DE69518849D1 - Verfahren zur Herstellung einer Mikrospitzenkathodenstruktur für eine Feldemissionsanzeigetafel - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Mikrospitzenkathodenstruktur für eine Feldemissionsanzeigetafel

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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5936243A (en) * 1997-06-09 1999-08-10 Ian Hardcastle Conductive micro-probe and memory device
US6436788B1 (en) * 1998-07-30 2002-08-20 Micron Technology, Inc. Field emission display having reduced optical sensitivity and method
US6537427B1 (en) * 1999-02-04 2003-03-25 Micron Technology, Inc. Deposition of smooth aluminum films
EP1073090A3 (de) * 1999-07-27 2003-04-16 Iljin Nanotech Co., Ltd. Feldemissionsanzeigevorrichtung mit Kohlenstoffnanoröhren und Verfahren
JP2001043790A (ja) * 1999-07-29 2001-02-16 Sony Corp 冷陰極電界電子放出素子の製造方法及び冷陰極電界電子放出表示装置の製造方法
TW486709B (en) * 2001-02-06 2002-05-11 Au Optronics Corp Field emission display cathode panel with inner via and its manufacturing method
US6781146B2 (en) * 2001-04-30 2004-08-24 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Annealed tunneling emitter
US20070003472A1 (en) * 2003-03-24 2007-01-04 Tolt Zhidan L Electron emitting composite based on regulated nano-structures and a cold electron source using the composite
US7459839B2 (en) * 2003-12-05 2008-12-02 Zhidan Li Tolt Low voltage electron source with self aligned gate apertures, and luminous display using the electron source
US7413924B2 (en) * 2005-10-31 2008-08-19 Motorola, Inc. Plasma etch process for defining catalyst pads on nanoemissive displays

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3340777A1 (de) * 1983-11-11 1985-05-23 M.A.N. Maschinenfabrik Augsburg-Nürnberg AG, 8000 München Verfahren zur herstellung von duennfilm-feldeffekt-kathoden
US5007873A (en) * 1990-02-09 1991-04-16 Motorola, Inc. Non-planar field emission device having an emitter formed with a substantially normal vapor deposition process
US5332627A (en) * 1990-10-30 1994-07-26 Sony Corporation Field emission type emitter and a method of manufacturing thereof
CA2070478A1 (en) * 1991-06-27 1992-12-28 Wolfgang M. Feist Fabrication method for field emission arrays
JP2900837B2 (ja) * 1995-05-31 1999-06-02 日本電気株式会社 電界放射型冷陰極装置及びその製造方法

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