DE69532218T2 - Gassensor - Google Patents

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    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Messen eines brennbaren Gases oder von Dampf in Luft.
  • Herkömmliche katalytische Oxidationsvorrichtungen zum Messen brennbarer Gase oder Dämpfe enthalten eine elektrisch beheizte Platinwendel, die in einer Detektorperle eingebettet ist. Bei geeigneter Temperatur wird das Gas oder der Dampf, das bzw. der gemessen werden soll, katalytisch an der Detektorperle oxidiert. Bei diesem Prozeß wird Wärme entwickelt, so daß die Temperatur und dementsprechend der elektrische Widerstand der Platinwendel in der Perle ansteigt. Diese Widerstandsänderung ist ein Maß für die Menge des brennbaren Gases oder des Dampfes, das bzw. der in der untersuchten Atmosphäre enthalten ist. In einer vollständigen Vorrichtung ist eine zweite, als Kompensator wirkende Perle zum Ausgleichen von Änderungen der Umgebungsbedingungen, z. B. der Temperatur, die Meßfehler ergeben würden, vorgesehen. Die Detektions- und Kompensationsperle sind aufeinander abgestimmt und üblicherweise in einer Wheatstone-Brückenmeßschaltung angeordnet, die ein Signal erzeugt, das der Konzentration des brennbaren Gases oder des Dampfes in der untersuchten Atmosphäre proportional ist.
  • Damit diese Anordnung zufriedenstellend als Gassensor funktioniert, müssen offensichtlich bestimmte Kriterien erfüllt sein. Da die jeweils als Detektor und Kompensator wirkenden beiden Perlen bei Temperaturen von etwa 500°C betrieben werden, ist es wichtig, daß sie so abgestützt werden, daß ein unzulässig hoher Wärmeverlust der Perle verhindert wird. Bei herkömmlichen Vorrichtungen wird dies normalerweise dadurch erreicht, daß die Perlen auf elektrisch leitenden Armen abgestützt werden, die sich vertikal über einer Basis erstrecken, wobei die anderen Enden der Arme sich durch die Basis hindurch erstrecken, um elektrische Leitungen zum Anschließen an die Meßschaltung zu bilden. Auf diese Weise werden die Perlen in einer Lage gehalten, in der die Wärmeverluste der Perlen minimiert werden, die jedoch weiterhin eine elektrische Erwärmung und den Zugang des Prüfgases zu den Perlen zuläßt.
  • Beispiele dieser bekannten Anordnung sind in der DE-A-3046560 und der EP-A-0032844 offenbart.
  • Diese herkömmliche Anordnung hat Nachteile, von denen der größte darin besteht, daß die Vorrichtung eine minimale Länge von etwa 8 mm hat, die sich dadurch ergibt, daß die Perlen in einem angemessenen Abstand über der Basis abgestützt werden müssen. Wenn die Vorrichtungen zum Anschluß auf gedruckten Schaltungsplatten ausgebildet werden, wird darüber hinaus die Höhe infolge der Plattendicke vergrößert. Schließlich wird die Gesamthöhe des vollständigen Gassensors noch durch regulatorische Anforderungen erhöht, die so ausgelegt sind, daß ein sicherer Betrieb des Sensors in potentiell explosiven Atmosphären sichergestellt ist. Diese umfassen eine minimale Tiefe der Vergußkompoundmasse, der zur Verhinderung einer Flammenausbreitung erforder lichen Sinterdicke und Mittel zum Schützen des Sinters vor Stößen.
  • Eine andere Art von Gassensor ist in der DE-A-4218883 offenbart, die einen Halbleiter-Gassensor offenbart, bei dem der Halbleiter auf einer Tragplatte angeordnet und vom Sensor wegführende Verbindungsdrähte jeweils mit Kontakten auf der Tragplatte verbunden sind. Diese Kontakte sind dann durch weitere dünne Drähte mit Lötpunkten auf einer gedruckten Schaltungsplatte verbunden, wobei der Sensor und die Tragplatte an dünnen Drähten in einer durch die gedruckte Schaltungsplatte begrenzten Öffnung aufgehängt sind.
  • Die Erfindung besteht in einer Vorrichtung zum Messen von Gas mit einem Leiterbahnen aufweisenden Substrat, das wenigstens eine Öffnung begrenzt, und wenigstens einem gasempfindlichen Element, das mit elektrischen Leitern verbunden ist, die mit Leiterbahnen des die Leiterbahnen aufweisenden Substrats verbunden sind, wobei das gasempfindliche Element in oder neben der Öffnung angebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß das gasempfindliche Element ein katalytisches Perlenelement ist, daß die Leiter auf der Oberfläche der Leiterbahnen angebracht sind und daß neben dem katalytischen Perlenelement auf der einen Seite des Substrats und in der Öffnung eine Schicht aus inertem, wärmeisolierendem Material angeordnet ist, wobei das wärmeisolierende Material die Stoßfestigkeit der Vorrichtung verbessert.
  • Die erfindungsgemäße Anordnung ermöglicht die Herstellung einer Vorrichtung, bei der wenigstens ein gasempfindliches Element so angebracht ist, daß die Gesamthöhe der Vorrichtung erheblich niedriger als die einer herkömmlichen Vorrichtung ist. Trotz dieser Verringe rung der Höhe hat sich gezeigt, daß eine Zunahme der Wärmeverluste durch eine relativ geringe Erhöhung (z. B. um 10%) der der Vorrichtung zugeführten Leistung ausgeglichen werden kann.
  • Vorzugsweise weist die Vorrichtung eine Sinterschicht, die auf der dem wärmeisolierenden Material abgekehrten Seite des Substrats aufgebracht ist; eine Schicht aus Vergußkompoundmasse auf der gleichen Seite des Substrats wie das wärmeisolierende Material, von dem sie durch ein Trennglied isoliert ist, und ein Mittel zum Schützen der Sinterschicht auf.
  • Die Dicke der Sinterschicht, des Sinterschutzes und der Schicht aus Vergußkompoundmasse hängt von den national geregelten Vorschriften ab. Im Vereinigten Königreich von Großbritannien und Nordirland ist die Sinterschicht typischerweise 3 mm dick, mit einem Schutzrand von etwa 2 mm, während die Vergußkompoundmasse typischerweise eine Mindestdicke von 3 mm hat.
  • Vorzugsweise ist das Trennglied aus Keramik oder thermoplastischem Kunststoff hergestellt oder als gedruckte Schaltungsplatte ausgebildet, obwohl auch andere Materialien verwendet werden könnten. Zusätzlich kann eine Schicht aus Glas oder Keramikwolle zum Schutz der Bauelemente vorgesehen sein.
  • Vorzugsweise hat die Vorrichtung ein Gehäuse, in dem das die Leiterbahnen tragende Substrat angebracht ist. Typischerweise ist das Gehäuse aus Metall hergestellt, z. B. aus rostfreiem Stahl, Bronze, Aluminium usw., obwohl die Sinterschicht, wenn sie vorgesehen ist, verlängert werden könnte, um das Gehäuse zu bilden.
  • Vorzugsweise weist das Substrat einer gedruckte Schaltungsplatte, Glas oder Keramik auf.
  • Wenn das wenigstens eine gasempfindliche Element unmittelbar auf der Oberfläche des Substrats angebracht ist, kann ein Gassensor hergestellt werden, der verschiedene Möglichkeiten bietet, z. B. eine Signalverarbeitung ohne eine separate, zusätzliche Elektronik. Beispielsweise könnte eine elektronische Schaltung im Siebdruckverfahren auf dem Substrat aufgebracht werden, das das oder die gasempfindliche(n) (Pellistor-)Element (e) trägt, die beispielsweise die Grundschaltung einer Wheatstone-Brücke, in der die Elemente angeschlossen sind, einen verstärkten mA- oder mV-Signalausgang, einen Temperaturfühler, Datensammlungs- und Verarbeitungsfunktionen, die in einem Speicher und/oder Mikroprozessor enthalten sind, usw. aufweisen könnte.
  • Vorzugsweise ist das wenigstens eine gasempfindliche Element als Ganzes in der jeweiligen Öffnung in dem Substrat angeordnet. Dies verbessert den physischen Schutz des Elements und minimiert die Gefahr eines Kontakts zwischen dem Element und anderen Teilen der Vorrichtung, z. B. schützende Glaswolle.
  • Vorzugsweise enthält die Vorrichtung ein zweites katalytisches gasempfindliches Perlenelement, wobei das zweite Element ein Kompensationselement und das erste ein Detektionselement ist.
  • Das wenigstens eine gasempfindliche Element kann in situ hergestellt werden, doch wird das oder jedes Element vor der Anbringung auf dem die Leiterbahnen aufweisenden Substrat vorgeformt.
  • Nachstehend wird ein erfindungsgemäßer Gassensor anhand der beiliegenden Zeichnungen beschrieben und mit einem herkömmlichen Sensor verglichen. In den Zeichnungen stellen dar:
  • 1 einen herkömmlichen Gassensor,
  • 2 die Gasmeßvorrichtung nach 1 ausführlicher,
  • 3 eine katalytische Perle im einzelnen,
  • 4 einen Schnitt durch einen erfindungsgemäßen Gassensor,
  • 5 eine Draufsicht auf das Substrat der in 4 dargestellten Vorrichtung,
  • 6 einen erfindungsgemäßen Gassensor mit einer alternativen Gehäuseanordnung,
  • 7 ein Schaltbild der an der Vorrichtung angebrachten Schaltungsanordnung,
  • 8 einen Querschnitt durch das in 4 dargestellte Substrat, wobei die Verbinder weggelassen sind, und
  • 9 eine Unteransicht der rückseitigen Verschlußplatte, die in 4 dargestellt ist.
  • Der in 1 dargestellte Gassensor weist eine gedruckte Schaltungsplatte 1 auf, auf der eine herkömmliche Gasmeßvorrichtung 2 und eine herkömmliche Ausgleichsvorrichtung 3 angebracht sind. Der Aufbau der Vorrichtungen 2, 3 ist in 2 ausführlicher dargestellt. Nach 2 enthält jede Vorrichtung ein gasempfindliches Element 4, das zwischen zwei elektrisch leitenden Armen 5 aufgehängt ist, die sich durch eine Bodenplatte 6 hindurch erstrecken, so daß sie Verlängerungen 7 bilden, die elektrische Leitungen zum Anschließen an die gedruckte Schaltungsplatte bilden. Über dem Gasmeßelement 4 ist ein Gehäuse 8 aus beispielsweise rostfreiem Stahl durch Punktschweißung mit der Bodenplatte 6 verbunden. Das nachzuweisende oder zu messende Gas kann über eine Öffnung 10 in das Gehäuse 8 eindringen.
  • Beide Vorrichtungen 2, 3 sind so ausgebildet, wie es in 3 dargestellt ist, wobei der einzige Unterschied in der Form des Gasmeßelements 4 besteht. Nach 3 weist das einen Teil der Vorrichtung 2 bildende Gasmeßelement 4 eine Wendel 11 aus Platin auf (obwohl auch ein anderes ähnliches nicht reaktives Metall verwendet werden könnte), die in zwei Leitungen 12 endet, die jeweils mit einem der beiden Arme 5 verbunden sind. Die Wendel 11 ist beispielsweise mit keramischem Material 9 beschichtet, das eine Perle bildet. Im Fall der Vorrichtung 2 ist das keramische Material zusätzlich mit einer Schicht 13 aus einem katalytischen Material überzogen, das entsprechend dem Gas gewählt werden kann, das detektiert werden soll. Bei einer (nicht dargestellten) alternativen Anordnung kann das keramische Material mit dem katalytischen Material imprägniert sein.
  • Die keramische Perle 9 des gasempfindlichen Elements 4 der Vorrichtung 3 ist nicht mit dem katalytischen Material versehen, so daß es als Kompensator wirken kann.
  • Jede Perle ist typischerweise kugelförmig mit einem Durchmesser von etwa 0,25 bis 1,00 mm.
  • Die Vorrichtungen 2, 3 sind jeweils in einer Öffnung 14, 15 eines Blocks 16 aus PTFE angeordnet. Der Block 16 liegt an der gedruckten Schaltungsplatte 1 an und ist in einem Gehäuse 17 angebracht, das an dem einen Ende durch eine Schicht aus Vergußkompoundmasse 18 verschlossen ist, die die Ausbreitung einer Flamme in dieser Richtung verhindert. An den Verlängerungen 7 (die auf die gewünschte Größe zugeschnitten sind) sind elektrische Leitungen 16 über die gedruckte Schaltungsplatte 1 angeschlossen und mit einer Überwachungsschaltung der in 7 dargestellten Art verbunden.
  • Das Gehäuse 17 hat einen nach innen gekehrten Flansch 19, der eine Öffnung 20 begrenzt und hinter dem eine Schicht 21 aus porösem Sintermaterial befestigt ist, die als Flammenfalle für die Vorrichtung wirkt und typischerweise bei einer Temperatur von 500°C arbeitet und das überwachte Gas entzünden könnte. Die Vergußkompoundmasse 18 ist in dem Gehäuse 17 so befestigt, daß die gedruckte Schaltungsplatte 1, der PTFE-Einsatz 16 und die poröse Schicht 21 zusammengedrückt werden.
  • Bei der Benutzung dringt in den Sensor durch die Öffnung 20 und die Sinterschicht 21 und dann durch die jeweiligen Öffnungen 10 in das Gehäuse 8 der beiden Vorrichtungen 2, 3 Gas ein.
  • Zwischen der Sinterschicht 21 und dem größten Teil des Einsatzes 16 ist ein kleiner Spalt 22 ausgebildet, um eine gute Verteilung des in den Sensor eingedrungenen Gases zu ermöglichen.
  • Der Sensor arbeitet in herkömmlicher Weise, z. B. so, wie es in "Solid State Sensors", herausgegeben von P. T. Moseley und B. C. Tofield, veröffentlicht von Adam Hilger 1987, beschrieben ist.
  • Das Hauptproblem bei diesem herkömmlichen Sensor besteht darin, daß er ein verhältnismäßig großes Volumen beansprucht, das hauptsächlich durch die Höhe der Elemente 4 über der Bodenplatte 6, die die Wärmeverluste durch Konvektion verringert, und die Dicke der Bodenplatte 6 und der gedruckten Schaltungsplatte 1 bestimmt ist.
  • Ein Beispiel eines Gassensors, der erfindungsgemäße Vorrichtungen aufweist, ist in den 4 und 5 dargestellt. In einem Gehäuse 24, das typischerweise aus rostfreiem Stahl hergestellt ist, ist ein keramisches Substrat 23 oder ein anderes Substrat, z.B. eine gedruckte Schaltungsplatte, angebracht. Das keramische Substrat 23 trägt zwei gasempfindliche Elemente, ein Kompensationselement 25 und ein Detektorelement 26. Die gasempfindlichen Elemente haben einen ähnlichen Aufbau wie die oben beschriebenen. Die Elemente sind in Öffnungen 27 des Substrats 23 angebracht. Die Elemente 25, 26 sind durch elektrische Leitungen 12 (die an der Oberfläche angebracht sind) mit Leiterbahnen 28 auf einer Oberfläche des Substrats 23 verbunden, wie es in 5 dargestellt ist, und zwar unter Verwendung von leitendem Klebstoff oder durch Schweißen etc.
  • Die Anordnung der Elemente 25, 26 ist am deutlichsten in 8 zu erkennen. Das Element 25 ist in der Öffnung 27 mittels seiner Anschlußleitungen 12 aufgehängt, die mittels Silberpaste 61 elektrisch mit den jeweiligen Leiterbahnen 28 verbunden sind. In ähnlicher Weise ist das Element 26 in seiner Öffnung 27 durch Anschlußleitungen 12 aufgehängt, die durch die Silberpaste 61 mit den Leiterbahnen 28 elektrisch verbunden sind. Bei einer typischen Ausbildung beträgt die Tiefe jeder Öffnung 27 etwa 1,27 mm und ihr Durchmesser 2 mm. Wie aus 8 ersichtlich ist, liegen die Elemente 25, 26 vollständig innerhalb der Öffnungen 27, obwohl sie in einigen Fällen teilweise oben aus den Öffnungen herausragen oder sogar vollständig oberhalb der Öffnungen angeordnet sein können.
  • Das Substrat 23 wird mittels eines Kompressionsrings 50 gegen eine Sinterschicht 31 im Gehäuse 24 gedrückt. Der Kompressionsring 50 dient auch zum Festhalten einer Schicht 51 aus inertem, isolierendem Material, wie Glas- oder Keramikwolle, in einer Lage oberhalb der Perlen 25, 26. Die Schicht 51 beseitigt weitgehend den Einfluß von Änderungen der Ausrichtung des Sensors durch weitgehende Verhinderung von Konvektionsströmen und verbessert die Stoßfestigkeit der Vorrichtung. Ein ähnliches Material könnte auch in den Öffnungen 27 auf Seiten der Sinterschicht vorgesehen sein. Über den Elementen 25, 26 und der Schicht 51 ist ein Trennelement 29 vorgesehen, um sie von einer Schicht aus Vergußkompoundmasse 30 zu trennen und gegenüber dieser zu schützen. Das Trennelement 29 kann eine gedruckte Schaltungsplatte oder ein Keramik- oder Kunststoffdeckel sein. An der Innenseite des Gehäuses 24 ist eine umlaufende Nut 62 ausgebildet, so daß die Vergußkompoundmasse mit einem Keil versehen werden kann.
  • Drei Steckverbinder, von denen zwei Verbinder 38, 39 in 4 sichtbar sind, erstrecken sich von den Leiterbahnen 28 bei 35 bis 37 nach oben. Diese Verbinder stellen elektrische Verbindungen zu der Meß- oder Über wachungsschaltung her, die nachstehend beschrieben wird.
  • Die hintere Verschlußplatte 63 ist am Gehäuse 24 auf der anderen Seite der Vergußkompoundmasse 30 angebracht. Die Unterseite der hinteren Verschlußplatte 63 ist ausführlicher in 9 dargestellt. Die Verschlußplatte 63 ist eine gedruckte Schaltungsplatte mit drei Öffnungen 6466, durch die sich die Verbinder 3840 jeweils hindurch erstrecken. Die Öffnungen 6466 sind jeweils von einem metallischen, leitenden Bereich 67, 68 und 69 umgeben, an denen jeweils einer der Verbinder 3840 angelötet ist. Außerdem sind die leitenden Bereiche 67 und 69 über Leiterbahnen 70 mit einem ohmschen Abgleichwiderstand 71 verbunden. Ferner ist die Verschlußplatte 63 mit zwei Öffnungen 72 versehen, über die Vergußkompoundmasse zugeführt werden kann.
  • Durch eine Öffnung 32, die durch einen Flansch 33 des Gehäuses 24 begrenzt ist, kann das zu überwachende Gas in die Vorrichtung gelangen. Dennoch ist die Sinterschicht 31 hinreichend geschützt.
  • Die Elemente 25, 26 können auf herkömmliche Weise hergestellt werden, so daß Konstruktionsprobleme hinsichtlich der Freihaltung des Substrats von Keramik und katalytischem Material nicht berücksichtigt zu werden brauchen. Die Elemente werden dann auf der Oberfläche des Substrats 23 mit angemessenem Spiel um die Perle herum angebracht, wie es vorstehend beschrieben wurde.
  • Alternativ können die Öffnungen 27 im Substrat 23 so ausgebildet sein, daß hinreichend Freiraum verbleibt, um die Perlen in situ über jeweils einer Wendel auszubilden.
  • Eine alternative Anordnung ist in 6 dargestellt. Das Substrat 23 ist in einem Gehäuse 34 angebracht, so daß das Trennelement 29 und die Glaswolleschicht 51 über den Elementen 25, 26 liegen, um sie von der Vergußkompoundmasse 30 zu trennen, die von einer hinteren Verschlußplatte 63 abgedeckt ist. Hierbei ist jedoch keine separate Sinterschicht vorgesehen. Statt dessen ist das Gehäuse 34 vollständig aus Sintermaterial hergestellt. Dies ermöglicht eine weitere Verringerung der Gesamtdicke.
  • Das in 7 dargestellte Schaltbild veranschaulicht die Verbindung der in den 4 bis 6 dargestellten Vorrichtungen mit einer Wheatstone-Brücke. Wie aus 7 ersichtlich ist, erstrecken sich die Verbinder 3840 von den Leiterbahnen bei 35 bis 37 aus dem Gehäuse 24 nach außen. Der Verbinder 40 bildet direkt einen Ausgangspunkt 41, während die Verbinder 39, 38 bei 42 bzw. 43 jeweils mit einem ohmschen Widerstand R1 und R2 verbunden sind. Die ohmschen Widerstände R1, R2 sind bei 44 zur Einstellung des Nullpunkts mit einem veränderbaren ohmschen Widerstand 45 verbunden, der zwischen 0 und 1 kΩ eingestellt werden kann. Der Verbindungspunkt 44 bildet den anderen Ausgangsanschluß. Der Abgleichwiderstand 71 ist zwischen den Verbindern 38, 40 angeschlossen und dient zum Ausgleichen von Unterschieden im Verhalten der Elemente 25, 26 bei sich ändernder Temperatur. Den Punkten 42, 43 wird aus einer Quelle 46 eine Betriebsgleichspannung zugeführt. Die Widerstände R1, R2 haben üblicherweise einen festen Widerstandswert von 27 Ω, doch kann der Widerstandswert in einigen Fällen auch anders bemessen sein. Die Wirkungsweise der Schaltung ist die gleiche wie bei einer herkömmlichen Vorrichtung.
  • Die Abmessungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung hängen von nationalen Vorschriften ab. Aus kommerziellen Gründen ist es erwünscht, daß die Gesamthöhe der Vorrichtung 16 mm nicht überschreitet. Dies läßt sich bei einem herkömmlichen Gassensor nicht ohne weiteres erreichen. Die europäischen Vorschriften verlangen eine wenigstens 3 mm dicke Vergußkompoundmasse, eine wenigstens 2 mm und vorzugsweise 3 mm dicke Sinterschicht und Mittel zum Schutz der Sinterschicht vor Stößen. Diesen Stoßschutz bietet generell der Flansch 33 des Gehäuses 24 mit einer Dicke von etwa 2 mm über der Sinterschicht 31. Die Dicke des erfindungsgemäßen Trennelements 29 liegt typischerweise in der Größenordnung von 1 mm. Die wirksame Dicke des Keramik-Substrats 23 liegt im allgemeinen in der Größenordnung von 1,5 mm, während die hintere Verschlußplatte 63 mit dem ohmschen Widerstand 71 eine Dicke von etwa 1,5 mm aufweist, was eine Gesamtdicke von etwa 12 mm ergibt. Dies kann in einem Gehäuse 24 mit einer Höhe von 16 mm untergebracht werden. Im Vergleich dazu hat ein herkömmlicher Gassensor mit der Vorrichtung nach 1 eine Höhe von etwa 20 mm, da es unwahrscheinlich ist, daß die gedruckte Schaltungsplatte, auf der die Vorrichtung angebracht ist, selbst weniger als 11 mm hoch ist. Das Trennelement ist bei dem herkömmlichen Gassensor nicht erforderlich.

Claims (12)

  1. Vorrichtung zum Messen von Gas mit einem Leiterbahnen aufweisenden Substrat (23), das wenigstens eine Öffnung (27) begrenzt, und wenigstens einem gasempfindlichen Element (26), das mit elektrischen Leitern (12) verbunden ist, die mit Leiterbahnen (28) des die Leiterbahnen aufweisenden Substrats (23) verbunden sind, wobei das gasempfindliche Element (26) in oder neben der Öffnung angebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß das gasempfindliche Element (26) ein katalytisches Perlenelement ist, daß die Leiter (12) auf der Oberfläche der Leiterbahnen (28) angebracht sind und daß neben dem katalytischen Perlenelement (25) auf der einen Seite des Substrats (23) und in der Öffnung eine Schicht aus inertem, wärmeisolierendem Material (51) angeordnet ist, wobei das wärmeisolierende Material (51) die Stoßfestigkeit der Vorrichtung verbessert.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, der ferner eine Sinterschicht (31), die auf der dem wärmeisolierenden Material (51) abgekehrten Seite des Substrats (23) aufgebracht ist; eine Schicht aus Vergußkompoundmasse (30) auf der gleichen Seite des Substrats wie das wärmeisolierende Material, von dem sie durch ein Trennglied (29) isoliert ist, und ein Mittel (33) zum Schützen der Sinterschicht (31) aufweist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 2, bei dem die Sinterschicht (31) etwa 3 mm dick, das Mittel (33) zum Schützen der Sinterschicht etwa 2 mm dick und die Schicht (30) aus Vergußkompoundmasse nicht weniger als 3 mm dick ist.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder Anspruch 3, bei dem das Trennglied (29) aus thermoplastischem Kunststoff oder Keramik oder als gedruckte Schaltungsplatte ausgebildet ist.
  5. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, der ferner ein Gehäuse (24) aufweist, in dem das die Leiterbahn aufweisende Substrat angebracht ist.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 5, bei dem das Gehäuse (24) aus rostfreiem Stahl hergestellt ist.
  7. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem das Substrat (23) eine gedruckte Schaltungsplatte, Glas oder Keramik aufweist.
  8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, zurückbezogen auf wenigstens Anspruch 2, bei dem das Mittel (33) zum Schützen der Sinterschicht einen Teil des Gehäuses (24) aufweist.
  9. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem das inerte, isolierende Material (51) Glas- oder Keramikwolle ist.
  10. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, der zwei gasempfindliche, katalytische Perlenelemente aufweist, von denen das eine Element ein Kom pensationselement (25) und das andere ein Detektionselement (26) ist.
  11. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem die katalytische Perle vor dem Anbringen auf dem die Leiterbahnen aufweisenden Substrat (23) geformt worden ist.
  12. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem das wenigstens eine gasempfindliche Element (26) vollständig in der jeweiligen Öffnung des Substrats (23) angeordnet ist.
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