DE69407370T2 - Mikronetzlichtverschluss - Google Patents

Description

• Die vorliegende Erfindung betrifft ein Netzwerk von Miniaturlichtsperren, das insbesondere dazu bestimmt ist, einen Lichtstrahl in eine matrizenförmige oder lineare Gruppe von Lichtpunkten zu transformieren, wobei jeder dieser Punkte selektiv aktivierbar oder desaktivierbar ist, um das Licht passieren zu lassen oder zu sperren. Ein solches Netzwerk kann auch "Lichtmodulatornetzwerk" genannt werden.
• Netzwerke dieser Bauart sind bereits entwickelt und beschrieben worden, und zwar insbesondere in den Patenten US- A-4 383 255 und EP-0 453 400 A1, in einem Artikel von R. Vuilleumier et al., erschienen anlässlich der Konferenz Eurodisplay 84, Paris, September 1984, und noch neulicher in zwei Artikeln von V.P. Jaecklin et al., erschienen anlässlich der MEMS-93, abgehalten vom 7. bis 10. Februar 1993 in Ft. Lauderdale, Fa. E U A, bzw. im Digest of Technical Papers, in TRANSDUCERS, Yokohama, Japan, vom 7. bis 10. Juni 1993.
• Das im vorletzten obenerwähnten Dokument beschriebene Netzwerk umfasst ein Substrat, in welchem die Sperren des Netzwerks ausgeführt sind. Jede Sperre umfasst eine Mikroklappe, die am Substrat mittels elastischer Aufhängungen befestigt ist, die sich der Drehbewegung der Mikroklappe ausgehend von einer vorbestimmten Ruhelage widersetzen. Das Netzwerk umfasst ebenfalls elektrostatische Steuermittel der Mikroklappen, um selektiv deren Drehung um einen relativ geringen Winkel zu steuern. Ferner ist jede Mikroklappe mit einer reflektierenden Oberfläche versehen.
• Das Netzwerk, und insbesondere die reflektierenden Oberflächen der Mikroklappen, können von einem zu modulierenden Lichtstrahl belichtet werden, wobei die Modulation durch ein selektives Drehen der Mikroklappen ausgeführt wird, deren Steuerung matrizenartig sein kann.
• Das Dokument SPATIAL LIGHT MODULATORS AND APPLICATIONS, August 1989, SAN DIEGO CA US Seiten 86 - 102, XP000351394 L.J. HORNBECK 'deformable mirror spatial light modulators' beschreibt eine Vorrichtung mit deformierbaren Spiegeln, das weder die auf der dem Netzwerk zugeordneten optischen Bahn plazierte Blende noch die reflektierenden Oberflächen zeigt, die einander zugekehrt und in der Ruhelage der Mikroklappen parallel zueinander sind.
• US-A-4 566 935 beschreibt einen Raummodulator für Licht, der ein Netzwerk von Miniaturlichtsperren mit Mikroklappen umfasst, in welchem die zusätzliche reflektierende Oberfläche nicht der reflektierenden Mikroklappenoberfläche zugekehrt ist.
• EP-A-0 453 400 beschreibt eine Lichtmodulationsvorrichtung mit Matrizenadressierung, in welcher keine Blende vorgesehen ist, und in welcher die zusätzliche reflektierende Oberfläche nicht der reflektierenden Oberfläche der Mikroklappen zugekehrt ist.
• Die Erfindung hat zum Ziel, ein perfektioniertes Netzwerk von Miniaturlichtsperren der obenstehend kurz beschriebenen Art vorzuschlagen.
• Gegenstand der Erfindung ist also ein Netzwerk von Miniaturlichtsperren gemäss dem Patentanspruch 1.
• Einer der Vorteile, den ein Netzwerk gemäss den soeben dargelegten Merkmalen verschafft, liegt in der Selektivität zwischen Passage und Sperrung des Lichtes, was sozusagen auf eine Alles-oder-nichts-Umschaltung des Strahls hinausläuft. Diese Eigenschaft geht Hand in Hand mit den Vorteilen, die bereits im Netzwerk, das im obenstehend analysierten Artikel beschrieben ist, gewährleistet sind, und die insbesondere einerseits der sehr geringe Drehwinkel (zur Klarstellung soll erwähnt werden, dass dieser letztere in der Grössenordnung von nur 70 sein kann) und andererseits die geringe Steuerspannung und die sehr kurze Reaktionszeit sind, welche Eigenschaften aus diesem geringen Drehwinkel resultieren.
• Dank den Merkmalen dieses Netzwerks kann man ferner einen wesentlichen Teil (kennzeichnenderweise mehr als die Hälfte) des jede Mikroklappe treffenden auffallenden Lichts sammeln, um den dieser letzteren zugeordneten Austrittstrahl zu bilden. Daraus resultiert ein sehr günstiger Lichtwirkungsgrad des Netzwerks gemäss der Erfindung.
• Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich im Laufe der nachfolgenden Beschreibung, die einzig als Beispiel gegeben ist und die unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen gemacht ist, auf denen:
• - Figur 1 schematisch zwei einzelne Sperren eines Netzwerks gemäss der Erfindung zeigt, wobei sich die Mikroklappe einer dieser Sperren in der aktivierten Lage und diejenige der anderen in ihrer desaktivierten Lage befindet;
• - Figur 2 eine stark vergrösserte Darstellung von oben von vier Sperren eines Netzwerks gemäss der Erfindung ist;
• - Figur 3 eine Schnittansicht gemäss der Linie III-III der Figur 2 ist;
• - Figur 4 eine Schnittansicht gemäss der Linie IV-IV der Figur 2 ist;
• - Figur 5 eine perspektivische Ansicht in sehr grossem Massstab einer Mikroklappe und von deren zugeordneten Steuerelektroden ist;
• - Figur 6 sehr schematisch und in kleinem Massstab eine Lichtumschaltungseinheit zeigt, die in ein gemäss der Erfindung konzipiertes Netzwerk eingebaut ist;
• - Figur 7 eine Draufsicht der Einheit der Figur 6 ist;
• - Figur 8 schematisch zeigt, wie Mehrfacheinheiten gemäss den Figuren 6 und 7 kombiniert verwendet werden können, um eine Lichtverteilungsvorrichtung zu bilden;
• - Figur 9 durch eine schematische Ansicht erneut in sehr grossem Massstab, eine Ausführungsvariante der Erfindung zeigt; und
• - Figur 10 eine Ausführungsvariante einer Sperre gemäss der Erfindung zeigt.
• Zuerst wird auf Figur 1 Bezug genommen, die das Konstruktions- und Funktionsprinzip eines Netzwerks 1 von Lichtsperren gemäss der Erfindung entsprechend einer ersten Ausführungsvariante zeigt.
• Die Sperren 1a, 1b... definieren je eine optische Bahn X-X, die vorzugsweise parallel zur allgemeinen Richtung des das Netzwerk treffenden auffallenden Lichts L ist. Es ist klar, dass dieses letztere eine grosse Anzahl von Sperren 1a, 1b,... usw. umfasst, die zusammenwirken und beispielsweise gemäss einer Matrize angeordnet sind.
• Das Netzwerk 1 umfasst eine vorzugsweise aus Glas bestehende transparente Platte 2, durch die der Lichtstrahl L eintritt. Auf der gegenüberliegenden Seite umfasst das Netzwerk eine ebenfalls transparente und vorzugsweise aus Glas bestehende Austrittsplatte 3, durch die das in Abhängigkeit vom Steuermodus des Netzwerks (z.Bsp. matrizenförmig) modulierte Licht Lm austritt.
• Jede auf die ihr zugeordnete Bahn X-X zentrierte Sperre 1a, 1b... umfasst eine Fokalisiersammellinse 4, eine von einer Blende 6 durchbohrte und eine reflektierende Oberfläche 7 aufweisende Mikroklappe 5, sowie eine zusätzliche reflektierende Oberfläche 8, die auf der Linse 4 ausgearbeitet ist.
• Auf Figur 1 ist die Sperre 1a in einer sogenannten desaktivierten Konfiguration, was bedeutet, dass derselben keine Steuerspannung aufgesetzt ist. Im Kontext der hier beschriebenen Ausführungsform bedeutet das ebenfalls, dass die Sperre Licht durch ihre Blende 6 passieren lässt, wobei das auffallende Licht L zuerst durch die Linse 4 fokalisiert wird, dann von der reflektierenden Oberfläche 7 der Mikroklappe 5 nach hinten zurückgestrahlt wird und erneut von der zusätzlichen reflektierenden Oberfläche 8 nach vorne zurückgestrahlt wird, und schliesslich durch die Blende 6 hindurch nach aussen gestrahlt wird, um durch die Supportplatte 3 hindurchzutreten und zu einer Komponente des modulierten Lichtstrahls Lm zu werden.
• Die Sperre 1b hingegen ist in ihrer sogenannten aktivierten Konfiguration dargestellt, in welcher ihre Mikroklappe 5 um einen schwachen Winkel (zum Beispiel um 70) um eine Achse Y-Y (auf Figur 1 nicht angezeigt) gedreht ist, die rechtwinklig zur Achse X-X steht. Um diese Konfiguration zu erreichen, muss der Sperre eine Steuerspannung aufgesetzt werden; was später ausführlich beschrieben wird.
• Man erkennt, dass die aktivierte Konfiguration dazu führt, dass der von der auf der Mikroklappe 5 befindlichen reflektierenden Oberfläche 7 zurückgestrahlte und zuvor durch die Linse 4 fokalisierte Lichtstrahl aus dem der zusätzlichen reflektierenden Oberfläche 8 zugeordneten Feld heraus abgelenkt wird. Diese letztere ist also nicht mehr in der Lage, das Licht durch die Blende 6 hindurchtreten zu lassen.
• Das Aufheben der Steuerspannung setzt die Mikroklappe 5 dank der in den Aufhängungen der Mikroklappe erzeugten elastischen Umformkraft wieder in ihre Ausgangslage (diejenige der Sperre 1a), was in der Folge ausführlich beschrieben wird.
• Es ist also klar, dass die durch die Erfindung empfohlene neue Anordnung zu einer klaren Alles-oder-nichts- Steuerung der durch die Blenden 6 der Sperren materialisierten Funkte führt, wobei die desaktivierte Konfiguration auf der Seite der Austrittsplatte 3 dem Vorhandensein eines Lichtpunktes und im umgekehrten Fall dem Fehlen eines solchen Punktes entspricht.
• Die in der vorliegenden Beschreibung verwendeten Ausdrücke "desaktiviert" und "aktiviert" sollen nicht im engeren Sinn verstanden werden. Sie bezeichnen nämlich einfach das Vorhandensein bzw. das Fehlen von Licht am Austritt einer Sperre, Situationen, die entweder durch das Vorhandensein oder durch das Fehlen einer Steuerspannung je nach der Konfiguration und der Form der Elektroden, die jeder Mikroklappe zugeordnet sind, erhalten werden können.
• Nun wird auf die Figuren 2 bis 5 Bezug genommen, die genauer eine bevorzugte Konstruktion des Netzwerks gemäss der Erfindung illustrieren.
• Wie bereits betreffs Figur 1 angezeigt worden ist, umfasst das Netzwerk eine Eintrittsplatte 2 und eine Austrittsplatte 3. Zwischen diesen Platten 2 und 3 ist ein Plättchen 9 angeordnet, das ein Substrat bildet, das vorzugsweise aus Silizium besteht. Dieses Plättchen 9 ist mikrogefertigt, um die Mikroklappen 5 und die ihnen zugeordneten Elektrodengruppen zu bilden.
• Ein ein Distanzstück bildender Rahmen 10 umgibt das Netzwerk von Mikroklappen und behält eine definierte Distanz zwischen der Austrittsplatte 3 und dem Plättchen 9 bei.
• Ein bevorzugtes Mikrobearbeitungsverfahren, das zum Erhalten der gewünschten Formen in diesem Plättchen 9 verwendet werden kann, wird in den obengenannten Patenten und Artikeln beschrieben, und es ist somit nicht nötig, in der vorliegenden Beschreibung darauf zurückzukommen.
• Wie man auf Figur 2 feststellen kann, ist das Netzwerk 1 matrizenförmig mit Reihen Ra, Rb, Rc... und Kolonnen Ca, Cb, Cc... von Sperren Ra-1, Ra-2, Ra-3..., bzw. Rb-1, Rb-2, Rb-3... usw., wobei die Reihen kennzeichnenderweise 100 Sperren umfassen können, und die Anzahl von Reihen in einem gleichen Netzwerk beispielsweise bei 50 liegen kann.
• Figur 5, die eine perspektivische Ansicht einer einzigen Mikroklappe 5 und von deren Elektroden ist, zeigt klar, dass die Mikroklappe 5 in einer in das Plättchen 9 eingearbeiteten Öffnung 11 angeordnet ist, und dass sie daran durch zwei elastische Aufhängungen 12 (oder Aufhängearmen) befestigt ist, die gemäss der Achse Y-Y, die rechtwinklig zur optischen Achse X-X der betrachteten Sperre steht, ausgerichtet sind, wobei diese Achse Y-Y die Drehsachse der Mikroklappe 3 ist.
• Parallel zur Achse Y-Y erstrecken sich (siehe Figuren 2 und 5):
• - eine Steuerelektrode 13, die an einen gemeinsamen Steuerleiter 14 (Figur 2) angeschlossen ist, der entlang der betrachteten Mikroklappenreihe läuft;
• - zwei Anschlagelektroden 15a und 15b, die durch einen Leiter 15c gemeinsam einem Leiter 16 angeschlossen sind, der elektrisch alle Mikroklappen 5 einer gleichen Kolonne des Netzwerks über deren leitende Aufhängungen 12 verbindet;
• - zwei Halteelektroden 17a und 17b, die sich in der Richtung der Kolonnen entlang der entgegengesetzten Ränder der Öffnung 11 erstrecken. Diese Elektroden sind dank eines gemeinsamen Leiters 18 reihenweise miteinander verbunden.
• Die Steuerelektrode 13 und Anschlagelektroden 15a und 15b erstrecken sich durch die Öffnung 11 hindurch oberhalb jeder Mikroklappe 5. Ferner kreuzen die Leiter 16 die Leiter 14 und 18, ohne elektrisch daran angeschlossen zu sein.
• Wie dies klar aus der Figur 6 des ersten der obengenannten Artikel von V.P. Jaecklin et al. hervorgeht, weist das Merkmal der Verlagerung in Abhängigkeit von der Steuerspannung einer Mikroklappe, wie sie in der vorliegenden Erfindung verwendet wird, eine Hysterese auf. Deshalb ist es also möglich, eine Matrizenadressierung, wie zum Beispiel diejenige, die im obengenannten europäischen Patent beschrieben ist, mittels einer sinnvollen Elektrodenkombination und mittels geeigneter Steuerspannungen auszuführen.
• Man stellt also fest, dass das derart konzipierte Netzwerk matrizenartig gesteuert werden kann, indem geeignete Signale in binärer Form an die Leiter 14, 16 und 18 abgegeben werden. Somit ermöglicht das Netzwerk, einen breiten Lichtstrahl in eine Serie von matrizenförmigen Lichtpunkten zu transformieren, wovon jeder Punkt einzeln gesteuert werden kann.
• Die reflektierenden Oberflächen 7 und 8 sind vorteilhaft in Form von Aluminiumschichten ausgeführt, die durch Verdampfungs- oder Spritztechniken aufgebracht werden. Die Linsen 4 können direkt durch Mikrobearbeitung in der Eintrittsplatte 2 beispielsweise in Form von Fresnel-Linsen gebildet werden, in deren Zentrum jeweils die die zusätzlichen reflektierenden Oberflächen 8 bildenden Schichten vorgesehen sind. Die Linsen können ebenfalls in Form von beugenden optischen Elementen ausgeführt sein.
• Beispielshalber kann eine Mikroklappe des Netzwerks 1 eine quadratische Form mit einer Seitenlänge von 100 Mikrometer aufweisen, wobei die Blende 6 kreisförmig ist und einen gewählten Durchmesser zwischen 5 und 20 Mikrometer aufweist. Angesichts des geringen Drehwinkels der Mikroklappen kann die Umschaltzeit jeder Sperre 50 Mikrosekunden mit einer Steuerspannung von nur 15 Volt betragen.
• Ein Anwendungsbeispiel eines Netzwerks 1 gemäss der Erfindung ist auf den Figuren 6 und 7 dargestellt. In diesem Fall ist dieses letztere in einer lichtundurchlässigen Kapsel 19 in Form eines zylindrischen Gehäuses plaziert, deren Boden 20 derart durchbohrt ist, dass ein Lichtstrahl ausgehend von einer Lichtleitfaser 21 darin eingeführt werden kann. Das Netzwerk 1 ist in der Öffnung der Kapsel 19 plaziert, wobei eine Kollimatorlinse 22 daneben plaziert ist, um ausgehend vom eintretenden Strahl einen eine Kollimation aufweisenden Strahl zu bilden, der das Netzwerk 1 belichtet. Beispielshalber kann dieses letztere 100 Sperren pro Reihe und 50 Sperren pro Kolonne umfassen. Figur 7 zeigt schematisch und in Draufsicht, wie das Netzwerk 1 und die Linse 22 assoziiert sein können, wobei angenommen wird, dass der Boden 20 der Kapsel entfernt ist.
• Figur 8 zeigt eine Anwendung einer Serie von Kapseln 19 gemäss den Figuren 6 und 7, um eine Lichtverteilungsvorrichtung zu bilden. In diesem Fall ist eine Lichtquelle 23 durch einen Strahl 24 von Lichtleitfasern einer Reihe von Kapseln 19 angeschlossen. Diese Anordnung ermöglicht beispielsweise das Drucken von hochzeiligen Seiten, indem man einen lichtempfindlichen Support vor der Kapselreihe vorbeilaufen lässt, wobei jedes Mikroklappennetzwerk angemessen gesteuert wird, wie dies weiter oben beschrieben ist.
• Man kann ebenfalls in Betracht ziehen, ein Netzwerk 1 mit grossen Abmessungen für die Projektion von Bildern vom Fernsehtyp zu verwenden. In diesem Fall könnte ein Lichtmodulatornetzwerk gemäss der Erfindung die Hochzeiligkeit sicherstellen, indem es für jede Farbkomponente ein Netzwerk mit einer sehr grossen Anzahl von Sperren vorsieht.
• Figur 9 stellt eine Variante der Erfindung dar, die im Bereich jeder Sperre im Netzwerk realisierbar ist. In diesem Fall ist eine Mikroklappe 5A mit ihrer reflektierenden Oberfläche 7A im Zentrum der Fokalisierlinse 4A plaziert, während der zusätzliche Spiegel 8A auf der gegenüberliegenden Seite vorgesehen ist und mit der Blende 6A versehen ist.
• Figur 10 stellt eine andere Ausführungsform der Erfindung dar, die in optischer Hinsicht der Ausführungsform der Figuren 3 bis 5 ähnlich ist, die sich aber durch ihre Konstruktion unterscheidet. In diesem Fall ist das Sperrennetzwerk direkt auf der Austrittsplatte 3 ausgeführt, anstatt auf einem unterschiedlichen Siliziumplättchen ausgeführt zu sein. Das Netzwerk ist also mittels dünner Polysiliziumschichten konstruiert, die dieselben Elektroden wie auf den Figuren 3 bis 5 aufweisen. Es kann nicht nur in dieser Ausführungsform, sondern ebenfalls in den weiter oben beschriebenen Ausführungsformen, wünschenswert sein, zusätzlich eine sogenannte Kompensationselektrode vorzusehen, die auf der Figur 10 mit dem Bezugszeichen 25 angezeigt ist. Diese Elektrode hat zum Ziel, die Mikroklappe 5 in ihrer horizontalen Lage zu halten, wenn sie im Ruhezustand ist. Es kann nämlich vorkommen, dass beim Fehlen von jeglicher Steuerspannung diese letztere leicht gedreht ist.
• Selbstverständlich sind im Rahmen der vorliegenden Erfindung andere Ausführungsvarianten möglich.

Claims (10)

1. Netzwerk (1) von Miniaturlichtsperren, insbesondere dazu bestimmt, einen Lichtstrahl (L) in moduliertes Licht (Lm) zu transformieren, gebildet von einer Matrizengruppe oder linearen Gruppe von Lichtpunkten, wobei jede dieser Lichtsperren selektiv aktivierbar oder deaktivierbar ist, um das Licht passieren zu lassen oder zu sperren, welches Netzwerk (1) ein Substrat (9) umfaßt, an dem jeweils die Sperren bildende Mikroklappen (5; 5A) mittels elastischer Aufhängungen (12) angebracht sind, die sich deren Drehung ausgehend von einer vorbestimmten Ruhelage widersetzen, welches Netzwerk (1) ferner Steuermittel (13) der Mikroklappen umfaßt, um selektiv deren Drehung ausgehend von der Ruhelage zu steuern, welche Mikroklappe (5; 5A) in optischen Bahnen (X-X) des Lichtes plaziert sind, um je nach ihrer Lage die Bahnen unterbrechen oder etablieren zu können, wobei jede Mikroklappe (5) ferner mit einer reflektierenden Oberfläche (7; 7A) versehen ist, um das Licht abzulenken, wenn sie sich in ihrer Sperrlage befindet, welches Netzwerk dadurch gekennzeichnet ist, daß es in der jeweils einer Mikroklappe (5; 5A) zugeordneten optischen Bahn (X-X) eine zusätzliche reflektierende Oberfläche (8; 8A), eine Blende (6; 6A) sowie ein Fokalisiermittel (4; 4A) umfaßt, welche zusätzliche reflektierende Oberfläche, Blende und Fokalisiermittel derart angeordnet sind, daß dann, wenn die Mikroklappe (5, 5A) in einer ihrer Lagen ist, das Licht auf die Blende (6; 6A) fokalisiert ist, um dieses Licht passieren zu lassen, und daß es relativ zu der Blende (6; 6A) abgelenkt und infolgedessen gesperrt wird, wenn die Mikroklappe (5; 5A) sich in ihrer anderen Lage befindet, daß die reflektierende Oberfläche und die zusätzliche reflektierende Oberfläche einander zugekehrt sind, daß die Blende in einer dieser reflektierenden Oberflächen ausgebildet ist und daß die reflektierenden Oberflächen in der Ruhelage der Mikroklappen parallel sind.

2. Netzwerk von Sperren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche reflektierende Oberfläche (8) im Zentrum des Fokalisiermitteis (4) vorgesehen ist und daß die Blende (6) in die Mikroklappe (5) gebohrt ist.

3. Netzwerk von Sperren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikroklappe (5A) im Zentrum des Fokalisiermittels (4A) plaziert ist und daß die zusätzliche refklektierende Oberfläche (8A) in ihrem Zentrum von der 81ende (6A) durchbohrt ist.

4. Netzwerk von Sperren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Fokalisiermittel (4; 4A) eine Sammellinse ist.

5. Netzwerk von Sperren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Linse (4; 4A) eine Fresnel-Linse ist.

6. Netzwerk von Sperren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Linse (4; 4A) ein beugendes optisches Element ist.

7. Netzwerk von Sperren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche reflektierende Oberfläche (8) von einer Spiegelschicht gebildet ist, die im Zentrum des Fokalisiermittels (4) aufgebracht ist.

8. Netzwerk von Sperren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß seine Mikroklappen (5; 5A) und ihre Steuermittel (13) auf einem einzigen Siliziumplättchen (9) mikrogefertigt sind, das sich senkrecht zu den optischen Bahnen (X-X) erstreckt.

9. Netzwerk von Sperren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Plättchen (9) zwischen zwei zu ihm parallelen transparenten Platten (2, 3), gegebenenfalls unter Zwischenfügung eines Distanzrahmens (10), montiert ist, welche Platten (2, 3) eine Eintritts- bzw. Austrittsplatte des Netzwerks bilden, und daß die Fokalisiermittel (4) in der Eintrittsplatte (2) mikrogefertigt sind.

10. Netzwerk von Sperren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß seine Mikroklappen (5) und ihre Steuermittel (13) direkt auf einer die Austrittsplatte des Netzwerks bildenden transparenten Platte (3) mikrogefertigt sind, und daß die transparente Austrittsplatte (3) parallel zu einer transparenten Eintrittsplatte (2) des Netzwerks angeordnet ist, gegebenenfalls unter Zwischenfügung eines Distanzrahmens, in welcher Eintrittsplatte (2) das Fokalisiermittel (4) mikrogefertigt ist.