zugeführt, welcher vorher durch den Abtragprozess freigelegt wurde, und verbleibt in einem Tintenreservoir 92 und einer Tintenvertiefung 94 und einem Kanal 96 bis ein Druckkommando von einem Heizer 98 empfangen wird. Der Heizer 98 ist unterhalb einer Heizervertiefung 100 angeordnet, wo sich ebenso Tinte befindet. Mit dem Beginn des Drucksignals liefert der Heizer 98 Energie und beginnt, die Tinte zu verdampfen, welche sich innerhalb und über der Heizervertiefung 100 befindet. Es wird eine Dampfblase erzeugt, welche eine bestimmte Menge von Tinte aus der Düse, welche durch das Kanalelemente 86, wie vorstehend beschrieben, festgelegt wird, ausgestoßen. Sobald die Tinte aus dem Kanal 96 ausgestoßen ist, fließt Tinte in der Richtung des Pfeiles 102 durch Kapillarwirkung, wobei der Kanal 96 und die Heizervertiefung 100 für die folgende Tintenejektion wiedergefüllt wird.
  • Auf diese Weise wurde ein Flüssigtintendruckkopf mit einer Kanalplatte, welche ein pressbares Material aufweist und die Herstellung dafür beschrieben. Das Verfahren zur Herstellung offenbart nicht nur individuelle Kanalelemente hergestellt aus thermoplastischem Kunststoff für individuelle Druckköpfe, sondem auch ein Verfahren zur Schaffung einer Vielzahl von Düsenplatten, welche aus Kunststoffsubstraten hergestellt sind. Beispielsweise scheint die Anzahl von Kanälen pro mm (Inch) nicht begrenzt zu sein durch die materiellen Fähigkeiten des thermoplastischen Kunststoffs, sondem ist stattdessen wahrscheinlich begrenzt durch die Material- und Ätzbegrenzungen der Siliziumplatte. Beispielsweise ist es möglich, dass eine Dichte von ungefähr 12 Kanälen pro mm (300 Kanäle pro Inch), 24 Kanäle pro mm (600 Kanäle pro Inch) und sogar größere Dichten erreicht werden können, so lange diese Dichten auf einem Siliziumträger geätzt werden können. Die vorliegende Erfindung schließt ebenso die Schaffung von größeren Kanalelementen, als hierin beschrieben, ein. Beispielsweise ist es möglich, dass, anstelle des Festlegens einer Anzahl von individuellen Siliziumkanalelementen auf einer Siliziumplatte, von denen jedes getrennt und mit einem individuellen Heizelement zusammengepasst wird, der Siliziumträger geätzt werden könnte, um ein Kanalelement zu schaffen, welches eine größere Länge aufweist, welche mit einer Vielzahl von Heizelementen, die Seite an Seite angeordnet sind, zusammenpassen würde.

Claims (8)

  1. Ein Verfahren zur Herstellung einer Düsenplatte (64, 86) zur Verwendung in einem Tintenstrahldruckkopf (84), wobei das Verfahren umfasst: Pressen eines pressbaren Materials (60), um eine gepresste Düsenplatte (62, 64) auszubilden mit einer ersten Seite, welche gepresste Strukturen aufweist, die mindestens einen Tintenkanal (66) und ein Tintenreservoir (68) bilden, wobei die gepressten Strukturen nur nach der ersten Seite hin offen sind, dadurch gekennzeichnet, dass ein oberer Abschnitt (70) der gepressten Düsenplatte (62, 64) von einer zweiten Seite entfernt wird, welche der ersten Seite gegenüberliegt, um das Tintenreservoir (68, 92) zu der zweiten Seite hin zu öffnen.
  2. Das Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei der Schritt des Pressens das Pressen des pressbaren Materials (60) mit einer Düsenplattenform (52) umfasst.
  3. Das Verfahren gemäß Anspruch 2, weiterhin umfassend die Ausbildung der Düsenplattenform (52) aus einer Siliziumplatte (39, 50), welche tintentragende Strukturen (40, 42) aufweist; Elektroabscheiden auf der Siliziumplatte (39, 50), um die Düsenplattenfrom (52) auszubilden; und Anordnen des pressbaren Materials (60) zwischen der Düsenplattenform (52) und einer zweiten Form (54) vor dem Pressschritt, wobei die zweite Form (54) eine im Wesentlichen ebene Fläche aufweist.
  4. Ein Verfahren gemäß Anspruch 3, wobei das Elektroabscheiden der Düsenplattenform (52) ein Elektroabscheiden mit Nickel ist, und die zweite Form (54) aus Nickel hergestellt ist.
  5. Das Verfahren gemäß einem der vorstehenden Ansprüche, weiterhin umfassend den Schritt des Erhitzens des pressbaren Materials (60) während des Pressschritts.
  6. Das Verfahren gemäß einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Pressschritt umfasst Pressen des pressbaren Materials (60) mit einem Druck von ungefähr 1,38 × 106 Pa (2000 pounds per square inch).
  7. Das Verfahren gemäß einem der vorstehenden Ansprüche, weiterhin umfassend Auswählen des pressbaren Materials (60) als hergestellt aus entweder einem thermoplastischen Harz, einem Polyurethanmaterial, einem Polyvinylacetatmaterial oder einem Mylarmaterial für das pressbare Material (60).
  8. Das Verfahren gemäß einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Schritt des Entfernens das Schleifen (74) der gepressten Düsenplatte (62, 64) umfasst.
DE69630176T 1995-07-21 1996-07-19 Herstellungsverfahren für eine Düsenplatte Expired - Lifetime DE69630176T2 (de)

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