DE69401557T3 - Wandler für Oberflächenwellen mit verteilter akustischer Reflektion und Filter mit solch einem Wandler - Google Patents

Wandler für Oberflächenwellen mit verteilter akustischer Reflektion und Filter mit solch einem Wandler Download PDF

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Description

  • Die Erfindung betrifft einen Oberflächenwellenwandler mit verteilter akustischer Reflexion und ein Filter, das einen solchen Wandler aufweist.
  • Wandler und Filter dieses Typs werden üblicherweise auf zahlreichen Gebieten, wie bei Radaranlagen oder Mobilfunksystemen, z.B. zum Filtern von Zwischenfrequenzen verwendet.
  • Die Herstellung von Oberflächenwellenfiltern des Typs mit Resonanzhohlräumen mit zwei Polen, die einen Akustikkanal aufweisen, dessen bidirektionalen Wandler durch ein zentrales Reflexionsgitter getrennt sind, ist bekannt.
  • Gemäß einer Ausführungsvariante ist auch eine Parallelanordnung solcher Akustikkanäle bekannt, bei der die Wandler von einem Kanal zum anderen derart versetzt sind, dass sich die Vektorsumme der direkt durchlaufenden Wellen aufhebt.
  • Schließlich besteht eine dritte Variante in der Verwendung von Wandlern mit verteilter akustischer Reflexion, die auch unter der angelsächsischen Bezeichnung DART von "Distributed Acoustic Reflexion Transducers" bekannt sind, anstelle der herkömmlichen Wandler. Da emittierende und reflektierende Zellen nebeneinander angeordnet sind, emittieren diese Wandler den größten Teil ihrer Energie in eine bevorzugte Richtung, womit sich niedrige Verluste erhalten lassen. So werden Wandler hergestellt, die Zellen vom Typ EWC, der angelsächsischen Bezeichnung "Electrode Width Control", reflektierende Zellen mit zwei Reflektoren einer Breite λ/4 pro Wellenlänge, wobei λ die der Betriebsmittenfrequenz des Wandlers entsprechende Wellenlänge ist, oder emittierende Zellen mit drei Elektroden einer Breite λ/6 pro Wellenlänge verwenden, wie sie beispielsweise in der von der Anmelderin eingereichten französischen Patentanmeldung Nr. 2 653 632 beschrieben sind. Die Wandlungs- und Emissionszellen sind bei diesem Wandlertyp derart angeordnet, dass eine Phasenkohärenz zwischen den in der bevorzugten Ausbreitungsrichtung emittierten Wellen und den Wellen erhalten wird, die sich nach der Reflexion in dieser gleichen Richtung ausbreiten.
  • Die Filter mit Resonanzhohlräumen lassen nur schwache relative Durchlassbereiche zu. Die beiden anderen Ausführungstypen ermöglichen es nicht, die Größe des Filters zu optimieren,
    • – sei es in der Länge wegen der zur Durchführung des Filterns erforderlichen Größe der Wandler,
    • – sei es in der Breite, wenn mehrere Akustikkanäle zur Verbesserung der Leistungen des Filters zusammengefügt sind.
  • Andererseits wird die Herstellung solcher Bauelemente durch die Vervielfachung der parallelgeschalteten Akustikkanale komplizierter.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, den obengenannten Nachteilen abzuhelfen.
  • Zu diesem Zweck hat die Erfindung einen Oberflächenwellenwandler mit verteilter akustischer Reflexion vom Typ DART zum Gegenstand, der eine Nebeneinanderanordnung von emittierenden Zellen und reflektierenden Zellen besitzt, dadurch gekennzeichnet, dass er aufweist:
    • – zumindest eine Vorzeichenänderung der Reflexionsfunktion, das heißt, dass er zumindest einen Reflektor aufweist, dessen Mitte um kλ/2+λ/4 von der Mitte der anderen Reflektoren entfernt ist, wodurch eine Zelle mit negativer Reflexion (-R) definiert wird, wobei λ die der Betriebsmittenfrequenz des Wandlers entsprechende Wellenlänge und k eine ganze Zahl ungleich Null ist,
    • – Zonen (11, 13) von Zellen mit positiver Reflexion, die mit E, R bezeichnet sind, wobei jede dieser Zellen mindestens eine Quelle (E) und einen Reflektor (R) aufweist, so dass die von einer Quelle (E) in eine bevorzugte Richtung X emittierten Wellen und die von einem Reflektor (R) in die Richtung reflektierten Wellen bei der Betriebsmittenfrequenz des Wandlers in Phase sind;
    • – Zonen (12) von Zellen mit negativer Reflexion, die reflektierende Zellen (-R) aufweisen, wie sie oben definiert sind, und in denen die reflektierten Wellen bezüglich der von den Zellen mit positiver Reflexion emittierten oder reflektierten Wellen in der bevorzugten Richtung X der Wellenausbreitung und bei der Betriebsmittenfrequenz des Wandlers gegenphasig sind,
    wobei die angepasste räumliche Verteilung der Zellen mit positiver Reflexion und der Zellen mit negativer Reflexion es gestattet, das Äquivalent kleiner Resonanzhohlräume im Inneren eines DARTs zu erzeugen.
  • Die bei der Herstellung der DART angepasste räumliche Verteilung der Zellen mit positiver Reflexion und der Zellen mit negativer Reflexion gemäß der Erfindung ermöglicht die Herstellung von Filtern des Typs mit Resonanzhohlräumen, die aus zwei DART gebildet sind; durch Erhöhung der Anzahl der entlang der Ausbreitungsachse umgebogenen Wege wird im Inneren eines DARTs das Äquivalent kleiner Resonanzhohlräume geschaffen.
  • Die Vorteile der Erfindung betreffen im wesentlichen die Abmessungen des Bauelements und seine Herstellungskosten. Die erfindungsgemäßen Filter ergeben bei kleinerer Größe gleichwertige, wenn nicht bessere Leistungen als ein Filter nach dem Stand der Technik. Sie sind einfacher herzustellen, da keine Parallelanordnung von Akustikkanälen erforderlich ist.
  • Es ist beispielsweise möglich, erfindungsgemäße Filter herzustellen, deren Länge um 20 bis 30 % niedriger liegt, und deren Einfügungsverluste um 15 % niedriger liegen, und bei denen die Änderungen der Gruppenausbreitungszeit bezüglich eines Filters mit den gleichen Merkmalen gemäß dem Stand der Technik um die Hälfte reduziert sind.
  • Die Erfindung ist leicht zu verstehen, und ihre Vorteile und weiteren Merkmale ergeben sich aus der folgenden Beschreibung einiger nicht einschränkend zu verstehender Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beigefügten schematischen Zeichnungen; darin zeigen
  • die 1 und 2 Schnittansichten einer Zelle vom Typ EWC nach dem Stand der Technik;
  • die 3, 4, 5 Schnittansichten von Zellen zur Herstellung von DARTs oder von Filtern gemäß der Erfindung;
  • die 6 und 7 die Herstellung weiterer Zellen gemäß der Erfindung durch Nebeneinanderordnung von Zellen des vorhergehenden Typs und von reflektierenden Zellen einer Länge λ/2;
  • die 8 und 9 eine Ausführungsvariante der zwei vorhergehenden Zellen;
  • 10 ein Beispiel der Verteilung der Zellen gemäß dem Stand der Technik und gemäß der Erfindung bei der Herstellung eines DARTs;
  • 11 den Graph der Entwicklung des Reflexionskoeffizienten dieses DART entlang der Ausbreitungsachse der Wellen;
  • die 12 und 13 den Graph der Übertragungsfunktionen eines Filters gemäß dem Stand der Technik und eines erfindungsgemäßen Filters.
  • Die 14 bis 16 stellen die Herstellung von Übergangszonen unter Verwendung von emittierenden Zellen mit drei Elektroden pro Wellenlänge dar.
  • Unter Bezugnahme auf die 1 und 2, in denen wie bei den folgenden Figuren einander entsprechende Elemente mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet sind, handelt es sich um Zellen gemäß dem Stand der Technik, die unter dem Namen EWC bekannt sind und jeweils einen Reflektor und eine Quelle aufweisen. Die Grenzen oder Referenzen 1 dieser Zellen einer Länge λ, die herkömmlich sind und demnach kein physische Realität besitzen, wurden hier derart angeordnet, dass sie den für die erfindungsgemäßen neuen Zellen gewählten Referenzen entsprechen.
  • Die bevorzugte Ausbreitungsrichtung der akustischen Welle in einem DART, der diesen Typ von Zellen verwendet, ist die Richtung der Achse X. ε definiert das Vorzeichen der Laufdifferenz λ/4 der an einem Reflektor reflektierten Wellen und hängt von den physischen Eigenschaften der Materialien ab, aus denen das Filter besteht. 1 beschreibt eine Zelle vom Typ EWC im Fall ε = +1, wonach die Reflexion mit einer Laufdifferenz von +λ/4 abläuft, und 2 beschreibt eine Zelle im Falle ε = –1, wonach die Reflexion mit einer Laufdifferenz von –λ/4 abläuft.
  • Die in der bevorzugten Ausbreitungsrichtung X emittierten und reflektierten Wellen liegen in Phase, und die Zellen sind sogenannte Zellen mit positiver Reflexion. Die Phasenreferenzen der Wandler 3 und 5 und der Reflektoren 4 und 6 sind mit den Buchstaben E bzw. R bezeichnet.
  • Diese Referenzen sind in 3 wiederaufgenommen, die eine erfindungsgemäße Zelle für ein Filter darstellt, dessen Materialien einem Koeffizienten ε = +1 entsprechen. Diese Zelle mit einer Länge λ besitzt eine reflektierende Elektrode 7 einer Breite λ/4 in ihrer Mitte und zwei Elektroden 8 und 9 einer Breite λ/8, deren Mitten um 3λ/8 von der Mitte der reflektierenden Elektrode 7 entfernt sind, und von denen die rechte Elektrode 8 mit dem heißen Punkt verbunden ist.
  • Die vom Reflektor 7 in Richtung X zurückgeschickten Wellen liegen in Gegenphase bezüglich der Wellen, die in dieser bevorzugten Richtung X von den emittierenden oder reflektierenden Zellen bekannten Typs des gleichen Substrats emittiert oder reflektiert werden, da die Laufdifferenz bezüglich der in Richtung X von einer Wandlungsmitte E emittierten Wellen wie folgt ist: 9λ/8 + λ/4 + 9λ/8 + kλ = λ/2 + k'λ
  • Die Elektrode 8 am heißen Punkt emittiert die Wellen in der bevorzugten Richtung X in Gegenphase bezüglich der Wandler von emittierenden Zellen bekannten Typs, wobei ihre Mitte um kλ + λ/2 von einer Wandlungsmitte E entfernt ist.
  • Die linke Elektrode 9 ermöglicht die Aufhebung der Reflexion an der Elektrode 8 und bildet andererseits einen Teil der Quelle, falls an die Zelle eine heiße Elektrode angefügt wird.
  • Die Zelle heißt also -R -E in Annäherung an die Bezeichnung E R der in 1 dargestellten Zelle EWC, und sie ist eine sogenannte Zelle mit negativer Reflexion, da die von dem Reflektor dieser Zelle reflektierten Wellen bezüglich der Wellen in Gegenphase liegen, die von den Zellen mit positiver Reflexion des Stands der Technik in der bevorzugten Ausbreitungsrichtung X der Welle emittiert oder reflektiert werden.
  • 4 beschreibt eine Herstellung von erfindungsgemäßen Zellen, wenn die für das Filter verwendeten Materialien einem Koeffizienten ε = –1 entsprechen.
  • In diesem Fall ist die linke Elektrode 9 und nicht mehr die rechte 8 mit dem heißen Punkt verbunden, wodurch es möglich wird, die Wellen in Phase mit den Wellen zu emittieren, die von den Zellen mit positiver Reflexion des Stands der Technik in der bevorzugten Richtung X übertragen werden. Diese Zelle mit negativer Reflexion heißt E -R, da die Laufdifferenz zwischen den Wellen, die in Richtung X reflektiert werden, und denjenigen, die durch eine Wandlungsmitte E in dieser gleichen Richtung emittiert werden, 3λ/8 – λ/4 + 3λ/8 + kλ = λ/2 + kλ beträgt.
  • 5 stellt auch eine Zelle mit negativer Reflexion dar, die mit -R bezeichnet wird, da sie keinen Wandler besitzt und unabhängig vom Typ der das Filter bildenden Materialien verwendet werden kann. Die Reflexionselektrode 7 einer Breite λ/4 ist in der Mitte der Zelle angeordnet, die beiden Elektroden 8 und 9 einer Breite λ/8, deren Mitten um 3λ/8 von der Mitte der Zelle entfernt sind, bilden einen Teil der Quellen, falls die heißen Elektroden an die Zelle angefügt sind, kompensieren sich bezüglich ihrer Reflexion und ermöglichen es, ein in etwa konstantes Metallisierungsverhältnis zum Beispiel nahe 1/2 aufrechtzuerhalten.
  • Da die Ausbreitungsachse X in der Bewegungsrichtung der resultierenden Welle positiv ausgerichtet ist, wie dies in den Figuren dargestellt ist, sind die sogenannten Zellen mit negativer Reflexion gemäß der Erfindung allgemein dadurch gekennzeichnet, dass der algebraische Abstand zwischen der Position xE der Wandlungsmitte E der emittierenden Zellen gemäß dem Stand der Technik und der Position x–R der Reflexionsmitte -R dieser neuen Zellen wie folgt ist: d = xE – x–R = 3λ/8 + λ/4 ± kλ/2 für ε = +1 d = xE – x–R = 5λ/8 + λ/4 ± kλ/2 für ε = –1
  • Gemäß der Ausführungsvariante der Erfindung der 6 ermöglicht die Einfügung einer Zelle einer Länge λ/2 hinter den Zellen der Länge λ in der bevorzugten Bewegungsrichtung im DART, das Wandlungsvorzeichen dieser Zellen umzukehren und gleichzeitig ihre Reflexionseigenschaften aufrechtzuerhalten, was im folgenden erläutert wird.
  • 6 zeigt für den Fall ε = +1 auf einem Substrat 2 und hinter der Zelle -R -E, wie sie in 3 beschrieben ist, die Anordnung einer neuen Zelle daneben, die reflektierende Elementarzelle genannt wird, eine Breite λ/2 hat und in ihrer Mitte eine Reflexionselektrode 10 einer Breite λ/4 besitzt. Bei der Zelle der Breite λ ist daher die Elektrode 8 mit dem heißen Punkt verbunden und emittiert in Phase mit einer Wandlungsmitte E, die dahinter angeordnet ist, da sie einen Abstand von 2λ + kλ hat, und ihr Reflektor 7 reflektiert die Wellen in Gegenphase, da die Laufdifferenz zu den in der bevorzugten Ausbreitungsrichtung X emittierten Wellen 5λ/8 + 5λ/8 + λ/4 = λ/2 + kλ beträgt. Durch die Hinzufügung der neuen Zelle der Breite λ/2, die in ihrer Mitte hinter der Zelle des Typs -R -E eine reflektierende Elektrode aufweisen kann, ergibt sich somit eine neue Zelle mit negativer Reflexion vom Typ – R E. Eine zweite Elementarzelle einer Breite λ/2 muss, immer noch in der bevorzugten Bewegungsrichtung der Wellen, vorne angeordnet werden, wenn die Phasen der Wandler der vorne angeordneten emittierenden Zellen wiederhergestellt werden sollen.
  • 7 zeigt die gleiche Ausführung, wenn die Materialien des Filters ε = –1 entsprechen. Da die Elementarzelle einer Breite λ/2 in ihrer Mitte eine reflektierende Elektrode 10 aufweisen kann, die hinter der in 4 dargestellten Zelle E -R angeordnet ist, kann diese Zelle in eine Zelle des Typs -E -R umgewandelt werden.
  • Eine Variante zu den oben beschriebenen Zellen besteht darin, die Reflektoren der Breite λ/4 durch Reflektoren der Breite 3λ/8 zu ersetzen. Wenn die Metallisierungsdicke ausreichend groß ist (h/λ ≥ 1,5 %, wobei h die Metallisierungsdicke und λ die Wellenlänge bei der Mittenfrequenz ist), kann mit dieser Elektrodenbreite eine größere Amplitude des Reflexionskoeffizienten erhalten werden als bei einer Elektrode der Breite λ/4.
  • Die Verwendung von benachbarten Zellen vom Typ Elementarzellen zur Herstellung von Zellen -R E, wenn ε = +1, und von Zellen -E -R, wenn ε = –1, kann durch die Verwendung neuer Zellen vermieden werden. 8 stellt diese neue Zelle der Länge λ für ε = +1 dar. Diese Zelle unterscheidet sich von den oben beschriebenen dadurch, dass die zentrale Elektrode 7 eine Breite von 3λ/8 besitzt und mit dem heißen Punkt verbunden ist. Sie wird von zwei Elektroden 8 und 9 einer Breite λ/8 flankiert, deren Mitten von der Mitte der Zelle einen Abstand von 3λ/8 haben, wobei die linke Elektrode 9 ebenfalls mit dem heißen Punkt verbunden ist.
  • Die Einheit aus den beiden Elektroden 7 und 9, die mit dem heißen Punkt verbunden sind, verhält sich elektrisch in etwa wie eine einzige Elektrode der Breite 5λ/8. Die Wandlungsmitte dieser einzigen Elektrode liegt in ihrer Mitte. Diese Position entspricht derjenigen der Quellen vom Typ E. Die Reflexionen der beiden äußeren Elektroden 8 und 9 der Zelle heben sich akustisch auf, da ihre Mitten einen Abstand von 3λ/4 haben, und es bleibt nur noch die Reflexion an der reflektierenden Elektrode 7, die einen Abstand von 3λ/4 von einer Reflexionsmitte R besitzt. Es handelt sich also um eine Zelle E -R.
  • Der Wirkungsgrad der Quelle ist proportional zu
    Figure 00100001
    wobei W der Abstand zwischen den Mitten der Räume zwischen den Elektroden ist. Hier gilt durch Konstruktion W = 3λ/4 für hinten angeordnete erfindungsgemäße Zellen, Hypothese der 8.
  • Der Wirkungsgrad bei der Mittenfrequenz ist demnach proportional zu
  • Figure 00100002
  • Für die anderen Zellen ist der Raum W W = λ/4, und der Wirkungsgrad ist proportional zu:
  • Figure 00110001
  • Der Wirkungsgrad der Quelle für die Zelle E -R ist demnach in erster Ordnung gleich demjenigen der anderen Quellen.
  • Bei Materialien, die einen negativen Koeffizienten e ergeben, wie dies in 9 dargestellt ist, ist es die rechte Elektrode 8 und nicht mehr die linke Elektrode 9, die gleichzeitig mit der zentralen Elektrode 7 einer Breite 3 λ/8 mit dem heißen Punkt verbunden ist.
  • Die Zelle mit negativer Reflexion ist vom Typ -R -E.
  • Eine Elektrodenverschiebung von λ/48 kann vorteilhafterweise immer dann verwendet werden, wenn die heiße Elektrode einer Zelle wie oben beschrieben von zwei ungleichen Räumen umgeben ist, was bei der Verwendung von Reflektoren der Breite λ/4 im Allgemeinen der Fall ist.
  • Die erfindungsgemäßen Filter verwenden Wandler vom Typ DART, von denen mindestens einer eine Zelle mit negativer Reflexion aufweist.
  • Die Verteilung und Abmessung der Zonen, die Zellen mit positiver Reflexion gemäß dem Stand der Technik aufweisen, und der Zonen, die Zellen mit negativer Reflexion aufweisen, sowie die Wahl der diese Zonen bildenden Zellen, ermöglichen den Erhalt der Übertragungsfunktion, die am meisten derjenigen angenähert ist, die für eine minimale Größe des Filters erwünscht ist. Dabei entsprechen die Zonenübergänge einer Vorzeichenänderung des Reflexionskoeffizienten. 10 ist ein Ausführungsbeispiel eines DARTs, der in einem erfindungsgemäßen Filter verwendet wird.
  • Seine Länge beträgt etwa 110 λ, und er besteht aus drei Zonen:
    • – einer Zone 11 von etwa 50 λ, die Zellen mit positiver Reflexion aufweist,
    • – einer Zone 12 von etwa 40 λ, die Zellen mit negativer Reflexion aufweist,
    • – einer Zone 13 von etwa 20 λ, die Zellen mit positiver Reflexion aufweist.
  • 11 zeigt die Entwicklung des Reflexionskoeffizienten des DARTs, der in 10 schematisch dargestellt ist, entlang der Ausbreitungsachse der Wellen.
  • Die Abszissenachse stellt die Ausbreitungsachse der Welle im DART dar; sie ist in Hunderter Wellenlänge eingeteilt. Die Koordinatenachse entspricht dem Reflexionskoeffizienten der Wellen und ist in Hundertstel eingeteilt. Die Vorzeichenänderung dieses Koeffizienten findet bei etwa 50 λ und 90 λ statt: Zonenübergänge.
  • Die Kurven der 12 und 13 geben die Graphen an, die durch Simulation der Übertragungsfunktion eines Filters mit einer Nutzlänge von 15 mm und ohne Zellen mit negativer Reflexion, bzw. eines Filters mit einer Nutzlänge von 11 mm mit Zellen mit negativer Reflexion erhalten wurden.
  • Die Dämpfung des Filters, die auf der Ordinatenachse in Dezibel eingetragen ist, ist in Abhängigkeit von der Frequenz des Signals angegeben, die auf der Abszissenachse in Megahertz ausgedrückt ist.
  • Die Betriebsmittenfrequenz der Filter beträgt 71 MHz.
  • Die Verbesserungen der technischen Merkmale betreffen hauptsächlich die Einfügungsverluste, die von 7,4 dB für das Filter gemäß dem Stand der Technik auf 6,5 dB für das erfindungsgemäße Filter übergehen (nicht in den Figuren dargestellt), die Änderung der Gruppenausbreitungszeit, die von 200 ns auf 100 ns für das erfindungsgemäße Filter übergeht, die Verringerung des Pegels der Nebenkeulen und die Vergrößerung des Durchlassbereichs.
  • Bei den emittierenden Zellen mit drei Elektroden einer Breite λ/6 pro Wellenlänge und den reflektierenden Zellen mit zwei Reflektoren einer Breite λ/4 pro Wellenlänge werden gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung die Zellen E und R zugeordnet, um die Zonenübergänge zu bilden, wie sie in den 14, 15, 16 und 17 dargestellt sind, die den vier möglichen Fällen entsprechen.
  • In 14 wird der Übergang ER +, ER – für ε = +1 durch eine Zelle der Breite 2λ/3 erhalten, die zwei symmetrisch angeordnete Elektroden einer Breite λ/6 aufweist.
  • In 15 wird der Übergang ER -, ER + für ε = +1 durch eine Zelle einer Breite λ/3 erhalten, die in ihrer Mitte eine Elektrode einer Breite λ/6 aufweist.
  • In den 16 und 17 werden die Übergänge ER +, ER – und ER -, ER + für ε = –1 umgekehrt zu oben erhalten.

Claims (7)

  1. Oberflächenwellenwandler mit verteilter akustischer Reflexion vom Typ DART, mit einer Nebeneinanderanordnung von emittierenden Zellen und reflektierenden Zellen, dadurch gekennzeichnet, dass er aufweist: – mindestens eine Vorzeichenänderung der Reflexionsfunktion, das heißt, dass er mindestens einen Reflektor enthält, dessen Mitte um kλ/2+λ/4 von der Mitte der anderen Reflektoren entfernt ist, wodurch eine Zelle mit negativer Reflexion (-R) definiert wird, wobei λ die der Betriebsmittenfrequenz des Wandlers entsprechende Wellenlänge und k eine ganze Zahl ungleich Null ist, – Zonen (11, 13) von Zellen mit positiver Reflexion, die mit E, R bezeichnet sind, wobei jede dieser Zellen zumindest eine Quelle (E) und einen Reflektor (R) aufweist, so dass die von einer Quelle (E) in eine bevorzugte Richtung X emittierten Wellen und die von einem Reflektor (R) in die Richtung reflektierten Wellen bei der Betriebsmittenfrequenz des Wandlers in Phase sind; – Zonen (12) von Zellen mit negativer Reflexion, die wie oben definierte reflektierende Zellen (-R) aufweisen und in denen die reflektierten Wellen bezüglich der von den Zellen mit positiver Reflexion emittierten oder reflektierten Wellen in der bevorzugten Richtung X und bei der Betriebsmittenfrequenz des Wandlers gegenphasig sind, wobei die angepasste räumliche Verteilung der Zellen mit positiver Reflexion und der Zellen mit negativer Reflexion es gestattet, das Äquivalent kleiner Resonanzhohlräume im Inneren eines DARTs zu erzeugen.
  2. Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine oder mehrere Zellen mit negativer Reflexion (7, 8, 9) von der Länge der der Betriebsmittenfrequenz des Wandlers entsprechenden Wellenlänge λ eine in ihrer Mitte angeordnete Reflexionselektrode (7) besitzt, deren Breite gleich einem Viertel der Wellenlänge λ ist.
  3. Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine oder mehrere Zellen mit negativer Reflexion (7, 8, 9) von der Länge der der Betriebsmittenfrequenz des Wandlers entsprechenden Wellenlänge λ eine in ihrer Mitte angeordnete Reflexionselektrode (7) besitzt, deren Breite gleich drei Achteln der Wellenlänge λ ist.
  4. Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Zelle mit negativer Reflexion (7, 8, 9) von der Länge der der Betriebsmittenfrequenz des Wandlers entsprechenden Wellenlänge λ von einer zentralen Elektrode (7) mit einer Breite von drei Achteln der Wellenlänge λ gebildet wird, die mit dem heißen Punkt verbunden ist und von zwei Elektroden (8, 9) mit der Breite eines Achtels der Wellenlänge λ flankiert ist, deren Mitte von der Mitte der Zelle (7, 8, 9) einen Abstand von drei Achteln der Wellenlänge hat, und von denen eine (8, 9) ebenfalls mit dem heißen Punkt verbunden ist.
  5. Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass er, betrachtet in der Ausbreitungsrichtung X der im DART resultierenden Welle, hinter wenigstens einer Zelle mit negativer Reflexion (7, 8, 9) eine Elementarzelle (10) von der Länge der Hälfte der der Betriebsmittenfrequenz des Wandlers entsprechenden Wellenlänge λ aufweist, die in ihrer Mitte eine Reflexionselektrode (10) der Breite haben kann.
  6. Wandler nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass er emittierende Zellen von der Länge der Wellenlänge λ, die drei Elektroden der Breite λ/6 im Abstand λ/3 aufweisen, und reflektierende Zellen von der Länge der Wellenlänge λ enthält, die zwei Elektroden der Breite λ/4 im Abstand λ/2 aufweisen, und dass zwei reflektierende Zellen oder zwei emittierende Zellen den Abstand λ/3 oder 2λ/3 haben.
  7. Oberflächenwellenfilter, dadurch gekennzeichnet, dass es wenigstens einen Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 6 enthält.
DE69401557T 1993-03-19 1994-03-04 Wandler für Oberflächenwellen mit verteilter akustischer Reflektion und Filter mit solch einem Wandler Expired - Lifetime DE69401557T3 (de)

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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NO985386L (no) * 1997-11-20 1999-05-21 Murata Manufacturing Co Unidireksjonal transduktor for akustiske overflateb°lger, og transversalfilter med slik transduktor

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8327551D0 (en) 1983-10-14 1983-11-16 Secr Defence Acoustic transducer
JPH03119815A (ja) * 1989-10-01 1991-05-22 Kazuhiko Yamanouchi 浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換器
FR2653632B1 (fr) * 1989-10-20 1991-12-20 Thomson Csf Transducteur d'ondes de surface unidirectionnel.

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DE69401557T2 (de) 1997-05-15
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EP0646296B1 (de) 1997-01-22
DK0646296T3 (da) 1997-07-28
DE69401557D1 (de) 1997-03-06
FR2702899B1 (fr) 1995-05-12
EP0646296A1 (de) 1995-04-05
EP0646296B2 (de) 2004-06-16

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