DE69432600T2 - Abstimmbares filter mit variabler spektraler auflösung - Google Patents

Abstimmbares filter mit variabler spektraler auflösung Download PDF

Info

Publication number
DE69432600T2
DE69432600T2 DE69432600T DE69432600T DE69432600T2 DE 69432600 T2 DE69432600 T2 DE 69432600T2 DE 69432600 T DE69432600 T DE 69432600T DE 69432600 T DE69432600 T DE 69432600T DE 69432600 T2 DE69432600 T2 DE 69432600T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
filter
spectral resolution
variable
windows
finesse
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69432600T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69432600D1 (de
Inventor
W. Theodore HILGEMAN
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Northrop Grumman Corp
Original Assignee
Northrop Grumman Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Northrop Grumman Corp filed Critical Northrop Grumman Corp
Publication of DE69432600D1 publication Critical patent/DE69432600D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69432600T2 publication Critical patent/DE69432600T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/26Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/0147Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on thermo-optic effects
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/19Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on variable-reflection or variable-refraction elements not provided for in groups G02F1/015 - G02F1/169
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/21Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference
    • G02F1/213Fabry-Perot type

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft ein abstimmbares Filter mit veränderlicher spektraler Auflösung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Ein Filter dieses Typs wird in einem dispersiven Spektrometer eingesetzt.
  • Die Spektroskopie ist eine analytische Methode, die sich mit der Messung der Interaktion (üblicherweise der Absorption oder Emission) von Strahlungsenergie mit Materie befaßt. Ein dispersives Spektrometer ist ein Gerät, welches Wellenlängen von Strahlungsenergie für spektroskopische Zwecke mißt, und welches im allgemeine eine Strahlungsquelle, ein Dispersionsbauelement und einen Detektor erfordert.
  • Für zahlreiche analytische Zwecke ist es wünschenswert, die spektrale Auflösung des Spektrometers zu variieren, beginnend mit der Suche bei breiter spektraler Auflösung, und die spektrale Auflösung steigernd, wenn die interessierende Zone geortet ist. Bei sich zeitlich ändernden Proben muß die spektrale Auflösung allerdings sehr rasch erhöht werden. Konventionelle dispersive Spektrometer eignen sich für diesen Zweck deshalb nicht, weil sie zwar für eine veränderliche spektrale Auflösung ausgerüstet sind, die Änderung der spektralen Auflösung aber jedoch gering ist und mit einer Änderung der räumlichen Auflösung einhergeht.
  • Weitere bekannte Spektrometer eignen sich ebenfalls nicht für eine solche Spektralanalyse von sich zeitlich ändernden Proben. Fouriertransformations-Spektrometer beispielsweise können eine veränderliche spektrale Auflösung unter Beibehaltung der räumlichen Abbildung aufweisen, sie erfordern aber ei ne endliche Zeitspanne, in der das Signal sich nicht ändert oder in der spektrale Verzerrungen auftreten. Spektrometer mit Fabry-Perot-Filtern hingegen können veränderliche Mittenwellenlängen und räumliche Abbildung besitzen, sie sind aber auf eine feste spektrale Auflösung beschränkt. Damit erreicht keiner der bekannten Spektrometertypen sowohl eine variable Mittenwellenlänge als auch eine sich rasch ändernde spektrale Auflösung unter Beibehaltung der räumlichen Darstellung. Darüber hinaus besitzt jeder bekannte Spektrometertyp mit Ausnahme des Fabry-Perot-Spektrometers sich bewegende Teile, was für zahlreiche Anwendungen unvorteilhaft sein kann, beispielsweise bei dem Einsatz auf Langzeitmissionen im Weltraum.
  • Gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 zeigt die US-A-4 448 486 ein Filter, bei dem eine Mittenwellenlänge mit Hilfe eines piezoelektrischen Wandlers einstellbar ist. Bei einer ersten Ausführungsform ist dies die einzige Möglichkeit zum Ändern der Mittenwellenlänge. Darüber hinaus gibt es eine Ausführungsform, bei der die Finesse sich durch eine hintere Spinne oder unter Einsatz von veränderlichem reflektierendem Material für Beschichtungen auf der Oberfläche eines Drehfensters variieren läßt.
  • Die vorliegende Erfindung löst diese Probleme durch Schaffung einer rasch justierbaren Mittenwellenlänge ohne das Erfordernis beweglicher Teile unter Verwendung einer Optik ähnlich derjenigen, wie sie in einem Fabry-Perot-Spektrometer eingesetzt wird, wobei dennoch eine sofort einstellbare spektrale Auflösung erreichbar ist. Dies wird dadurch bewerkstelligt, daß eine elektrisch veränderliche reflektierende Beschichtung auf mindestens einer Innenfläche eines ansonsten konventionell ausgebildeten Fabry-Perot-Filters vorgesehen wird.
  • Der Einsatz von elektrisch varüerbarem Reflexionsvermögen ist natürlich bekannt. Ein Beispiel ist in dem US-Patent 4 923 273 von Taylor dargestellt, der in einer optischen Faser plazierte optische Reiter mit veränderlichem Reflexionsvermögen offenbart. Die optischen Reiter arbeiten als Spiegel in einem Fabry-Perot-Interferometer. Allerdings ist dieses Bauelement bedingt durch seine Bauart ein eindimensionales Gerät, welches nicht in der Lage ist, ein Bild zu erzeugen, es ist vorgesehen für den Einsatz bei nur einer einzigen Wellenlänge. Daher entspricht es nicht einem Wellenlängenfilter oder Spektrometer variabler Auflösung des hier beschriebenen und beanspruchten Typs.
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • Ein erstes Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines abstimmbaren Filters mit veränderlicher spektraler Auflösung, welches eine sofort einstellbare spektrale Auflösung besitzt.
  • Ein zweites Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines abstimmbaren Filters mit veränderlicher spektraler Auflösung, welches sowohl eine unmittelbar einstellbare spektrale Auflösung als auch eine rasch einstellbare Mittenwellenlänge besitzt.
  • Ein drittes Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines abstimmbaren Filters mit veränderlicher spektraler Auflösung, welches sowohl eine sofort einstellbare spektrale Auflösung ohne das Erfordernis mechanischer Bewegung als auch eine rasch einstellbare Mittenwellenlänge unter Verwendung eines zuverlässigen piezoelektrischen Aktuators aufweist.
  • Das Erreichen dieser Ziele vermeidet die oben erläuterten Schwierigkeiten bei herkömmlichen Spektrometern und bietet außerdem den Vorteil, daß ein abstimmbares Filter mit veränderlicher spektraler Auflösung vor einer zweidimensionalen Abbildungs-Brennebene eingesetzt werden kann, während ein herkömmliches dispersives Spektrometer auf ein eindimensionales Linienbild beschränkt ist.
  • Erreicht werden die erfindungsgemäßen Ziele durch Verwendung einer Optik ähnlich jener eines Fabry-Perot-Spektrometers, bei der die Mittenwellenlänge abgestimmt wird durch Ändern des freien spektralen Bereichs unter Verwendung piezoelektrischer Aktuatoren, indem eine Mosaik-Abbildungsbrennebene hinter dem Filter plaziert wird, um räumliche Auflösung zu erreichen, insbesondere durch Schaffung einer Einrichtung zum Ändern der Finesse des Systems, um die veränderliche spektrale Auflösung zu gewinnen.
  • Die Finesse eines Fabry-Perot wird durch das Reflexionsvermögen seiner Flächen beherrscht, so daß gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung die erfindungsgemäßen Ziele dadurch erreicht werden, daß man eine oder beide Innenflächen dazu bringt, ein elektrisch veränderliches Reflexionsvermögen zu besitzen.
  • Die Erfindung schafft also eine Kombination aus einer elektrisch veränderlichen reflektierenden Fläche mit einer Optik vom Fabry-Perot-Spektrometerryp, um unabhängig eine veränderliche spektrale Auflösung und Mittenwellenlängen zu erzeugen, während die Fähigkeit zur räumlichen Abbildung in zwei Dimensionen erhalten bleibt. Die Verwendung des bevorzugten abstimmbaren Filters mit veränderlicher spektraler Auflösung beinhaltet die bildgebende Spektromie, wenn das Filter kombiniert wird mit einer Mosaik-Brennebene, die Ferndetektion und -Identifikation unbekannter chemischer Spezies, die Prozeßsteuerung, das heißt das Erfassen und Identifizieren unbekannter Verunreinigungen, und die Fernidentifikation unbekannter Laserlinien.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die Zeichnungsfigur zeigt ein abstimmbares Filter mit variabler spektraler Auflösung, welches nach den Prinzipien einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung aufgebaut ist.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Wie in der Figur dargestellt, basiert das bevorzugte abstimmbare Filter mit veränderlicher spektraler Auflösung auf einer Optik, die einem Fabry-Perot-Spektrometer ähnelt, allerdings unter Hinzufügung einer sofort einstellbaren spektralen Auflösung. Das bevorzugte Filter enthält ein poliertes durchlässiges Frontfenster 1, ein poliertes durchlässiges Rückfenster 2 und ein Paar piezoelektrischer Aktuatoren 3 und 4, die in bekannter Weise über elektrische Verbindungen 5 mit einem Steuersystem verbunden sind, damit die piezoelektri- schen Aktuatoren die Mittenwellenlänge durch Ändern des freien Spektralbereichs des Filters, das heißt der Entfernung zwischen den Fenstern 1 und 2, ändern.
  • Jedes der Fenster 1 und 2 enthält eine Antireflexionsbeschichtung 6 auf seiner Außenfläche. Auf einer Innenfläche des einen der Fenster befindet sich eine teilweise reflektierende Beschichtung 8. Sowohl die Antireflexionsbeschichtungen als auch die teilweise reflektierende Beschichtung sind von bekannter Art und werden üblicherweise bei Fabry-Perot-Filtern eingesetzt.
  • Besonders allerdings enthält das Filter zum Ändern der Finesse und damit der spektralen Auflösung des Filters auf einer Oberfläche des einen Fensters ein Material 10 mit elektrisch veränderlichem Reflexionsvermögen, außerdem eine elektrische Verbindung 11 zum Steuern des elektrisch veränderlichen Reflexionsvermögens dieses Materials. Eine geeignete Beschichtung ist Vanadium oxid, welches früher in optischen Anzapfungen der im US-Patent 4 923 273 von Taylor beschriebenen Art verwendet wurde. Andere geeignete elektrisch veränderliche reflektierenden Beschichtungen können ebenfalls eingesetzt werden.
  • Schließlich sieht der Fachmann, daß beide Innenfensteroberflächen anstatt nur einer einzigen Oberfläche mit einer elektrisch veränderlichen reflektierenden Beschichtung und zugehörigen elektrischen Verbindungen ausgestattet werden können.
  • Nachdem eine spezielle Ausführungsform der Erfindung im einzelnen beschrieben wurde, ist zu erkennen, daß diejenigen, die die Erfindung anhand der obigen Offenbarung in die Praxis umsetzen, von der Beschreibung auf zahlreichen Wegen abweichen können, wobei aber immer noch von der Erfindung Gebrauch gemacht wird. Folglich soll die obige Beschreibung und die Zeichnungsfigur in keiner Weise beschränkend zu verstehen sein, die Erfindung wird ausschließlich durch die beigefügten Ansprüche definiert.

Claims (4)

  1. Abstimmbares Filter mit veränderlicher spektraler Auflösung, umfassend: ein Paar Fenster (1, 2), die mindestens teilweise für elektromagnetische Strahlung transparent sind; und eine Abstimmeinrichtung zum Einstellen einer optischen Weglänge zwischen den Fenstern, um dadurch eine Mittenwellenlänge des Filters zu ändern, wobei das Filter eine Finesse-Änderungseinrichtung zum Variieren einer Finesse des Filters zwecks Änderung seiner spektralen Auflösung aufweist, wobei die Finesse-Änderungseinrichtung eine teilweise reflektierende Beschichtung (8) auf einem der Fenster aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß ein elektrisch veränderliches Reflexionsmaterial auf einer Oberfläche des anderen Fensters vorgesehen ist, die der teilweise reflektierenden Beschichtung (10) zugewandt ist; und eine Einrichtung (11) vorgesehen ist, um das Reflexionsvermögen des elektrisch veränderlichen reflektierenden Materials zu steuern, um so die spektrale Auflösung des Filters zu variieren.
  2. Filter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstimmeinrichtung einen piezoelektrischen Aktuator (3, 4) und eine Einrichtung (5) zum Steuern einer an den Aktuator angelegten elektrischen Spannung aufweist.
  3. Filter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das elektrisch veränderliche reflektierende Material Vanadiumoxid ist.
  4. Filter nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch Antireflexionsbeschichtungen (6) auf Oberflächen der Fenster, die der ersten und der zweiten Oberfläche abgewandt sind.
DE69432600T 1993-11-12 1994-11-04 Abstimmbares filter mit variabler spektraler auflösung Expired - Fee Related DE69432600T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US151019 1993-11-12
US08/151,019 US5452121A (en) 1993-11-12 1993-11-12 Variable spectral resolution agile filter
PCT/US1994/012215 WO1995013559A1 (en) 1993-11-12 1994-11-04 Variable spectral resolution agile filter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69432600D1 DE69432600D1 (de) 2003-06-05
DE69432600T2 true DE69432600T2 (de) 2004-04-29

Family

ID=22536997

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69432600T Expired - Fee Related DE69432600T2 (de) 1993-11-12 1994-11-04 Abstimmbares filter mit variabler spektraler auflösung

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5452121A (de)
EP (1) EP0728323B1 (de)
JP (1) JPH09505141A (de)
CA (1) CA2175919A1 (de)
DE (1) DE69432600T2 (de)
IL (1) IL111575A (de)
WO (1) WO1995013559A1 (de)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5909303A (en) * 1996-01-04 1999-06-01 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Optical modulator and optical modulator array
US6079665A (en) * 1996-11-04 2000-06-27 Trw Inc. Hyperspectral air-to-air missile seeker
US5886808A (en) * 1997-08-14 1999-03-23 University Of Rochester Pulse shaping system
DE19825831C2 (de) * 1998-06-10 2000-04-06 Karlsruhe Forschzent Abstimmbares Wellenlängenfilter
US6498676B1 (en) 1998-08-07 2002-12-24 Jds Fitel Inc. Optical filter for use or with an optical amplifier
US6529328B1 (en) 1998-08-07 2003-03-04 Jds Fitel Inc. Optical filter
JP4100803B2 (ja) * 1999-02-23 2008-06-11 アルパイン株式会社 ナビゲーション装置の車両誘導方法
US6775067B2 (en) 2002-06-06 2004-08-10 Lockheed Martin Corporation Method and apparatus for stretching an optical pulse
US7061681B2 (en) * 2004-03-02 2006-06-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fabry-Perot interferometer
JP2007316486A (ja) * 2006-05-29 2007-12-06 Olympus Corp 可変分光素子、分光装置および内視鏡システム
DE102009021936A1 (de) * 2009-05-19 2010-11-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Optisches Filter und ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Filters
EP2450734A1 (de) * 2010-11-03 2012-05-09 Sony Ericsson Mobile Communications AB Optische Filteranordnung und Anpassungsverfahren dafür
US9052428B2 (en) 2011-03-11 2015-06-09 Apple Inc. Systems, methods, and computer-readable media for thermally managing electronic devices using dynamic optical components
DE102011084649A1 (de) * 2011-10-17 2013-04-18 Carl Zeiss Smt Gmbh Spiegel mit piezoelektrischem Substrat sowie optische Anordnung damit

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4553816A (en) * 1980-12-15 1985-11-19 Honeywell Inc. Tunable Fabry-Perot filter
US4448486A (en) * 1982-01-06 1984-05-15 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Varying bandpass of optical spatial filter by rotating mirrors having changing reflectivity
GB8621439D0 (en) * 1986-09-05 1986-10-15 Secr Defence Electro-optic device
US4994791A (en) * 1987-10-13 1991-02-19 Texas A & M University System Progressively monitorable fire alarm system
US4923273A (en) * 1987-10-13 1990-05-08 Texas A&M University System Method for producing reflective taps in optical fibers and applications thereof
DE3812334A1 (de) * 1988-04-14 1989-10-26 Hartmann & Braun Ag Interferometrische einrichtung
US4998017A (en) * 1989-05-01 1991-03-05 Ryan Fredrick M Method and arrangement for measuring the optical absorptions of gaseous mixtures
CA2060576C (en) * 1991-02-04 1995-09-26 Katsuhiko Hirabayashi Electrically tunable wavelength-selective filter

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09505141A (ja) 1997-05-20
IL111575A0 (en) 1995-01-24
DE69432600D1 (de) 2003-06-05
EP0728323B1 (de) 2003-05-02
CA2175919A1 (en) 1995-05-18
WO1995013559A1 (en) 1995-05-18
IL111575A (en) 1997-03-18
US5452121A (en) 1995-09-19
EP0728323A1 (de) 1996-08-28
EP0728323A4 (de) 1998-06-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69432600T2 (de) Abstimmbares filter mit variabler spektraler auflösung
EP1783468B1 (de) Verfahren zur Auswertung von Echelle-Spektren
EP0829120B1 (de) Durchstimmbare, justierstabile laserlichtquelle mit spektral gefiltertem ausgang
EP3295138B1 (de) Statisches fourier-transformations-spektrometer
EP0384009A2 (de) Vorrichtung zur Gewinnung kontrastreicher Bilder
DE4128912C2 (de) Verfahren und Einrichtung zur Kalibrierung von Spektralradiometern
DE3704239A1 (de) Streifwinkel-mikroskop
DE4023175A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum gewinnen von daten zur bestimmung der dauer und frequenzmodulation von ultrakurzen laserpulsen
DE102016213446A1 (de) Optisches System zur Erfassung eines Abtastfelds
EP2943760A1 (de) Spektrometer
DE3614639C2 (de)
WO2017133810A1 (de) Miniaturspektrometer und verfahren zum schalten eines miniaturspektrometers zwischen abbildungsmodus und spektrometermodus
DE19636711B4 (de) Verbesserungen an oder bezüglich Spektrometern
DE3006373C2 (de) Stereomikroskop
DE2539183A1 (de) Optisches system mit strahlenteilern
DE202006017268U1 (de) Barcodelesegerät
DE1472207B2 (de) Vorrichtung zur Messung des zirkulären Dichroismus
WO2012131085A1 (de) Bildgebendes thz-messverfahren und vorrichtung
DE3013217A1 (de) Laser-vorrichtung
DE2227367B2 (de) Lichtablenkeinrichtung mit zwei drehbaren Spiegeln
DE102016224828B4 (de) Fourier-Transform-Spektrometer und Verfahren zum Betreiben eines Fourier-Transform-Spektrometers
DE3824820A1 (de) Geraet zum beruehrungslosen optischen bestimmen von geometrischen abmessungen eines objektes
DE102016005386A1 (de) Optomechanisch kompensiertes Spektrometer
DE1291135B (de) Schnellregistrierendes Spektralphotometer
EP3792606B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur nichtlinearen spektroskopie an einer probe

Legal Events

Date Code Title Description
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: NORTHROP GRUMMAN CORP., LOS ANGELES, CALIF., US

8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee